JPH01315903A - 導電性ペーストおよびチップ部品 - Google Patents

導電性ペーストおよびチップ部品

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JPH01315903A
JPH01315903A JP63146520A JP14652088A JPH01315903A JP H01315903 A JPH01315903 A JP H01315903A JP 63146520 A JP63146520 A JP 63146520A JP 14652088 A JP14652088 A JP 14652088A JP H01315903 A JPH01315903 A JP H01315903A
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JP
Japan
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conductive
conductive particles
chip component
conductive paste
multilayer ceramic
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JP63146520A
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Akio Okamura
岡村 昭雄
Hiroshi Harada
拓 原田
Takeshi Nomura
武史 野村
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Original Assignee
TDK Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、導電性ペーストおよびこの導電性ペーストを
用いて形成される導体層を有するチップ部品に関し、特
に積層セラミックコンデンサ、積層セラミックインダク
タ、積層セラミックLC部品に関する。
〈従来の技術〉 積層セラミックコンデンサ、積層セラミックインダクタ
およびこれらを一体化した積層セラミックLC部品等の
チップ部品用の外部電極、内部電極あるいは内部導体用
ペーストには、従来、導電性材料として球状もしくは球
に類した形状の導電性無機物粒子が用いられている。
〈発明が解決しようとする課題〉 このような球状粒子より作られた導電性ペーストを用い
てチップ部品を作製した場合、チップ部品のセラミック
素体(コンデンサの誘電体、インダクタの磁性体等)に
比べ導電性材料の焼結性が高いため、内部電極あるいは
内部導体を形成した場合には連続性が不十分で被覆率の
状態が悪い電極面あるいは導体面が形成され、例えば、
インピーダンスや等価直列抵抗(ESR)等の電気的な
特性の劣化がしばしば発生ずる。 また、外部電極を形
成した場合には、焼結に伴う体積収縮が大きいため、焼
成の過程で外部電極のクラックが発生し易い。
そこで、球状の導電性粒子に替えて鱗片状の導電性粒子
を用いることも考えられるが、この場合、導電性粒子の
焼結性が悪化し、また、焼結性に異方性を生じることか
ら、例えば、外部電極を形成した場合には機械的強度が
低下し易い。
本発明の目的は、良好な電気特性を有する導体層を有す
るチップ部品、特にクラックがなく、機械的強度の高い
外部電極を有する積層セラミックコンデンサ、積層セラ
ミックイングククおよび積層セラミックLC部品と、こ
のようなチップ部品を実現する導電性ペーストを提供す
ることにある。
〈課題を解決するための手段〉 このような目的は下記の本発明によって達成される。
すなわち、本発明は、球状の導電性粒子と鱗片状の導電
性粒子とを含有することを特徴とする導電性ペーストで
ある。
以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。
本発明において球状の導電性粒子とは、球状あるいは球
に類する形状の導電性粒子であるが、好ましくは粒子の
長径を短径で除した値、すなわち、アスペクト比が2未
満であることが好ましい。
また、本発明において鱗片状の導電性粒子とは、好まし
くはアスペクト比が2以上、さらに好ましくは3以上の
導電性粒子である。
この場合のアスペクト比とは、好ましくは下記の方法に
より測定される。
すなわち、電子顕微鏡により撮影された写真から導電性
粒子の長径および短径を測定し、これらから無作為に抽
出して各粒子のアスペクト比を求め、次いで各粒子のア
スペクト比の相加平均を求める。 この場合、測定する
粒子数は、100個以上であることが好ましい。 また
、この場合、ペースト中に分散された粒子について測定
してもよい。
本発明では、鱗片状の導電性粒子の含有量が、球状の導
電性粒子および鱗片状の導電性粒子の含有量の合計に対
し40〜70wt%であることが好ましい。
この値が70wt%を超えると導電性粒子の焼結性が低
くなり過ぎるため、外部電極を形成した場合は強度が低
下し易い。 また、この値が40wt%未満となるとチ
ップ部品のセラミック素体(コンデンサの誘電体、イン
ダクタの磁性体等)に比べ導電性ペーストの焼結性が高
くなり過ぎるため、外部電極を形成した場合にはクラッ
クが発生し易い。
なお、この値が50〜60wt%であると、さらに好ま
しい結果を得る。
球状の導電性粒子の平均粒径は、0.1〜50μmであ
ることが好ましい。
平均粒径が50μmを超えると焼結性が悪くなり、01
μm未満であると、導電性粒子を構成する材料のセラミ
ック素体への拡散が起こり易くなる。
なお、球状の導電性粒子の平均粒径が01〜10μmで
あると、より好ましい結果を得る。
また、鱗片状の導電性粒子の平均粒径は05〜200μ
mであることが好まし い。
平均粒径が200μmをこえると、ペーストの印刷性が
悪(なり、特にスクリーン印刷法を用いる場合、印刷ス
クリーン上に導電性無機物粒子が残存し易くなり、スク
リーンメツシュの目詰りを起こし易くなり、生産性が低
下する。
平均粒径が0.5μm未満では、焼結性が高くなり、鱗
片状の粒子を用いる意味がな(なる。
なお、本発明における平均粒径は、下記■〜■のように
定義される。
■電子顕微鏡写真から測定した粒子の主面の最大径と最
小径との平均。
■粒子に窒素ガスを物理吸着させて粒子の表面積を測定
し、これから平均粒径を求めるいわゆるBET法。
■例えば、フランホーファ回折あるいはミー散乱の散乱
角を測定して粒度分布を求めたり、あるいは、レーり散
乱によって生じたドツプラーシフトによる波数の変化を
光子相関法により遅れ時間を測定することによって算出
して粒度分布を求め、この粒度分布から平均粒径を算出
する光散乱法。
■電界溶液中に粒子を分散し、この粒子が細孔(オリフ
ィス)を通過する際に生じ、る電気抵抗変化を測定する
ことによって、粒子の数、体積、直径を測定する電気抵
抗法。
このJ:つな導電性粒子の材質としては、導電性の無機
材質であるならば特に制限はないが、特に金属または焼
成後に金属となる酸化物であることが好ましい。
このような場合、上記における金属成分としては、Ag
、Pd、Au、Pt、N’iおよびCuのうちの1種以
上を含む金属単体ないし合金であることが好ましい。
このような場合、後に詳述する積層セラミックコンデン
サや積層セラミックLC部品のコンデンサの外部電極用
としては、Ag、Pd、Pb、Ni、Cuの1種ないし
2種以上の単体ないし合金、特にAgまたはAg−Pd
の合金が好適である。
また、積層セラミックイングクタや積層セラミックL 
C部品のインダクタの外部電極用としては、Pd、Ag
、Cuの1種ないし2種以上の単体ないし合金、特にA
gまたはAg−Pdの合金が好適である。
鱗片状の導電性粒子を得るには、通常、市販の球状粒子
をボールミルやアトライター等によって粉砕処理すれば
よい。
本発明では、鱗片状の導電性粒子を含有する導電性ペー
ストを用いる結果、焼結後のクラックの発生を防止でき
る。
また、本発明の導電性ペーストは、鱗片状の導電性粒子
に加え球状の導電性粒子を含有するため、導電性ペース
トの焼結性を自在に調整できる。 そのため、特に、積
層セラミックコンデンサ、積層セラミックイングクタ、
積層セラミックLC部品の外部電極として用いた場合、
セラミック素体との焼結性の差によって生しるクラック
を防止できる他、焼結性の低下し過ぎによる強度不足の
問題も生しない。
本発明の導電性ペースト中に含有される鱗片状の導電性
粒子および球状の導電性粒子の総量i:j: 40〜8
0wt%程度であることが好ましい。
導電性ベース1〜中には、ガラスフリットが含有される
ことが好ましい。 ガラスフリットとしては、平均粒径
10〜50μm程度のポウケイ酸ガラスを用いることが
好ましく、ペースト中の含有量は2〜20wt%程度で
あることが好ましい。
ガラスフリラットを含有するペーストを用いることにJ
:す、外部電極とした場合に接着性が向上する。
本発明の導電性ペーストは、これらの導電性粒子に加え
、通常、バインダーおよび溶剤を含有する。
バインダーとしては、例えばエチルセルロース、アクリ
ル樹脂、ブヂラール樹脂等公知のものはいずれも使用可
能である。
バイングー含有量は2〜5wt%程度であることが好ま
しい。
溶剤としては、例えばテルピネオール、ブヂルカルビ1
ヘール、ケロシン等公知のものはいずれも使用可能であ
る。
溶剤含有量は20〜50wt%程度とすることが好まし
い。 この他、総計10wt%程度以下の範囲で、必要
に応じ、ソルビタン脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸
エステル等の分散剤や、シオクヂルフタレート、ジブチ
ルツクレート、ブチルフタリルグリコール酸ブチル等の
可塑剤や、デラミ防止、焼結抑制等の目的で、誘電体、
磁性体、絶縁体等の各種セラミック粉体等を添加するこ
ともてきる。
このような本発明の導電性ペーストCJ、スクリーン印
刷法等により塗布されたのち焼成されて、各種チップ部
品の導体層とされる。
焼成温度は材質に応じた公知の温度で行えばよい。 ま
た焼成雰囲気はNi、Cu等においては非酸化性とする
が、他は空気中等で行えばよい。
適用可能なチップ部品についても公知の種々のものであ
ってよく、その導体層も種々のものであってよい。
これらのうち、積層セラミックコンデンサ、積層セラミ
ックインダクタ、積層セラミックL C部品等に用いる
と好適である。
第1図に、本発明を積層セラミックコンデンサに適用し
た例が示される。
本発明による積層セラミックコンデンサ1は、従来のも
のと同様、内部電極21.25と誘電体層3を交互に積
層し、各内部電極21゜25に導通ずるように一対の外
部電極41゜45を設けて形成される。
そして、この外部電極41.45に、本発明の導電性ペ
ーストを用いればよい。
誘電体層3を構成する材質としては種々の誘電材料を用
いてよいが、酸化チタン系およびチタン酸系複合酸化物
あるいはこれらの混合物が好ましい。 酸化チタン系と
しては、 必要に応しNip、CuOlMn 304、Aρ203
、M g O、S ]、 02を含むTiO2等、チタ
ン酸系複合酸化物としては、 BaTiO3、S r T i Os、CaT i O
3、M g T i 03やこれらの混合物等が挙げら
れる。
誘電体層3の積層数は目的に応じて定めればよいが、通
常は1〜100程度とする。 −層あたりの厚さは通常
10〜150LLm程度とする。
また、内部電極21.25の厚さは、通常1〜20μm
、特に1〜154zm程度とする。
外部電極41.45の厚さは、通常20〜300μm程
度とする。
このような積層セラミックコンデンサ1は、従来公知の
グリーンシート法や印刷法により製造される。  また
、その大きさ等は、目的に応じ選定すればよい。
このような積層セラミックコンデンサ1は、本発明の導
電性ペーストと同様にして、誘電体のペーストを作製し
、これと内部電極用導電性ペーストとを積層したのち、
例えば800〜1400°Cにて同時焼成すればよい。
第2図に、本発明を積層セラミックインダクタ10に適
用した場合の1例を示す。 本発明による積層セラミッ
クインダクタ10は、従来のものと同様、内部巻線5、
磁性層6および一対の外部電極41.45を有する。
積層セラミックインダクタ10の外部電極41.45ば
、前記の導電性ペーストから形成される。
積層セラミックインダクタ10の磁性層6の材質として
は、スピネル構造を有する各種スピネルソフトフェライ
トを用いることができるが、焼成温度の関係てN 1−
Cu系のフェライ)・を用いることが好ましい。
N 1−Cu系のフェライトは、低温焼成材料゛であり
、このような磁性層を用いたとき、本発明の積層チップ
イングククは焼成時液相の生成が無く、しかも電気抵抗
の点て、より優れたものとなる。
低温焼成可能なフェライトとしては、Ni−Cuフェラ
イトの他、N i −Z nフェライト、N i−Cu
 −Z nフェライト等がある。 この場合、Niの含
有量は、NiOに換算して45〜55mo12%が好ま
しく、このNiの一部をCuおよび/またはZnが40
mo1%程度以下置換してもよい。
この他、Co、Mn等が全体の5wt%程度以下含有さ
れていてもよい。 さらにCa、Sl、Bi、V、Pb
等が1wt%程度以下含有されていてもよい。
このような、フェライト系の磁性層6は、本発明の導電
性ペーストと600〜1000 ’C1特に800〜1
000°Cの焼成温度にて同時焼成可能である。
積層セラミックインダクタ10は、従来公知の構造とす
ればよく、外形は通常はぼ直方体状の形状とする。 そ
して第2図に示されるように、内部巻線5は磁性層6内
にて、通常スパイラル状に配置され、その両端部は各外
部電極41.45に接続されている。
このような場合、内部巻線5の巻線パターン、すなわち
閉磁路形状は種々のパターンとすることができ、またそ
の巻数も用途に応じ適宜選択すればよい。 また、積層
セラミックイングクク10の各種寸法等には制限はなく
、用途に応じ適宜選択ずればよい。
なお、内部巻線5の厚さは、通常5〜30μm ’ f
!ij度、また、巻線ピッチは通常40〜100μm程
度とする。 外部電極41.45の厚さは通常50〜5
00μmとする。
また、外部電極41.45の形成方法としては、転写法
を用いることが好ましい。
なお、外部電極41.45は、単独の電極層から形成さ
れてもよいが、電極層の上に被覆層を設けた多層構造と
することが好ましい。 被覆層は、Cu、Ni、Snあ
るいはハング等から形成されることが好ましい。 この
ような被覆層は、ハング付けの際のハング濡れ性、ハン
タ゛耐熱性を向上させる。
このような積層セラミックインダクタ10を製造するに
は従来公知の印刷法を用いればよい。
フェライトペーストは、次のようにして作製する。
まず、所定量のNi01ZnO,CuO11’ e 2
03等のフェライト原料粉末を所定量ボールミル等によ
り湿式混合する。 用いる各粉末の粒径は0.1〜10
μm程度とする。
こうして湿式混合したものを、通常スプレードライヤー
により乾燥し、その後仮焼する。
これを通常は、ボールミルで粉体粒径0.01〜0.1
11m程度の粒径となるまで湿式粉砕し、スプレードラ
イヤーにより乾燥する。
得られた混合フェライト粉末をエヂルセルロース等のバ
イングーとテルピネオール、ブヂルカルビト−ル等の溶
媒中に溶かしてペーストとする。
なお、ペースト中には各種ガラスや酸化物を含有させる
ことができる。
このような積層セラミックインダクク10は、外部電極
41.45にハング付等を行なうことにより、プリント
基板上等に搭載され、各種電子機器等に使用される。
以上では、積層セラミックイングクタを例にとり本発明
を説明したが、積層セラミックトランスの場合も本質的
に同様であり、用いる各種材料および製造工程に違いは
ない。
第3図に、本発明を積層セラミックLC部品に適用した
1例を示す。
第3図のLC複合部品100は、積層セラミックインダ
クタ10と積層セラミックコンデンサ1とを一体化した
ものである。 インダクタ10は、所定のパターンに形
成した内部巻線5を介在させながら、磁性層6を積層し
たものである。 また、このインダクタ10に積層−体
化されるコンデンサ1は、内部電極21.25を介して
セラミックの誘電体層3を積層したものである。
このような積層セラミックLC複合部品100のコンデ
ンサ1およびインダクタ10は、前述の第1図および第
2図に示される積層セラミックコンデンサ1および積層
セラミックイングクタ10と同様のものである。
なお、積層セラミックインダククの内部導体あるいは積
層セラミックコンデンサの内部電極用の導電性ペースト
は、鱗片状の導電性粒子を含有することが好ましい。 
好ましい含有量は、全導電性粒子の30wt%以上であ
る。
このようなペーストを用いることにより、マイグレーシ
ョンの低い内部導体あるいは電極被覆率の高い内部電極
を得ることができる。
本発明の導電性ペーストは、この他公知の各種セラミッ
ク材料用のペーストやグリーンシートと組合わせること
ができる。
〈実施例〉 以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明をさらに詳
細に説明する。
「実施例1] 平均粒径05μmの球状Ag粒子をボールミル粉砕して
、平均粒径l 5μm、アスベクI・比3の鱗片状Ag
粒子を得た。
上記球状Ag粒子とこの鱗片状Ag粒子との合計1重量
部に対し、ホウケイ酸ガラスフリット0.1重量部、テ
ルピネオール0.2重量部、エチルセルロース003重
量部およびブヂルカルビトール02重量部を加えて外部
電極用導電性ペーストとした。
また、平均粒径06μmの球状Ag粒子をボールミル粉
砕処理して、平均粒径18LLm、アスペクト比3の鱗
片状Ag粒子を得た。
得られた鱗片状のAg粒子1重量部に対し、テルピネオ
ール02重量部、エチルセルロース003重量部および
ブヂルカルビトール01重量部を加えて内部導体用導電
性ペーストとじた。
次に、フェライト原料として、粒径01〜1.0μm程
度のNi01Cub、ZnOおよびF e 203の粉
体な用い、これをボールミルを用いて湿式混合し、次い
で、この湿式混合物をスプレードライヤーにより乾燥し
、750℃にて仮焼し、顆粒として、これをボールミル
にて粉砕したのちスプレードライヤーで乾燥し、平均粒
径01μmの粉体とした。
次いて、この粉体な所定量のエチルセルロースとともに
テルピネオール中に溶解し、ヘンシェルミキザーで混合
し、Ni−Cu−Znフェライトのフェライトペースト
を作製した。
内部導体用導電性ペーストとフェライトペーストを印刷
積層後、焼成した。
焼成温度は850℃、焼成時間は2時間とし、焼成雰囲
気は空気中とした。。
次いて上記の各種外部電極用導電性ペースl〜て転写法
により外部電極を形成し、 ℃で10分間焼成した。
このようにして4.5m+nX3.2mmX]、、1m
mの第2図に示されるようなセラミックインダクタサン
プルを作製した。
各フェライト層の厚さは40μm、内部巻線の厚さは2
0μm、その線巾は300μm、コイルは長径2.5m
m、短径1.3mmの楕円形とした。
なお、外部電極用導電性ペースト中の鱗片状の導電性粒
子の含有比率を変えて各種外部電極用導電性ペース]・
を作製し、これら各ペーストを用いて各種セラミックイ
ンダクタサンプルを得た。 各インダクタサンプルに用
いたペース[・中の球状の導電性粒子および鱗片状の導
電性粒子の含有量の合計に対する鱗片状の導電性粒子の
含有量比(A)を表1に示す。
また、比較のために、球状の導電性粒子のみを含有する
ペーストを用いたインダクタサンプルおよび鱗片状の導
電性粒子のみを含有するペーストを用いたインダクタサ
ンプルも作製した。
これらのインダクタサンプルについて、インダクタンス
しおよび10 M HzにおけるQ値を測定した。 結
果を表1に示す。
表     1 インダクタ  A      L      Qサンプ
ルNo、  (wt%)    (LLHll    
   、50  3.4.8  58 82     
 40  33.3  56.03      20 
 29.9  55.34      80   ’2
4.4  ’94.75(比較)    0  27.
8  67.76(比較)  100  22.6  
93.5さらに、表1に示す本発明のサンプルNo。
1と、比較サンプルNo、5および6について下記の観
察を行なった。
■インダクタサンプルの外部電極を研摩し、光学顕微鏡
により写真撮影を行なった。
本発明のサンプルNo、1の写真を、第4A図に、比較
サンプルNo、5の写真を第4B図に、比較サンプルN
o、6の写真を第4C図に示す。
■走査型電子顕微鏡によりインダククザンプルの外部電
極表面の写真撮影を行なった。
本発明のサンプルNo、1の写真を、第5A図に、比較
サンプルNo、5の写真を第5B図に、比較サンプルN
o、6の写真を第5C図に示すに れらの各図から明らかなように、本発明サンプルNo、
lでは外部電極内に空間が適度に存在し、このことによ
り表面にクラックが発生しておらず、セラミック素体と
の接着強度も十分である。 これに対し、球状の導電性
粒子のみを用いて形成した比較サンプルNO35では、
外部電極内に空間が殆どない。 こ のため、焼成の過
程で電極とセラミック素体間の応力が大きくなり、クラ
ックが発生し易い。 また、鱗片状の導電性粒子のみを
用いて形成した比較サンプルNo、6では、外部電極内
に空間が多数存在し、強度が不足していることがわかる
〈発明の作用効果〉 本発明では、鱗片状の導電性粒子を含有する導電性ペー
ストを用いる結果、焼結後のクラックの発生を防止でき
、また、電極被覆率を向上できる。
また、本発明の導電性ペーストは、鱗片状の導電性粒子
に加え球状の導電性粒子を含有するため、導電性ペース
トの焼結性を自在に調整できる。 そのため、特に、積
層セラミックコンデンサ、積層セラミックイングクク、
積層セラミックLC部品の外部電極として用いた場合、
セラミック素体と焼結性を近似させることができ、クラ
ックの発生が防止できる他、焼結性の低下し過ぎによる
強度不足の問題も生じない。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明のチップ部品の一例である積層セラミ
ックコンデンサの縦断面図、第2図は、本発明のチップ
部品の一例である積層セラミックイングククの一部を切
欠いて示す平面図、第3図(J、本発明のチップ部品の
一例である積層セラミックLC部品の一部を切欠いて示
す斜視図である。 第4A図、第4B図および第4C図は、図面代用写真で
あって、積層セラミックイングククの外部電極の研摩面
の導電性粒子の構造を示す光学顕微鏡写真である。 第5A図、第5B図および第5C図は、図面代用写真で
あって、積層セラミックインダクタの外部電極表面の導
電性粒子の構造を示す走査型電子顕微鏡写真である。 符号の説明 1・・・・積層セラミックコンデンサ、10・・・・積
層セラミックイングクク、100・・・・積層セラミッ
クLC部品、21.25・・・・内部電極、 3・・・・誘電体層、 5・・・・内部巻線、 6・・・・磁性層 1:一二1−;t

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)球状の導電性粒子と鱗片状の導電性粒子とを含有
    することを特徴とする導電性ペースト。
  2. (2)前記鱗片状の導電性粒子の含有量が、前記球状の
    導電性粒子および前記鱗片状の導電性粒子の含有量の合
    計に対し40〜70wt%である請求項1に記載の導電
    性ペースト。
  3. (3)前記球状の導電性粒子の平均粒径をその平均厚さ
    で除した値が2未満であり、前記鱗片状の導電性粒子の
    平均粒径をその平均厚さで除した値が2以上である請求
    項1または2に記載の導電性ペースト。
  4. (4)前記球状の導電性粒子および鱗片状の導電性粒子
    の平均粒径が、それぞれ0.1〜 50μmおよび0.5〜20.0μmである請求項1な
    いし3のいずれかに記載の導電性ペースト。
  5. (5)前記球状の導電性粒子および鱗片状の導電性粒子
    の含有量の合計が40〜80wt%である請求項1ない
    し4のいずれかに記載の導電性ペースト。
  6. (6)ガラスフリットが含有される請求項1ないし5の
    いずれかに記載の導電性ペースト。
  7. (7)ガラスフリットの含有量が2〜20wt%である
    請求項6に記載の導電性ペースト。
  8. (8)溶剤およびバインダーが含有される請求項1ない
    し7のいずれかに記載の導電性ペースト。
  9. (9)溶剤およびバインダーの含有量が、それぞれ、2
    0〜50wt%および2〜10wt%である請求項8に
    記載の導電性ペースト。
  10. (10)さらに、分散剤、可塑剤およびセラミック粉体
    の1種以上が含有される請求項6ないし9のいずれかに
    記載の導電性ペースト。
  11. (11)前記球状の導電性粒子および鱗片状の導電性粒
    子が金属または焼成後に金属となる酸化物の粒子である
    請求項1ないし10のいずれかに記載の導電性ペースト
  12. (12)前記金属がAg,Pd,Au、Pt、Niおよ
    びCuのうちの1種以上を含むものである請求項11に
    記載の導電性ペースト。
  13. (13)請求項1ないし12に記載の導電性ペーストを
    塗布後焼成して得られた導体層を有するチップ部品。
  14. (14)焼成温度が600〜1500℃である請求項1
    3に記載のチップ部品。
  15. (15)前記チップ部品が積層セラミックコンデンサで
    あり、前記導体層が積層セラミックコンデンサの外部電
    極である請求項13または14に記載のチップ部品。
  16. (16)前記チップ部品が積層セラミックインダクタで
    あり、前記導体層が積層セラミックインダクタの外部電
    極である請求項13または14に記載のチップ部品。
  17. (17)前記チップ部品が積層セラミックLC部品であ
    り、前記導体層が積層セラミックLC部品の外部電極で
    ある請求項13または14に記載のチップ部品。
  18. (18)前記導体層の厚さが1〜20μmである請求項
    13ないし17のいずれかに記載のチップ部品。
  19. (19)前記チップ部品の誘電体材料が酸化チタン系ま
    たはチタン酸複合酸化物系である請求項15または17
    に記載のチップ部品。
  20. (20)前記チップ部品の磁性材料がNi−Cu系フェ
    ライトである請求項16または17に記載のチップ部品
  21. (21)鱗片状の導電性粒子を含有する導電性ペースト
    を塗布後焼成して得られた内部電極を有する請求項15
    または17ないし19のいずれかに記載のチップ部品。
  22. (22)鱗片状の導電性粒子を含有する導電性ペースト
    を塗布後焼成して得られた内部導体を有する請求項16
    ないし18または20に記載のチップ部品。
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