JPH0465909A - 表面弾性波装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、表面弾性波装置に関し、特に表面弾性波素子
からの電極引き出し構造の改良に関する。
からの電極引き出し構造の改良に関する。
[従来の技術]
従来から、SAWフィルタ等の表面弾性波装置は、VH
F、UHF等の帯域の無線機器等に多く用いられている
。例えば800〜900MHzのSAWフィルタは、移
動無線等の高周波回路において用いられている。
F、UHF等の帯域の無線機器等に多く用いられている
。例えば800〜900MHzのSAWフィルタは、移
動無線等の高周波回路において用いられている。
第8図には、従来にお1プる表面弾性波装置の一例構成
、特にその断面か示されている。
、特にその断面か示されている。
この図に示される従来例では、表面弾性波素子10がキ
ャップ12及びベース14から構成されるパッケージ内
に収納されている。
ャップ12及びベース14から構成されるパッケージ内
に収納されている。
すなわち、表面(図中上面)に、入力電極、出力電極及
び接地電極が形成され表面弾性を有する材料から形成さ
れる表面弾性波素子10は、接着剤16により金属のベ
ース14に固定され、このベース14はキャップ12と
嵌合・シールされている。
び接地電極が形成され表面弾性を有する材料から形成さ
れる表面弾性波素子10は、接着剤16により金属のベ
ース14に固定され、このベース14はキャップ12と
嵌合・シールされている。
また、この従来例はいわゆるリードタイプに属している
。すなわち、所定本数の金属のリードビン18がベース
14を貫通し、さらにパッケージ内部で金又は銅のワイ
ヤ20を介して表面弾性波素子10の電極に接続されて
いる。このリードピン18は、外部回路が形成されてい
る基板にスルーホール等の手段により接続される。
。すなわち、所定本数の金属のリードビン18がベース
14を貫通し、さらにパッケージ内部で金又は銅のワイ
ヤ20を介して表面弾性波素子10の電極に接続されて
いる。このリードピン18は、外部回路が形成されてい
る基板にスルーホール等の手段により接続される。
なお、ワイヤ20と表面弾性波素子10の電極の接続は
、ワイヤボンディングにより行われる。
、ワイヤボンディングにより行われる。
また、この必要から表面弾性波素子10の電極は所定面
積・形状の部分(パッド)を有している。
積・形状の部分(パッド)を有している。
近年においては、部品の表面実装の要求に応じ、この従
来例のようなリードタイプの表面弾性波装置の他、表面
実装タイプの表面弾性波装置が製造販売されている。
来例のようなリードタイプの表面弾性波装置の他、表面
実装タイプの表面弾性波装置が製造販売されている。
第9図には、表面実装タイプの従来例が示されている。
この従来例に係る表面弾性波装置は、表面弾性波素子1
0がセラミックのベース22とカバー24から構成され
る表面実装用パッケージに収納される構成である。この
場合、表面弾性波素子10の上面に形成される電極は、
ワイヤボンディングにより接続されるワイヤ20を介し
てベース22表面のパッドに接続される。
0がセラミックのベース22とカバー24から構成され
る表面実装用パッケージに収納される構成である。この
場合、表面弾性波素子10の上面に形成される電極は、
ワイヤボンディングにより接続されるワイヤ20を介し
てベース22表面のパッドに接続される。
また、表面弾性波装置としては、入力電極及び出力電極
を複数個設けた構成が知られている。
を複数個設けた構成が知られている。
第10図には、このような構成を有する多電極方式SA
Wフィルタの一例構成が示されている。
Wフィルタの一例構成が示されている。
多電極方式SAWフィルタは、800〜900MHz帯
のSAWフィルタとして一般的な構成であり、この図に
おいては、特に、表面弾性波素子上での電極配置が示さ
れている。
のSAWフィルタとして一般的な構成であり、この図に
おいては、特に、表面弾性波素子上での電極配置が示さ
れている。
すなわち、金属のベース14上に接着剤(図示せず)に
より固定された表面弾性波素子1oの表面には、入力電
極26及び出力電極28が被着形成されており、これら
は表面弾性波素子1oの表面に交互に配置されている。
より固定された表面弾性波素子1oの表面には、入力電
極26及び出力電極28が被着形成されており、これら
は表面弾性波素子1oの表面に交互に配置されている。
入力電極26及び出力電極28の一端は、それぞれ集合
接続されるパターンを形成している。
接続されるパターンを形成している。
入力電極26及び出力電極28の他端側には、同様に表
面弾性波素子10の表面に被着形成された接地電極30
及び32が配置されている。
面弾性波素子10の表面に被着形成された接地電極30
及び32が配置されている。
このような電極26.28.30及び32のうち、入力
電極26及び出力電極28の集合接続に係る端は、ワイ
ヤ20のボンディングによりり一ドピン18の端面に接
続されている。また、接地電極30及び32は、ワイヤ
20のボンディングによりベース14に接続されている
。なお、り一ドビン18とベース14の電気的絶縁は、
絶縁層34により保たれている。
電極26及び出力電極28の集合接続に係る端は、ワイ
ヤ20のボンディングによりり一ドピン18の端面に接
続されている。また、接地電極30及び32は、ワイヤ
20のボンディングによりベース14に接続されている
。なお、り一ドビン18とベース14の電気的絶縁は、
絶縁層34により保たれている。
ところで、電子部品のパッケージ方法としては、第11
図に示される半田バンプによるフェースダウンボンディ
ングが知られている。
図に示される半田バンプによるフェースダウンボンディ
ングが知られている。
この方法は、IC等の電子部品を基板上に固着すると共
に樹脂被覆する方法である。例えば、印刷回路基板36
の表面に被着形成された導体38の所定位置に半田を含
む金属泡である半田バンプ40を載置し、この半田バン
プ40が引出電極(図示せず)の位置となるようIC基
板42を位置決めする。こののち、IC基板42を図中
下方に押圧しかつ半田が溶融するよう熱を加える等の手
段で、IC基板42の引出電極と印刷回路基板36の導
体38とを半田バンプ40を介して接続固定する。そし
て、エポキシ樹脂44によりモールドして被覆を形成す
る。
に樹脂被覆する方法である。例えば、印刷回路基板36
の表面に被着形成された導体38の所定位置に半田を含
む金属泡である半田バンプ40を載置し、この半田バン
プ40が引出電極(図示せず)の位置となるようIC基
板42を位置決めする。こののち、IC基板42を図中
下方に押圧しかつ半田が溶融するよう熱を加える等の手
段で、IC基板42の引出電極と印刷回路基板36の導
体38とを半田バンプ40を介して接続固定する。そし
て、エポキシ樹脂44によりモールドして被覆を形成す
る。
このような方法は、表面実装を迅速に行う等の点で存意
な方法である。
な方法である。
[発明が解決しようとする課題]
従来の表面弾性波装置においては、パッケージ後の外形
寸法が大きくなるという問題点があった。
寸法が大きくなるという問題点があった。
すなわち、第1及び第2の従来例のような構成の表面弾
性波装置においては、ワイヤボンディングを行うために
ワイヤの長さにゆとりか必要であり、表面弾性波素子の
寸法にかかわらずパッケージに一定の大きさが必要とな
ってしまう。また、ワイヤボンディングに係るパッドも
一定の大きさを必要とする。
性波装置においては、ワイヤボンディングを行うために
ワイヤの長さにゆとりか必要であり、表面弾性波素子の
寸法にかかわらずパッケージに一定の大きさが必要とな
ってしまう。また、ワイヤボンディングに係るパッドも
一定の大きさを必要とする。
例を挙げて説明すると、第9図においてパッケージの各
部寸法を LP−Lw−Lc−0,5mm Hw = 1 、0 m m Hc = 0 、 5 m rn とすると、表面弾性波素子の寸法LT、HTに対してパ
ッケージの外形寸法り、Hは、 Ll−L +2(LP+Lw十Lc) −L −r + 3 m rn H−HT十Hw+Hc −H−r +1 、 5 m m となる。
部寸法を LP−Lw−Lc−0,5mm Hw = 1 、0 m m Hc = 0 、 5 m rn とすると、表面弾性波素子の寸法LT、HTに対してパ
ッケージの外形寸法り、Hは、 Ll−L +2(LP+Lw十Lc) −L −r + 3 m rn H−HT十Hw+Hc −H−r +1 、 5 m m となる。
従って、表面弾性波素子が、800〜900MHz帯の
SAWフィルタの一般的な寸法の−っである縦1mmX
横2mmX厚Q、5mmを有する場合、パッケージ寸法
は縦4mmX横5mmX厚2mm程度にもなってしまう
。
SAWフィルタの一般的な寸法の−っである縦1mmX
横2mmX厚Q、5mmを有する場合、パッケージ寸法
は縦4mmX横5mmX厚2mm程度にもなってしまう
。
また、ワイヤボンディングはさらに高価格化の問題を引
き起こしている。これは、ワイヤボンディングに要する
製造装置にボンディングの位置決めのため高精度が要求
され、この結果、高価な製造装置となってしまうためで
ある。また、多電極方式SAWフィルタにおいては、ボ
ンディングの点数が多くなり、ボンディングに係るワイ
ヤが金等から形成される高価な部材であるためさらに高
価格化が著しい。
き起こしている。これは、ワイヤボンディングに要する
製造装置にボンディングの位置決めのため高精度が要求
され、この結果、高価な製造装置となってしまうためで
ある。また、多電極方式SAWフィルタにおいては、ボ
ンディングの点数が多くなり、ボンディングに係るワイ
ヤが金等から形成される高価な部材であるためさらに高
価格化が著しい。
本発明は、この様な問題点を解決することを課題として
なされたものであり、ワイヤボンディングによらずとも
表面弾性波素子の電極から電極を引き出すことが可能で
あり、小型かつ安価な表面弾性波装置を提供することを
目的とする。
なされたものであり、ワイヤボンディングによらずとも
表面弾性波素子の電極から電極を引き出すことが可能で
あり、小型かつ安価な表面弾性波装置を提供することを
目的とする。
[課題を解決するための手段]
このような目的を達成するために、本発明は、表面実装
用パッケージの表面に、入力電極に対向配置され電気的
に接続される入力パッド、出力電極に対向配置され電気
的に接続される出力パッド及び接地電極に対向配置され
電気的に接続されるアースパッドの各パッドが形成され
ることを特徴とする。
用パッケージの表面に、入力電極に対向配置され電気的
に接続される入力パッド、出力電極に対向配置され電気
的に接続される出力パッド及び接地電極に対向配置され
電気的に接続されるアースパッドの各パッドが形成され
ることを特徴とする。
本発明の請求項(2)は、表面弾性波素子の電極と表面
実装用パッケージのパッドがフェースダウンボンディン
グにより金属を含むバンプで接続されることを特徴とす
る。
実装用パッケージのパッドがフェースダウンボンディン
グにより金属を含むバンプで接続されることを特徴とす
る。
本発明の請求項(3)は、バンプが金を含むことを特徴
とする。
とする。
本発明の請求項(4)は、表面実装用パッケージのパッ
ド形成面のうち、入力パッド及び出力パッドの形成部分
から所定間隔を隔てた部分を覆うようアースパッドが形
成されることを特徴とする特本発明の請求項(5)は、
入力パッド及び/又は出力パッドとアースパッドとの間
隔部分を橋絡するよう形成され、入力パッド及び/又は
出力パッドとアースパッドとを高抵抗で電気的に接続す
る高抵抗パターンを備えることを特徴とする。
ド形成面のうち、入力パッド及び出力パッドの形成部分
から所定間隔を隔てた部分を覆うようアースパッドが形
成されることを特徴とする特本発明の請求項(5)は、
入力パッド及び/又は出力パッドとアースパッドとの間
隔部分を橋絡するよう形成され、入力パッド及び/又は
出力パッドとアースパッドとを高抵抗で電気的に接続す
る高抵抗パターンを備えることを特徴とする。
本発明の請求項(6)は、高抵抗パターンの導電率が表
面実装用パッケージのパッドの導電率より小さいことを
特徴とする。
面実装用パッケージのパッドの導電率より小さいことを
特徴とする。
本発明の請求項(7)は、入力パッド及び/又は出力パ
ッドとアースパッドとを所定のインダクタンス又はキャ
パシタンスで接続するリアクタンスパターンを備えるこ
とを特徴とする。
ッドとアースパッドとを所定のインダクタンス又はキャ
パシタンスで接続するリアクタンスパターンを備えるこ
とを特徴とする。
そして、本発明の請求項(8)は、表面実装用パッケー
ジが、パッド形成面を有する第1の部分と、表面弾性波
素子をパッド方向に押圧する第2の部分と、を有するこ
とを特徴とする。
ジが、パッド形成面を有する第1の部分と、表面弾性波
素子をパッド方向に押圧する第2の部分と、を有するこ
とを特徴とする。
[作用]
本発明においては、表面弾性波素子の各電極と表面実装
用パッケージの各パッドがそれぞれ対向配置し電気的に
接続される。このため、ワイヤボンディングによらず、
表面弾性波素子からの引出しが行われ、小型・安価な表
面弾性波装置となる。
用パッケージの各パッドがそれぞれ対向配置し電気的に
接続される。このため、ワイヤボンディングによらず、
表面弾性波素子からの引出しが行われ、小型・安価な表
面弾性波装置となる。
請求項(2)においては、表面弾性波素子の各電極と表
面実装用パッケージの各パッドの接続が、フェースダウ
ンボンディングにより行われる。すなわち、第11図に
示した方法と同様の方法により、この接続が行われる。
面実装用パッケージの各パッドの接続が、フェースダウ
ンボンディングにより行われる。すなわち、第11図に
示した方法と同様の方法により、この接続が行われる。
このとき用いられるバンプは金属を含む。従って、従来
他の技術分野で行われていた方法の転用で、容易に製造
可能となる。
他の技術分野で行われていた方法の転用で、容易に製造
可能となる。
請求項(3)においては、表面実装用バンプが金を含み
、フェースダウンボンディングの際に熱膨張係数の差に
より発生する応力が緩和され、製品の接続品質が向上す
る。
、フェースダウンボンディングの際に熱膨張係数の差に
より発生する応力が緩和され、製品の接続品質が向上す
る。
請求項(4)においては、表面実装用パッケージのパッ
ド形成面のうち、入力パッド、出力パッド及びその周囲
を除きアースパッドにより覆われるため、電極とパッド
の接続に係る位置決めのうち接地電極に関する位置決め
がほぼ不要となり、位置決め精度が低くて済む。従って
、製造装置が安価となる。
ド形成面のうち、入力パッド、出力パッド及びその周囲
を除きアースパッドにより覆われるため、電極とパッド
の接続に係る位置決めのうち接地電極に関する位置決め
がほぼ不要となり、位置決め精度が低くて済む。従って
、製造装置が安価となる。
請求項(5)においては、入力パッドとアースパッド、
あるいは出力パッドとアースパッドが、高抵抗パターン
により高抵抗で接続される。これにより、電極に温度変
化等により発生する電圧が放電され、電極の放電破壊が
防止される。
あるいは出力パッドとアースパッドが、高抵抗パターン
により高抵抗で接続される。これにより、電極に温度変
化等により発生する電圧が放電され、電極の放電破壊が
防止される。
請求項(6)においては、高抵抗パターンの導電率がパ
ッドの導電率より小さく設定される。これにより、高抵
抗パターンの面積が小さくなる。
ッドの導電率より小さく設定される。これにより、高抵
抗パターンの面積が小さくなる。
請求項(7)においては、入力パッドとアースパッド、
あるいは出力パッドとアースパッドが、リアクタンスパ
ターンにより所定のインダクタンス又はキャパシタンス
で接続される。これにより、入力側あるいは出力側のイ
ンピーダンスを、表面弾性波装置内部でマツチングさせ
られる。
あるいは出力パッドとアースパッドが、リアクタンスパ
ターンにより所定のインダクタンス又はキャパシタンス
で接続される。これにより、入力側あるいは出力側のイ
ンピーダンスを、表面弾性波装置内部でマツチングさせ
られる。
そして、請求項(8)においては、表面実装用パッケー
ジの第2の部分により表面弾性波素子がパッド方向に押
圧される。これにより、表面弾性波素子の電極と表面実
装用パッケージのパッドとの接続がより確実となる。
ジの第2の部分により表面弾性波素子がパッド方向に押
圧される。これにより、表面弾性波素子の電極と表面実
装用パッケージのパッドとの接続がより確実となる。
[実施例]
以下、本発明の好適な実施例について図面に基づき説明
する。なお、第8図乃至第11図に示される従来例と同
様の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。
する。なお、第8図乃至第11図に示される従来例と同
様の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。
第1図には、本発明の第1実施例に係る表面弾性波装置
の構成が示されている。
の構成が示されている。
この図に示される表面弾性波装置は、表面弾性波素子4
6がセラミックのベース48及びカバー22から構成さ
れるパッケージに収納された構成であり、表面実装タイ
プの構成である。
6がセラミックのベース48及びカバー22から構成さ
れるパッケージに収納された構成であり、表面実装タイ
プの構成である。
この実施例の特徴とするところは、ベース48表面に、
表面弾性波素子46の電極に対応する位置となるようパ
ッドを設けたことである。
表面弾性波素子46の電極に対応する位置となるようパ
ッドを設けたことである。
第2図には、この特徴、すなわちベース48表面におけ
るパッドの配置パターンが示されている。
るパッドの配置パターンが示されている。
この図においては、ベース48を第1図の上方から見た
形状が示されており、表面弾性波素子46が載置される
位置が破線で示されている。
形状が示されており、表面弾性波素子46が載置される
位置が破線で示されている。
ベース48は、第1図に示されているように表面弾性波
素子46を収納するための四部を有している。この四部
には、第2図に示されるように、入力パッド50、出力
パッド52及びアースツク・ラド54が被着形成されて
いる。これらのツク・ラド50.52及び54は、所定
の導電率を有する導体から形成されている。また、入カ
バ・ラド50とアースバッド54、出力パッド52とア
ースツク・ラド54の間には、導体が被覆せずパ・ラド
間を絶縁区画するギ、ヤップ56が設けられている。
素子46を収納するための四部を有している。この四部
には、第2図に示されるように、入力パッド50、出力
パッド52及びアースツク・ラド54が被着形成されて
いる。これらのツク・ラド50.52及び54は、所定
の導電率を有する導体から形成されている。また、入カ
バ・ラド50とアースバッド54、出力パッド52とア
ースツク・ラド54の間には、導体が被覆せずパ・ラド
間を絶縁区画するギ、ヤップ56が設けられている。
パッド50.52及び54の表面には、表面弾性波素子
46の電極と対向する位置に金バ・ラド58が載置され
る。この金パツド58の上方から図中破線で示されるよ
うに表面弾性波素子46を載置し、押圧・加熱等の手段
により表面弾性波素子46の電極と金パツド58を接続
することにより、本実施例に係る表面弾性波装置が構成
される。
46の電極と対向する位置に金バ・ラド58が載置され
る。この金パツド58の上方から図中破線で示されるよ
うに表面弾性波素子46を載置し、押圧・加熱等の手段
により表面弾性波素子46の電極と金パツド58を接続
することにより、本実施例に係る表面弾性波装置が構成
される。
この実施例において、表面弾性波装置の外観寸法を横L
×厚Hとし、表面弾性波素子46のn
n 寸法を横LX厚Hμする。すると、表面弾性を 波装置の横寸法L は、ベース48の側壁の厚し。1ベ
ース48の側壁と表面弾性波素子46との間隔L をど
れだけ見込むかにより決定される。
×厚Hとし、表面弾性波素子46のn
n 寸法を横LX厚Hμする。すると、表面弾性を 波装置の横寸法L は、ベース48の側壁の厚し。1ベ
ース48の側壁と表面弾性波素子46との間隔L をど
れだけ見込むかにより決定される。
すなわち、
L −L +2(L 十L )nt
cg また、表面弾性波装置の厚Hnは、ベース48の底部の
厚H1金バンプ58の表面弾性波素子46固定時の高さ
H5、表面弾性波素子46とカバー22の間隔Hにより
決定される。すなわち、Ho−H,+Hc+Hb+Hg これらの式に、例えば L ”−0,5mm L −10、1mm H=0. 5mm Hb−0゜1mm H−0,2mm を代入すると、 Lo−Lt+1.2mm H−H+0.8mm nt となる。なお、ここで用いた数値のうち、LclHは第
2の従来例と同一の数値であり、他のしg% HbSH
gは従来のフェースダウンボンディングの経験などから
設定した数値である。
cg また、表面弾性波装置の厚Hnは、ベース48の底部の
厚H1金バンプ58の表面弾性波素子46固定時の高さ
H5、表面弾性波素子46とカバー22の間隔Hにより
決定される。すなわち、Ho−H,+Hc+Hb+Hg これらの式に、例えば L ”−0,5mm L −10、1mm H=0. 5mm Hb−0゜1mm H−0,2mm を代入すると、 Lo−Lt+1.2mm H−H+0.8mm nt となる。なお、ここで用いた数値のうち、LclHは第
2の従来例と同一の数値であり、他のしg% HbSH
gは従来のフェースダウンボンディングの経験などから
設定した数値である。
従って、先に計算した第2従来例の場合に比べ、L て
1.8mm5Hで0.7mm小さくなる。
1.8mm5Hで0.7mm小さくなる。
n nこのように
、本実施例においては、表面弾性波素子46の電極とベ
ース48のバッド50,52及び54とを対向配置させ
るようにしたため、ワイヤボンディングの廃止によりワ
イヤの引き回し等による空間が排除され、従来より小型
となる。
、本実施例においては、表面弾性波素子46の電極とベ
ース48のバッド50,52及び54とを対向配置させ
るようにしたため、ワイヤボンディングの廃止によりワ
イヤの引き回し等による空間が排除され、従来より小型
となる。
特に、多電極方式SAWフィルタの場合には、高価な金
ワイヤを多数用いる必要がなくなり、安価となる。
ワイヤを多数用いる必要がなくなり、安価となる。
また、フェースダウンボンディングにより接続するよう
にしたため、他の分野で用いられている技術の一部転用
が可能である。
にしたため、他の分野で用いられている技術の一部転用
が可能である。
さらに、金バンプ58を用いるようにしたため、熱膨張
係数の相違による応力、すなわち急激な温度変化に伴っ
て発生し接触劣化の要因となる応力が、低減される。
係数の相違による応力、すなわち急激な温度変化に伴っ
て発生し接触劣化の要因となる応力が、低減される。
また、アースバッド54により入力パッド50及び出力
バッド52近傍を除いてベース48の底部を被覆するよ
うにしたため、位置合わせか必要な電極は入力及び出力
電極のみとなり、多電極方式SAWフィルタの場合にも
、位置合わせの精度が従来より低くて足りることになる
。さらに、ベース48の側壁と表面弾性波素子46との
間隔L2を調整することにより、ベース側壁をガイドと
して利用して位置合せが可能であるため、機械に依存す
ること無く人手によっても位置合わせが可能となる。従
って、位置合わせに係る製造コストが低減し、安価な表
面弾性波装置となる。
バッド52近傍を除いてベース48の底部を被覆するよ
うにしたため、位置合わせか必要な電極は入力及び出力
電極のみとなり、多電極方式SAWフィルタの場合にも
、位置合わせの精度が従来より低くて足りることになる
。さらに、ベース48の側壁と表面弾性波素子46との
間隔L2を調整することにより、ベース側壁をガイドと
して利用して位置合せが可能であるため、機械に依存す
ること無く人手によっても位置合わせが可能となる。従
って、位置合わせに係る製造コストが低減し、安価な表
面弾性波装置となる。
第3図には、本発明の第2実施例に係る表面弾性波装置
の構成が示されている。
の構成が示されている。
この実施例においては、カバー60が凹部を有し、ベー
ス62が平板状である。この実施例においても、第1実
施例と同様の効果を得ることができる。
ス62が平板状である。この実施例においても、第1実
施例と同様の効果を得ることができる。
第4図には、本発明の第3実施例に係る表面弾性波装置
の構成が示されている。
の構成が示されている。
この実施例においては、入力パッド50とア−スパッド
54、出力パッド52とアースパッド54を橋絡するよ
う、高抵抗パターン64が被着形成されている。
54、出力パッド52とアースパッド54を橋絡するよ
う、高抵抗パターン64が被着形成されている。
この高抵抗パターン64は、パッド50.52及び54
を形成する導体材料(導体ペースト)より低い導電率の
材料から形成されている。
を形成する導体材料(導体ペースト)より低い導電率の
材料から形成されている。
この実施例においては、電極の放電破壊が防止される。
一般に、表面弾性波装置の電極は、複数の電極指が所定
位置に、例えば指交差状に配置された構成を有している
。本実施例においては、高抵抗パターン64によりパッ
ド間が高抵抗で短絡されているため、表面弾性波装置の
特性を劣化させること無く、温度変化等により電極指間
に発生する電圧を放電させることが可能である。さらに
、従来においては放電破壊防止のための抵抗を外部回路
として用いることが一般的であったが、本実施例ではか
かる抵抗は必要がなく、回路実装前における放電破壊も
防止される。
位置に、例えば指交差状に配置された構成を有している
。本実施例においては、高抵抗パターン64によりパッ
ド間が高抵抗で短絡されているため、表面弾性波装置の
特性を劣化させること無く、温度変化等により電極指間
に発生する電圧を放電させることが可能である。さらに
、従来においては放電破壊防止のための抵抗を外部回路
として用いることが一般的であったが、本実施例ではか
かる抵抗は必要がなく、回路実装前における放電破壊も
防止される。
また、高抵抗パターン64がパッド50.52及び54
より低い導電率の材料から形成されているため、比較的
小面積で高抵抗を実現できる。
より低い導電率の材料から形成されているため、比較的
小面積で高抵抗を実現できる。
第5図には、本発明の第4実施例に係る表面弾性波装置
の構成が示されている。
の構成が示されている。
この実施例においては、入力パッド50とアースパッド
54、出力パッド52とアースパッド54が、インダク
タンスパターン66て接続されている。
54、出力パッド52とアースパッド54が、インダク
タンスパターン66て接続されている。
このインダクタンスパターン66は、入力インピーダン
ス又は出力インピーダンスを外部回路とマツチングさせ
る値のインダクタンスを有するように、ベース48の表
面に被着形成されたパターンである。
ス又は出力インピーダンスを外部回路とマツチングさせ
る値のインダクタンスを有するように、ベース48の表
面に被着形成されたパターンである。
従って、この実施例においては、外部に特別の素子を用
いることなく、マツチングをとることが可能となる。
いることなく、マツチングをとることが可能となる。
第6図には、本発明の第5実施例に係る表面弾性波装置
の構成が示されている。
の構成が示されている。
この実施例においては、出力パッド52とアースパッド
54の間にキャパシタンスパターン68が設けられてい
る。このキャパシタンスパターン68は、指交差状の形
状を有しており、所定のキャパシタンスを有するように
ベース48の表面に被着形成されている。
54の間にキャパシタンスパターン68が設けられてい
る。このキャパシタンスパターン68は、指交差状の形
状を有しており、所定のキャパシタンスを有するように
ベース48の表面に被着形成されている。
従って、この実施例においては、第4実施例と同様のイ
ンダクタンスパターン66と共にキャパシタンスパター
ン68を用いてマツチングをとることが可能となる。
ンダクタンスパターン66と共にキャパシタンスパター
ン68を用いてマツチングをとることが可能となる。
第7図には、本発明の第6実施例に係る表面弾性波装置
の構成が示されている。
の構成が示されている。
この実施例においては、カバー70の下面に表面弾性波
素子46を下方向に押止する凸部が設けられている。従
って、この実施例によれば、金バンプ58を介する電極
とパッドとの接続がより確実となる。
素子46を下方向に押止する凸部が設けられている。従
って、この実施例によれば、金バンプ58を介する電極
とパッドとの接続がより確実となる。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明によれば、表面弾性波素子
の各電極と表面実装用パッケージの各パッドの対向配置
、接続により、ワイヤボンディングが廃止され、小型・
安価な表面弾性波装置を得ることができる。
の各電極と表面実装用パッケージの各パッドの対向配置
、接続により、ワイヤボンディングが廃止され、小型・
安価な表面弾性波装置を得ることができる。
さらに、請求項(2)によれば、表面弾性波素子の各電
極と表面実装用パッケージの各パッドの接続をフェース
ダウンボンディングにより行うこととしたため、従来能
の技術分野で行われていた方法の転用で、容易に製造可
能となる。
極と表面実装用パッケージの各パッドの接続をフェース
ダウンボンディングにより行うこととしたため、従来能
の技術分野で行われていた方法の転用で、容易に製造可
能となる。
加えて、請求項(3)によれば、バンプが金を含むため
、熱膨張係数の差により発生する応力が緩和され、製品
の接続品質が向上する。
、熱膨張係数の差により発生する応力が緩和され、製品
の接続品質が向上する。
また、請求項(4)によれば、アースパッドの配置によ
り、位置決め精度が低くて済み、製造装置が安価となる
。
り、位置決め精度が低くて済み、製造装置が安価となる
。
請求項(5)によれば、パッド間を高抵抗で接続する高
抵抗パターンを設けたため、電極間に温度変化等により
発生する電圧が放電され、電極の放電破壊が防止される
。
抵抗パターンを設けたため、電極間に温度変化等により
発生する電圧が放電され、電極の放電破壊が防止される
。
請求項(6)によれば、高抵抗パターンの導電率をパッ
ドの導電率より小さく設定することにより、高抵抗パタ
ーンの面積が小さくなり、表面弾性波装置の寸法を小型
に保つことができる。
ドの導電率より小さく設定することにより、高抵抗パタ
ーンの面積が小さくなり、表面弾性波装置の寸法を小型
に保つことができる。
請求項(7)によれば、パッド間が所定のインダクタン
ス又はキャパシタンスを有するリアクタンスパターンに
より接続されるため、入力側あるいは出力側のインピー
ダンスを、表面弾性波装置内部でマツチングさせられる
。
ス又はキャパシタンスを有するリアクタンスパターンに
より接続されるため、入力側あるいは出力側のインピー
ダンスを、表面弾性波装置内部でマツチングさせられる
。
そして、請求項(8)によれば、パッケージの第2の部
分により表面弾性波素子がパッド方向に押圧され、表面
弾性波素子の電極とパッケージのパッドとの接続がより
確実となる。
分により表面弾性波素子がパッド方向に押圧され、表面
弾性波素子の電極とパッケージのパッドとの接続がより
確実となる。
第1図は、本発明の第1実施例に係る表面弾性波装置の
構成を示す断面図、 第2図は、この実施例におけるパッドの配置を示す平面
図、 第3図は、本発明の第2実施例に係る表面弾性波装置の
構成を示す断面図、 第4図は、本発明の第3実施例に係る表面弾性波装置の
構成を示す平面図、 第5図は、本発明の第4実施例に係る表面弾性波装置の
構成を示す平面図、 第6図は、本発明の第5実施例に係る表面弾性波装置の
構成を示す平面図、 第7図は、本発明の第6実施例に係る表面弾性波装置の
構成を示す断面図、 第8図は、従来における表面弾性波装置の一例構成を示
す断面図、 第9図は、従来における表面弾性波装置の第2の一例構
成を示す断面図、 第10図は、従来における表面弾性波装置の第3の一例
構成を示す平面図、 第11図は、フェースダウンボンディングの一例を示す
断面図である。 表面弾性波素子 ベース 入力パッド 出力パッド アースパッド 金バンプ 高抵抗パターン インダクタンスパターン 68 ・・・ キャパシタンスパターン70 ・・・
カバー
構成を示す断面図、 第2図は、この実施例におけるパッドの配置を示す平面
図、 第3図は、本発明の第2実施例に係る表面弾性波装置の
構成を示す断面図、 第4図は、本発明の第3実施例に係る表面弾性波装置の
構成を示す平面図、 第5図は、本発明の第4実施例に係る表面弾性波装置の
構成を示す平面図、 第6図は、本発明の第5実施例に係る表面弾性波装置の
構成を示す平面図、 第7図は、本発明の第6実施例に係る表面弾性波装置の
構成を示す断面図、 第8図は、従来における表面弾性波装置の一例構成を示
す断面図、 第9図は、従来における表面弾性波装置の第2の一例構
成を示す断面図、 第10図は、従来における表面弾性波装置の第3の一例
構成を示す平面図、 第11図は、フェースダウンボンディングの一例を示す
断面図である。 表面弾性波素子 ベース 入力パッド 出力パッド アースパッド 金バンプ 高抵抗パターン インダクタンスパターン 68 ・・・ キャパシタンスパターン70 ・・・
カバー
Claims (8)
- (1)入力電極、出力電極及び接地電極の各電極が片面
に形成された表面弾性波素子と、 入力電極に対向配置され電気的に接続される入力パッド
、出力電極に対向配置され電気的に接続される出力パッ
ド及び接地電極に対向配置され電気的に接続されるアー
スパッドの各パッドが表面に形成され表面弾性波素子単
体を収納する表面実装用パッケージと、 を備えることを特徴とする表面弾性波装置。 - (2)請求項(1)記載の表面弾性波装置において、 表面弾性波素子の電極と表面実装用パッケージのパッド
がフェースダウンボンディングにより金属を含むバンプ
で接続されることを特徴とする表面弾性波装置。 - (3)請求項(2)記載の表面弾性波装置において、 バンプが金を含むことを特徴とする表面弾性波装置。
- (4)請求項(1)記載の表面弾性波装置において、 表面実装用パッケージのパッド形成面のうち、入力パッ
ド及び出力パッドの形成部分から所定間隔を隔てた部分
を覆うようアースパッドが形成されることを特徴とする
表面弾性波装置。 - (5)請求項(1)記載の表面弾性波装置において、 入力パッド及び/又は出力パッドとアースパッドとの間
隔部分を橋絡するよう形成され、入力パッド及び/又は
出力パッドとアースパッドとを高抵抗で電気的に接続す
る高抵抗パターンを備えることを特徴とする表面弾性波
装置。 - (6)請求項(5)記載の表面弾性波装置において、 高抵抗パターンの導電率が表面実装用パッケージのパッ
ドの導電率より小さいことを特徴とする表面弾性波装置
。 - (7)請求項(1)記載の表面弾性波装置において、 入力パッド及び/又は出力パッドとアースパッドとを所
定のインダクタンス又はキャパシタンスで接続するリア
クタンスパターンを備えることを特徴とする表面弾性波
装置。 - (8)請求項(1)記載の表面弾性波装置において、 表面実装用パッケージが、パッド形成面を有する第1の
部分と、表面弾性波素子をパッド方向に押圧する第2の
部分と、を有することを特徴とする表面弾性波装置。
Priority Applications (9)
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JP2175015A JP2673993B2 (ja) | 1990-07-02 | 1990-07-02 | 表面弾性波装置 |
AU79360/91A AU644183B2 (en) | 1990-07-02 | 1991-06-26 | Surface acoustic wave device and its manufacturing method |
CA002045697A CA2045697C (en) | 1990-07-02 | 1991-06-26 | Surface acoustic wave device and its manufacturing method |
US07/721,823 US5252882A (en) | 1990-07-02 | 1991-06-27 | Surface acoustic wave device and its manufacturing method |
EP91110878A EP0472856B1 (en) | 1990-07-02 | 1991-07-01 | Surface acoustic wave device and its manufacturing method |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0465909A true JPH0465909A (ja) | 1992-03-02 |
JP2673993B2 JP2673993B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=15988727
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2175015A Expired - Lifetime JP2673993B2 (ja) | 1990-07-02 | 1990-07-02 | 表面弾性波装置 |
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Country | Link |
---|---|
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EP (1) | EP0472856B1 (ja) |
JP (1) | JP2673993B2 (ja) |
AU (2) | AU644183B2 (ja) |
CA (1) | CA2045697C (ja) |
DE (1) | DE69128855T2 (ja) |
HK (1) | HK1005074A1 (ja) |
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