JPH01102434A - マトリックス型液晶表示パネル - Google Patents
マトリックス型液晶表示パネルInfo
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- JPH01102434A JPH01102434A JP62260694A JP26069487A JPH01102434A JP H01102434 A JPH01102434 A JP H01102434A JP 62260694 A JP62260694 A JP 62260694A JP 26069487 A JP26069487 A JP 26069487A JP H01102434 A JPH01102434 A JP H01102434A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/124—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or layout of the wiring layers specially adapted to the circuit arrangement, e.g. scanning lines in LCD pixel circuits
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136286—Wiring, e.g. gate line, drain line
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、半導体膜にアモルファス・シリコンを用いた
逆スタガー型の薄膜トランジスタ(以下、TPTと称す
る)をアドレス素子として用いるマトリックス型液晶表
示パネルに関するものである。
逆スタガー型の薄膜トランジスタ(以下、TPTと称す
る)をアドレス素子として用いるマトリックス型液晶表
示パネルに関するものである。
〈従来の技術〉
逆スタガー型のTF’Tをアドレス素子として用いたマ
トリックス型液晶表示パネルの構造の一例を第4図、第
5図(a) 、 (b)に示す。第5図(a)は第4図
のVA−VA線断面図、第5図(b)は第4図のVB−
VB線断線図である。この液晶表示パネルは、絶縁性基
板1の上に、基板保護膜2、ゲート電極3、ゲート絶縁
膜4、アモルファスシリコン(a−5i)膜5、絶縁1
[6、n”a−8il[7、ソース電極及びドレイン電
極8、表示用絵素電極9、保護膜10を順次積層するこ
とにより形成されている。
トリックス型液晶表示パネルの構造の一例を第4図、第
5図(a) 、 (b)に示す。第5図(a)は第4図
のVA−VA線断面図、第5図(b)は第4図のVB−
VB線断線図である。この液晶表示パネルは、絶縁性基
板1の上に、基板保護膜2、ゲート電極3、ゲート絶縁
膜4、アモルファスシリコン(a−5i)膜5、絶縁1
[6、n”a−8il[7、ソース電極及びドレイン電
極8、表示用絵素電極9、保護膜10を順次積層するこ
とにより形成されている。
ここで絶縁性基板lにキズやビットがある場合、あるい
は基板保護膜2にピンホール等がある場合、ゲート電極
3をパターン化する際にエツチング液が浸透(表面に大
きなキズやビットを形成)する。
は基板保護膜2にピンホール等がある場合、ゲート電極
3をパターン化する際にエツチング液が浸透(表面に大
きなキズやビットを形成)する。
従ってゲート電極3を横切ってその上にソースバスライ
ン8′を配線すると、ゲート電極3のキズやビットによ
りソースバスライン8°が断線するという問題が発生す
る。この問題の解決方法として、従来、ゲート電極3と
同材料からなる補強用薄W113°をソースバスライン
8゛下部に形成している。
ン8′を配線すると、ゲート電極3のキズやビットによ
りソースバスライン8°が断線するという問題が発生す
る。この問題の解決方法として、従来、ゲート電極3と
同材料からなる補強用薄W113°をソースバスライン
8゛下部に形成している。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかし、従来技術では補強用薄膜3゛の端部3゜a、3
°bの段差、特に(第6図に明示するように)補強用薄
膜3° とソースバスライン4との間でパターンズレが
生じた場合、ズレ部分でソースバスライン8°が断線す
るという問題が発生していた。
°bの段差、特に(第6図に明示するように)補強用薄
膜3° とソースバスライン4との間でパターンズレが
生じた場合、ズレ部分でソースバスライン8°が断線す
るという問題が発生していた。
本発明はこのような問題点を解決するためになされたも
のである。
のである。
く問題点を解決するための手段〉
本発明は、ソースバスライン下部補強用薄膜の端部にソ
ースバスラインに重なる突起を形成したことを特徴とす
る。
ースバスラインに重なる突起を形成したことを特徴とす
る。
く作 用〉
上記突起状のパターンを有するソースバスライン下部補
強用薄膜により、ソースバスラインと補強用薄膜の重な
る部分を多くし、ソースバスラインの断線を防止する。
強用薄膜により、ソースバスラインと補強用薄膜の重な
る部分を多くし、ソースバスラインの断線を防止する。
〈実施例〉
第1図、第2図(a) 、 (b) 、 (c) 、
(d) 、第3図を用いて本発明の一実施例を詳細に説
明する。ここで、第2図(a) 、 (b) 、 (c
) 、 (d)はそれぞれ第1図ノ■A−IIA線、I
[B−■B線、■C−[IC線、lID−l1D線断面
図で、第3図、は補強用薄膜端部の拡大図である。
(d) 、第3図を用いて本発明の一実施例を詳細に説
明する。ここで、第2図(a) 、 (b) 、 (c
) 、 (d)はそれぞれ第1図ノ■A−IIA線、I
[B−■B線、■C−[IC線、lID−l1D線断面
図で、第3図、は補強用薄膜端部の拡大図である。
ガラスからなる絶縁性基板l上に、スパッタリングによ
り五酸化タンタルからなる絶縁膜2を3000人の厚さ
に形成する。次にスパッタリングによりタンタルを30
00人の厚さに形成し、これをフォトエツチングにより
パターン化して、ゲート電極3及びソースバスライン下
部補強用薄膜3°を同一平面上に形成する。該補強用薄
膜3゜の各端部は突起状を有してなる。
り五酸化タンタルからなる絶縁膜2を3000人の厚さ
に形成する。次にスパッタリングによりタンタルを30
00人の厚さに形成し、これをフォトエツチングにより
パターン化して、ゲート電極3及びソースバスライン下
部補強用薄膜3°を同一平面上に形成する。該補強用薄
膜3゜の各端部は突起状を有してなる。
次にプラズマCVDにより、SiNxからなる絶縁11
14を4000人の厚さに形成し、連続してアモルファ
スシリコン(a−Si)からなる半導体層を300人の
厚さに形成し、さらにSiNxからなる絶縁層を200
0人の厚さに形成する。そして、上記半導体層及び絶縁
層をフォトエツチングにてパターン化する事により半導
体II5、絶縁膜6を形成する。次に、プラズマCVD
によりn“アモルファスシリコノ(na−8i)からな
る半導体膜を400人の厚さに形成し、フォトエツチン
グにてパターン化する事によりパターン化された半導体
膜7を形成する。
14を4000人の厚さに形成し、連続してアモルファ
スシリコン(a−Si)からなる半導体層を300人の
厚さに形成し、さらにSiNxからなる絶縁層を200
0人の厚さに形成する。そして、上記半導体層及び絶縁
層をフォトエツチングにてパターン化する事により半導
体II5、絶縁膜6を形成する。次に、プラズマCVD
によりn“アモルファスシリコノ(na−8i)からな
る半導体膜を400人の厚さに形成し、フォトエツチン
グにてパターン化する事によりパターン化された半導体
膜7を形成する。
次にスパッタリングあるいは電子ビーム蒸着によりTi
、Mo、W等を3000人の厚さに形成し、フォトエツ
チングにてパターン化することによりパターン化された
ソース及びドレイン電極8、さらにソースバスライン8
′を同時に形成する。次にスパッタリングあるいは電子
ビーム蒸着により酸化インジウムを主成分をする透明電
導膜を1000人の厚さに形成し、これをフォトエツチ
ングにてパターン化し、表示用絵素電極9を形成する。
、Mo、W等を3000人の厚さに形成し、フォトエツ
チングにてパターン化することによりパターン化された
ソース及びドレイン電極8、さらにソースバスライン8
′を同時に形成する。次にスパッタリングあるいは電子
ビーム蒸着により酸化インジウムを主成分をする透明電
導膜を1000人の厚さに形成し、これをフォトエツチ
ングにてパターン化し、表示用絵素電極9を形成する。
さらに、プラズマCVDによりSiNxからなる保護膜
lOを5000人の厚さに形成する。
lOを5000人の厚さに形成する。
以上の様にして、突起状のパターンを有するソースバス
ライン下部補強用薄膜3°を形成したマトリクス型液晶
表示パネルを得る事が出来る。
ライン下部補強用薄膜3°を形成したマトリクス型液晶
表示パネルを得る事が出来る。
上記の突起状のパターンを有するソースバスライン下部
補強要薄膜3°により、ソースバスライン8° とのパ
ターンズレが生じても、ソースバスライン8°の断線欠
陥が少なくなる。即ち、第3図の拡大図に明らかなよう
に、補強用薄膜3° とソースバスライン8° との間
にパターンズレが生じ、仮に、A部分で断線の恐れがあ
っても、補強用薄WX3°端部の突起部分Bでソースバ
スライン8° と多(重なり合うことができ、該部分の
重なりでソースバスライン8゛の断線を防止できる。
補強要薄膜3°により、ソースバスライン8° とのパ
ターンズレが生じても、ソースバスライン8°の断線欠
陥が少なくなる。即ち、第3図の拡大図に明らかなよう
に、補強用薄膜3° とソースバスライン8° との間
にパターンズレが生じ、仮に、A部分で断線の恐れがあ
っても、補強用薄WX3°端部の突起部分Bでソースバ
スライン8° と多(重なり合うことができ、該部分の
重なりでソースバスライン8゛の断線を防止できる。
〈発明の効果〉
以上のように本発明によれば、ソースバスライン下部の
補強用薄膜のパターンを長方形より突起状のパターンを
設けることにより、ソースバスライン下部の補強用薄膜
とソースバスラインとの間のパターンズレにより生じる
ソースバスライン断線欠陥のないマトリックス型液晶表
示パネルを提供することが出来る。
補強用薄膜のパターンを長方形より突起状のパターンを
設けることにより、ソースバスライン下部の補強用薄膜
とソースバスラインとの間のパターンズレにより生じる
ソースバスライン断線欠陥のないマトリックス型液晶表
示パネルを提供することが出来る。
第1図は本発明の一実施例を示す平面図、第2図(a)
、 (b) 、 (c) 、 (d)はそれぞれ第1
図の■A−IIA線、JIB−JIB線、nc−na線
、IID−nD線断面図、 第3図は第1図の要部拡大図、 第4図は従来例を示す平面図、 第5図(a) 、 (b)はそれぞれ第4図のVA−V
A線、VB−VB線断面図、 第6図は第4図の要部拡大図である。 l・・・絶縁性基板、2.4.6・・・絶縁膜、3・・
・ゲート電極、3”・・・補強用薄膜、5.7・・・半
導体膜、 8・・・ソースあるいはドレイン電極、8′・・・ソー
スバスライン、9・・・絵素電極、10・・・保護膜。 代理人 弁理士 杉 山 毅 至(他1名)第1図 第2 図(Q) 室2図(()) 口 寸 1駅 ロ ロ !−Ou〕 牝9
、 (b) 、 (c) 、 (d)はそれぞれ第1
図の■A−IIA線、JIB−JIB線、nc−na線
、IID−nD線断面図、 第3図は第1図の要部拡大図、 第4図は従来例を示す平面図、 第5図(a) 、 (b)はそれぞれ第4図のVA−V
A線、VB−VB線断面図、 第6図は第4図の要部拡大図である。 l・・・絶縁性基板、2.4.6・・・絶縁膜、3・・
・ゲート電極、3”・・・補強用薄膜、5.7・・・半
導体膜、 8・・・ソースあるいはドレイン電極、8′・・・ソー
スバスライン、9・・・絵素電極、10・・・保護膜。 代理人 弁理士 杉 山 毅 至(他1名)第1図 第2 図(Q) 室2図(()) 口 寸 1駅 ロ ロ !−Ou〕 牝9
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、逆スタガー型の薄膜トランジスタをアドレス表示と
して用い、マトリックス表示する液晶表示パネルに於い
て、 ソースバスライン下部に補強用薄膜のパターンを設け、
該補強用薄膜の端部に前記ソースバスラインと重なる突
起を形成したことを特徴とするマトリックス型液晶表示
パネル。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62260694A JPH01102434A (ja) | 1987-10-15 | 1987-10-15 | マトリックス型液晶表示パネル |
EP88308178A EP0313199B1 (en) | 1987-10-15 | 1988-09-02 | Liquid crystal display device |
DE88308178T DE3883697T2 (de) | 1987-10-15 | 1988-09-02 | Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung. |
US07/486,359 US4991939A (en) | 1987-10-15 | 1990-02-28 | Liquid crystal display device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62260694A JPH01102434A (ja) | 1987-10-15 | 1987-10-15 | マトリックス型液晶表示パネル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01102434A true JPH01102434A (ja) | 1989-04-20 |
JPH0569409B2 JPH0569409B2 (ja) | 1993-10-01 |
Family
ID=17351478
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62260694A Granted JPH01102434A (ja) | 1987-10-15 | 1987-10-15 | マトリックス型液晶表示パネル |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4991939A (ja) |
EP (1) | EP0313199B1 (ja) |
JP (1) | JPH01102434A (ja) |
DE (1) | DE3883697T2 (ja) |
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KR100379565B1 (ko) * | 1999-07-07 | 2003-04-10 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 액정 표시장치 |
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US5287206A (en) * | 1990-11-30 | 1994-02-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | Active matrix display device |
JP2650780B2 (ja) * | 1990-11-30 | 1997-09-03 | シャープ株式会社 | アクティブマトリクス基板 |
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