JP2725227B2 - 積層インダクタおよび該積層インダクタの製造方法 - Google Patents
積層インダクタおよび該積層インダクタの製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、積層インダクタならび
に該積層インダクタに用いるフェライト磁性体およびそ
の製造方法に関する。
に該積層インダクタに用いるフェライト磁性体およびそ
の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来よりフェライト磁性体は、数種類の
金属酸化物を選択して所定の比率で秤量し、これらを混
合した後1000〜1200℃の温度で焼成することにより製造
されてきたが、近年フェライト磁性体の改善が進み、Ｎ
ｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系のフェライト磁性体では、上記焼成温
度よりも低い 800〜 900℃程度の温度での焼成が可能に
なった。
金属酸化物を選択して所定の比率で秤量し、これらを混
合した後1000〜1200℃の温度で焼成することにより製造
されてきたが、近年フェライト磁性体の改善が進み、Ｎ
ｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系のフェライト磁性体では、上記焼成温
度よりも低い 800〜 900℃程度の温度での焼成が可能に
なった。
【０００３】このように、低温で焼成可能なフェライト
磁性体が開発されると、フェライト磁性体内にコイル導
体が埋設されてなる積層インダクタにおいては、そのコ
イル導体を銀パラジウム導電体に代え、融点が 960℃で
ある銀の導電体によって構成することが可能になった。
そのため、安価で特性の向上したインダクタを得ること
ができるようになった。
磁性体が開発されると、フェライト磁性体内にコイル導
体が埋設されてなる積層インダクタにおいては、そのコ
イル導体を銀パラジウム導電体に代え、融点が 960℃で
ある銀の導電体によって構成することが可能になった。
そのため、安価で特性の向上したインダクタを得ること
ができるようになった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の低温焼成型のフェライト磁性体内に銀導電体を埋設
した積層インダクタは、その製造過程における焼成の
際、銀導電体がフェライト磁性体中に拡散して、コイル
導体が細くなる、いわゆる「痩せる」という現象が生
じ、電磁気特性が劣化してしまうという問題点があっ
た。
来の低温焼成型のフェライト磁性体内に銀導電体を埋設
した積層インダクタは、その製造過程における焼成の
際、銀導電体がフェライト磁性体中に拡散して、コイル
導体が細くなる、いわゆる「痩せる」という現象が生
じ、電磁気特性が劣化してしまうという問題点があっ
た。
【０００５】そこで本発明は、上述従来の技術の問題点
を解決し、銀導電体のフェライト磁性体中への拡散が防
止され、電磁気特性の向上した信頼性の高い積層インダ
クタならびに該積層インダクタに用いるフェライト磁性
体およびその製造方法を提供することを目的とする。
を解決し、銀導電体のフェライト磁性体中への拡散が防
止され、電磁気特性の向上した信頼性の高い積層インダ
クタならびに該積層インダクタに用いるフェライト磁性
体およびその製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成するために鋭意研究の結果、酸化物フェライト磁性
体原料粉末に対して、0.01〜 5wt％の銀を含有させるこ
とにより、上記課題が解決されることを見い出し、本発
明に到達した。
達成するために鋭意研究の結果、酸化物フェライト磁性
体原料粉末に対して、0.01〜 5wt％の銀を含有させるこ
とにより、上記課題が解決されることを見い出し、本発
明に到達した。
【０００７】 すなわち、本発明は、Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕ
系酸化物フェライト磁性体原料粉末に対して、0.01〜 5
wt％の銀を添加してなるフェライト磁性体中に、銀導電
体からなるコイルが埋設されていることを特徴とする積
層インダクタ；およびＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系酸化物フェラ
イト磁性体原料粉末に対して、銀粉を0.01〜 5wt％の割
合で混合し、この混合粉末を仮焼成および解砕した後有
機バインダーと混練し、得られたスラリーからグリーン
シートを形成し、このグリーンシート表面に銀ペースト
によってコイル導体パターンを形成した後、これらのシ
ートを積層し、焼成および外部接続端子の形成を行うこ
とを特徴とする積層インダクタの製造方法を提供するも
のである。
系酸化物フェライト磁性体原料粉末に対して、0.01〜 5
wt％の銀を添加してなるフェライト磁性体中に、銀導電
体からなるコイルが埋設されていることを特徴とする積
層インダクタ；およびＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系酸化物フェラ
イト磁性体原料粉末に対して、銀粉を0.01〜 5wt％の割
合で混合し、この混合粉末を仮焼成および解砕した後有
機バインダーと混練し、得られたスラリーからグリーン
シートを形成し、このグリーンシート表面に銀ペースト
によってコイル導体パターンを形成した後、これらのシ
ートを積層し、焼成および外部接続端子の形成を行うこ
とを特徴とする積層インダクタの製造方法を提供するも
のである。
【０００８】また、本発明の積層インダクタの製造方法
においては、前記銀粉を仮焼成後に加えても良く、ま
た、酸化物フェライト磁性体原料粉末に対して、0.01〜
5wt％の金属銀を含む酸化銀粉を混合しても良い。
においては、前記銀粉を仮焼成後に加えても良く、ま
た、酸化物フェライト磁性体原料粉末に対して、0.01〜
5wt％の金属銀を含む酸化銀粉を混合しても良い。
【０００９】
【作用】 本発明によれば、フェライト磁性体中に銀を
存在させることにより、銀導電体からの銀のフェライト
磁性体中への拡散阻止を図り、このフェライト磁性体の
透磁率やμＱ積等電磁気特性の向上を図ることができ
る。すなわち、フェライト磁性体中に銀を存在させるこ
とにより、フェライト磁性体とその内部に埋設された銀
導電体との間における銀濃度勾配が低くなるため、銀導
電体のフェライト磁性体中への拡散が阻止されるように
なるのである。
存在させることにより、銀導電体からの銀のフェライト
磁性体中への拡散阻止を図り、このフェライト磁性体の
透磁率やμＱ積等電磁気特性の向上を図ることができ
る。すなわち、フェライト磁性体中に銀を存在させるこ
とにより、フェライト磁性体とその内部に埋設された銀
導電体との間における銀濃度勾配が低くなるため、銀導
電体のフェライト磁性体中への拡散が阻止されるように
なるのである。
【００１０】また、本発明においては、フェライト磁性
体中に存在させる銀は、金属銀または酸化銀のどちらで
も良く、酸化物フェライト磁性体原料粉末の焼成前また
は焼成後のどちらで添加してもその効果に大きな差異は
ない。
体中に存在させる銀は、金属銀または酸化銀のどちらで
も良く、酸化物フェライト磁性体原料粉末の焼成前また
は焼成後のどちらで添加してもその効果に大きな差異は
ない。
【００１１】上記のように、本発明の積層インダクタ
は、銀導電体からなるコイルを埋設した場合における銀
導電体のフェライト磁性体中への拡散が防止されるよう
になったため、優れた電磁気特性を有する信頼性の高い
ものであり、また、外形寸法の小さいフェライト磁性体
内に細いコイル導体を埋設することが可能になるため、
小型化技術に大きく貢献するものである。
は、銀導電体からなるコイルを埋設した場合における銀
導電体のフェライト磁性体中への拡散が防止されるよう
になったため、優れた電磁気特性を有する信頼性の高い
ものであり、また、外形寸法の小さいフェライト磁性体
内に細いコイル導体を埋設することが可能になるため、
小型化技術に大きく貢献するものである。
【００１２】以下、実施例により本発明をさらに詳細に
説明する。しかし本発明の範囲は以下の実施例により制
限されるものではない。
説明する。しかし本発明の範囲は以下の実施例により制
限されるものではない。
【００１３】
【実施例１】本発明の積層インダクタおよび該インダク
タに用いるフェライト磁性体の製造方法の一例を以下に
示す。
タに用いるフェライト磁性体の製造方法の一例を以下に
示す。
【００１４】まず、表１に示す組成比でフェライト原料
粉末を秤量し（Ａｇはその他の成分の合計に対するwt
％）、これに適量の水を加えてボールミルで15時間攪拌
した後、スプレー式乾燥機によりスプレー乾燥して混合
粉末を得た。
粉末を秤量し（Ａｇはその他の成分の合計に対するwt
％）、これに適量の水を加えてボールミルで15時間攪拌
した後、スプレー式乾燥機によりスプレー乾燥して混合
粉末を得た。
【００１５】
【表１】
【００１６】次いで、この混合粉末を 800℃で 1時間焼
成（仮焼成）し、得られた仮焼物をボールミルに入れ、
適量の水を加えて15時間解砕した。次に、得られた泥漿
物をスプレー式乾燥機によりスプレー乾燥して仮焼粉末
を得、この粉末に適量の有機バインダーを加えてスラリ
ーを構成し、ドクターブレード方式によって厚さ75μｍ
のフェライトグリーンシートを作製した。
成（仮焼成）し、得られた仮焼物をボールミルに入れ、
適量の水を加えて15時間解砕した。次に、得られた泥漿
物をスプレー式乾燥機によりスプレー乾燥して仮焼粉末
を得、この粉末に適量の有機バインダーを加えてスラリ
ーを構成し、ドクターブレード方式によって厚さ75μｍ
のフェライトグリーンシートを作製した。
【００１７】次に、上記のようにして作製したフェライ
トグリーンシートにおける所定の位置に複数のスルーホ
ールを形成し、一方の主面上に銀ペーストにより、積層
してスルーホール接続することによってらせん状のコイ
ルが構成されるコイル各部導体パターンを形成した。次
いで、これらのシートを所定の順序で積層し、フェライ
ト磁性体の内部に巻数が６のコイルが複数個埋設された
積層体を得た。得られた積層体は所定のチップ寸法に裁
断し、 900℃の温度で焼成した。
トグリーンシートにおける所定の位置に複数のスルーホ
ールを形成し、一方の主面上に銀ペーストにより、積層
してスルーホール接続することによってらせん状のコイ
ルが構成されるコイル各部導体パターンを形成した。次
いで、これらのシートを所定の順序で積層し、フェライ
ト磁性体の内部に巻数が６のコイルが複数個埋設された
積層体を得た。得られた積層体は所定のチップ寸法に裁
断し、 900℃の温度で焼成した。
【００１８】焼成後、得られたチップ素体におけるコイ
ル末端部導出端面に銀ペーストを塗布し、これを 600℃
の温度で焼き付けて外部電極を形成し、本発明の積層イ
ンダクタを得た。
ル末端部導出端面に銀ペーストを塗布し、これを 600℃
の温度で焼き付けて外部電極を形成し、本発明の積層イ
ンダクタを得た。
【００１９】上記のようにして多数の積層インダクタを
作製し、その中から無作為に 100個を選出し、市販のイ
ンピーダンスアナライザーにより、所定の周波数（測定
周波数）におけるインダクタンス（Ｌ）および品質係数
（Ｑ）を測定し、その平均値を表２に示した。また、こ
れらの積層インダクタの実効磁路長、実効磁路断面積、
コイルの巻数およびインダクタンスから透磁率（μ）を
算出し、さらにこの透磁率（μ）と上記品質係数（Ｑ）
とから磁気特性の目安となるミュウキュウ積（μＱ積）
を算出し、表２に併記した。
作製し、その中から無作為に 100個を選出し、市販のイ
ンピーダンスアナライザーにより、所定の周波数（測定
周波数）におけるインダクタンス（Ｌ）および品質係数
（Ｑ）を測定し、その平均値を表２に示した。また、こ
れらの積層インダクタの実効磁路長、実効磁路断面積、
コイルの巻数およびインダクタンスから透磁率（μ）を
算出し、さらにこの透磁率（μ）と上記品質係数（Ｑ）
とから磁気特性の目安となるミュウキュウ積（μＱ積）
を算出し、表２に併記した。
【００２０】
【表２】
【００２１】
【実施例２】Ｆｅ2 Ｏ3 78.25ｇ、ＮｉＯ26.15 ｇ、Ｚ
ｎＯ8.14ｇおよびＣｕＯ4.77ｇからなるフェライト原料
粉末を仮焼成した後、銀粉 0.6ｇ（該フェライト原料粉
末に対して 0.5wt％）を加えたこと以外は、実施例１と
同様にして積層インダクタを作製し、この積層インダク
タについて実施例１と同様の測定を行い（測定周波数25
MHz）、その結果を表３に示した（試料番号４）。
ｎＯ8.14ｇおよびＣｕＯ4.77ｇからなるフェライト原料
粉末を仮焼成した後、銀粉 0.6ｇ（該フェライト原料粉
末に対して 0.5wt％）を加えたこと以外は、実施例１と
同様にして積層インダクタを作製し、この積層インダク
タについて実施例１と同様の測定を行い（測定周波数25
MHz）、その結果を表３に示した（試料番号４）。
【００２２】
【表３】
【００２３】なお、銀粉は有機バインダーと混合してス
ラリーを構成するときに加えても上記とほぼ同様の結果
が得られた。
ラリーを構成するときに加えても上記とほぼ同様の結果
が得られた。
【００２４】
【実施例３】Ｆｅ2 Ｏ3 78.25ｇ、ＮｉＯ15.69 ｇ、Ｚ
ｎＯ 16.28ｇおよびＣｕＯ7.96ｇからなるフェライト原
料粉末に対して、それぞれ0.01、0.05、 0.1、 1、 5、
7wt％の銀粉を加えたこと以外は実施例２と同様にして
積層インダクタを作製し、これらの積層インダクタにつ
いて実施例１と同様の測定を行い（測定周波数は1MH
z）、その結果を表４に示した。なお、表４におけるＡ
ｇ量はwt％、ＬはμＨである。
ｎＯ 16.28ｇおよびＣｕＯ7.96ｇからなるフェライト原
料粉末に対して、それぞれ0.01、0.05、 0.1、 1、 5、
7wt％の銀粉を加えたこと以外は実施例２と同様にして
積層インダクタを作製し、これらの積層インダクタにつ
いて実施例１と同様の測定を行い（測定周波数は1MH
z）、その結果を表４に示した。なお、表４におけるＡ
ｇ量はwt％、ＬはμＨである。
【００２５】
【表４】
【００２６】
【実施例４】Ｆｅ2 Ｏ3 78.25ｇ、ＮｉＯ15.69 ｇ、Ｚ
ｎＯ 16.28ｇおよびＣｕＯ7.96ｇからなるフェライト原
料粉末に対する金属銀量が 0.5wt％となる量の酸化銀を
添加したこと以外は、実施例２と同様にして積層インダ
クタを作製し、この積層インダクタについて実施例１と
同様の測定を行い（測定周波数1MHz）、その結果を表３
に併記した（試料番号５）。
ｎＯ 16.28ｇおよびＣｕＯ7.96ｇからなるフェライト原
料粉末に対する金属銀量が 0.5wt％となる量の酸化銀を
添加したこと以外は、実施例２と同様にして積層インダ
クタを作製し、この積層インダクタについて実施例１と
同様の測定を行い（測定周波数1MHz）、その結果を表３
に併記した（試料番号５）。
【００２７】
【比較例】Ｆｅ2 Ｏ3 78.25ｇ、ＮｉＯ15.69 ｇ、Ｚｎ
Ｏ 16.28ｇおよびＣｕＯ7.96ｇからなるフェライト原料
粉末に銀粉末を添加しないこと以外は実施例１と同様に
して積層インダクタを作製し、この積層インダクタにつ
いて実施例１と同様の測定を行い（測定周波数1MHz）、
その結果を表３に併記した（試料番号６）。
Ｏ 16.28ｇおよびＣｕＯ7.96ｇからなるフェライト原料
粉末に銀粉末を添加しないこと以外は実施例１と同様に
して積層インダクタを作製し、この積層インダクタにつ
いて実施例１と同様の測定を行い（測定周波数1MHz）、
その結果を表３に併記した（試料番号６）。
【００２８】上記実施例１ないし４および比較例から以
下のことが確認された。すなわち、銀を含む実施例１に
おける試料番号２の試料と比較例における試料番号６の
試料とは、フェライト原料粉末の組成がほぼ同等である
にもかかわらずＡｇを含む試料番号２の試料はＬ、Ｑ、
μのすべてが高い値を示しており、μＱ積に至っては約
80％も向上していた。このことからフェライト磁性体内
に銀を含有させることにより、電磁気特性が著しく向上
することが確認された。
下のことが確認された。すなわち、銀を含む実施例１に
おける試料番号２の試料と比較例における試料番号６の
試料とは、フェライト原料粉末の組成がほぼ同等である
にもかかわらずＡｇを含む試料番号２の試料はＬ、Ｑ、
μのすべてが高い値を示しており、μＱ積に至っては約
80％も向上していた。このことからフェライト磁性体内
に銀を含有させることにより、電磁気特性が著しく向上
することが確認された。
【００２９】また、仮焼成後のフェライト原料粉末に銀
を添加した実施例２における試料番号４の試料と、仮焼
成前のフェライト原料粉末に銀を添加した（原料配合時
に銀を添加）実施例１における試料番号１の試料とは、
銀の添加時期にはあまり大きな差はないが、仮焼成前に
銀を添加したほうが僅かにμＱ積が高くなっていた。こ
のことから、銀の添加時期はフェライト原料粉末の仮焼
成前に添加したほうがより好ましいが、仮焼成後に添加
してもその効果に大きな差異はないことが確認された。
を添加した実施例２における試料番号４の試料と、仮焼
成前のフェライト原料粉末に銀を添加した（原料配合時
に銀を添加）実施例１における試料番号１の試料とは、
銀の添加時期にはあまり大きな差はないが、仮焼成前に
銀を添加したほうが僅かにμＱ積が高くなっていた。こ
のことから、銀の添加時期はフェライト原料粉末の仮焼
成前に添加したほうがより好ましいが、仮焼成後に添加
してもその効果に大きな差異はないことが確認された。
【００３０】さらに、実施例３より、銀の添加量（フェ
ライト原料粉末に対するwt％）は、0.01〜 5wt％の範囲
が良く、0.01wt％より少なかったり 5wt％より多かった
りすると、μＱ積が著しく低下してしまうことが確認さ
れた。また、実施例４（試料番号５）からもわかるよう
に、添加する銀は必ずしも金属粉に限らず酸化物であっ
てもその効果に大きな差異はないことが確認された。
ライト原料粉末に対するwt％）は、0.01〜 5wt％の範囲
が良く、0.01wt％より少なかったり 5wt％より多かった
りすると、μＱ積が著しく低下してしまうことが確認さ
れた。また、実施例４（試料番号５）からもわかるよう
に、添加する銀は必ずしも金属粉に限らず酸化物であっ
てもその効果に大きな差異はないことが確認された。
【００３１】
【発明の効果】本発明の開発により、銀導電体からなる
コイルのフェライト磁性体中への拡散が防止されるよう
になったため、低価格で電磁気特性の向上した信頼性の
高い積層インダクタを得ることができるようになった。
また、本発明の積層インダクタは、外形寸法の小さいフ
ェライト磁性体内に細いコイル導体を埋設することがで
きるため、小型化技術に大きく貢献するものである。
コイルのフェライト磁性体中への拡散が防止されるよう
になったため、低価格で電磁気特性の向上した信頼性の
高い積層インダクタを得ることができるようになった。
また、本発明の積層インダクタは、外形寸法の小さいフ
ェライト磁性体内に細いコイル導体を埋設することがで
きるため、小型化技術に大きく貢献するものである。
Claims (4)
- 【請求項１】 Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系酸化物フェライト磁
性体原料粉末に対して、0.01〜 5wt％の銀を添加してな
るフェライト磁性体中に、銀導電体からなるコイルが埋
設されていることを特徴とする積層インダクダ。 - 【請求項２】 Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系酸化物フェライト磁
性体原料粉末に対して、銀粉を0.01〜 5wt％の割合で混
合し、この混合粉末を仮焼成および解砕した後有機バイ
ンダーと混練し、得られたスラリーからグリーンシート
を形成し、このグリーンシート表面に銀ペーストによっ
てコイル導体パターンを形成した後、これらのシートを
積層し、焼成および外部接続端子の形成を行うことを特
徴とする積層インダクタの製造方法。 - 【請求項３】 銀粉を仮焼成後に加えることを特徴とす
る請求項２記載の積層インダクタの製造方法。 - 【請求項４】 Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系酸化物フェライト磁
性体原料粉末に対して、0.01〜 5wt％の金属銀を含む酸
化銀粉を混合することを特徴とする請求項２記載の積層
インダクタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4093461A JP2725227B2 (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 積層インダクタおよび該積層インダクタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4093461A JP2725227B2 (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 積層インダクタおよび該積層インダクタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05267037A JPH05267037A (ja) | 1993-10-15 |
| JP2725227B2 true JP2725227B2 (ja) | 1998-03-11 |
Family
ID=14082979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4093461A Expired - Fee Related JP2725227B2 (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | 積層インダクタおよび該積層インダクタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2725227B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11273959A (ja) * | 1998-03-18 | 1999-10-08 | Murata Mfg Co Ltd | インダクタ及びその製造方法 |
| DE102007028089A1 (de) * | 2007-06-11 | 2008-12-18 | Würth Elektronik Pforzheim GmbH & Co. KG | Paste zur Herstellung einer Induktivität |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63222018A (ja) * | 1987-03-09 | 1988-09-14 | Taiyo Yuden Co Ltd | フエライト組成物 |
| JPH0630297B2 (ja) * | 1988-02-03 | 1994-04-20 | ティーディーケイ株式会社 | フェライト焼結体およびチップ部品 |
-
1992
- 1992-03-19 JP JP4093461A patent/JP2725227B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05267037A (ja) | 1993-10-15 |
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