JPH02233007A - Mosトランジスタの電流を検出する装置及び方法 - Google Patents

Mosトランジスタの電流を検出する装置及び方法

Info

Publication number
JPH02233007A
JPH02233007A JP2003726A JP372690A JPH02233007A JP H02233007 A JPH02233007 A JP H02233007A JP 2003726 A JP2003726 A JP 2003726A JP 372690 A JP372690 A JP 372690A JP H02233007 A JPH02233007 A JP H02233007A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mos transistor
current
voltage
terminal
detecting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2003726A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3168571B2 (ja
Inventor
Michel Barou
ミッシェル バロー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
STMicroelectronics SA
Original Assignee
SGS Thomson Microelectronics SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SGS Thomson Microelectronics SA filed Critical SGS Thomson Microelectronics SA
Publication of JPH02233007A publication Critical patent/JPH02233007A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3168571B2 publication Critical patent/JP3168571B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R19/00Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
    • G01R19/175Indicating the instants of passage of current or voltage through a given value, e.g. passage through zero
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2607Circuits therefor
    • G01R31/2621Circuits therefor for testing field effect transistors, i.e. FET's

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
  • Control Of Amplification And Gain Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の背景) この発明は、電力MOSトランジスタの分野に関する. 通常、電力MOSトランジスタは、いわゆるDMOS 
(拡散型MOS)技術により製造されることが多く、反
復的に流れる大電力に耐えるために、同一の01個のセ
ルを一組としたものからなる.例えば、01個は250
0個である。このMOSトランジスタは、通常、負荷と
直列接続されるように設計されている。
第1図は、ソースS1を介して負荷Lに直列接続された
電力MOSトランジスタM1を示す。トランジスタM1
のドレインD1は電源の第1の端子1に接続されている
。負荷Lの自由端は電源の第2の端子2に接続されてい
る。通常、正電圧vCCが第1の端子1に印加され、第
2の端子2は接地されている。トランジスタM1は、制
御電源3から正電圧vCCより高い制御電圧VHがその
ゲートG1に印加されたときは、導通状態となる。
トランジスタM1が導通状態にないときは、負荷Lが遮
断されることになる。負荷Lを介して流れる例えば3m
Aの電流がしきい値IAより低くなったときは、負荷L
は遮断されていると考えることができる.トランジスタ
M1を介する電流がしきい値電流IAより低O値に低下
すると、トランジスタM1のドレインとソースとの間の
降下電圧VDSが低下し、IMVより低くなる。
このような負荷の遮断を判断する方法として、降下電圧
VDSを測定することが可能である。このために、通常
は、補助MOSトランジスタM2を備えた回路を用いる
。このトランジスタM2は、例えばドレインD2が抵抗
Rに接続された電力トランジスタを構成するn1セルと
同一のn2=50セルからなり、抵抗Rの自由端が電源
の第1の端子1に接続されたものである。トランジスタ
M2のソースS2はトランジスタM1のソースS1に直
接接続されている。トランジスタM2のゲートG2はト
ランジスタM1のゲートG1の直接接続されている。
演算増幅器A1は抵抗Rの端子の降下電圧を試験電圧V
xと比較する。ILを負荷Lにおける負荷電流、IMI
をトランジスタM1のしきい値電流、IM2をトランジ
スタM2のしきい値電流、RONI及びRON2をトラ
ンジスタM1及びM2の線形状態における抵抗値とする
と、抵抗Rの端子における電圧降下V8はV*”RIv
* ?なる。実際には、RONI及びR。H2の値は抵抗R
よりも小さい. Ro■の値は、通常、約数10Ω、例えば0.3Ωであ
る.電圧降下v,Iは、基準電圧と比較される電圧であ
る.実際において、数10mV、例えば30a+Vより
低い基準電圧の場合に、比較器とこの基準電圧とをどの
ようにすれば簡単に関連させられるかが解っているわけ
ではない。
従ッテ、(1)式からは、30mV/0. 3Q JO
OmAより低い値の負荷電流ILを決定することは不可
能であるという結論になる。
しかし、負荷Lを介して流れる約3mAの電流を検出す
ることが要請されている。
(発明の概要) この発明は、負荷の遮断に関連して電流を検出すること
ができる装置、及び関連した検出方法を提供するもので
ある. 特に、この発明は、電力MOSトランジスタと直列の負
荷における与えられたしきい値電流より小さな電流を検
出する装置を提供するものである。前記電力MOSトラ
ンジスタの自由端子は電源の第1端子に接続され、その
第2端子は負荷の自由端子に接続され、前記電力MOS
トランジスタのゲートは制御源に接続されている.前記
電力M O 8トランジスタの端子間には降下電圧検出
手段が接続され、その端子間の降下電圧が所定のレベル
以下に減少しようとしたときは、制御ループが前記電力
MOSトランジスタに適当なゲート電圧を印加する. この発明の他の特徴によれば、電力MOS トランジス
タと直列の負荷に与えられたしきい値電流より低い電流
を検出する方法が提供される.この方法は、前記電力M
OSトランジスタの端子間の電圧を基準電圧と比較して
、前記電力MOSトランジスタの端子間の電圧が前記基
準電圧より低くなったときは、前記電力MOSトランジ
スタのゲートの電圧を減少させることによって、前記電
力MOSトランジスタにおける電流を検出可能状態に保
持し、前記電力MOSトランジスタが常時その飽和状態
で動作する. この発明の以上及び他の目的、特徴並びに効果は、添付
する図面の以下の詳細な説明から明らかとなるであろう
(実施例の説明) 第2図は電力MOSトランジスタM1と直列に負荷Lを
流れる負荷電流ILを検出するための装置を示す.第1
図の場合のように、トランジスタM1の自由端子は電源
の第1の端子1に接続されている。また、負荷Lの自由
端子は電源の第2の端子2に接続されている.トランジ
スタM1のゲートG1に接続されている制御電源3は、
このゲー}Glに制御電圧VHを印加するものである。
トランジスタ旧の降下電圧を検出する手段(この手段は
ブロック11により表わされている.)は、トランジス
タM1のドレインD1とソースS1との間に接続されて
いる. 第1図と比較すると、この装置は、更に、ブロック12
により表わす制御ループを備えている.制御ループ12
の第1端子13は、トランジスタM1のゲートG1に接
続され、またその第2端子14はトランジスタM1のソ
ースS1に接続されている.要素15は、例えば電流源
により構成されたものであり、制御電源3とトランジス
タMlのゲートG1との間に接続され、このゲートG1
に印加される電圧を変化させることによって、トランジ
スタMlの端子の降下電圧が常時所定値より高く保持さ
れるようにする.第3図はこの発明による電流検出装置
の実施例を示す.トランジスタMl (第2図ではブロ
ック1lにより表わされている。)の端子の降下電圧は
、補助MOSトランジスタM2からなる一トランジスタ
M2は、第1図に示す形式により配列された02個のセ
ル、抵抗R、演算増幅器A1及び試験電圧vxの基準電
圧源21を有する.正電圧vCCは電源の第1の端子1
に印加され、その第2の端子2は接地されている.第2
図の要素15は電流源(インピーダンス)である. 第2図にブロックl2により表わした制御ループは、演
算増幅器A2及び基準電圧源21からなる.演算増幅器
A2は、トランジスタM1のソースS1に接続された第
1の入力22と、基準電圧源21の第1端子に接続され
た第2の入力23とを有する。基準電圧源21の第2の
端子はトランジスタM1のドレインD1に接続され、正
基準電圧VXを印加している。演算増幅器A2の出力2
4は、トランジスタM1のゲートG1及びトランジスタ
M2の62にそれぞれ接続されている。
第4図は、トランジスタM1のドレインとソースとの間
の降下電圧VDSの関数として、トランジスタM1のド
レインとソースとの間のしきい値電流IMIを曲線C1
〜C3により示す。曲線C1〜C3はそれぞれ電圧VG
SI〜VGS3に対応する。電圧VGS 1は制御電圧
VHに等しい。
各曲線は、降下電圧VDSが飽和電圧VDSい,より高
く、かつしきい値電流IMIが一定飽和電流ISATに
等しい領域と、降下電圧VDSが飽和電圧VDSSAT
より低く、かつしきい値電流IMIが降下電圧VDSに
ほぼ比例しているほぼ線形領域との2領域からなる。電
圧VGSが減少すると、一定飽和電流工れア及び飽和電
圧VDSいアも減少する。一定飽和電流ISAtt .
 ISAT2 , ISAT3及び飽和電圧VDSsA
t* ,?DSSA?3はそれぞれ曲線C1、C2及び
C3に関連されている。
負荷電流ILが負荷により減少するときは、降下電圧V
DSは減少し、かつ飽和電圧vDSsAア、より低くな
る。降下電圧VDSが正基準電圧VKより高い限り、し
きい値電流工■,の値は曲線C1に従って減少する。
演算増幅器A2は、第1人力22及び第2人力23の電
圧を同一電圧に保持するように動作しており、降下電圧
VDSが正基準電圧VKより低くなろうとすると、導通
状態になってトランジスタM1の端子の降下電圧VDS
を正基準電圧VKに等しい状態に保持する。これを達成
するために、即ちしきい値電流L+が減少しようとして
いる間は、ほぼ高い降下電圧VDSに保持するために、
演算増幅器A2はゲートG1及びG2の電圧VGSを例
えば第4図の曲線c3に対応した電圧VGS3のような
電圧に降下させる。その場合の飽和電圧VDSSAアは
飽和電圧VDSSAT3に等しい。
例えば、正基準電圧VKは1 50mVに等しい。負荷
?断中は、飽和電圧vDSsATがほぼ正基準電圧VK
より低い約50mVの飽和電圧VDSsAT3に低下す
る。従って、トランジスタM1は飽和状態で動作する。
トランジスタM1を流れるしきい値電流IM■は、一定
飽和電流ISAT3に等しい。
制御ループなしに、負荷Lの電流が減少したときは、ト
ランジスタM1及びM2は線形状態に設定される。
制御ループが存在し、負荷電流ILが低下したときは、
トランジスタM1及びM2は飽和状態で動作するので、
しきい値電流IM■及びIM2は、IMI = (nl
/n2)L2 により関係付けられる。従って、IL=IMt+L42
なので IL”  (nl/n2)IMt+IMz即ち、   
 IL= [(nl/n2)+11IM2しきい値電流
工.は式I。= V,/Rにより抵抗Rの端子間の電圧
降下VRに関連している。従って、負荷電流Inは次式
により与えられる。
R=500Ω及びnl/n2=2500/50 、即ち
nl/n2=50とし、比較器と試験電圧とが正しく関
連されている試験電圧値として30mVの値を取るもの
とすると、しきい値IAの値に対応した(50+1) 
30mV/500Ω≠3mAの値までの電流を検出する
ことができる。
この発明は、当該技術分野に習熟する者にとり明らかな
無数の実施例の変形を含む。例えば、トランジスタM2
、抵抗R、演算増幅器A1及び試験電圧vx用の電源を
トランジスタMlの端子の降下電圧を検出可能な手段に
より置換することもできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は既に説明した、従米技術による電流検出装置の
電気的な回路図、 第2図はこの発明による電流検出装置を示す回路図、 第3図はこの発明による電流検出装置の一実施例を示す
回路図、 第4図は種々の電圧についてその端子間の電圧の関数と
してMOS す図である。 1,2・φ争1端子、 Gl, G2・・・ゲート、 11・・・手段、 22, 23φ・・入力、 24・・・出力、 Ml, M2 −−−電力MO トランジスタの電流曲線を示 3・・・制御ソース、 12・・・制御ループ、 AI, A2・・・演算増幅器、 S1・・・電源、 Di, D2・・・ ドレイン、 Sトランジスタ。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)電力MOSトランジスタ(M1)と直列の負荷(
    L)により与えられたしきい値電流(IA)より低い負
    荷電流(IL)を検出すると共に、電力MOSトランジ
    スタの自由端子を電源の第1の端子(1)に接続し、前
    記電源の第2の端子(2)を負荷(L)の自由端子に接
    続し、前記電力MOSトランジスタのゲート(G1)を
    制御ソース(3)に接続したMOSトランジスタの電流
    を検出する装置において、前記電力MOSトランジスタ
    の端子間の降下電圧を検出する手段(11)を備え、更
    に、 前記端子の降下電圧が所定のレベルより低くなろうとし
    たときに、適当なゲート電圧を前記電力MOSトランジ
    スタに印加する制御ループ(12)を備えた ことを特徴とするMOSトランジスタの電流を検出する
    装置。
  2. (2)請求項1項記載のMOSトランジスタの電流を検
    出する装置において、 前記制御ループ(12)は演算増幅器(A2)及び基準
    電圧源(21)を備え、 前記演算増幅器は前記電力MOSトランジスタに接続さ
    れた第1の入力(22)、前記基準電圧源の負端子に接
    続された第2の入力(23)、及び前記電力MOSトラ
    ンジスタのゲート(G1)に接続した出力(24)を有
    し、 前記基準電圧源の正端子は前記電力MOSトランジスタ
    のドレイン(D1)に接続され、 前記演算増幅器(A2)と前記制御ソース(3)との間
    の電流を前記演算増幅器により利用可能にさせる電流源
    (15)を備えて前記電力MOSトランジスタのゲート
    電圧を減少させるようにした ことを特徴とするMOSトランジスタの電流を検出する
    装置。
  3. (3)請求項1項記載のMOSトランジスタの電流を検
    出する装置において、 前記電力MOSトランジスタの端子間の降下電圧を検出
    する手段(11)は ソース(S2)が前記電力MOSトランジスタのソース
    (S1)に接続され、ゲート(G2)が前記電力MOS
    トランジスタのゲート(G1)に接続されている補助M
    OSトランジスタ(M2)と、 第1の端子が前記補助MOSトランジスタのドレイン(
    D2)に接続され、第2の端子が前記電源の第1の端子
    に接続されている抵抗(R)と、演算増幅器(A1)及
    び試験電圧(VX)用の電源とを備えている ことを特徴とするMOSトランジスタの電流を検出する
    装置。
  4. (4)前記電力MOSトランジスタ(M1)と直列の負
    荷(L)により与えられたしきい値電流(IA)より低
    い負荷電流(IL)を検出する方法において、前記電力
    MOSトランジスタ(M1)の端子間の降下電圧(VD
    S)と基準電圧源(VK)とを比較し、前記端子の降下
    電圧が所定のレベルより低くなろうとしたときに、前記
    電力MOSトランジスタのゲートの電圧を増加させるこ
    とにより、 前記電力MOSトランジスタのしきい値電流(I_M_
    1)は検出可能な状態を維持し、かつ前記電力MOSト
    ランジスタは常時その飽和領域で動作する ことを特徴とするMOSトランジスタの電流を検出する
    方法。
  5. (5)請求項4記載のMOSトランジスタの電流を検出
    する方法において、前記基準電圧源(VK)は150m
    Vに等しい ことを特徴とするMOSトランジスタの電流を検出する
    方法。
JP00372690A 1989-01-20 1990-01-12 Mosトランジスタの電流を検出する装置及び方法 Expired - Fee Related JP3168571B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8901230 1989-01-20
FR8901230A FR2642176B1 (fr) 1989-01-20 1989-01-20 Dispositif et procede de detection du passage d'un courant dans un transistor mos

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02233007A true JPH02233007A (ja) 1990-09-14
JP3168571B2 JP3168571B2 (ja) 2001-05-21

Family

ID=9378327

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP00372690A Expired - Fee Related JP3168571B2 (ja) 1989-01-20 1990-01-12 Mosトランジスタの電流を検出する装置及び方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5004970A (ja)
EP (1) EP0389383B1 (ja)
JP (1) JP3168571B2 (ja)
DE (1) DE69011713T2 (ja)
FR (1) FR2642176B1 (ja)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3924988C2 (de) * 1989-07-28 2002-08-01 Continental Teves Ag & Co Ohg Schaltungsanordnung zur Ansteuerung des Sicherheitsrelais einer elektronisch geregelten Bremsanlage eines Kraftfahrzeugs
DE4117099A1 (de) * 1991-03-30 1992-10-01 Teves Gmbh Alfred Schaltungsanordnung fuer einen regler
US5272399A (en) * 1992-02-25 1993-12-21 Siemens Aktiengesellschaft Circuit limiting the load current of a power MOSFET
DE4209167A1 (de) * 1992-03-20 1993-09-23 Siemens Ag Schalt- und ueberwachungseinheit fuer elektrische antriebe
US5343141A (en) * 1992-06-09 1994-08-30 Cherry Semiconductor Corporation Transistor overcurrent protection circuit
FR2697115B1 (fr) * 1992-10-21 1995-01-06 Sgs Thomson Microelectronics Circuit de détection de charge ouverte.
US5528127A (en) * 1994-05-17 1996-06-18 National Semiconductor Corporation Controlling power dissipation within a linear voltage regulator circuit
DE19520735C2 (de) * 1995-06-07 1999-07-01 Siemens Ag Schaltungsanordnung zum Erfassen des Laststroms eines Leistungs-Halbleiterbauelementes mit sourceseitiger Last
DE19602121C1 (de) * 1996-01-22 1997-06-05 Siemens Ag Strombegrenzungsschaltung
EP0918997A1 (de) * 1996-08-14 1999-06-02 Siemens Aktiengesellschaft Schaltungsanordnung zum erfassen des laststroms eines leistungs-halbleiterbauelements mit sourceseitiger last
SG71920A1 (en) * 1998-04-27 2000-04-18 Texas Instruments Inc Method and apparatus for driving a polyphase brushless dc motor
DE19838657B4 (de) * 1998-08-25 2008-01-24 Infineon Technologies Ag Schaltungsanordnung zum Erfassen des Laststromes eines Leistungs-Feldeffekt-Halbleiterbauelementes
DE19918042C2 (de) * 1999-04-21 2001-05-31 Siemens Ag Schaltungsanordnung zur Unterstromerkennung an einem MOS-Leistungstransistor
DE10019240A1 (de) 2000-04-18 2001-10-31 Fujitsu Siemens Computers Gmbh Schaltungsanordnung zur Messung der Stromaufnahme einer transistorgesteuerten Last
DE10057486A1 (de) * 2000-06-15 2016-10-13 Continental Teves Ag & Co. Ohg Verfahren und Schaltungsanordnung zur Erkennung eines Defekts von Halbleiterschaftelementen und dessen/deren Verwendung in Kraftfahrzeugen, insbesondere Bremskraft- und Fahrdynamikreglern
US6519127B1 (en) 2000-10-03 2003-02-11 Compaq Computer Corporation Solid state safety relay
DE10103920A1 (de) 2001-01-30 2002-08-22 Infineon Technologies Ag Schaltungsanordnung mit einem Lasttransistor und einer Strommessanordnung
US6816349B1 (en) * 2002-06-27 2004-11-09 Micrel, Inc. Integrated power switch with current limit control and a method of use
US7071664B1 (en) * 2004-12-20 2006-07-04 Texas Instruments Incorporated Programmable voltage regulator configurable for double power density and reverse blocking
JP4689473B2 (ja) * 2005-05-16 2011-05-25 シャープ株式会社 直流安定化電源回路
US7548799B2 (en) 2006-07-25 2009-06-16 Silicon Laboratories, Inc. Powered device including a detection signature resistor
US7979168B2 (en) * 2006-07-25 2011-07-12 Silicon Laboratories Inc. Powered device including a multi-use detection resistor
CN101563826B (zh) * 2006-12-28 2013-01-30 德雷格医疗系统股份有限公司 电子设备识别系统
DE102007058314B4 (de) * 2007-12-04 2018-11-15 Diehl Aerospace Gmbh Vorrichtung zum Messen eines Laststroms
DE102008059853B4 (de) * 2008-12-01 2013-09-19 Infineon Technologies Ag Schaltungsanordnung mit einem Lasttransistor und einem Messtransistor

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5244420B2 (ja) * 1973-06-11 1977-11-08
US4021701A (en) * 1975-12-08 1977-05-03 Motorola, Inc. Transistor protection circuit
FR2470484A1 (fr) * 1979-11-23 1981-05-29 Thomson Csf Procede de commande d'un montage darlington et montage darlington a faibles pertes
US4319181A (en) * 1980-12-24 1982-03-09 Motorola, Inc. Solid state current sensing circuit
JPS59114923A (ja) * 1982-12-22 1984-07-03 Hitachi Ltd Mosfetの駆動回路
DE3341345A1 (de) * 1983-11-15 1985-05-23 SGS-ATES Deutschland Halbleiter-Bauelemente GmbH, 8018 Grafing Laengsspannungsregler
US4599554A (en) * 1984-12-10 1986-07-08 Texet Corportion Vertical MOSFET with current monitor utilizing common drain current mirror
US4703390A (en) * 1986-05-27 1987-10-27 Motorola, Inc. Integrated circuit power timer
US4750079A (en) * 1986-05-27 1988-06-07 Motorola, Inc. Low side switch integrated circuit

Also Published As

Publication number Publication date
FR2642176A1 (fr) 1990-07-27
US5004970A (en) 1991-04-02
FR2642176B1 (fr) 1991-05-03
EP0389383A2 (fr) 1990-09-26
EP0389383A3 (fr) 1991-05-02
DE69011713D1 (de) 1994-09-29
JP3168571B2 (ja) 2001-05-21
DE69011713T2 (de) 1995-04-06
EP0389383B1 (fr) 1994-08-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH02233007A (ja) Mosトランジスタの電流を検出する装置及び方法
KR0128731B1 (ko) 차동 증폭기와 전류 감지 회로 및 직접 회로
US7557599B2 (en) Apparatus and method for determining a current through a power semiconductor component
JP2961900B2 (ja) 電力用mos形トランジスタの電流測定回路
US7336085B2 (en) Current sensing circuit
EP0733959B1 (en) Circuit for generating a reference voltage and detecting an undervoltage of a supply voltage and corresponding method
US5760613A (en) Method and corresponding circuit detecting an open load
JPH0278962A (ja) 補償型電流検出回路
JP3313773B2 (ja) 半導体装置
KR100259934B1 (ko) 전하율 전위계
JP2000516338A (ja) ソース側負荷を有する電力半導体構成素子の負荷電流を検出するための回路装置
JPH06258384A (ja) 集積回路試験用電流測定装置および集積回路
KR970049834A (ko) 전기 전도성 물체, 특히 칩카드상에서 집적회로의 존재 검출 시스템
JPS636908A (ja) 定電流源回路
JPH02181663A (ja) 電流センス回路
JPH11261064A (ja) パワーmosfet回路
JPH04326074A (ja) スレッショルド電圧の測定方法
JP2827622B2 (ja) 半導体装置の測定方法
JPH032868Y2 (ja)
JPH01264012A (ja) 半導体集積回路
JPH0769748B2 (ja) 定電流源回路
JPH01257270A (ja) 半導体素子の電流検出回路
JPH0637340Y2 (ja) 絶縁抵抗測定器
JPH04326768A (ja) 半導体装置
JPH08278335A (ja) 抵抗率測定回路

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees