JP7440183B2 - 高度な流体処理方法およびシステム - Google Patents
高度な流体処理方法およびシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP7440183B2 JP7440183B2 JP2021111069A JP2021111069A JP7440183B2 JP 7440183 B2 JP7440183 B2 JP 7440183B2 JP 2021111069 A JP2021111069 A JP 2021111069A JP 2021111069 A JP2021111069 A JP 2021111069A JP 7440183 B2 JP7440183 B2 JP 7440183B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- mixing tank
- mixing
- chemical composition
- continuous
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 125
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims description 57
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 231
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 211
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 174
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 132
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 43
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims description 43
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 37
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 26
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 20
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 58
- 230000008569 process Effects 0.000 description 54
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 38
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 36
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 32
- 239000000047 product Substances 0.000 description 29
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 25
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 21
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 19
- 239000000109 continuous material Substances 0.000 description 15
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 13
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical group [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 12
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 12
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 11
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 9
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 7
- WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M Potassium chloride Chemical compound [Cl-].[K+] WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 6
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 6
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 6
- FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N potassium nitrate Chemical compound [K+].[O-][N+]([O-])=O FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 5
- 239000002585 base Substances 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- -1 potassium ferricyanide Chemical compound 0.000 description 4
- VDZOOKBUILJEDG-UHFFFAOYSA-M tetrabutylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC VDZOOKBUILJEDG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- PAWQVTBBRAZDMG-UHFFFAOYSA-N 2-(3-bromo-2-fluorophenyl)acetic acid Chemical compound OC(=O)CC1=CC=CC(Br)=C1F PAWQVTBBRAZDMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013019 agitation Methods 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 description 3
- VBIXEXWLHSRNKB-UHFFFAOYSA-N ammonium oxalate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]C(=O)C([O-])=O VBIXEXWLHSRNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BFNBIHQBYMNNAN-UHFFFAOYSA-N ammonium sulfate Chemical compound N.N.OS(O)(=O)=O BFNBIHQBYMNNAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052921 ammonium sulfate Inorganic materials 0.000 description 3
- 235000011130 ammonium sulphate Nutrition 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 3
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 3
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001103 potassium chloride Substances 0.000 description 3
- 235000011164 potassium chloride Nutrition 0.000 description 3
- 239000001508 potassium citrate Substances 0.000 description 3
- 229960002635 potassium citrate Drugs 0.000 description 3
- QEEAPRPFLLJWCF-UHFFFAOYSA-K potassium citrate (anhydrous) Chemical compound [K+].[K+].[K+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O QEEAPRPFLLJWCF-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 3
- 235000011082 potassium citrates Nutrition 0.000 description 3
- 239000004323 potassium nitrate Substances 0.000 description 3
- 235000010333 potassium nitrate Nutrition 0.000 description 3
- OTYBMLCTZGSZBG-UHFFFAOYSA-L potassium sulfate Chemical compound [K+].[K+].[O-]S([O-])(=O)=O OTYBMLCTZGSZBG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 229910052939 potassium sulfate Inorganic materials 0.000 description 3
- 235000011151 potassium sulphates Nutrition 0.000 description 3
- 150000003856 quaternary ammonium compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 3
- YWYZEGXAUVWDED-UHFFFAOYSA-N triammonium citrate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[NH4+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O YWYZEGXAUVWDED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 3
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical compound C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 2
- 238000001246 colloidal dispersion Methods 0.000 description 2
- 238000005112 continuous flow technique Methods 0.000 description 2
- 238000011437 continuous method Methods 0.000 description 2
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 2
- 238000004128 high performance liquid chromatography Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- VCJMYUPGQJHHFU-UHFFFAOYSA-N iron(3+);trinitrate Chemical compound [Fe+3].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O VCJMYUPGQJHHFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011268 mixed slurry Substances 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 2
- 229960003975 potassium Drugs 0.000 description 2
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 2
- KMUONIBRACKNSN-UHFFFAOYSA-N potassium dichromate Chemical compound [K+].[K+].[O-][Cr](=O)(=O)O[Cr]([O-])(=O)=O KMUONIBRACKNSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003134 recirculating effect Effects 0.000 description 2
- SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N silver(1+) nitrate Chemical compound [Ag+].[O-]N(=O)=O SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZKQDCIXGCQPQNV-UHFFFAOYSA-N Calcium hypochlorite Chemical compound [Ca+2].Cl[O-].Cl[O-] ZKQDCIXGCQPQNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000005708 Sodium hypochlorite Substances 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QUEDYRXQWSDKKG-UHFFFAOYSA-M [O-2].[O-2].[V+5].[OH-] Chemical compound [O-2].[O-2].[V+5].[OH-] QUEDYRXQWSDKKG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002280 amphoteric surfactant Substances 0.000 description 1
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 1
- 150000001565 benzotriazoles Chemical class 0.000 description 1
- 239000003139 biocide Substances 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 235000015165 citric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012847 fine chemical Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N hypochlorous acid Chemical compound ClO QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 238000002354 inductively-coupled plasma atomic emission spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M iron chloride Chemical compound [Cl-].[Fe] FBAFATDZDUQKNH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- MVFCKEFYUDZOCX-UHFFFAOYSA-N iron(2+);dinitrate Chemical compound [Fe+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O MVFCKEFYUDZOCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004895 liquid chromatography mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- YZQBYALVHAANGI-UHFFFAOYSA-N magnesium;dihypochlorite Chemical compound [Mg+2].Cl[O-].Cl[O-] YZQBYALVHAANGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 150000007530 organic bases Chemical class 0.000 description 1
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 239000003002 pH adjusting agent Substances 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000004965 peroxy acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000021317 phosphate Nutrition 0.000 description 1
- 150000003013 phosphoric acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 235000011181 potassium carbonates Nutrition 0.000 description 1
- SATVIFGJTRRDQU-UHFFFAOYSA-N potassium hypochlorite Chemical compound [K+].Cl[O-] SATVIFGJTRRDQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLKDVMWYMMLWTI-UHFFFAOYSA-M potassium iodate Chemical compound [K+].[O-]I(=O)=O JLKDVMWYMMLWTI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000001230 potassium iodate Substances 0.000 description 1
- 235000006666 potassium iodate Nutrition 0.000 description 1
- 229940093930 potassium iodate Drugs 0.000 description 1
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 1
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 229910001961 silver nitrate Inorganic materials 0.000 description 1
- SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N sodium hypochlorite Chemical compound [Na+].Cl[O-] SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 150000003460 sulfonic acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000003467 sulfuric acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 1
- 150000003852 triazoles Chemical class 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/09—Mixing systems, i.e. flow charts or diagrams for components having more than two different of undetermined agglomeration states, e.g. supercritical states
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F33/00—Other mixers; Mixing plants; Combinations of mixers
- B01F33/80—Mixing plants; Combinations of mixers
- B01F33/84—Mixing plants with mixing receptacles receiving material dispensed from several component receptacles, e.g. paint tins
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
- B01F25/50—Circulation mixers, e.g. wherein at least part of the mixture is discharged from and reintroduced into a receptacle
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B57/00—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents
- B24B57/02—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents for feeding of fluid, sprayed, pulverised, or liquefied grinding, polishing or lapping agents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D37/00—Processes of filtration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D37/00—Processes of filtration
- B01D37/04—Controlling the filtration
- B01D37/043—Controlling the filtration by flow measuring
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/40—Mixing liquids with liquids; Emulsifying
- B01F23/45—Mixing liquids with liquids; Emulsifying using flow mixing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/40—Mixing liquids with liquids; Emulsifying
- B01F23/49—Mixing systems, i.e. flow charts or diagrams
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/50—Mixing liquids with solids
- B01F23/51—Methods thereof
- B01F23/511—Methods thereof characterised by the composition of the liquids or solids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/50—Mixing liquids with solids
- B01F23/53—Mixing liquids with solids using driven stirrers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/80—After-treatment of the mixture
- B01F23/808—Filtering the mixture
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
- B01F25/10—Mixing by creating a vortex flow, e.g. by tangential introduction of flow components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
- B01F25/50—Circulation mixers, e.g. wherein at least part of the mixture is discharged from and reintroduced into a receptacle
- B01F25/51—Circulation mixers, e.g. wherein at least part of the mixture is discharged from and reintroduced into a receptacle in which the mixture is circulated through a set of tubes, e.g. with gradual introduction of a component into the circulating flow
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F27/00—Mixers with rotary stirring devices in fixed receptacles; Kneaders
- B01F27/05—Stirrers
- B01F27/11—Stirrers characterised by the configuration of the stirrers
- B01F27/19—Stirrers with two or more mixing elements mounted in sequence on the same axis
- B01F27/191—Stirrers with two or more mixing elements mounted in sequence on the same axis with similar elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/181—Preventing generation of dust or dirt; Sieves; Filters
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/20—Measuring; Control or regulation
- B01F35/21—Measuring
- B01F35/211—Measuring of the operational parameters
- B01F35/2111—Flow rate
- B01F35/21111—Mass flow rate
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/20—Measuring; Control or regulation
- B01F35/21—Measuring
- B01F35/211—Measuring of the operational parameters
- B01F35/2117—Weight
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/20—Measuring; Control or regulation
- B01F35/21—Measuring
- B01F35/2132—Concentration, pH, pOH, p(ION) or oxygen-demand
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/20—Measuring; Control or regulation
- B01F35/21—Measuring
- B01F35/2133—Electrical conductivity or dielectric constant of the mixture
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/20—Measuring; Control or regulation
- B01F35/21—Measuring
- B01F35/2134—Density or solids or particle number
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/20—Measuring; Control or regulation
- B01F35/22—Control or regulation
- B01F35/2201—Control or regulation characterised by the type of control technique used
- B01F35/2202—Controlling the mixing process by feed-back, i.e. a measured parameter of the mixture is measured, compared with the set-value and the feed values are corrected
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/20—Measuring; Control or regulation
- B01F35/22—Control or regulation
- B01F35/221—Control or regulation of operational parameters, e.g. level of material in the mixer, temperature or pressure
- B01F35/2211—Amount of delivered fluid during a period
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/71—Feed mechanisms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/71—Feed mechanisms
- B01F35/711—Feed mechanisms for feeding a mixture of components, i.e. solids in liquid, solids in a gas stream
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/71—Feed mechanisms
- B01F35/712—Feed mechanisms for feeding fluids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/71—Feed mechanisms
- B01F35/714—Feed mechanisms for feeding predetermined amounts
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/71—Feed mechanisms
- B01F35/717—Feed mechanisms characterised by the means for feeding the components to the mixer
- B01F35/7176—Feed mechanisms characterised by the means for feeding the components to the mixer using pumps
- B01F35/71761—Membrane pumps
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/80—Forming a predetermined ratio of the substances to be mixed
- B01F35/83—Forming a predetermined ratio of the substances to be mixed by controlling the ratio of two or more flows, e.g. using flow sensing or flow controlling devices
- B01F35/832—Flow control by weighing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/80—Forming a predetermined ratio of the substances to be mixed
- B01F35/83—Forming a predetermined ratio of the substances to be mixed by controlling the ratio of two or more flows, e.g. using flow sensing or flow controlling devices
- B01F35/833—Flow control by valves, e.g. opening intermittently
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/80—Forming a predetermined ratio of the substances to be mixed
- B01F35/88—Forming a predetermined ratio of the substances to be mixed by feeding the materials batchwise
- B01F35/881—Forming a predetermined ratio of the substances to be mixed by feeding the materials batchwise by weighing, e.g. with automatic discharge
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/90—Heating or cooling systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B57/00—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
- B65B3/00—Packaging plastic material, semiliquids, liquids or mixed solids and liquids, in individual containers or receptacles, e.g. bags, sacks, boxes, cartons, cans, or jars
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/02—Polishing compositions containing abrasives or grinding agents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
- B01F2025/91—Direction of flow or arrangement of feed and discharge openings
- B01F2025/913—Vortex flow, i.e. flow spiraling in a tangential direction and moving in an axial direction
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
- B01F2025/91—Direction of flow or arrangement of feed and discharge openings
- B01F2025/916—Turbulent flow, i.e. every point of the flow moves in a random direction and intermixes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
- B01F35/90—Heating or cooling systems
- B01F2035/99—Heating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F2101/00—Mixing characterised by the nature of the mixed materials or by the application field
- B01F2101/2204—Mixing chemical components in generals in order to improve chemical treatment or reactions, independently from the specific application
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F2101/00—Mixing characterised by the nature of the mixed materials or by the application field
- B01F2101/27—Mixing ingredients for grinding, polishing or lapping materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1409—Abrasive particles per se
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
- C09K3/1463—Aqueous liquid suspensions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Accessories For Mixers (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
本出願は、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる2016年3月11日に出願された米国仮出願第62/306,795号の優先権を主張する。
本開示は、流体連続処理の方法、ならびに関連するシステム及び構成要素に関する。
代表的な3つの例を以下に示す。これらの例は本開示で説明されるACPプロセスを、従来のバッチプロセス(以下では図2に示される「バッチプロセス」とも呼ばれる)および従来の連続プロセス(以下では図3に示される「連続プロセス」とも呼ばれる)と比較する。3つの実施例の各々について、100生産ロットにわたって試験結果を収集した。
処理量分析のための詳細な研究を、ACPプロセス、従来のバッチプロセス、および従来の連続プロセスについて行った。以下、これら3つの処理の手順を説明する。
100ロットの研磨組成物を、バッチ製造プロセスを用いて作製した。研磨組成物には、化学物質、水およびシリカ研磨粒子が含まれる。化学物質には、カルボン酸(酸2)、有機塩基(塩基2)、および他の化学物質が含まれる。図2に示すように、各ロットについて、上記化学薬品および水を、材料タンク12、13、および16から3000ガロンタンク20(混合タンクおよび保持タンクの両方として働く)にポンプ13a、b、cおよびマスフローコントローラ15a、b、cを通じて1つずつポンプ輸送した。次いで、シリカ研磨剤分散液を、材料タンク18からポンプ13dおよびマスフローコントローラ15dを通じてタンク20にポンプ輸送した。タンク20はパドル型ミキサー17を含み、これを作動させて全ての成分を混合した。数時間の混合後、濾過操作および包装操作を開始した。具体的には、タンクからの混合研磨組成物を、濾過装置20(いくつかの濾過バンクを含む)を通して、完成品を保持する包装ステーション24(ドラムまたはトートを含む)にポンプ輸送した。包装された研磨組成物について品質管理を行った。製造処理量は、包装物のガロン数を、その特定のロットの研磨組成物を作製するために使用された合計時間で割ることによって測定した。合計時間は、全ての化学薬品、水および研磨剤分散液を導入する時間、混合時間、ならびに濾過および包装時間を含んだ。正規化処理量データを図5に要約する。
100ロットの研磨組成物を、連続スタティックミキサーブレンドプロセスを用いて作製した。研磨組成物は、酸1および塩基1(酸2および塩基2の代わりに)を含むことを除いて、バッチプロセスから作製された研磨組成物と同様である。このプロセスでは、化学物質、水、および研磨材分散液などの原材料を、多数のインライン静的ミキサーを用いて混合した。これは、以下のように連続的に行われた。
同じ研磨組成物の100ロットを、図1または図4に記載のブレンドシステムを用いて製造した。
ACPプロセスの生産処理量は、包装物のガロン数を生産時間で割ることによって測定した。
実施例1に記載の3つのプロセスから得られた製品の品質およびプロセス変動が、製品品質にどのように影響するかを分析するために、詳細な研究を行った。先に述べたように、分析QCデータ/プロセスパラメータを、3つのプロセス:バッチ、連続、およびACPの各々の100回の生産運転について収集した。これらのパラメータは、完成したロットについて3つのサンプルについて測定された。したがって、各製造プロセスについて、100回の製造工程があるので、任意のパラメータについて300個のデータポイントを収集した。特定のロットにおける3つのサンプルはそれぞれ、ロットの出発パッケージ(例えば、最初のドラム)、ロットの中間パッケージ、および同じロットの最後のパッケージから引き出された。
半導体産業は、消耗品が最終チップ製品の歩留まりに大きな影響を与えるため、消耗品の品質に関して非常に厳しい。したがって、研磨組成物または化学組成物などの消耗品については、個々の未加工成分の濃度が監視され、販売された製品に付随する分析証明書に報告される。したがって、各製品成分の品質/濃度が満足のいくものであり、製品の個々の成分の濃度の変動が最小限であることが必須である。原材料(例えば、酸または塩基)の濃度が顧客の定めた管理限界から外れた場合、製品は販売可能ではないとみなされ、ベンダーが廃棄しなければならず、製品は廃棄される。
本開示に係る態様は、以下の態様を含む。
<1>
少なくとも1つの混合タンク内で複数の連続材料流を混合して化学組成物を形成すること、ここで各連続材料流は前記化学組成物の少なくとも1つの成分を含むことと、
前記化学組成物の連続流を前記少なくとも1つの混合タンクの下流にある包装ステーションに移動させることと、
を含み、
前記混合工程および前記移動工程は連続的に実行され、
前記材料流および化学組成物流はインプロセス定常状態(in-process steady state)にあり、
前記少なくとも1つの混合タンク内における前記混合工程は前記材料流の乱流混合、前記材料流の機械的撹拌、前記化学組成物の再循環、およびそれらの組合せからなる群より選択される少なくとも1つの混合方法を含む、
前記化学組成物を作製する方法。
<2>
前記混合工程の前に実質的に一定の流量を有する材料流を得ることをさらに含む、<1>に記載の方法。
<3>
実質的に一定の流量を有する材料流を得ることは、所定の流量に達するまで、少なくとも1つの流体移送ユニットおよび少なくとも1つの流れ制御ユニットを通じて材料タンク内の前記材料流を連続的に再循環することを含む、<2>に記載の方法。
<4>
前記連続的プロセスを中断することなく、前記混合タンク内の前記化学組成物のインプロセス品質管理測定を実行することをさらに含む、<1>に記載の方法。
<5>
前記混合タンクは約40リットル~約1,500リットルの容積を有する、<1>に記載の方法。
<6>
前記化学組成物は希釈剤、酸、塩基、塩、および研磨粒子を含む成分から調製される研磨組成物である、<1>に記載の方法。
<7>
前記希釈剤は脱イオン水を含む、<6>に記載の方法。
<8>
前記酸は有機酸、無機酸、またはそれらの混合物を含む、<6>に記載の方法。
<9>
前記塩基は水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、四級アンモニウム化合物、またはそれらの混合物を含む、<6>に記載の方法。
<10>
前記塩はクエン酸カリウム、炭酸カリウム、硝酸アンモニウム、硫酸アンモニウム、クエン酸アンモニウム、シュウ酸アンモニウム、硝酸カリウム、硫酸カリウム、塩化カリウム、又はそれらの混合物を含む、<6>に記載の方法。
<11>
前記研磨粒子はシリカ、セリア、チタニア、アルミナ、またはそれらの混合物を含む、<6>に記載の方法。
<12>
前記研磨粒子はコロイダルシリカを含む、<6>に記載の方法。
<13>
前記化学組成物の連続流はシリカを約50重量%以下含む、<12>に記載の方法。
<14>
前記化学組成物の連続流は約2~約11のpHを有する、<1>に記載の方法。
<15>
前記化学組成物の連続流は約2~約9のpHを有する、<14>に記載の方法。
<16>
包装する前に前記化学組成物を保持タンク内に連続的に移動させることをさらに含む、<1>に記載の方法。
<17>
前記化学組成物の連続流を前記包装ステーションに移動する前に、前記化学組成物の連
続流を濾過する工程をさらに含む、<1>に記載の方法。
<18>
前記混合タンクを出る前記化学組成物の連続流は少なくとも約20リットル/分の体積流量を有する、<1>に記載の方法。
<19>
成分の重量における総ロット間変動が約1%以下である化学組成物を作製する、<1>に記載の方法。
<20>
成分の重量における総ロット内変動が約1%以下である化学組成物を作製する、<1>に記載の方法。
<21>
それぞれ化学組成物を作製するために使用される材料を受容するように構成された複数の材料タンク;及び
前記複数の材料タンクからの複数種の前記材料が化学組成物を形成するように混合される少なくとも1つの混合タンクであって、前記複数の材料タンクと流体連通し、前記複数の材料タンクから前記複数種の材料を連続的に受容し且つ前記化学組成物を下流に連続的に送達するように構成された混合タンク
を含む、システムであって、
前記混合タンクは、前記混合タンクと流体連通する再循環ループを任意で含み、
前記システムは、前記混合タンクの下流にあり前記混合タンクと流体連通する少なくとも1つの保持タンクを任意で含み、
前記システムは、前記混合タンク又は前記任意に設けられる保持タンクと流体連通し、化学組成物を受容し、濾過するように構成された少なくとも1つの濾過装置を任意で含み、
前記システムは、各材料タンクと混合タンクとの間にインラインスタティックミキサーまたはインラインダイナミックミキサーを含まない、前記システム。
<22>
前記混合タンクが少なくとも1つの混合システムを含む、<21>に記載のシステム。<23>
前記混合システムが攪拌機、ボルテックス、乱流ミキサー、再循環ループ(recirculation loop)、またはそれらの組合せを含む、<22>に記載のシステム。
<24>
システム構成要素に一体的に取り付けられた少なくとも1つの品質判定ユニットをさらに含む、<21>に記載のシステム。
<25>
前記品質判定ユニットがpHメーター、導電率メーター、濃度メーター、またはLPC(Large Particle Count)メーターを含む、<24>に記載のシステム。
<26>
前記混合タンクは約40リットル~約1,500リットルの容積を有する、<21>に記載のシステム。
<27>
各材料タンクと流体連通し各材料タンク内の材料を前記混合タンクに連続的に移送するように構成された流体移送ユニットをさらに含む、<21>に記載のシステム。
<28>
各材料タンクと前記混合タンクとの間に、各材料タンクから前記混合タンクに移送される前記材料の流量を調整するように構成された流体フローコントローラユニットをさらに含む、<21>に記載のシステム。
<29>
各材料タンクと接触し各材料タンク内の内容物重量を測定するように構成されたロード
セルを含む、<21>に記載のシステム。
<30>
前記混合タンクから化学組成物を連続的に受け取るように構成された保持タンクをさらに含む、<21>に記載のシステム。
<31>
前記保持タンクは約1,500リットル~約20,000リットルの容積を有する、<30>に記載のシステム。
<32>
前記濾過装置を含む、<21>に記載のシステム。
<33>
前記混合タンクの下流に、前記化学組成物を包装するように構成された包装ステーションをさらに含む、<21>に記載のシステム。
<34>
システム構成要素から別のシステム構成要素に材料を連続的に移送するようにそれぞれ構成された複数の流体移送ユニットをさらに含む、<21>に記載のシステム。
<35>
システム構成要素をそれぞれ独立して加熱するように構成された少なくとも1つの加熱ユニットをさらに含む、<21>に記載のシステム。
<36>
前記混合タンクと流体連通し前記化学組成物を再循環して前記混合タンクに戻すように構成された前記再循環ループをさらに含む、<21>に記載のシステム。
Claims (15)
- それぞれ化学組成物を作製するために使用される材料を受容するように構成された複数の材料タンク;
前記複数の材料タンクからの複数種の前記材料が化学組成物を形成するように混合される少なくとも1つの混合タンク、ここで、前記混合タンクは、前記複数の材料タンクの各々と独立に流体連通し、前記混合タンクは、前記複数の材料タンクから前記複数種の材料を連続的に受容し且つ前記化学組成物を下流に連続的に送達するように構成され、前記混合タンクは、前記混合タンクと流体連通する再循環ループを任意で含んでいる、及び
前記混合タンクの下流にあり、前記化学組成物を製品へと包装するように構成された包装ステーション、
を含む、システムであって、
前記システムは、前記混合タンクの下流にあり前記混合タンクと流体連通する少なくとも1つの保持タンクを任意で含み、
前記システムは、前記混合タンク又は前記任意に設けられる保持タンクと流体連通する少なくとも1つの濾過装置であって、化学組成物を受容し、濾過するように構成された少なくとも1つの濾過装置を任意で含み、
前記システムは、各材料タンクと前記混合タンクとの間にインラインスタティックミキサー及びインラインダイナミックミキサーのどちらも含まず、前記システムは、前記少なくとも1つの混合タンクに受容される材料と前記少なくとも1つの混合タンクを出る化学組成物とがインプロセス定常状態(in-process steady state)を形成するように構成されている、前記システム。 - 前記混合タンクが少なくとも1つの混合システムを含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記混合システムが、攪拌機、ボルテックス、乱流ミキサー、再循環ループ(recirculation loop)、又はそれらの組合せを含む、請求項2に記載のシステム。
- 材料タンク、保持タンク、濾過装置、混合タンク、及び接続パイプから選ばれるシステム構成要素に一体的に取り付けられた少なくとも1つの品質判定ユニットをさらに含む、請求項1~3のうちいずれか1項に記載のシステム。
- 前記品質判定ユニットがpHメーター、導電率メーター、濃度メーター、又はLPC(Large Particle Count)メーターを含む、請求項4に記載のシステム。
- 前記混合タンクは約40リットル~約1,500リットルの容積を有する、請求項1~5のうちいずれか1項に記載のシステム。
- 各材料タンクと流体連通し、各材料タンク内の材料を前記混合タンクに連続的に移送するように構成された流体移送ユニットをさらに含む、請求項1~6のうちいずれか1項に記載のシステム。
- 各材料タンクと前記混合タンクとの間に、各材料タンクから前記混合タンクに移送される前記材料の流量を調整するように構成された流体フローコントローラユニットをさらに含む、請求項1~7のうちいずれか1項に記載のシステム。
- 各材料タンクと接触し、各材料タンク内の内容物重量を測定するように構成されたロードセルを含む、請求項1~8のうちいずれか1項に記載のシステム。
- 前記混合タンクから化学組成物を連続的に受け取るように構成された保持タンクをさらに含む、請求項1~9のうちいずれか1項に記載のシステム。
- 前記保持タンクは約1,500リットル~約20,000リットルの容積を有する、請求項10に記載のシステム。
- 前記濾過装置を含む、請求項1~11のうちいずれか1項に記載のシステム。
- 材料タンク、混合タンク、及び保持タンクから選ばれるシステム構成要素から、混合タンク、保持タンク、及び包装ステーションから選ばれる別のシステム構成要素に材料を連続的に移送するようにそれぞれ構成された複数の流体移送ユニットをさらに含む、請求項1~12のうちいずれか1項に記載のシステム。
- 材料タンク、混合タンク、及び保持タンクから選ばれるシステム構成要素をそれぞれ独立して加熱するように構成された少なくとも1つの加熱ユニットをさらに含む、請求項1~13のうちいずれか1項に記載のシステム。
- 前記化学組成物を前記混合タンクに戻すように再循環させるよう構成された前記再循環ループをさらに含む、請求項1~14のうちいずれか1項に記載のシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023174768A JP2024009903A (ja) | 2016-03-11 | 2023-10-06 | 高度な流体処理方法およびシステム |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201662306795P | 2016-03-11 | 2016-03-11 | |
US62/306,795 | 2016-03-11 | ||
JP2018548093A JP7306608B2 (ja) | 2016-03-11 | 2017-02-14 | 高度な流体処理方法およびシステム |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018548093A Division JP7306608B2 (ja) | 2016-03-11 | 2017-02-14 | 高度な流体処理方法およびシステム |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023174768A Division JP2024009903A (ja) | 2016-03-11 | 2023-10-06 | 高度な流体処理方法およびシステム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021169083A JP2021169083A (ja) | 2021-10-28 |
JP2021169083A5 JP2021169083A5 (ja) | 2023-03-09 |
JP7440183B2 true JP7440183B2 (ja) | 2024-02-28 |
Family
ID=58428042
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018548093A Active JP7306608B2 (ja) | 2016-03-11 | 2017-02-14 | 高度な流体処理方法およびシステム |
JP2021111069A Active JP7440183B2 (ja) | 2016-03-11 | 2021-07-02 | 高度な流体処理方法およびシステム |
JP2023174768A Pending JP2024009903A (ja) | 2016-03-11 | 2023-10-06 | 高度な流体処理方法およびシステム |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018548093A Active JP7306608B2 (ja) | 2016-03-11 | 2017-02-14 | 高度な流体処理方法およびシステム |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023174768A Pending JP2024009903A (ja) | 2016-03-11 | 2023-10-06 | 高度な流体処理方法およびシステム |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10159949B2 (ja) |
EP (2) | EP3248673B1 (ja) |
JP (3) | JP7306608B2 (ja) |
KR (4) | KR20170106233A (ja) |
CN (1) | CN107198975B (ja) |
IL (1) | IL261595A (ja) |
SG (1) | SG11201807521WA (ja) |
TW (4) | TWI673353B (ja) |
WO (1) | WO2017155669A1 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7306608B2 (ja) | 2016-03-11 | 2023-07-11 | フジフイルム エレクトロニック マテリアルズ ユー.エス.エー., インコーポレイテッド | 高度な流体処理方法およびシステム |
EA039921B1 (ru) * | 2017-09-18 | 2022-03-28 | Ферринг Интернешнл Сентер С.А. | Изготовление фармацевтических составов |
CN107661728B (zh) * | 2017-09-19 | 2019-09-24 | 中国计量大学 | 基于变速率学习的直落式物料配料装置及其控制器 |
EP3883676A4 (en) * | 2018-11-20 | 2022-10-05 | FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc. | SOLVENT PURIFICATION SYSTEMS AND METHODS |
CN109433037A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-03-08 | 扬州宏远电子股份有限公司 | 一种电极箔生产用腐蚀液自动配液装置 |
IT201900010236A1 (it) * | 2019-06-27 | 2020-12-27 | Ats S R L | Processo di preparazione e confezionamento di un prodotto cosmetico e impianto implementante lo stesso |
JP7133518B2 (ja) * | 2019-06-30 | 2022-09-08 | 株式会社西村ケミテック | 研磨液供給装置 |
US11701628B2 (en) * | 2019-07-12 | 2023-07-18 | EnviroTech Water Treatment L.L.C. | Direct chemical injection systems and methods |
CA3103416C (en) * | 2019-12-30 | 2022-01-25 | Marathon Petroleum Company Lp | Methods and systems for inline mixing of hydrocarbon liquids |
US11559774B2 (en) | 2019-12-30 | 2023-01-24 | Marathon Petroleum Company Lp | Methods and systems for operating a pump at an efficiency point |
US11607654B2 (en) | 2019-12-30 | 2023-03-21 | Marathon Petroleum Company Lp | Methods and systems for in-line mixing of hydrocarbon liquids |
CA3104319C (en) | 2019-12-30 | 2023-01-24 | Marathon Petroleum Company Lp | Methods and systems for spillback control of in-line mixing of hydrocarbon liquids |
WO2021146500A1 (en) * | 2020-01-16 | 2021-07-22 | Fujifilm Electronic Materials U.S.A., Inc. | Systems and methods for purifying solvents |
CN111546214B (zh) * | 2020-04-23 | 2022-04-22 | 福建晶安光电有限公司 | 一种半导体晶圆加工中浆料的动态替换控制方法及系统 |
CN111390747B (zh) * | 2020-04-23 | 2022-07-19 | 福建晶安光电有限公司 | 一种半导体晶圆加工中浆料的定量抽换装置 |
CN112808083A (zh) * | 2020-12-24 | 2021-05-18 | 无锡华弘祥智能装备有限公司 | 一种纳米金属氧化物的均质搅拌回收系统 |
US11655940B2 (en) | 2021-03-16 | 2023-05-23 | Marathon Petroleum Company Lp | Systems and methods for transporting fuel and carbon dioxide in a dual fluid vessel |
US11578836B2 (en) | 2021-03-16 | 2023-02-14 | Marathon Petroleum Company Lp | Scalable greenhouse gas capture systems and methods |
JP7492989B2 (ja) * | 2021-08-24 | 2024-05-30 | 旭化成株式会社 | 混合装置 |
US11447877B1 (en) | 2021-08-26 | 2022-09-20 | Marathon Petroleum Company Lp | Assemblies and methods for monitoring cathodic protection of structures |
US11686070B1 (en) | 2022-05-04 | 2023-06-27 | Marathon Petroleum Company Lp | Systems, methods, and controllers to enhance heavy equipment warning |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000308957A (ja) | 1999-04-06 | 2000-11-07 | Lucent Technol Inc | 研磨スラリーを連続的に供給し、調整するための装置および方法 |
JP2003197576A (ja) | 2001-12-28 | 2003-07-11 | Matsushita Environment Airconditioning Eng Co Ltd | 研磨用流体の供給装置及び供給方法 |
JP2005297111A (ja) | 2004-04-09 | 2005-10-27 | ▲吉▼田 和昭 | シリカ微粒子のアルカリ性懸濁液による研磨方法 |
JP2008535660A (ja) | 2005-04-15 | 2008-09-04 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | 化学溶液の非同期式ブレンディング及び供給のための方法及び装置 |
US20130067998A1 (en) | 2011-09-15 | 2013-03-21 | Planar Solutions, Llc | Homogeneous Blending |
JP2014079820A (ja) | 2012-10-12 | 2014-05-08 | Fujimi Inc | 研磨用組成物の製造方法 |
JP2015536239A (ja) | 2012-11-13 | 2015-12-21 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッドAir Products And Chemicals Incorporated | スラリー及び/又は化学ブレンド供給装置 |
Family Cites Families (82)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2709149A (en) * | 1950-01-26 | 1955-05-24 | Russell P Dunmire | Process for producing vitamin compositions |
US3416320A (en) * | 1967-07-14 | 1968-12-17 | Exxon Research Engineering Co | Turbo-jet propulsion method using emulsified fuels and demulsification |
US3561047A (en) * | 1968-03-04 | 1971-02-09 | Stirling A Mcinnis | Plastic mixing and injection system |
US3830473A (en) * | 1973-02-22 | 1974-08-20 | Standard Brands Inc | Starch paste apparatus |
JPS49133962A (ja) * | 1973-04-28 | 1974-12-23 | ||
US4096586A (en) * | 1976-03-04 | 1978-06-20 | Societe D'assistance Technique Pour Produits Nestle S.A. | Solubilization of casein |
US4299501A (en) * | 1979-08-10 | 1981-11-10 | Ortho Pharmaceutical Corporation | Continuous process for the preparation of semisolid dispersions |
US4533254A (en) * | 1981-04-17 | 1985-08-06 | Biotechnology Development Corporation | Apparatus for forming emulsions |
CA1186152A (en) * | 1982-04-02 | 1985-04-30 | Rejean Binet | Continuous method for the preparation of explosives emulsion precursor |
JPS637828A (ja) | 1986-06-27 | 1988-01-13 | Daicel Chem Ind Ltd | 液体混合槽 |
US5803599A (en) * | 1990-09-17 | 1998-09-08 | Applied Chemical Solutions | Apparatus and method for mixing chemicals to be used in chemical-mechanical polishing procedures |
US5409310A (en) * | 1993-09-30 | 1995-04-25 | Semitool, Inc. | Semiconductor processor liquid spray system with additive blending |
DE69622331T2 (de) * | 1995-09-11 | 2003-03-06 | Vervant Ltd | Mischapparat |
US5993686A (en) | 1996-06-06 | 1999-11-30 | Cabot Corporation | Fluoride additive containing chemical mechanical polishing slurry and method for use of same |
JPH1043572A (ja) | 1996-07-31 | 1998-02-17 | Lion Corp | 原料混合装置および混合原料の製造方法 |
US5759917A (en) | 1996-12-30 | 1998-06-02 | Cabot Corporation | Composition for oxide CMP |
US6602439B1 (en) | 1997-02-24 | 2003-08-05 | Superior Micropowders, Llc | Chemical-mechanical planarization slurries and powders and methods for using same |
FR2761902B1 (fr) | 1997-04-11 | 1999-05-14 | Labeille Sa | Systeme de dilution de produits chimiques ultra-purs destine a l'industrie micro-electronique |
US6004025A (en) * | 1997-05-16 | 1999-12-21 | Life Technologies, Inc. | Automated liquid manufacturing system |
JP3382138B2 (ja) * | 1997-08-21 | 2003-03-04 | 富士通株式会社 | 薬液供給装置及び薬液供給方法 |
US6190237B1 (en) | 1997-11-06 | 2001-02-20 | International Business Machines Corporation | pH-buffered slurry and use thereof for polishing |
BR9800361A (pt) * | 1998-02-13 | 2000-09-26 | Renner Du Pont Tintas Automoti | Processo continuo e automatico para a produção de tintas automotivas e outros |
ZA991026B (en) * | 1998-02-13 | 2000-08-10 | Coca Cola Co | Continuous dry parts metering and blending system. |
BR9801134A (pt) * | 1998-03-26 | 2006-11-14 | Renner Herrmann Sa | aparelho e processo para preparação contìnua de um fluido com ajuste automático das suas propriedades |
US7980753B2 (en) | 1998-04-16 | 2011-07-19 | Air Liquide Electronics U.S. Lp | Systems and methods for managing fluids in a processing environment using a liquid ring pump and reclamation system |
JP2002513178A (ja) * | 1998-04-30 | 2002-05-08 | エフエスアイ インターナショナル インコーポレイテッド | スラリー調合における伝導度フィードバック制御システム |
US6247838B1 (en) | 1998-11-24 | 2001-06-19 | The Boc Group, Inc. | Method for producing a liquid mixture having a predetermined concentration of a specified component |
JP3426149B2 (ja) | 1998-12-25 | 2003-07-14 | 富士通株式会社 | 半導体製造における研磨廃液再利用方法及び再利用装置 |
WO2000074833A1 (en) * | 1999-06-04 | 2000-12-14 | Parmenlo, Llc | Centralized bicarbonate mixing system |
US6378734B1 (en) | 2000-05-24 | 2002-04-30 | Milliken & Company | Dosing assembly |
EP1305107B1 (en) | 2000-07-31 | 2006-09-20 | Kinetics Chempure Systems, Inc. | Method and apparatus for blending process materials |
US6554467B2 (en) | 2000-12-28 | 2003-04-29 | L'air Liquide - Societe' Anonyme A'directoire Et Conseil De Surveillance Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Process and apparatus for blending and distributing a slurry solution |
DE60123844T2 (de) * | 2001-04-27 | 2007-08-30 | Kansai Paint Co., Ltd., Amagasaki | Verfahren und vorrichtung zum dispergieren von farbstoffen in einem flüssigen medium |
KR20030013146A (ko) | 2001-08-07 | 2003-02-14 | 에이스하이텍 주식회사 | 실리콘 웨이퍼 연마제 조성물과 그 제조방법 |
JP3699667B2 (ja) | 2001-09-20 | 2005-09-28 | 新日本製鐵株式会社 | スラリーの混合方法およびその脱水方法 |
JP4456308B2 (ja) * | 2001-12-05 | 2010-04-28 | 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 | 薬液供給装置 |
JP4004795B2 (ja) | 2001-12-28 | 2007-11-07 | 松下環境空調エンジニアリング株式会社 | 研磨用流体の供給装置 |
US7513920B2 (en) * | 2002-02-11 | 2009-04-07 | Dupont Air Products Nanomaterials Llc | Free radical-forming activator attached to solid and used to enhance CMP formulations |
DE10260094A1 (de) * | 2002-12-19 | 2004-07-01 | Basf Ag | Verfahren zur Herstellung von (cyclo)aliphatischen Isocyanaten |
US7134781B2 (en) * | 2003-02-11 | 2006-11-14 | The Boc Group, Inc. | Self-mixing tank |
WO2004082817A1 (de) | 2003-03-21 | 2004-09-30 | Ifac Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und verfahren zur kontinuierlichen herstellung von emulsionen oder dispersionen |
US7530373B2 (en) * | 2003-06-26 | 2009-05-12 | R. Lewis Technologies, Inc. | Mixing apparatus and methods using the same |
US6964600B2 (en) | 2003-11-21 | 2005-11-15 | Praxair Technology, Inc. | High selectivity colloidal silica slurry |
US7281840B2 (en) * | 2004-07-09 | 2007-10-16 | Tres-Ark, Inc. | Chemical mixing apparatus |
TWI410314B (zh) * | 2005-04-06 | 2013-10-01 | 羅門哈斯電子材料Cmp控股公司 | 藉由反應-射出成形製造多孔化學機械研磨墊之裝置 |
CN2853157Y (zh) | 2005-10-18 | 2007-01-03 | 浙江仁恒化工有限公司 | 外循环式固液混合装置 |
US7201634B1 (en) * | 2005-11-14 | 2007-04-10 | Infineon Technologies Ag | Polishing methods and apparatus |
FR2901894B1 (fr) * | 2006-05-31 | 2008-12-26 | Total France Sa | Procede et dispositif de controle de l'elaboration d'un melange de constituants, notamment d'un melange avec volumes morts de pre-melange |
DE102006049054A1 (de) | 2006-10-13 | 2008-04-17 | Beiersdorf Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Zubereitung von Kosmetika |
US7651384B2 (en) * | 2007-01-09 | 2010-01-26 | Applied Materials, Inc. | Method and system for point of use recycling of ECMP fluids |
DE102007037099A1 (de) * | 2007-08-07 | 2009-02-19 | Fresenius Medical Care Deutschland Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Konstanthalten eines pH-Wertes einer medizinischen Flüssigkeit beim Ablassen aus einem Behälter |
MX2010007206A (es) * | 2007-12-28 | 2010-09-30 | Bostik Inc | Proceso continuo para la producción de selladores y adhesivos de poliuretano de curado por humedad. |
CN101492768B (zh) * | 2008-01-23 | 2010-12-08 | 四川龙蟒矿冶有限责任公司 | 一种高效均匀混合物料的方法及其设备 |
NO329835B1 (no) * | 2008-06-20 | 2011-01-03 | Cubility As | Blandeapparat og framgangsmate ved bruk av samme |
US8303806B2 (en) | 2009-02-09 | 2012-11-06 | Planar Solutions, Llc | Fluid processing |
US8297830B2 (en) * | 2009-03-04 | 2012-10-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Slurry system for semiconductor fabrication |
GB2482108A (en) | 2010-06-09 | 2012-01-25 | Milk & Fruit Company Ltd | Beverage having milk and fruit constituents |
ES2714602T3 (es) | 2010-10-04 | 2019-05-29 | Asahi Chemical Ind | Método de separación y método para producir isocianato |
JP6017761B2 (ja) | 2011-02-15 | 2016-11-02 | 藤森工業株式会社 | 液体混合装置 |
JP2014507815A (ja) | 2011-03-11 | 2014-03-27 | フジフィルム・エレクトロニック・マテリアルズ・ユーエスエイ・インコーポレイテッド | 新規なエッチング組成物 |
KR101254326B1 (ko) | 2011-04-06 | 2013-04-12 | (주)일신오토클레이브 | 초임계 유체와 약액의 혼합장치 및 그것을 사용하여 초임계유체 혼합물을 공급하는 방법 |
EP2557269A1 (en) * | 2011-08-08 | 2013-02-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Film cooling of turbine components |
EP2559682B1 (en) | 2011-08-15 | 2016-08-03 | Rohm and Haas Electronic Materials LLC | Organometallic compound preparation |
US8829114B2 (en) | 2011-11-29 | 2014-09-09 | Fina Technology, Inc. | Preparation of metallic comonomers for polystyrene |
WO2013116755A2 (en) | 2012-02-03 | 2013-08-08 | Bend Research, Inc. | Systems and methods for dispensing materials |
CN102527269B (zh) | 2012-02-16 | 2014-04-16 | 广州立白企业集团有限公司 | 一种液体洗涤剂连续生产工艺及设备 |
DE102012010544B4 (de) | 2012-05-29 | 2017-02-09 | J. Wagner Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Mischen wenigstens zweier flüssiger Komponenten |
US9770804B2 (en) * | 2013-03-18 | 2017-09-26 | Versum Materials Us, Llc | Slurry supply and/or chemical blend supply apparatuses, processes, methods of use and methods of manufacture |
TW201446730A (zh) * | 2013-05-01 | 2014-12-16 | Invista Tech Sarl | 使用調節二胺混合之尼龍鹽溶液製備方法 |
US10752807B2 (en) | 2013-09-10 | 2020-08-25 | Hitachi Chemical Company, Ltd | Slurry, polishing-liquid set, polishing liquid, method for polishing substrate, and substrate |
CN203577712U (zh) * | 2013-10-16 | 2014-05-07 | 四川君和环保工程有限公司 | 一种用于钙法脱硫的连续制浆装置 |
EP3060642B1 (en) | 2013-10-21 | 2019-11-06 | FujiFilm Electronic Materials USA, Inc. | Cleaning formulations for removing residues on surfaces |
EP2871399A1 (en) | 2013-11-11 | 2015-05-13 | Nordson Corporation | Closed loop fluid buffer for a bi-component mixing system mounted for movement with a dispenser |
JP6494627B2 (ja) | 2013-12-06 | 2019-04-03 | フジフイルム エレクトロニック マテリアルズ ユー.エス.エー., インコーポレイテッド | 表面上の残渣を除去するための洗浄用製剤 |
EP3080240A4 (en) | 2013-12-11 | 2017-07-19 | FujiFilm Electronic Materials USA, Inc. | Cleaning formulation for removing residues on surfaces |
DE102014202016A1 (de) | 2014-02-05 | 2015-08-06 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Applikationsverfahren und -station für eine Mehrkomponenten-Klebstoffmischung |
TWI659088B (zh) | 2014-03-18 | 2019-05-11 | Fujifilm Electronic Materials U. S. A., Inc. | 蝕刻組成物 |
CN204981098U (zh) | 2015-07-24 | 2016-01-20 | 无锡中晶材料科技有限公司 | 一种浆料的半自动包装装置 |
JP7306608B2 (ja) * | 2016-03-11 | 2023-07-11 | フジフイルム エレクトロニック マテリアルズ ユー.エス.エー., インコーポレイテッド | 高度な流体処理方法およびシステム |
US11020839B2 (en) * | 2018-06-18 | 2021-06-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus of supplying slurry for planarization process and chemical-mechanical-polishing system including the same |
JP2020150126A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 混合装置、混合方法および基板処理システム |
CA3104319C (en) * | 2019-12-30 | 2023-01-24 | Marathon Petroleum Company Lp | Methods and systems for spillback control of in-line mixing of hydrocarbon liquids |
-
2017
- 2017-02-14 JP JP2018548093A patent/JP7306608B2/ja active Active
- 2017-02-14 US US15/432,099 patent/US10159949B2/en active Active
- 2017-02-14 SG SG11201807521WA patent/SG11201807521WA/en unknown
- 2017-02-14 WO PCT/US2017/017785 patent/WO2017155669A1/en active Application Filing
- 2017-02-20 TW TW106105581A patent/TWI673353B/zh active
- 2017-02-20 TW TW108126599A patent/TWI686466B/zh active
- 2017-02-20 TW TW109101773A patent/TW202035643A/zh unknown
- 2017-02-20 TW TW109117190A patent/TW202035646A/zh unknown
- 2017-02-27 EP EP17158131.7A patent/EP3248673B1/en active Active
- 2017-02-27 EP EP21166220.0A patent/EP3888779A1/en active Pending
- 2017-03-10 KR KR1020170030334A patent/KR20170106233A/ko active Application Filing
- 2017-03-13 CN CN201710148083.2A patent/CN107198975B/zh active Active
-
2018
- 2018-09-04 IL IL261595A patent/IL261595A/en unknown
- 2018-12-07 US US16/213,160 patent/US11925912B2/en active Active
-
2020
- 2020-05-06 KR KR1020200053882A patent/KR20200052260A/ko not_active IP Right Cessation
-
2021
- 2021-07-02 JP JP2021111069A patent/JP7440183B2/ja active Active
-
2022
- 2022-09-27 KR KR1020220122090A patent/KR102619114B1/ko active IP Right Grant
-
2023
- 2023-10-06 JP JP2023174768A patent/JP2024009903A/ja active Pending
- 2023-12-22 KR KR1020230189659A patent/KR20240005633A/ko active Search and Examination
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000308957A (ja) | 1999-04-06 | 2000-11-07 | Lucent Technol Inc | 研磨スラリーを連続的に供給し、調整するための装置および方法 |
JP2003197576A (ja) | 2001-12-28 | 2003-07-11 | Matsushita Environment Airconditioning Eng Co Ltd | 研磨用流体の供給装置及び供給方法 |
JP2005297111A (ja) | 2004-04-09 | 2005-10-27 | ▲吉▼田 和昭 | シリカ微粒子のアルカリ性懸濁液による研磨方法 |
JP2008535660A (ja) | 2005-04-15 | 2008-09-04 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | 化学溶液の非同期式ブレンディング及び供給のための方法及び装置 |
US20130067998A1 (en) | 2011-09-15 | 2013-03-21 | Planar Solutions, Llc | Homogeneous Blending |
JP2014079820A (ja) | 2012-10-12 | 2014-05-08 | Fujimi Inc | 研磨用組成物の製造方法 |
JP2015536239A (ja) | 2012-11-13 | 2015-12-21 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッドAir Products And Chemicals Incorporated | スラリー及び/又は化学ブレンド供給装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107198975B (zh) | 2021-07-02 |
SG11201807521WA (en) | 2018-09-27 |
TW201943832A (zh) | 2019-11-16 |
US11925912B2 (en) | 2024-03-12 |
EP3248673B1 (en) | 2021-04-07 |
WO2017155669A1 (en) | 2017-09-14 |
EP3248673A3 (en) | 2018-03-28 |
JP7306608B2 (ja) | 2023-07-11 |
EP3888779A1 (en) | 2021-10-06 |
TWI673353B (zh) | 2019-10-01 |
KR20220138361A (ko) | 2022-10-12 |
JP2021169083A (ja) | 2021-10-28 |
KR20200052260A (ko) | 2020-05-14 |
TW202035646A (zh) | 2020-10-01 |
US20190105620A1 (en) | 2019-04-11 |
EP3248673A2 (en) | 2017-11-29 |
IL261595A (en) | 2018-10-31 |
US10159949B2 (en) | 2018-12-25 |
JP2019509173A (ja) | 2019-04-04 |
KR20240005633A (ko) | 2024-01-12 |
KR20170106233A (ko) | 2017-09-20 |
TWI686466B (zh) | 2020-03-01 |
JP2024009903A (ja) | 2024-01-23 |
TW202035643A (zh) | 2020-10-01 |
TW201736565A (zh) | 2017-10-16 |
CN107198975A (zh) | 2017-09-26 |
US20170259229A1 (en) | 2017-09-14 |
KR102619114B1 (ko) | 2023-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7440183B2 (ja) | 高度な流体処理方法およびシステム | |
JP2021169083A5 (ja) | ||
JPWO2017155669A5 (ja) | ||
US10562151B2 (en) | Slurry supply and/or chemical blend supply apparatuses, processes, methods of use and methods of manufacture | |
US8507382B2 (en) | Systems and methods for delivery of fluid-containing process material combinations | |
KR101732092B1 (ko) | 슬러리 및/또는 화학적 배합물 공급 장치들 | |
TWI506129B (zh) | 均質摻合技術 | |
JP2003197577A (ja) | 研磨用流体の供給装置及び供給方法 | |
WO2004113023A1 (ja) | 薬液供給装置 | |
JP2005313266A (ja) | スラリーの供給装置と供給方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210728 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210728 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220830 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20221124 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20230228 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20230606 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231006 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231025 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20231114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240209 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7440183 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |