JPH028026B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH028026B2
JPH028026B2 JP57093927A JP9392782A JPH028026B2 JP H028026 B2 JPH028026 B2 JP H028026B2 JP 57093927 A JP57093927 A JP 57093927A JP 9392782 A JP9392782 A JP 9392782A JP H028026 B2 JPH028026 B2 JP H028026B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bath
gold
plating
fabric
electroless
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP57093927A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS581065A (ja
Inventor
Fuashii Erushazurii Mohametsudo
Dereku Beikaa Kenesu
Rimuido Ibonnu
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Occidental Chemical Corp
Original Assignee
Occidental Chemical Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Occidental Chemical Corp filed Critical Occidental Chemical Corp
Publication of JPS581065A publication Critical patent/JPS581065A/ja
Publication of JPH028026B2 publication Critical patent/JPH028026B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31Coating with metals
    • C23C18/42Coating with noble metals

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は金属や真空蒸着済みのセラミツクな
どの各種の生地上に金を析出せしめるための改良
された無電解めつき浴に関する。
無電解めつきは外部から電流を流すことなく生
地の表面にめつき膜を作らせる方法である。無電
解めつきの定義は精確なものではない。多くの場
合、自己触媒型の還元析出及び置換析出の両方が
無電解めつきといわれている。無電解金属めつき
は電解めつき技術の適用が困難か又は不可能であ
るような、用心深く、かつ隔離された部分を有す
るような部品のめつき能力に優れている。
一つの金属が溶液から他の金属を置き換える場
合に置換析出が起こる。この置換は反応条件下に
ある金属類の電位又は還元電位によつて制御せら
れる。一般に陰性の電位を有する金属(活性金
属)は陰性電位のより小さい、すなわちより陽性
の金属よりも溶液へのイオン化傾向が大きい。こ
の工程は金属の裸表面が完全に被覆されてしまう
と終熄するが、ある場合にはこの皮膜の厚さは分
子的な析出工程を想定した場合よりも厚くなつて
いる。この現象は金属の表面における置換反応の
機構が均質的な性格でないと考えれば説明がつ
く。もし金属表面が、より活性の強い部分と、よ
り活性の弱い部分(より貴の部分)とから成つて
いるとすれば、より強い活性点は陽極となり、弱
い活性点は陰極になる。そこで置換析出は、腐食
反応と全く同様に陰極的半−反応陽極的半−反応
とから成る混合電位反応を伴うガルバニ置換反応
といえる。反応中はいかなる瞬間でも陰極点と陽
極点は顕微鏡的な尺度で生地表面上に交互に分布
せられているべきである。従つて金は陰極点に析
出するのに対して、陽極点では生地金属の酸化が
起こる。一般にどのような金属めつき系でも、原
子と表面との相互反応が強いと高い核密度を生
じ、相互反応が弱いと広くスペースをとつた核を
生ずる。ガルバニ置換によつて得られる皮膜は通
常、多孔質である。
近年になつて、無電解金めつきに関するかなり
重要な文献が散見されるようになつた。無電解金
めつき及びこれに伴う諸問題に関して特に興味が
もてる米国特許は、米国特許第3589916号(Mc
Cormack);同第3697296号(Bellis);同第
3700469号(Okinaka);同第3917885号
(Bakrer)ならびにこれらの引用の特許である。
関連する文献には、Rich、D.W.によるProc.
American Electroplating Society、58
(1971);Y.OkinakaによるPlating57、914頁
(1970);及びY.Okinaka及びC.Wolowodinkらに
よるPlating58、1080(1971)などがある。これら
の文献の主体が、無電解めつき浴において金又は
関連の金属源としてシアン化アルカリ金属を開示
し、還元剤としてアルカリ金属ボロヒドライド及
びアミンボランを開示している点に関する限りこ
の発明に関連がある。例えば、Okinakaによる
1970年発表の記事及び米国特許第3700469号には
次の成分を有する無電解めつき浴が記載されてい
る: (1) 可溶性のアルカリ金属金錯塩; (2) シアン化カリウムのような遊離シアン化物の
過剰量; (3) 水酸化カリウムのようなアルカリ剤;及び (4) ボロヒドライド又はアミンボラン。
Okinakaらによる1971年発表の論文及びBaker
による米国特許第3917885号ではこれらの特殊な
めつき浴の使用時の問題点、特にシアン化物濃度
を増加した場合に伴う問題点が指摘されている。
他の問題点は浴補給に関する問題と、めつきの程
度が約2.5ミクロンに接近した時に伴う浴の不安
定化の問題である。また好ましくない金の沈殿を
回避しなければならないという問題点もあつた。
米国特許第3917885号では、ある種の特殊なイ
ミド類から造つたアルカリ金属イミド錯体を金ま
たはその関連金属源として用いることによつて前
記の問題点が克服された。無電解金めつきのPHを
好ましい範囲である約11ないし14に維持するため
には、前記のBakerによる特許ではクエン酸塩等
のようなアルカリ金属塩緩衝剤の添加が好ましい
ことが暗示せられている。
また従来の置換金めつきに関する技術は浴のPH
に関して次の二つのカテゴリーに分けることがで
きる: A 中性又はアルカリ性浴(PH7−13) 最も普遍的な浴であつて、アルカリ金属の炭
酸塩もしくは水酸化物ならびにクエン酸塩もし
くはEDTAのようなキレート剤の存在下でK
〔Au(CN)2〕又は塩化金としての金塩を含有し
ている。
B 酸性浴(PH6又はそれ以下) 酸性媒体における金の置換めつきを扱つた特
許の数は少ない。PH3.0〜6.0における最初の酸
性置換金めつきは1950年の後半に開発された。
Mc Nallyの米国特許第2836515号は塩化金、
クエン酸塩及び遊離のHCl(PH0.3−1.0)の混合
物を用いて銀めつきした銅箔を金めつきする方
法に関する。Edsonの米国特許第3214292号は
酸性浴を研究した結果、PH2.5−3.0において硫
酸を用いてゲルマニウムダイオード上に20ミク
ロインチ(0.5ミクロン)金皮膜を得たもので
ある。C.A.Leviの米国特許第2995473号ではPH
3.0以下で弗化水素酸を用いた同様の酸性金め
つき溶液を使用している。クエン酸塩を用いる
酸性の金置換めつき浴は20分間で7ミクロイン
チないし8ミクロインチ(0.1ミクロンないし
0.2ミクロン)厚の皮膜を形成し得ることが発
見された。
Oda及びHayashiらの触媒としての塩化コバル
ト及び錯化剤/還元剤としてのチオウレアを含有
する無電解金めつき溶液を開発した。ニツケル上
へのめつき生成速度はPH6−7において5ミクロ
ン/時であつた。しかしこの浴は、金生地上への
金めつきが可能であることがOkinakaによつてつ
きとめられたので、イオン置換による浸せきめつ
きと称するよりも寧ろ自己触媒型無電解めつきで
あると考えられる。
他方、電子産業において最も多く利用されてい
る無電解めつきは耐火金属上への金の直接めつき
法である。Inabaらの米国特許第3993808号によ
ればタングステン及びモリブデン上への金の直接
めつき法が研究開発された。この浴はアルカリ媒
質(PH8−12)中で、NiCl2及びZnCl2のような
金属塩ならびに錯化剤としてのEDTAの存在下
でシアン化金カリウム、四塩化金酸カリウムを使
用する。R.Turebloodは米国特許第3862850号に
おいて、耐火金属上へ2ミクロンないし3ミクロ
ン厚の無電解金めつきを施す方法を開示してい
る。この方法では緩衝状態(PH13.0−13.7)にお
いてシアン化金カリウム及び有機キレート剤を用
いる。
この発明の目的は、従来公知の浴の欠点を克服
しうる無電解金めつき浴の提供にある。
他の目的は各種の金属生地上へ金を析出させる
ための無電解金めつき浴の提供にある。
この発明のその他の目的は、真空蒸着処理を施
したセラミツク生地上に金を析出せしめうるよう
な無電解金めつき浴の提供にある。
この発明のさらにその他の目的は、優れた安定
性を維持しながら著しく改善せられた膜厚と優れ
た厚さで生地上に金を析出せしめうるような無電
解金めつき浴の提供にある。
この発明によれば、3価の金錯塩を、浴のPHが
約0.1ないし6.0、好ましくは約0.2ないし4.0の範
囲に維持しうる量での有機カルボン酸及び/又は
鉱酸と共に使用すると改良された無電解めつき浴
と金めつき法とが達成できることが分つた。
この発明の他の提案は、コバルト、ニツケル又
は鉄のような金属触媒成分を浴へ添加することで
ある。
一般に、浴温は約20℃ないし浴の沸点以下、好
ましくは約50℃ないし85℃の範囲以内である。
この方法により生成する金皮膜の典型的な厚さ
は約0.5ミクロンないし12ミクロンの範囲である。
この無電解浴は、浴の調製に用いたと同じ3価
の金錯塩か又は他の種類の3価の金錯塩物を添加
することにより容易に補給が達成できる。これら
の錯化物は浴の中で形成させてもよい。
この発明によるめつき浴のユニークな特性によ
れば、浸せき法を用いて各種の生地上に金めつき
を行なうことが可能である。例えば各種の金属の
みならず、真空蒸着を施したセラミツクもまため
つきできる。セラミツクの場合には被覆に先立つ
て予備洗浄を行なうのが好ましく、約PH0.2ない
しPH3の浴を用いるのがよい。
また前記したように、この発明による無電解め
つき浴は、10ppmのような小量でも自己触媒型め
つき又は無電解めつきの安定性を阻害する傾向が
あるニツケルや他の金属類上へも直接に金を析出
せしめることが可能である。ある種の金属生地は
少なくとも100℃に加熱して予備処理するのが好
ましい。
また金属生地か又は真空蒸着したセラミツクの
いずれかをめつきする場合に浴成分の一つとして
金属触媒を用いると有利な場合があることも分つ
た。かかる金属触媒はこの発明によるめつき浴の
好ましい操業に対して必須のものであるとは考え
られない。
前記したように、この発明の本質的に重要な特
徴は各種の生地上に金を析出させるための極めて
効果的な置換/無電解めつき浴の調製にある。こ
の処方には3価の金の錯塩、浴のPHを約0.1ない
し6.0、好ましくは0.2ないし4.0に維持するのに十
分な量の有機酸及び/又は鉱酸が包含せられてい
る。
3価の金錯塩は浴に可溶性の金()錯化物で
あればいずれでもよく、この金と共存する他のイ
オンがそのめつき浴又はそのめつき操作のいずれ
に対しても逆効果を及ぼさないようなものであれ
ばよい。このような錯塩の例を挙げると、シアノ
金酸アルカリ金属塩及びアルカリ金属の金イミド
類である。この錯塩はそのまま加えるか浴中で形
成させてもよい。
浴中での錯塩の形成に際しては、浴可溶性の3
価の金化合物のいずれもが使用可能であり、金酸
アルカリ金属塩、水酸化金酸アルカリ金属塩、金
()ハロゲン化物及びその他がその例である。
これらの化合物は所望の量の金が浴中に提供され
るのに十分な量で浴中に添加する。シアン化アル
カリ金属又はイミドのような錯化剤は浴中で所望
の金()錯塩が形成されるのに十分な量で添加
する。
錯塩として添加するか又は浴中で錯塩を形成さ
せるかのいずれにしても、3価の金錯塩を形成さ
せるのに使用するイミド類は次の一般式、すなわ
ち: 〔ここでRはアルキレン、置換アルキレン、アリ
レン及び置換アリレンから成る部類から選択せら
れた基を示す〕 を有する。
一般式(1)のイミドの場合、Rはスルホニル−O
−フエニレン(−SO2−C6H4−)のような置換
アリレン基であるのが好ましく、形成されたその
イミドはスルホ−安息香酸イミド(すなわちサツ
カリン又はO−ベンゾスルフイミド)C6H4
(SO2)(CO)−NHである。一般式(2)のイミドの
場合は、RはC2H4のようなアルキレン基が好ま
しく、形成されるイミドはスクシンイミドである
か又はRがC6H4(O−フエニレン)のようなアリ
レンの場合には形成するイミドはフタルイミドで
ある。
3価の金錯塩は、生地上に金を析出させるのに
効果的な十分な量であつて浴中への錯塩の最大溶
解度以下で浴中に存在せしめる。典型的にはこの
錯塩は、浴中へ約0.25g/ないし20g/、好
ましくは約0.5g/ないし10g/の金が含ま
れるような十分な量において添加する。
ここで用いる“アルカリ金属”なる用語にはナ
トリウム、カリウム、リチウム、ルビジウム及び
セシウムならびにアンモニウムが包含される。多
くの場合でカリウムが好ましいアルカリ金属では
あるが、その他のアルカリ金属を使用しても同じ
結果が得られる。
“有機カルボン酸”なる用語にはモノカルボン
酸、ポリカルボン酸及びアミノカルボン酸が包含
せられる。一般的には、このモノカルボン酸及び
ポリカルボン酸は炭素数1ないし8、カルボキシ
ル基1箇ないし4箇及び水酸基1箇ないし6箇を
有する。使用できる酸の実例には酢酸、クエン
酸、酒石酸、安息香酸、修酸、アスコルビン酸、
イソアスコルビン酸、グルコン酸、グルコヘプト
ン酸、グリコール酸、グルタル酸及びその他が包
含される。
アミノカルボン酸は前記したモノカルボン酸及
びポリカルボン酸と同じであつて、1箇ないし2
箇のアミノ基が含まれている。かかるアミノカル
ボン酸の実例としては、グリシン、アラニン、バ
リン、ロイシン、アスパラギン酸、グルタミン
酸、セリン、リジン、アルギニン、スレオニン、
フエニルアラニン及びその他が挙げられる。
この発明のめつき浴中には、有機酸と共に、ま
たは有機酸の代わりに鉱酸を含みうる。かかる鉱
酸の代表的なものは塩化水素酸、硫酸、りん酸及
ひその他である。
有機酸及び/又は鉱酸は浴のPHを0.1ないし
6.0、好ましくは0.2ないし4.0に維持するのに十分
な量で浴中に存在させる。典型的には、有機酸の
含有量は約50g/で、好ましくは約1g/な
いし40g/であり、無機酸の含有量は約600
g/以下、好ましくは10g/ないし300g/
である。
通常、浴温は約20℃ないし約95℃、好ましくは
約40℃ないし約85℃に維持せられる。生地の浸せ
き時間は生地の種類、所望する膜厚その他の因子
によつて広範囲に変動する。膜厚が0.5ミクロン
ないし12ミクロンの場合、約5分ないし4時間の
浸せき時間が典型的である。
この置換金めつき浴は非触媒型で操作するのが
好ましいが、ある目的においては前記したように
コバルト、ニツケル又は鉄のような金属触媒成分
もまた含有させうる。かかる触媒を使用する場合
には、この金属イオンは、例えば硫酸塩、塩化
物、りん酸塩及びその他のイオン化しうる塩成分
として添加する。
この発明による無電解めつき浴の特に有利な点
の一つは、著しく多様な生地上に優れた金めつき
を生成せしめうることである。3価の金成分を含
有するこのように比較的に単純な系をなす浴が、
なぜそれ程に効果があるのか、その機構について
は未だ完全に解明されていない。
ニツケル以外でも、この発明が有利に適用でき
る生地としてニツケル合金、銅、銅合金、タング
ステン、モリマンガンなどが挙げられる。この発
明の重要な一つの提案は真空蒸着したセラミツク
生地のめつきである。かかる真空蒸着生地の実例
としては、アルミナ、アルミナ−ベリリア及びそ
の他の通常の基体上にスクリーン印刷したモリマ
ンガン、タングステン、無電解ニツケル、銅など
である。
多くの場合、めつきに先立つて生地を予備洗浄
するのが好ましい。例えば真空蒸着したセラミツ
クは熱アルカリ溶液中で5分ないし10分ソーキン
グし、次いで水洗いして脱脂する。次いでこの脱
脂済みの生地を120〓(48℃)の塩化水素酸(20
重量%)溶液中に浸せきし、引き続いて冷水です
すぐ。モリブデンマンガン及びタングステン生地
に対しては、超音波清浄を行なつたほうがよい場
合がときどきある。ある場合には、この金属生地
を一定時間、100℃ないし800℃に単に加熱するこ
とにより予備処理してもよい。しかしながら生地
の予備清浄又は予備処理の正確な方法は決定的な
ものでもなく、又この発明の特徴でもない。
無電解めつき方法もまた被めつき生地の種類及
び所望の結果によつて変わる。通常の場合、一回
の浸せきで十分であるが2段浸せき法も採用でき
る。例えば先ず生地を1時間、置換金めつき浴中
に置き、乾燥し、次いで水素ガス中で3分間ない
し10分間、400℃ないし900℃において焼成する。
部分的にめつきしたこの生地を再び3時間以内、
この浴中に浸せきし、前と同様に焼成して優れた
密着性と所望する厚さのめつき膜をうる。
この発明は次の実施例を参照することにより、
さらに明瞭に理解されよう。
実施例 1 次に記載した諸成分から無電解めつき浴を調製
した:成 分 量g/ 金、シアノ金()カリウムとして 4.0 クエン酸 15.0 塩化水素酸(37%) 100ml/ モリマンガンで真空蒸着し予備清浄したセラミ
ツク生地を65℃で2時間30分、浴に浸せきした。
生じた金めつきの膜の厚さは2ミクロンないし
2.5ミクロンであり、しつかり密着しており、き
裂はみられなかつた。めつき操作を通じて浴の安
定性は良好であつた。
実施例 2 一連の無電解めつき浴を次のようにして調製し
た:成 分 量g/ 金、シアノ金()酸カリウムとして 2.0 クエン酸 20.0 塩化水素酸(37%) 100ml/ 塩化ニツケルをこの浴に加えてニツケルイオン
が0.01g/ないし5.0g/の範囲になるよう
にした。
水素ガス中で約850℃に予備加熱済みの無電解
ニツケル生地を約80℃で、約1時間、これらの浴
中に浸せきした。生じためつきの厚さは約2ミク
ロンであつた。
実施例 3 次の諸成分を用いて他の無電解金めつき浴を調
製した:成 分 量g/ 金、スルホ安息香酸イミド金カリウムとして 4.0 塩化水素酸(37%) 100ml/ 予備清浄により酸化物を除いたタングステン生
地を浴温80℃において約1時間、浴中に浸せきし
た。約2.5ミクロンのめつき膜を生成した。
実施例 4 次の成分からめつき浴を調製した:成 分 量g/ 金、金酸カリウムとして 6 シアン化カリウム* 8 クエン酸 40 *金酸カリウムをシアノ金酸カリウムに変えるた
めに添加 酸化物のない銅生地を、浴温50℃で約1時間、
浴中に浸せきしたところ1.0ミクロンの金めつき
が得られた。
上記の実施例は、この発明による改良無電解め
つき浴が従来公知の無電解めつき浴の欠点を克服
できるだけでなく、各種の生地上に性状及び肉厚
において優れた金めつきを生成させうることを示
している。浴の安定性も優れていた。この発明に
よる無電解めつき浴は広範で、かつ電子産業のよ
うなユニークな分野への応用が可能であり、引つ
かけめつきやレベルめつきにおいて通常使用する
と同じ技術を利用することができる。
前記の実施例は単に説明のためのものであり、
この発明の精神と範囲に反することなく種々に変
更することができるものである。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 生地上に金を析出させるための無電解金めつ
    き浴であつて次の(A)と(B) (A) 生地上に金を析出せしめるのに少なくとも十
    分な量であつて浴への最高溶解度以下の濃度で
    存在する3価金錯塩、 (B)(a) 有機カルボン酸、および (b) 鉱酸 から成る群から選択される少なくとも一種の浴
    成分であつて浴のPHを0.1〜6.0の範囲に調整す
    るのに十分な量で存在する該成分 の2成分を含有する無電解金めつき浴。 2 該浴がさらに、コバルト、ニツケルおよび鉄
    イオンから成る群から選択された金属イオンを、
    触媒としての有効量において含有する特許請求の
    範囲第1項記載の無電解金めつき浴。 3 生地上に金を析出させるための無電解金めつ
    き方法であつて、 (A) 生地上に金を析出せしめるのに少なくとも十
    分な量であつて浴への最高溶解度以下の濃度で
    存在する3価金錯塩、ならびに (B)(a) 有機カルボン酸および (b) 鉱酸 から成る群から選択される少なくとも一種の浴
    成分であつて浴のPHを0.1〜6.0の範囲に調整す
    るのに十分な量で存在する該成分 の2成分を含有する無電解金めつき浴中に該生地
    を十分な時間帯に亙つて浸漬することから成る無
    電解金めつき方法。
JP57093927A 1981-06-02 1982-06-01 無電解金めっき浴および方法 Granted JPS581065A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/269,445 US4374876A (en) 1981-06-02 1981-06-02 Process for the immersion deposition of gold
US269445 1994-06-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS581065A JPS581065A (ja) 1983-01-06
JPH028026B2 true JPH028026B2 (ja) 1990-02-22

Family

ID=23027279

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57093927A Granted JPS581065A (ja) 1981-06-02 1982-06-01 無電解金めっき浴および方法

Country Status (14)

Country Link
US (1) US4374876A (ja)
JP (1) JPS581065A (ja)
AT (1) ATA208782A (ja)
BE (1) BE893396A (ja)
CA (1) CA1177204A (ja)
DE (1) DE3219665C2 (ja)
ES (1) ES512731A0 (ja)
FI (1) FI821914A0 (ja)
FR (1) FR2506787B1 (ja)
GB (1) GB2099460B (ja)
IT (1) IT1148950B (ja)
NL (1) NL8202238A (ja)
PT (1) PT74959B (ja)
SE (1) SE8203085L (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02118324U (ja) * 1989-03-06 1990-09-21
JPH0452728U (ja) * 1990-09-11 1992-05-06
JPH04137611U (ja) * 1991-06-19 1992-12-22 松下電器産業株式会社 セラミツク発振子
JPH0697758A (ja) * 1992-09-11 1994-04-08 Rohm Co Ltd 圧電発振子
JPH06140864A (ja) * 1992-10-21 1994-05-20 Rohm Co Ltd 圧電発振子

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3237394A1 (de) * 1982-10-08 1984-04-12 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Chemisches vergoldungsbad
US4483887A (en) * 1984-02-21 1984-11-20 Capetrol International, Inc. Metal plating iron-containing substrates
US5178918A (en) * 1986-07-14 1993-01-12 Robert Duva Electroless plating process
US4863766A (en) * 1986-09-02 1989-09-05 General Electric Company Electroless gold plating composition and method for plating
DE3640028C1 (de) * 1986-11-24 1987-10-01 Heraeus Gmbh W C Saures Bad fuer das stromlose Abscheiden von Goldschichten
US4832743A (en) * 1986-12-19 1989-05-23 Lamerie, N.V. Gold plating solutions, creams and baths
JP2655329B2 (ja) * 1988-01-28 1997-09-17 関東化学 株式会社 無電解金めつき液
JP2794741B2 (ja) * 1989-01-13 1998-09-10 日立化成工業株式会社 無電解銅めっき液
US4971944A (en) * 1989-02-21 1990-11-20 Westinghouse Electric Corp. Method of electroless depositing of gold onto superconducting particles
FI95816C (fi) * 1989-05-04 1996-03-25 Ad Tech Holdings Ltd Antimikrobinen esine ja menetelmä sen valmistamiseksi
US5258062A (en) * 1989-06-01 1993-11-02 Shinko Electric Industries Co., Ltd. Electroless gold plating solutions
DE4024764C1 (ja) * 1990-08-02 1991-10-10 Schering Ag Berlin-Bergkamen, 1000 Berlin, De
US5318621A (en) * 1993-08-11 1994-06-07 Applied Electroless Concepts, Inc. Plating rate improvement for electroless silver and gold plating
JP3811991B2 (ja) * 1996-05-21 2006-08-23 株式会社デンソー 酸素センサ素子の製造方法及び酸素センサ素子
JPH10330950A (ja) * 1997-06-02 1998-12-15 Nippon Parkerizing Co Ltd 改良充填置換析出型めっき金属材料及びその製造方法
US6383269B1 (en) * 1999-01-27 2002-05-07 Shipley Company, L.L.C. Electroless gold plating solution and process
US6805911B2 (en) * 2001-01-02 2004-10-19 J.G. Systems, Inc. Method and apparatus for improving interfacial chemical reactions
US20020086102A1 (en) * 2001-01-02 2002-07-04 John Grunwald Method and apparatus for improving interfacial chemical reactions in electroless depositions of metals
JP3876811B2 (ja) * 2001-11-02 2007-02-07 住友金属鉱山株式会社 透明導電層形成用塗液の製造方法
JP5116956B2 (ja) * 2005-07-14 2013-01-09 関東化学株式会社 無電解硬質金めっき液
US20120058362A1 (en) * 2010-09-08 2012-03-08 Infineon Technologies Ag Method for depositing metal on a substrate; metal structure and method for plating a metal on a substrate
KR101444687B1 (ko) * 2014-08-06 2014-09-26 (주)엠케이켐앤텍 무전해 금도금액
WO2022040334A1 (en) 2020-08-18 2022-02-24 Enviro Metals, LLC Metal refinement

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD29902A (ja) *
US2501737A (en) * 1946-09-11 1950-03-28 Jr Ralph W Porter Solution for plating metals with gold
US2836515A (en) * 1953-04-30 1958-05-27 Westinghouse Electric Corp Gold immersion solution for treating silver and method of applying same
NL253834A (ja) * 1959-07-21 1900-01-01
US3214292A (en) * 1962-09-12 1965-10-26 Western Electric Co Gold plating
US3294578A (en) * 1963-10-22 1966-12-27 Gen Aniline & Film Corp Deposition of a metallic coat on metal surfaces
US3589916A (en) * 1964-06-24 1971-06-29 Photocircuits Corp Autocatalytic gold plating solutions
US3598706A (en) * 1967-12-11 1971-08-10 Trifari Krussman And Fishel In Acid gold plating baths
US3700469A (en) * 1971-03-08 1972-10-24 Bell Telephone Labor Inc Electroless gold plating baths
US3697296A (en) * 1971-03-09 1972-10-10 Du Pont Electroless gold plating bath and process
US3993808A (en) * 1971-08-13 1976-11-23 Hitachi, Ltd. Method for electroless plating gold directly on tungsten or molybdenum
US3862850A (en) * 1973-06-08 1975-01-28 Ceramic Systems Electroless gold plating on refractory metals
US3917885A (en) * 1974-04-26 1975-11-04 Engelhard Min & Chem Electroless gold plating process
JPS52151637A (en) * 1976-04-29 1977-12-16 Trw Inc Aqueous solution for gold plating and method of applying gold film onto nickel surface at room temperature
US4168214A (en) * 1978-06-14 1979-09-18 American Chemical And Refining Company, Inc. Gold electroplating bath and method of making the same

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02118324U (ja) * 1989-03-06 1990-09-21
JPH0452728U (ja) * 1990-09-11 1992-05-06
JPH04137611U (ja) * 1991-06-19 1992-12-22 松下電器産業株式会社 セラミツク発振子
JPH0697758A (ja) * 1992-09-11 1994-04-08 Rohm Co Ltd 圧電発振子
JPH06140864A (ja) * 1992-10-21 1994-05-20 Rohm Co Ltd 圧電発振子

Also Published As

Publication number Publication date
GB2099460A (en) 1982-12-08
SE8203085L (sv) 1982-12-03
DE3219665A1 (de) 1982-12-16
FR2506787B1 (fr) 1986-02-28
NL8202238A (nl) 1983-01-03
FR2506787A1 (fr) 1982-12-03
PT74959B (en) 1984-08-02
ATA208782A (de) 1985-09-15
PT74959A (en) 1982-06-01
CA1177204A (en) 1984-11-06
US4374876A (en) 1983-02-22
ES8307932A1 (es) 1983-08-01
BE893396A (fr) 1982-12-02
ES512731A0 (es) 1983-08-01
JPS581065A (ja) 1983-01-06
FI821914A0 (fi) 1982-05-31
DE3219665C2 (de) 1984-05-30
GB2099460B (en) 1985-04-03
IT8248548A0 (it) 1982-05-31
IT1148950B (it) 1986-12-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH028026B2 (ja)
US5292361A (en) Electroless palladium plating composition
JPH06128757A (ja) アルミニウムおよびアルミニウム合金の処理の為の改良された亜鉛酸塩溶液およびその処理方法
JPH11217690A (ja) 電気メッキパラジウム合金組成物及びその組成物を用いる電気メッキ法
JPS5818430B2 (ja) 無電解メツキ浴およびメツキ方法
TW200902757A (en) Electroless gold plating bath, electroless gold plating method and electronic parts
JP2664231B2 (ja) 無電解ニッケルめっき浴の製造および使用方法
JP2003183845A (ja) 無電解めっき液用安定剤及びそれらの使用方法
US3178311A (en) Electroless plating process
JP2004502872A (ja) 無電解自己触媒白金めっき
Warwick et al. The autocatalytic deposition of tin
US3468676A (en) Electroless gold plating
JP4467794B2 (ja) ニッケル/ホウ素含有塗料
JPS59107069A (ja) 金属被覆セラミック上への無電解直接金めっき
JPH02503696A (ja) 耐摩耗性金属コーティング用安定化非電解バス
JPH06316786A (ja) 水溶性イリジウムめっき浴及びそのめっき方法
JP4230813B2 (ja) 金めっき液
US5494710A (en) Electroless nickel baths for enhancing hardness
JP3035676B2 (ja) 亜鉛−アルミニウム合金への無電解ニッケルめっき方法、触媒化処理用組成物、活性化処理用組成物及び無電解ニッケルストライクめっき用組成物
JPS6141774A (ja) 水性・無電解ニツケル改良浴及び方法
JP2004502874A (ja) 無電解ロジウムメッキ
JPH0762549A (ja) 無電解パラジウムめっき液
US5296268A (en) Pretreatment process of tin lead plating
JP2002226975A (ja) 無電解金めっき液
JPH05295558A (ja) 高速置換型無電解金めっき液