JP2008535660A - 化学溶液の非同期式ブレンディング及び供給のための方法及び装置 - Google Patents

Abstract

化学溶液のブレンディング及び供給のための方法及び装置。本発明の方法は、連続ブレンディングシステムを含んでいる。この連続ブレンディングシステム（１００）は、出力を監視し、ブレンディングシステムを連続的に調節して、少なくとも第１溶液（１１４）の所定の配合を達成する。集中監視システム（１２４）は、溶液を連続的に評価し、必要に応じてブレンダ（１１３）の出力を調節して溶液の所定の配合を維持する。システムは、第１タンクシステム（１１７）を少なくとも含んでいる。このタンクシステムから配送されるあらゆる溶液（１２０）もまた、集中監視システムによって、連続的に監視され、評価され、必要に応じて調節される。
【選択図】 図１

Description

２つ以上の流体（液体又は気体）を組み合わせて所定の混合物を形成することは、多くの産業プロセス及び商品に必須である。典型的には、この組み合わせは、別個のバッチで実行される。このようなバッチプロセスでは、多量の第１流体が加えられ、その後、多量の第２流体が加えられる。これら２つの流体は、機械的に混合され、得られた混合物がサンプリングされる。必要であれば、追加量の第１又は第２流体が更に添加され、混合物の組成が改善されうる。所望の組成が達成されると、そのバッチは、中間又は最終ユーザへと移送される。

このタイプのバッチング又はブレンディングプロセスは、半導体プロセス、医薬品、生物医学的製品、食品加工製品、家庭用製品、パーソナルケア製品、石油製品、化学製品及び他の多くの一般的な液体工業製品を含む多くの産業セグメントに共通している。

バッチ処理、すなわちバッチングは、多くの欠点と制限とを伴う。例えば、通常、複数の大型タンクが必要とされ、また、この工程は時間の浪費になりうるため、典型的には、複数の大量バッチが同時に準備される。この大きなスケールは、かなりの製造スペースを要し、大きなバッチ体積は、比較的固定され且つ柔軟性を欠いた製造スケジュールを規定する。複数の大きな体積が、典型的には、成分流体測定の相対的な不正確さを克服するためにバッチ処理される。複数の大きな体積は、全バッチ量の百分率であるこれら誤差を減少させるのに役立つ。バッチングの別の欠点は、バッチが、その流体学的又は化学的性質を時が経つにつれて頻繁に変化させることである。このエージング効果は、多くの調合物に共通であり、時が経つにつれて、組成物を中間又は最終ユーザに送る前に多くの調節が為されることを強いる。また、バッチングは、開いた又は部分的に開いたタンクへと及び大気に露出された流体へと導きうる。このことは、不所望の化学的汚染、化学的分解及び微生物的汚染をもたらしうる。

バッチングは、流体成分を大きな体積で混ぜ合わせる際の困難性をももたらしうる。成分が困難なくしては混合され得ず、均一になるためには長時間の混合が必要であることは、しばしば正しい。ある大きなタンクの異なる液位は異なる配合の流体混合物を有していることもよく知られている。また、バッチングに典型的な大きな体積が、洗浄を遅く、面倒で且つ自動化困難にすることもまた正しい。大きな体積の洗浄溶出液が生成され、廃棄物及び汚染の問題をもたらす。

これらの多数且つ重大な欠点及び制限の理由で、流体製品の生産の別の方法が探求されてきた。バッチ処理についての１つの代替法は、連続ブレンディングとして知られている。

連続ブレンディングは、要求されるだけ又は要求に応じて、成分流体を組み合わせ、流体製品を生成するという概念を具現している。本質的には、生成物は、要求に応じて及び要求される速度でつくられる。この要求される速度は、典型的には、液体製品を包装する流体充填機の要求に基づいている。

連続ブレンディングシステムの魅力は、バッチ処理システムと明白に異なり明瞭である。大きなバッチの準備及び収容タンクを省略できることは、小さなシステム体積、より高い製品調合の柔軟性、より速い製品配合のターンアラウンド、及びかなり低下した資本コストをもたらす。連続ブレンディングは、製品配合の際立った正確性及び品質を産み出し、また、流体製品の処理と流体製品の包装との間の障壁を取り除きうる。連続ブレンディングは廃棄物、クリーンアップ時間及び溶出液体積を大幅に減少させうる。さらには、混合が単純化され、遥かにより均一な調合物をもたらす。製品のエージング効果もまた、大きく削減される。実際の問題は、最大限の精度、使用の融通性、及び広範囲の商業部門での応用の多様性を有している連続ブレンディングシステムを如何にして構築し運転するかである。

様々な液体を処理する産業、特には飲料加工及び食品加工に由来した連続ストリームブレンディングのための多数の設計が提案されている。これらの設計は、流量計及び比例−積分−微分（ＰＩＤ）フィードバック制御ループを用いる流量比制御に基づいた連続フローの定量又はブレンディングシステムを開発し且つ市場に出すための試みであった。

これは一種のフィードバック制御器であって、その出力、制御変数は、一般的に、ユーザが定義した設定点と測定されたプロセス変数との間の誤差に基づいている。ＰＩＤ制御器の各々の要素は、その誤差について起こされる特定の動作を参照する。

・ 比例：誤差とゲインとの積 Ｋ_p 。これは可変増幅器である。多くのシステムでは、Ｋ_p はプロセスの安定性を担っており、低すぎるとＰＶが外れ出し、高すぎるとＰＶが振動しうる。

・ 積分：誤差の積分とゲインとの積 Ｋ_ｉ。多くのシステムでは、Ｋ_ｉは誤差をゼロに至らせることを担っているが、Ｋ_ｉを高く設定しすぎると、振動又は不安定性又は積分器のワインドアップ又はアクチュエータの飽和を招く。

・ 微分：誤差の変化率とゲインとの積 Ｋ_ｄ。多くのシステムでは、Ｋ_ｄはシステムの応答を担っており、高すぎるとＰＶが振動し、低すぎるとＰＶは緩慢に応答するであろう。設計者は、微分動作は誤差シグナル中のあらゆるノイズを増幅することにも注意するべきである。

このタイプの連続ブレンディング機の一例は、ウィスコンシン州ニューベルリンの Ｈ＆Ｋ Ｉｎｃ．によって導入された「Ｃｏｎｔｉｍｉｘ」であろう。一般的には、これらの設計は、可変オリフィス弁又は速度制御ポンプを使用して液体ストリームの連続フローを調節することに依存しており、そこでは、流量計、もっとも多くの場合にはコリオリ質量流量計からの流量シグナルがストリーム間で所望のフロー比率を維持することを試みるべく流量制御デバイスを比例的に変調するために使用され、また、システム全体の要求速度を表している他のシグナルがシステム全体の総フローを比例的に変調するために使用されている。

いくつかの主要な設計上の問題に、このフローアーキテクチャを利用する連続ブレンディングシステムは直面している。第１に、システムの総アウトプットが増加又は減少すると、変化率ケイパビリティ又は各ストリームの応答時定数が次から次へと変化するであろう。したがって、変化する出力コマンドシグナルを用いると、各々のストリームが異なる速度で反応して、比例関係のフローに損失を生じさせ、また、これは、新たな設定点に到達すると、各ストリームのオーバーシュート又はアンダーシュートによってさらに悪化する。また、各ストリームのフロー速度が変化すると、それは、他のストリームのフロー速度に摂動を起こさせ、ハンチング若しくは発振を生じさせうる。これらの共通する制御の問題は、ブレンドされたストリームの精度の重大な損失を生じさせうる。明らかに、ＰＩＤループ制御器は、制御の安定性や容易さのために本来的には設計されていない複雑なシステムを制御するために設計されている。それらは、フローストリームの相互作用している複数の独立及び従属変数を非リアルタイムで統計的な仕方で扱い、変化するパラメータと履歴を基盤として「戦っている」。

それでもやはり、フィードバックシグナルの変化によって、フローが、フィードバックシグナルを発生する流量計の許容範囲を短い時間だけ下回るか又は上回るときには、別の問題が発生しうる。ソフトウェア又はハードウェアの安全があっても、これは生じる可能性があり、また、以下でさらに完全に議論するように、コリオリ質量流量計を通るフローを所定の範囲内に維持して申し分のない精度を達成することへの要求は、明確に実証できる。

おそらく、これらの設計及びＰＩＤ制御アーキテクチャが直面している主要な問題は、フローストリームシステムを起動及び停止する避けられない必要性とともに生じている。停止−起動の事象が起こるときには、システムを、バランスが取れ且つ正確なフロー及びブレンディングとともにオンラインで戻すのは非常に困難である。この問題はあまりに執拗なので、ほとんど全ての設置されたシステムは、ブレンディングフローが短時間の充填機障害の間も継続できるように、数百ガロンにまで及ぶ容量のサージタンクの使用に頼っている。

サージタンクを使用したとしても、長期の充填機障害によりブレンディングフローが停止しなければならない場合には、再起動に際して、フローストリームは、正しいフロー速度が回復するまでの間進路を変えられなければならないか、又は、不十分に釣り合っている流量比が統計的に「希釈」されて正確なブレンディングの損失を防ぐことを可能にすべく、サージタンクは相当に大きくなくてはならない。何れの方法も、多量の廃棄物、ブレンディング精度の低下、システムの複雑性の増大、及びシステム体積の増大をもたらし、求められている連続ブレンディングの利点を激減させている。

それゆえ、産業界において、これら全ての問題に応えるブレンディングシステムに対する要求がある。高度に正確なブレンド精度を維持しつつ要求される連続的な変化に順応できるブレンディングシステムが必要とされている。総体的な化学物質供給及び在庫スキームへと統合されたブレンディングシステムに対する要求もある。複数のブレンドされた溶液を生産し、それらを複数の最終ユーザに、高い生産性及び高い分解能で供給することができるブレンディングシステムに対する要求が存在している。ベッセル中に一時的に貯蔵されていてもよい混合製品を、最終ユーザへと配送する前に補正することができるブレンディングシステムに対する要求が存在している。産業界の中で、初期成分、中間ブレンド、及び最終溶液ブレンドの化学的組成を追跡及び確証する能力を有しているブレンディングシステムに対する要求がある。

（要約）
本発明は、化学物質ブレンディングシステムを提供する。このシステムは、以下を含んでいる：
− ブレンダシステム中で少なくとも第１化学物質ストリームと第２化学物質ストリームとを連続的に混合させること。このブレンダシステムは、コンジットシステム中に混合区域を具備し、リアルタイム制御方式によって第１溶液を形成する。このシステムでは、第１化学物質ストリーム及び第２化学物質ストリームは、混合区域中へと連続的に導入される。

− 第１溶液を連続的に監視することであって、この監視は集中監視システムへと送られる第１溶液出力シグナルをもたらすこと。

− 第１化学物質ストリームの流量及び第２化学物質ストリームの流量を連続的に調節して第１溶液の所定の配合を維持すること。

− 第１溶液を化学物質分配システムに接続されている第１タンクシステムに導入すること。この第１タンクシステムは、少なくとも第１タンクと第２タンクとを更に具備している。

− 所定の配合を有している第２溶液を第１タンクシステムから化学物質分配システムへと配送すること。

− 第２溶液を連続的に監視することであって、この監視は集中監視システムへと送られる第２溶液出力シグナルをもたらすこと。

− 第１溶液を第１タンクシステムへと配送すること、並びに、第２溶液の所定の配合を維持するために第１化学物質ストリームの流量及び第２化学物質ストリームの流量を連続的に調節すること。

本発明のこれら及び他の特徴、側面及び利点は、後述の記載及び添付された請求の範囲を参照することで一層よく理解されるようになるであろう。

（図面の簡単な説明）
本発明の性質及び目的を更に理解するため、以下の詳細な説明が、同様の要素には同一又は類似の参照番号が付された添付図とともに参照されるべきであり、ここで：
− 図１は、本発明に係るブレンディングシステムの実施態様の様式図であり；
− 図２は、本発明に係るブレンディングシステムの別の実施態様の様式図であり；
− 図３は、本発明に係るブレンディングシステムの更に別の実施態様の様式図であり；
− 図４は、本発明に係る複合ブレンディングシステムの実施態様の様式図であり；
− 図５は、本発明に係る複合ブレンディングシステムの別の実施態様の様式図であり；
− 図６は、本発明に係る複合ブレンディングシステムの更に別の実施態様の様式図である。

（好ましい形態の記載）
１９９９年１２月２０日に出願され、ここで参照により組み入れられる米国特許出願第０９／４６８４１１号に開示されているように、先行技術の欠点に並びに当産業の関係者に既知の及び未知の他の欠点に応える連続ブレンダが開発されてきた。

本発明の計器及びプロセス監視機器に関して使用されるときには、用語「連続」は、途切れのないリアルタイム監視並びにデジタル制御及びアルゴリズムを含む溶液の配合の調節を意味する。用語「連続」の使用に、このシステム又は装置がアナログ、すなわち連続的シグナルのみを使用しなければならず、また、この監視及び調節を実行するために離散的、すなわちデジタルシグナルを使用してはならないことを示唆する意図はない。

本発明のプロセス及びプロセス機器に関して使用されるときには、用語「連続」は、プロセスを中断することなしに実質的に同時に製品を送り込み且つ除去するプロセスを記述するために、及び、このシステム及び装置をバッチシステム又は装置から区別するために使用される。用語「連続」の使用に、このシステム又は装置が中断なしに無限に稼動すること又は稼動することが必要であることを示唆する意図はない。

ここで使用されるときには、用語「集中監視」又は「集中監視システム」は、遠隔センサの集中的な監視、及び、遠隔プロセスアクチュエータ（ステッチ、バルブ、フロー制御器など）の制御を可能にする当業者に既知のあらゆるシステムを意味する。この集中監視システムは、その近くに置かれることができ、又は、サーバ又は当業者に既知の他のデータ転送システムを通じてアクセスされる遠隔ステーションに置かれることもできる。この集中監視システムは、現場のオペレータによりラップトップ又は他の手持ち式のデバイスを介してインターフェース接続される能力を有し、診断又は修理操作を実行してもよい。このような集中監視システムの幾つかの例は、分散制御システム（ＤＣＳ）又は監視制御データ収集（ＳＣＡＤＡ）ネットワークである。

基本的な原理は、精度及び品質を制御された仕方で維持しながら、連続的プロセスサイクルにおいて製品をブレンドすることである。これは、各成分の注入速度の主制御として濃度監視シグネチャを使用して、注入点における成分の供給を変化させることによって達成される。このプロセスは、個々の校正された段で成分を添加し、その後、これらの段を濃度監視計計装セット（concentration monitors instrumentation sets）を用いて制御することにより、製造を連続プロセスサイクルにブレンドする。

図１は、本発明に係るブレンディングシステム１００の実施態様を描いた様式図である。ブレンディングシステム１００は、第１化学物質ストリーム１０４と、第２化学物質ストリーム１１０と、ブレンダシステム１１３と、第１タンクシステム１１７と、化学物質分配システム１２３とを具備している。

第１化学物質ストリーム１０４は第１フロー制御手段１０５を通過し、これは第１制御手段出力シグナル１０６を発生し、これは集中監視システム１２４によって監視される。第２化学物質ストリーム１１０は第２制御手段１１１を通過し、これは第２制御手段出力シグナル１１２を発生し、これは集中監視システム１２４によって監視される。第１化学物質ストリーム１０４及び第２化学物質ストリーム１１０は、次いでブレンダシステム１１３中で混合され、ここで第１溶液１１４が形成される。第１溶液出力シグナル１１５が生成され、これは集中監視システム１２４によって監視される。第１溶液出力シグナル１１５の性質に基づいて、集中制御システム１２４は、第１溶液１１４についての所定の配合を達成するために、第１フロー制御手段１０５及び／又は第２フロー制御手段１１１の何れかに、第１化学物質ストリーム１０４の流量及び／又は第２化学物質ストリーム１１０の流量を調節するよう指示するであろう。集中監視システム１２４が第１溶液１１４についての所定の配合が規格の範囲内であることを示す第１溶液出力シグナル１１５を受け取るまでは、ブレンダシステム１１３からの出力ストリームは、ドレイン１１６へと導かれる。

第１溶液１１４が規格内になると、それはもはやドレイン１１６へは導かれず、代わりに第１タンクシステム１１７へと導かれる。必要に応じ、第２溶液１２０は、第１タンクシステム１１７から除かれ、化学物質分配システム１２３へと導かれる。この第２溶液１２０が第１タンクシステム１１７から除かれるとき、第２溶液出力シグナル１２１が、集中監視システム１２４によって監視される。第２溶液出力シグナル１２１の性質に基づいて、集中監視システム１２４は、第２溶液１２０についての所定の配合を達成するために、第１フロー制御手段１０５及び／又は第２フロー制御手段１１１の何れかに、第１タンクシステム１１７へと導かれるであろう第１化学物質ストリーム１０４の流量及び／又は第２化学物質ストリーム１１０の流量を調節するよう指示するであろう。集中監視システム１２４が、第２溶液１２０についての所定の配合が規格の範囲内であることを示す第２溶液出力シグナル１２１を受け取るまでは、第１タンクシステム１１７からの出力ストリームは、リサイクルされて第１タンクシステム１１７へと戻される。第２溶液１２０が規格内になると、それはもはやリサイクル１２２されず、代わりに化学物質分配システム１２３へと導かれる。或いは、第１溶液１１４は、第１タンクシステム１１６を迂回１２５し、化学物質分配システム１２３へと導かれてもよい。

ブレンダシステム１１３は、コンジットシステム中に混合区域を具備している。第１化学物質ストリーム１０４及び第２化学物質ストリーム１１０は、この混合区域中で連続的に混合され、上述のようにしてリアルタイム方式で制御され、これにより所定の配合を有している第１溶液１１４を形成する。

ブレンダシステム１１３から同時に複数の調節が要求される状況が生じたとき、例えば、化学物質分配システム１２３が、第１溶液１１４が所定の配合になっていないというシグナルを受けると同時に第２溶液１２０が所定の配合になっていないというシグナルを受けた場合には、第２溶液１２０に対する調節は、第１溶液１１４に対する調節と比べてより高い優先度を有していてもよい。１つの態様は、溶液の配合における調節不良が化学物質分配システム１２３に入る間近であるほど、その調節が有している優先度はより高いことである。

第１化学物質ストリーム１０４は、第１成分タンク１０１から得られてもよい。この第１成分タンク１０１は、第１計量手段１０２を有していてもよく、これは集中監視システム１２４で監視される第１計量手段出力シグナル１０３を生成してもよい。第２化学物質ストリーム１１０は、第２成分タンク１０７から得られてもよい。この第２成分タンク１０７は、第２計量手段を有していてもよく、これは集中監視システム１２４で監視される第２計量手段出力シグナル１０９を生成してもよい。

第１タンクシステム１１７は、少なくとも２つのタンク、第１タンク及び第２タンクを具備し、それらは並列又は直列の何れかで運転される。これらのタンクは、第３計量手段１１８を有していてもよく、これは集中監視システム１２４で監視される第３計量手段出力シグナル１１９を生成してもよい。これら第１及び第２タンクは、再循環システムを有していてもよく、これはタンク中での均一なブレンドを維持するために使用されてもよい。第２溶液１２０における所定の配合からの誤差が生じたときには、その溶液を所定の配合に戻すために第１化学物質ストリーム１０４又は第２化学物質ストリーム１１０の流量の調節に要するであろう時間は、約１５分未満であってもよい。これら第１及び第２タンクは、化学物質分配システムによる少なくとも３日間の恒常的な使用に合わせた大きさとされていてもよい。

ドレイン１１６に関して上述したドレインサイクルは、目標とする所定の配合を達成するまでに８秒未満を要するように設計されてもよい。ドレイン１１６に関して上述したドレインサイクルは、目標とする所定の配合を達成するまでに１ガロン未満がドレインに導かれるようにして設計されてもよい。

ブレンダシステム１１３は、毎分約８０リットル未満の設計流量を有するように設計されてもよい。ブレンダシステム１１３は、毎月１，０００，０００ガロン未満の設計流量を有するように設計されてもよい。ブレンダシステム１１３は、毎月１，５００，０００ガロン未満の設計流量を有するように設計されてもよい。

第１溶液１１４及び／又は第２溶液１２０の何れかの所定の配合は、ブレンダシステム１１３によって、約０．００３質量％を超える精度の範囲内に維持されてもよい。第１溶液１１４及び／又は第２溶液１２０の何れかの所定の配合は、ブレンダシステム１１３によって、約０．０１質量％を超える精度の範囲内に維持されてもよい。

第１及び／又は第２溶液は、以下の群より選択される少なくとも１つの濃度基準について監視されてもよい：
ａ） 導電率；
ｂ） 音速；
ｃ） 密度；
ｄ） 粘度；
ｅ） 屈折率；
ｆ） 混濁度；
ｇ） 自動滴定；及び
ｈ） 手動分析検証。

第１及び／又は第２フロー制御手段１０５，１１１は、流量及び圧力の両方を制御及び／又は監視してもよい。第１及び／又は第２フロー制御手段１０５，１１１は、温度を監視してもよい。第１及び／又は第２フロー制御手段１０５，１１１により為される流量、圧力及び温度の組み合わされた測定は、第１及び／又は第２溶液１１４，１２０の何れかについての濃度の計算中に温度を表示することに使用されてもよい。

第１フロー制御手段１０５、第２フロー制御手段１１１からの流量出力シグナル及び第１溶液出力シグナル１１５は、第１計量手段出力シグナル１０３とともに、第１成分タンク１０１の内容物の初期濃度を検証するために使用されてもよい。第１フロー制御手段１０５、第２フロー制御手段１１１からの流量出力シグナル及び第１溶液出力シグナル１１５は、第２計量手段出力シグナル１０９とともに、第２成分タンク１０７の内容物の初期濃度を検証するために使用されてもよい。

第１計量手段出力シグナル１０３の時間の関数としての変化及び第２計量手段出力シグナル１０９の時間の関数としての変化は、第１溶液１１４の流量を検証するために使用されてもよい。

第１計量手段出力シグナル１０３の時間の関数としての変化、第２計量手段出力シグナル１０９の時間の関数としての変化、及び第３計量手段出力シグナル１１５の時間の関数としての変化は、第２溶液１２０の流量を検証するために使用されてもよい。

図２は、本発明に係るブレンディングシステム２００の別の実施態様を示す様式図である。ブレンディングシステム２００は、第１化学物質ストリーム２０４と、第２化学物質ストリーム２１０と、ブレンダシステム２１３と、第１タンクシステム２１７と、第２タンクシステム２２３と、化学物質分配システム２２９とを具備している。

第１化学物質ストリーム２０４は第１フロー制御手段２０５を通過し、これは第１制御手段出力シグナル２０６を発生し、これは集中監視システム２３０によって監視される。第２化学物質ストリーム２１０は第２制御手段２１１を通過し、これは第２制御手段出力シグナル２１２を発生し、これは集中監視システム２３０によって監視される。第１化学物質ストリーム２０４及び第２化学物質ストリーム２１０は、次いでブレンダシステム２１３中で混合され、ここで第１溶液２１４が形成される。第１溶液出力シグナル２１５が生成され、これは集中監視システム２３０によって監視される。第１溶液出力シグナル２１５の性質に基づいて、集中制御システム２３０は、第１溶液２１４についての所定の配合を達成するために、第１フロー制御手段２０５及び／又は第２フロー制御手段２１１の何れかに、第１化学物質ストリーム２０４の流量及び／又は第２化学物質ストリーム２１０の流量を調節するよう指示するであろう。集中監視システム２３０が第１溶液２１４についての所定の配合が規格の範囲内であることを示す第１溶液出力シグナル２１５を受け取るまでは、ブレンダシステム２１３からの出力ストリームは、ドレイン２１６へと導かれる。

第１溶液２１４が規格内になると、それはもはやドレイン２１６へは導かれず、代わりに第１タンクシステム２１７へと導かれる。必要に応じ、第２溶液２２０は、第１タンクシステム２１７から除かれ、第２タンクシステム２２３へと導かれる。この第２溶液２２０が第１タンクシステム２１７から除かれるとき、第２溶液出力シグナル２２１が、集中監視システム２３０によって監視される。

第２溶液出力シグナル２２１の性質に基づいて、集中監視システム２３０は、第２溶液２２０についての所定の配合を達成するために、第１フロー制御手段２０５及び／又は第２フロー制御手段２１１の何れかに、第１タンクシステム２１７へと導かれるであろう第１化学物質ストリーム２０４の流量及び／又は第２化学物質ストリーム２１０の流量を調節するよう指示するであろう。集中監視システム２３０が第２溶液２２０についての所定の配合が規格の範囲内であることを示す第２溶液出力シグナル２２１を受け取るまでは、第１タンクシステム２１７からの出力ストリームは、リサイクル２２２されて第１タンクシステム２１７へと戻される。

第２溶液２２０が規格内になると、それはもはやリサイクル２２２されず、代わりに第２タンクシステム２２３へと導かれる。或いは、第１溶液２１４は、第１タンクシステム２１７を迂回２３１し、第２タンクシステム２２３へと導かれてもよい。必要に応じ、第３溶液２２６は、第２タンクシステム２２３から除かれ、化学物質分配システム２２９へと導かれる。この第３溶液２２６が第２タンクシステム２２３から除かれるとき、第３溶液出力シグナル２２７が、集中監視システム２３０によって監視される。第３溶液出力シグナル２２７の性質に基づいて、集中制御システム２３０は、第１溶液２１４についての所定の配合を達成するために、第１フロー制御手段２０５及び／又は第２フロー制御手段２１１の何れかに、第２タンクシステム２２３に導かれるであろう第１化学物質ストリーム２０４の流量及び／又は第２化学物質ストリーム２１０の流量を調節するよう指示するであろう。集中監視システム２３０が第３溶液２２６についての所定の配合が規格の範囲内であることを示す第３溶液出力シグナル２２７を受け取るまでは、第２タンクシステム２２３からの出力ストリームは、リサイクル２２８されて第２タンクシステム２２３へと戻される。第３溶液２２６が規格内になると、それはもはやリサイクル２２８されず、代わりに化学物質分配システム２２９へと導かれる。或いは、第２溶液２２０は、第２タンクシステム２２３を迂回２３２し、化学物質分配システム２２９へと導かれてもよい。

ブレンダシステム２１３は、コンジットシステム中に混合区域を具備している。第１化学物質ストリーム２０４及び第２化学物質ストリーム２１０は、この混合区域中で連続的に混合され、上述のようにしてリアルタイム方式で制御され、これにより所定の配合を有している第１溶液２１４を形成する。

ブレンダシステム２１３から同時に複数の調節が要求される状況が生じたとき、例えば、化学物質分配システム２２９が、第２溶液２２０が所定の配合になっていないというシグナル及び第１溶液２１４が所定の配合になっていないというシグナルの両方を受けると同時に、第３溶液２２６が所定の配合になっていないというシグナルを受けた場合には、第３溶液２２６に対する調節は、第２溶液２２０に対する調節と比べてより高い優先度を有し、同様に、第２溶液２２０に対する調節は、第１溶液２１４に対する調節と比べてより高い優先度を有していてもよい。１つの態様は、溶液の配合における調節不良が化学物質分配システム２２９に入る間近であるほど、その調節が有している優先度はより高いことである。

第１化学物質ストリーム２０４は、第１成分タンク２０１から得られてもよい。この第１成分タンク２０１は、第１計量手段２０２を有していてもよく、これは集中監視システム２３０で監視される第１計量手段出力シグナル２０３を生成してもよい。第２化学物質ストリーム２１０は、第２成分タンク２０７から得られてもよい。この第２成分タンク２０７は、第２計量手段を有していてもよく、これは集中監視システム２３０で監視される第２計量手段出力シグナル２０９を生成してもよい。

第１及び／又は第２タンクシステム２１７、２２３は、各々少なくとも２つのタンクを具備し、それらは並列又は直列の何れかで運転される。これらのタンクは、第３計量手段２１８及び／又は第４計量手段２２４を有していてもよく、これらは集中監視システム２３０で監視される第３計量手段出力シグナル２１９及び／又は第４計量手段出力シグナル２２５を生成してもよい。これらのタンクは、再循環システムを有していてもよく、これはタンク中での均一なブレンドを維持するために使用されてもよい。第２溶液２２０及び／又は第３溶液２２６の何れかにおける所定の配合からの誤差が生じたときには、何れかの溶液を所定の配合に戻すために第１化学物質ストリーム２０４又は第２化学物質ストリーム２１０の流量の調節に要するであろう時間は、約１５分未満であってもよい。これらのタンクは、化学物質分配システムによる少なくとも３日間の恒常的な使用に合わせた大きさとされていてもよい。

ドレイン２１６に関して上述したドレインサイクルは、目標とする所定の配合を達成するまでに８秒未満を要するように設計されてもよい。ドレイン２１６に関して上述したドレインサイクルは、目標とする所定の配合を達成するまでに１ガロン未満がドレインに導かれるようにして設計されてもよい。

ブレンダシステム２１３は、毎分約８０リットル未満の設計流量を有するように設計されてもよい。ブレンダシステム２１３は、毎月１，０００，０００ガロン未満の設計流量を有するように設計されてもよい。ブレンダシステム２１３は、毎月１，５００，０００ガロン未満の設計流量を有するように設計されてもよい。

第１溶液２１４及び／又は第２溶液２２０及び／又は第３溶液２２６の何れかの所定の配合は、ブレンダシステム２１３によって、約０．００３質量％を超える精度の範囲内に維持されてもよい。第１溶液２１４及び／又は第２溶液２２０及び／又は第３溶液２２６の何れかの所定の配合は、ブレンダシステム２１３によって、約０．０１質量％を超える精度の範囲内に維持されてもよい。

第１及び／又は第２溶液及び／又は第３溶液は、以下の群より選択される少なくとも１つの濃度基準について監視されてもよい：
ａ） 導電率；
ｂ） 音速；
ｃ） 密度；
ｄ） 粘度；
ｅ） 屈折率；
ｆ） 混濁度；
ｇ） 自動滴定；及び
ｈ） 手動分析検証。

第１及び／又は第２フロー制御手段２０５，２１１は、流量及び圧力の両方を制御及び／又は監視してもよい。第１及び／又は第２フロー制御手段２０５，２１１は、温度を監視してもよい。第１及び／又は第２フロー制御手段２０５，２１１により為される流量、圧力及び温度の組み合わされた測定は、第１及び／又は第２溶液２１４，２２０の何れかについての濃度の計算中に温度を調整することに使用されてもよい。

第１フロー制御手段２０５、第２フロー制御手段２１１からの流量出力シグナル及び第１溶液出力シグナル２１５は、第１計量手段出力シグナル２０３とともに、第１成分タンク２０１の内容物の初期濃度を検証するために使用されてもよい。第１フロー制御手段２０５、第２フロー制御手段２１１からの流量出力シグナル及び第１溶液出力シグナル２１５は、第２計量手段出力シグナル２０９とともに、第２成分タンク２０７の内容物の初期濃度を検証するために使用されてもよい。

第１計量手段出力シグナル２０３の時間の関数としての変化及び第２計量手段出力シグナル２０９の時間の関数としての変化は、第１溶液２１４の流量を検証するために使用されてもよい。

第１計量手段出力シグナル２０３の時間の関数としての変化、第２計量手段出力シグナル２０９の時間の関数としての変化、及び第３計量手段出力シグナル２１９の時間の関数としての変化は、第２溶液２２０の流量を検証するために使用されてもよい。

第１計量手段出力シグナル２０３の時間の関数としての変化、第２計量手段出力シグナル２０９の時間の関数としての変化、第３計量手段出力シグナル２１９の時間の関数としての変化、及び第４計量手段出力シグナル２２５の時間の関数としての変化は、第３溶液２２６の流量を検証するために使用されてもよい。

図３は、本発明に係るブレンディングシステム３００の更に別の実施態様を示す様式図である。

ブレンディングシステム３００は、第１化学物質ストリーム３０４と、第２化学物質ストリーム３１０と、ブレンダシステム３１３と、第１タンクシステム３１７と、第２タンクシステム３２３と、第３タンクシステム３２９と、最終ユーザ３３３とを具備している。

第１化学物質ストリーム３０４は第１フロー制御手段３０５を通過し、これは第１制御手段出力シグナル３０６を発生し、これは集中監視システム３３０によって監視される。第２化学物質ストリーム３１０は第２制御手段３１１を通過し、これは第２制御手段出力シグナル３１２を発生し、これは集中監視システム３３４によって監視される。第１化学物質ストリーム３０４及び第２化学物質ストリーム３１０は、次いでブレンダシステム３１３中で混合され、ここで第１溶液３１４が形成される。第１溶液出力シグナル３１５が生成され、これは集中監視システム３３４によって監視される。第１溶液出力シグナル３１５の性質に基づいて、集中制御システム３３４は、第１溶液３１４についての所定の配合を達成するために、第１フロー制御手段３０５及び／又は第２フロー制御手段３１１の何れかに、第１化学物質ストリーム３０４の流量及び／又は第２化学物質ストリーム３１０の流量を調節するよう指示するであろう。集中監視システム３３４が第１溶液３１４についての所定の配合が規格の範囲内であることを示す第１溶液出力シグナル３１５を受け取るまでは、ブレンダシステム３１３からの出力ストリームは、ドレイン３１６へと導かれる。

第１溶液３１４が規格内になると、それはもはやドレイン３１６へは導かれず、代わりに第１タンクシステム３１７へと導かれる。必要に応じ、第２溶液３２０は、第１タンクシステム３１７から除かれ、第２タンクシステム３２３へと導かれる。この第２溶液３２０が第１タンクシステム３１７から除かれるとき、第２溶液出力シグナル３２１が、集中監視システム３３０によって監視される。第２溶液出力シグナル３２１の性質に基づいて、集中監視システム３３０は、第２溶液３２０についての所定の配合を達成するために、第１フロー制御手段３０５及び／又は第２フロー制御手段３１１の何れかに、第１タンクシステム３１７へと導かれるであろう第１化学物質ストリーム３０４の流量及び／又は第２化学物質ストリーム３１０の流量を調節するよう指示するであろう。集中監視システム３３０が第２溶液３２０についての所定の配合が規格の範囲内であることを示す第２溶液出力シグナル３２１を受け取るまでは、第１タンクシステム３１７からの出力ストリームは、リサイクル３２２されて第１タンクシステム３１７へと戻される。

第２溶液３２０が規格内になると、それはもはやドレイン３２２に導かれず、代わりに第２タンクシステム３２３へと導かれる。或いは、第１溶液３１４は、第１タンクシステム３１７を迂回３３５し、第２タンクシステム３２３へと導かれてもよい。必要に応じ、第３溶液３２６が第２タンクシステム３２３から除かれ、第３タンクシステム３２９へと導かれる。この第３溶液３２６が第２タンクシステム３２３から除かれるとき、第３溶液出力シグナル３２７が、集中監視システム３３４によって監視される。第３溶液出力シグナル３２７の性質に基づいて、集中制御システム３３４は、第３溶液３２６についての所定の配合を達成するために、第２タンクシステム３２３に導かれるであろう第１フロー制御手段３０５及び／又は第２フロー制御手段３１１の何れかに、第１化学物質ストリーム３０４の流量及び／又は第２化学物質ストリーム３１０の流量を調節するよう指示するであろう。集中監視システム３３４が第３溶液３２６についての所定の配合が規格の範囲内であることを示す第３溶液出力シグナル３２７を受け取るまでは、第２タンクシステム３２３からの出力ストリームは、第２タンクシステム３２３へとリサイクル３２８される。

第３溶液３２６が規格内になると、それはもはやリサイクルされず、代わりに第３タンクシステム３２９へと導かれる。或いは、第２溶液３２０は、第２タンクシステム３２３を迂回３３６し、第３タンクシステム３２９へと導かれてもよい。必要に応じ、第４溶液３３０が第３タンクシステム３２９から除かれ、最終ユーザ３３３へと導かれる。この第４溶液３３０が第３タンクシステム２２９から除かれるとき、第４溶液出力シグナル３３１が、集中監視システム３３４によって監視される。第４溶液出力シグナル３３１の性質に基づいて、集中制御システム３３４は、第４溶液３３０についての所定の配合を達成するために、第３タンクシステム３２９に導かれるであろう第１フロー制御手段３０５及び／又は第２フロー制御手段３１１の何れかに、第１化学物質ストリーム３０４の流量及び／又は第２化学物質ストリーム３１０の流量を調節するよう指示するであろう。集中監視システム３３４が第４溶液３３０についての所定の配合が規格の範囲内であることを示す第４溶液出力シグナル３３１を受け取るまでは、第３タンクシステム３２９からの出力ストリームは、第３タンクシステム３２９へとリサイクル３３２される。第４溶液３３０が規格内になると、それはもはやリサイクル３３０されず、代わりに最終ユーザ３３３へと導かれる。或いは、第３溶液３３０は、第３タンクシステム３２９を迂回３３７し、最終ユーザ３３３へと導かれてもよい。

ブレンダシステム３１３は、コンジットシステム中に混合区域を具備している。第１化学物質ストリーム３０４及び第２化学物質ストリーム３１０は、この混合区域中で連続的に混合され、上述のようにしてリアルタイム方式で制御され、これにより所定の配合を有している第１溶液３１４を形成する。

ブレンダシステム３１３から同時に複数の調節が要求される状況が生じたとき、例えば、最終ユーザ３３３が、第３溶液３２６が所定の配合になっていないというシグナル、第２溶液３２０が所定の配合になっていないというシグナル、及び第１溶液３１４が所定の配合になっていないというシグナルを受けると同時に、第４溶液３３０が所定の配合になっていないというシグナルを受けた場合には、第４溶液３３０に対する調節は、第３溶液３２６に対する調節と比べてより高い優先度を有し、同様に、第３溶液３２６に対する調節は、第２溶液３２０に対する調節と比べてより高い優先度を有し、同様に、第２溶液３２０に対する調節は、第１溶液３１４に対する調節と比べてより高い優先度を有していてもよい。１つの態様は、溶液の配合における調節不良が最終ユーザ３３３に入る間近であるほど、その調節が有している優先度はより高いことである。

第１化学物質ストリーム３０４は、第１成分タンク３０１から得られてもよい。この第１成分タンク３０１は、第１計量手段３０２を有していてもよく、これは集中監視システム３３４で監視される第１計量手段出力シグナル３０３を生成してもよい。第２化学物質ストリーム３１０は、第２成分タンク３０７から得られてもよい。この第２成分タンク３０７は、第２計量手段３０８を有していてもよく、これは集中監視システム３３４で監視される第２計量手段出力シグナル３０９を生成してもよい。

第１及び／又は第２及び／又は第３タンクシステム３１７、３２３、３２９は、各々少なくとも２つのタンクを具備し、それらは並列又は直列の何れかで運転される。これらのタンクは、第３計量手段３１８及び／又は第４計量手段３２４を有していてもよく、これらが集中監視システム３３４で監視される第３計量手段出力シグナル３１９及び／又は第４計量手段出力シグナル３２５を生成してもよい。これらのタンクは、再循環システムを有していてもよく、これはタンク中での均一なブレンドを維持するために使用されてもよい。第２溶液３２０及び／又は第３溶液３２６及び／又は第４溶液３３０の何れかにおける所定の配合からの誤差が生じたときには、何れかの溶液を所定の配合に戻すために第１化学物質ストリーム３０４又は第２化学物質ストリーム３１０の流量の調節に要するであろう時間は、約１５分未満であってもよい。これらのタンクは、最終ユーザによる少なくとも３日間の恒常的な使用に合わせた大きさとされていてもよい。

ドレイン３１６に関して上述したドレインサイクルは、目標とする所定の配合を達成するまでに８秒未満を要するように設計されてもよい。ドレイン２１６に関して上述したドレインサイクルは、目標とする所定の配合を達成するまでに１ガロン未満がドレインに導かれるようにして設計されてもよい。

ブレンダシステム３１３は、毎分約８０リットル未満の設計流量を有するように設計されてもよい。ブレンダシステム３１３は、毎月１，０００，０００ガロン未満の設計流量を有するように設計されてもよい。ブレンダシステム３１３は、毎月１，５００，０００ガロン未満の設計流量を有するように設計されてもよい。

第１溶液３１４及び／又は第２溶液３２０及び／又は第３溶液３２６及び／又は第４溶液３３０の何れかの所定の配合は、ブレンダシステム３１３によって、約０．００３質量％を超える精度の範囲内に維持されてもよい。第１溶液３１４及び／又は第２溶液３２０及び／又は第３溶液３２６及び／又は第４溶液３３０の何れかの所定の配合は、ブレンダシステム３１３によって、約０．０１質量％を超える精度の範囲内に維持されてもよい。

第１及び／又は第２溶液及び／又は第３溶液及び／又は第４溶液は、以下の群より選択される少なくとも１つの濃度基準について監視されてもよい：
ａ） 導電率；
ｂ） 音速；
ｃ） 密度；
ｄ） 粘度；
ｅ） 屈折率；
ｆ） 混濁度；
ｇ） 自動滴定；及び
ｈ） 手動分析検証。

第１及び／又は第２フロー制御手段３０５，３１１は、流量及び圧力の両方を制御及び／又は監視してもよい。第１及び／又は第２フロー制御手段３０５，３１１は、温度を監視してもよい。第１及び／又は第２フロー制御手段３０５，３１１により為される流量、圧力及び温度の組み合わされた測定は、第１及び／又は第２溶液３１４，３２０の何れかについての濃度の計算中に温度を表示することに使用されてもよい。

第１フロー制御手段３０５、第２フロー制御手段３１１からの流量出力シグナル及び第１溶液出力シグナル３１５は、第１計量手段出力シグナル３０３とともに、第１成分タンク３０１の内容物の初期濃度を検証するために使用されてもよい。第１フロー制御手段３０５、第２フロー制御手段３１１からの流量出力シグナル及び第１溶液出力シグナル３１５は、第２計量手段出力シグナル３０９とともに、第２成分タンク３０７の内容物の初期濃度を検証するために使用されてもよい。

第１計量手段出力シグナル３０３の時間の関数としての変化及び第２計量手段出力シグナル３０９の時間の関数としての変化は、第１溶液３１４の流量を検証するために使用されてもよい。

第１計量手段出力シグナル３０３の時間の関数としての変化、第２計量手段出力シグナル３０９の時間の関数としての変化、及び第３計量手段出力シグナル３１９の時間の関数としての変化は、第２溶液３２０の流量を検証するために使用されてもよい。

第１計量手段出力シグナル３０３の時間の関数としての変化、第２計量手段出力シグナル３０９の時間の関数としての変化、第３計量手段出力シグナル３１９の時間の関数としての変化、及び第４計量手段出力シグナル３２５の時間の関数としての変化は、第３溶液３２６の流量を検証するために使用されてもよい。

単一のブレンダシステム３１３を使用して、２つ以上のブレンディングシステム３００が組み合わされてもよい。単一のブレンダシステム３１３を使用して２つ以上のブレンディングシステム３００が組み合わされた場合、最も高い体積使用量を有しているシステムの性能は、次に高い体積使用量を有しているシステムの性能よりも高い優先度を有している。単一のブレンダシステム３１３を使用して２つ以上のブレンディングシステム３００が組み合わされた場合、ブレンダシステムへ同時に複数の要求があるときには、優先順位付けは、手動で制御されてもよい。

図４は、本発明に係る複合ブレンディングシステムの実施態様を示す様式図である。ブレンディングシステム４００は、第１化学物質ストリーム４０４と、第２化学物質ストリーム４１０と、第１ブレンダシステム４１３と、ブレンディングシステムＡと、ブレンディングシステムＢと、ブレンディングシステムＣとを具備している。

ブレンディングシステムＡ、Ｂ、及びＣは、図１のシステム１００を参照しながら上述したシステムと同様である。ブレンディングシステムＡは、第１化学物質ストリーム４０４と、第２化学物質ストリーム４１０と、ブレンダシステム４１３と、第１溶液Ａ１４と、ドレインＡ１６と、第１タンクシステムＡ１７と、第２溶液Ａ２０と、化学物質分配システムＡ２３とを少なくとも具備している。ブレンディングシステムＢは、第１化学物質ストリーム４０４と、第２化学物質ストリーム４１０と、ブレンダシステム４１３と、第１溶液Ｂ１４と、ドレインＢ１６と、第１タンクシステムＢ１７と、第２溶液Ｂ２０と、化学物質分配システムＢ２３とを少なくとも具備している。ブレンディングシステムＣは、第１化学物質ストリーム４０４と、第２化学物質ストリーム４１０と、ブレンダシステム４１３と、第１溶液Ｃ１４と、ドレインＣ１６と、第１タンクシステムＣ１７と、第２溶液Ｃ２０と、化学物質分配システムＣ２３とを少なくとも具備している。

複合ブレンディングシステム４００は、一例として、典型的な半導体製造施設での典型的な副製造設備を表していてもよい。このような設備では、第１化学物質ストリームは、現像液、界面活性剤、脱イオン水などであってもよい。ブレンディングシステムＡは、特定のブレンド溶液、又は、特定のブレンド溶液の特定の濃度を表していてもよい。第１タンクＡ１７は、このような施設での品質認定タンク又はデイタンクを表していてもよい。図１を参照しながら上述したようなプロセスがブレンディングシステムＡに関して取り入れられるときには、第１タンクは、数時間以上の間、製造においてツールに供給するのに十分な流体を含んでいてもよい。このような時には、ブレンダシステム４１３は、脱イオン水を用いてパージされ、再校正されて、ブレンディングシステムＢ又はブレンディングシステムＣの何れかによって要求される溶液又は濃度をブレンドするのに利用可能であってもよい。

図１を参照しながら上述したように、ブレンディングシステムＡは、溶液の配合が監視及び確認されてもよい多数のポイントを有している。修正が必要となる場合には、これらの修正は、図１を参照しながら上述したようにして取り入れられてもよい。集中監視システムは、多数の混合ストリームを同時に監視及び調節してもよい。システム４００において明示されるように、単一のブレンダシステム１００を使用して２つ以上のブレンディングシステム１００が組み合わされた場合には、最も高い体積使用量を有しているシステムの性能は、次に高い体積使用量を有しているシステムの性能より高い優先度を有している。単一のブレンダシステム１００を使用して２つ以上のブレンディングシステム１００が組み合わされた場合、ブレンダシステムへ同時に複数の要求があるときには、優先順位付けは、手動で制御されてもよい。

ブレンディングシステム４００の原理が、単一のブレンダシステム１１３を使用して２つ以上のブレンディングシステム１００が組み合わされたあらゆるシステムに対して適用されてもよいことは注意されるべきである。

図５は、本発明に係る複合ブレンディングシステム５００の別の実施態様を示す様式図である。ブレンディングシステム５００は、第１化学物質ストリーム５０４と、第２化学物質ストリーム５１０と、第１ブレンダシステム５１３と、ブレンディングシステムＡと、ブレンディングシステムＢと、ブレンディングシステムＣとを具備している。

ブレンディングシステムＡ、Ｂ、及びＣは、図２のシステム２００を参照しながら上述したシステムと同様である。ブレンディングシステムＡは、第１化学物質ストリーム５０４と、第２化学物質ストリーム５１０と、ブレンダシステム５１３と、第１溶液Ａ１４と、ドレインＡ１６と、第１タンクシステムＡ１７と、第２タンクシステムＡ２３と、第２溶液Ａ２０と、第３溶液Ａ２６と、化学物質分配システムＡ２９とを少なくとも具備している。ブレンディングシステムＢは、第１化学物質ストリーム５０４と、第２化学物質ストリーム５１０と、ブレンダシステム５１３と、第１溶液Ｂ１４と、ドレインＢ１６と、第１タンクシステムＢ１７と、第２タンクシステムＢ２３と、第２溶液Ｂ２０と、第３溶液Ｂ２６と、化学物質分配システムＢ２９とを少なくとも具備している。ブレンディングシステムＣは、第１化学物質ストリーム５０４と、第２化学物質ストリーム５１０と、ブレンダシステム５１３と、第１溶液Ｃ１４と、ドレインＣ１６と、第１タンクシステムＣ１７と、第２タンクシステムＣ２３と、第２溶液Ｃ２０と、第３溶液Ｃ２６と、化学物質分配システムＣ２９とを少なくとも具備している。

複合ブレンディングシステム５００は、一例として、典型的な半導体製造施設での典型的な副製造設備を表していてもよい。このような設備では、第１化学物質ストリームは、現像液、界面活性剤、脱イオン水などであってもよい。ブレンディングシステムＡは、特定のブレンド溶液、又は、特定のブレンド溶液の特定の濃度を表していてもよい。第１タンクＡ１７又は第２タンクＡ２３は、このような施設での品質認定タンク又はデイタンクを表していてもよい。図２を参照しながら上述したようなプロセスが、ブレンディングシステムＡに関して取り入れられるときには、第１タンクは、数時間以上の間、製造においてツールに供給するのに十分な流体を含んでいてもよい。このような時には、ブレンダシステム５１３は、脱イオン水を用いてパージされ、再校正されて、ブレンディングシステムＢ又はブレンディングシステムＣの何れかによって要求される溶液又は濃度をブレンドするのに利用可能であってもよい。

図２を参照しながら上述したように、ブレンディングシステムＡは、溶液の配合が監視及び確認されてもよい多数のポイントを有している。修正が必要となる場合には、これらの修正は、図２を参照しながら上述したようにして取り入れられてもよい。集中監視システムは、多数の混合ストリームを同時に監視及び調節してもよい。システム５００において明示されるように、単一のブレンダシステム２００を使用して２つ以上のブレンディングシステム２００が組み合わされた場合には、最も高い体積使用量を有しているシステムの性能は、次に高い体積使用量を有しているシステムより高い優先度を有している。単一のブレンダシステム２００を使用して２つ以上のブレンディングシステム２００が組み合わされた場合、ブレンダシステムへ同時に複数の要求があるときには、優先順位付けは、手動で制御されてもよい。

ブレンディングシステム５００の原理が、単一のブレンダシステム２１３を使用して２つ以上のブレンディングシステム２００が組み合わされたあらゆるシステムに対して適用されてもよいことは注意されるべきである。

図６は、本発明に係る複合ブレンディングシステム６００の更に別の実施態様を示す様式図である。ブレンディングシステム６００は、第１化学物質ストリーム６０４と、第２化学物質ストリーム６１０と、第１ブレンダシステム６１３と、ブレンディングシステムＡと、ブレンディングシステムＢと、ブレンディングシステムＣとを具備している。

ブレンディングシステムＡ、Ｂ、及びＣは、図３のシステム３００を参照しながら上述したシステムと同様である。ブレンディングシステムＡは、第１化学物質ストリーム６０４と、第２化学物質ストリーム６１０と、ブレンダシステム６１３と、第１溶液Ａ１４と、ドレインＡ１６と、第１タンクシステムＡ１７と、第２タンクシステムＡ２３と、第３タンクシステムＡ２９と、第２溶液Ａ２０と、第３溶液Ａ２６と、第４溶液Ａ３０と、最終ユーザＡ３３とを少なくとも具備している。ブレンディングシステムＢは、第１化学物質ストリーム６０４と、第２化学物質ストリーム６１０と、ブレンダシステム６１３と、第１溶液Ｂ１４と、ドレインＢ１６と、第１タンクシステムＢ１７と、第２タンクシステムＢ２３と、第３タンクシステムＢ２９と、第２溶液Ｂ２０と、第３溶液Ｂ２６と、第４溶液Ｂ３０と、最終ユーザＢ３３とを少なくとも具備している。ブレンディングシステムＣは、第１化学物質ストリーム６０４と、第２化学物質ストリーム６１０と、ブレンダシステム６１３と、第１溶液Ｃ１４と、ドレインＣ１６と、第１タンクシステムＣ１７と、第２タンクシステムＣ２３と、第３タンクシステムＣ２９と、第２溶液Ｃ２０と、第３溶液Ｃ２６と、第４溶液Ｃ３０と、最終ユーザＣ３３とを少なくとも具備している。

複合ブレンディングシステム６００は、一例として、典型的な半導体製造施設での典型的な副製造設備を表していてもよい。このような設備では、第１化学物質ストリームは、現像液、界面活性剤、脱イオン水などであってもよい。ブレンディングシステムＡは、特定のブレンド溶液、又は、特定のブレンド溶液の特定の濃度を表していてもよい。第１タンクＡ１７、第２タンクＡ２３、又は第３タンクＡ２９は、このような施設での品質認定タンク又はデイタンクを表していてもよい。図３を参照しながら上述したようなプロセスが、ブレンディングシステムＡに関して取り入れられるときには、第１タンクは、数時間以上の間、製造においてツールに供給するのに十分な流体を含んでいてもよい。このような時には、ブレンダシステム６１３は、脱イオン水を用いてパージされ、再校正されて、ブレンディングシステムＢ又はブレンディングシステムＣの何れかによって要求される溶液又は濃度をブレンドするのに利用可能であってもよい。

図３を参照しながら上述したように、ブレンディングシステムＡは、溶液の配合が監視及び確認されてもよい多数のポイントを有している。修正が必要となる場合には、これらの修正は、図３を参照しながら上述したようにして取り入れられてもよい。集中監視システムは、多数の混合ストリームを同時に監視及び調節してもよい。システム６００において明示されるように、単一のブレンダシステム３００を使用して２つ以上のブレンディングシステム３００が組み合わされた場合には、最も高い体積使用量を有しているシステムの性能は、次に高い体積使用量を有しているシステムの性能より高い優先度を有している。単一のブレンダシステム３００を使用して２つ以上のブレンディングシステム３００が組み合わされた場合、ブレンダシステムへ同時に複数の要求があるときには、優先順位付けは、手動で制御されてもよい。

ブレンディングシステム６００の原理が、単一のブレンダシステム３１３を使用して２つ以上のブレンディングシステム３００が組み合わされたあらゆるシステムに対して適用されてもよいことは注意されるべきである。

本発明の実施態様は、上に記載されている。本発明は様々な修正及び代替形態を許容しており、そのうち特定の態様がここに詳細に記載されている。しかしながら、ここでの特定の態様の記載は、本発明を開示された特定の形態に限定することを意図しておらず、反対に、添付された請求の範囲によって定められる本発明の真意及び範囲内に属するあらゆる修正物、均等物、及び代替物を包含することを意図している点は理解されるべきである。

これら実際の何れの態様の開発においても、実施ごとに異なるであろうシステム関連及びビジネス関連の制約への準拠等、開発者の特定の目標を達成するために、各実施に特有の多数の決定が為されなければならないことは、当然に認識されるであろう。さらには、このような開発努力は、複雑で時間がかかるかもしれないが、それにもかかわらず、この開示の利益を有している当業者にとっては決まりきった仕事であろうことも認識されるであろう。

本発明のこれらの及び他の特徴、側面及び利点は、以下の記載及び添付された請求の範囲を参照することにより、より良く理解されるようになるであろう。

本発明は、上述した好ましい態様に制限されず、むしろ以下で提示される請求の範囲によって定められる。

本発明に係るブレンディングシステムの実施態様の様式図。 本発明に係るブレンディングシステムの別の実施態様の様式図。 本発明に係るブレンディングシステムの更に別の実施態様の様式図。 本発明に係る複合ブレンディングシステムの実施態様の様式図。 本発明に係る複合ブレンディングシステムの別の実施態様の様式図。 本発明に係る複合ブレンディングシステムの更に別の実施態様の様式図。

Claims (54)

1. 化学物質ブレンディングシステムの運転方法であって、
   ａ） ブレンダシステム中で少なくとも第１化学物質ストリームを第２化学物質ストリームと混合することであって、前記ブレンダシステムはコンジットシステム中に混合区域を具備し且つリアルタイム制御方式によって第１溶液を形成し、前記第１化学物質ストリーム及び前記第２化学物質ストリームは前記混合区域中に連続的に導入されること；
   ｂ） 前記第１溶液を監視することであって、前記監視は集中監視システムへと送られる第１溶液出力シグナルをもたらすこと；
   ｃ） 前記第１化学物質ストリームの流量及び前記第２化学物質ストリームの流量を調節して前記第１溶液の所定の配合を維持すること；
   ｄ） 前記第１溶液を第１タンクシステムへと導入することであって、前記第１タンクシステムは化学物質分配システムに接続され、前記第１タンクシステムは少なくとも第１タンクと第２タンクとを更に具備していること；
   ｅ） 所定の配合を有している第２溶液を前記第１タンクシステムから前記化学物質分配システムへと配送すること；
   ｆ） 前記第２溶液を監視することであって、前記監視は前記集中監視システムへと送られる第２溶液出力シグナルをもたらすこと；及び
   ｇ） 前記第２溶液の前記所定の配合を維持するために、前記第１溶液の前記流量及び前記第２溶液の前記流量を調節しながら、溶液を前記第１タンクシステムから出すとともに前記第１タンクシステムへと戻して循環させること
   を具備した方法。
2. 前記第１タンクシステムは、前記循環を実行するように構成された再循環システムを更に具備した請求項１に記載の方法。
3. 前記第１溶液の前記所定の配合は、約０．００３質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項１に記載の方法。
4. 前記第１溶液の前記所定の配合は、約０．０１質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項１に記載の方法。
5. 前記第２溶液の前記所定の配合は、約０．００３質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項１に記載の方法。
6. 前記第２溶液の前記所定の配合は、約０．０１質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項１に記載の方法。
7. 前記第１溶液は、
   ａ） 導電率；
   ｂ） 音速；
   ｃ） 密度；
   ｄ） 粘度；
   ｅ） 屈折率；
   ｆ） 混濁度；
   ｇ） 自動滴定；及び
   ｈ） 手動分析検証
   からなる群より選択される少なくとも１つの判定基準について監視される請求項１に記載の方法。
8. 前記第２溶液は、
   ａ） 導電率；
   ｂ） 音速；
   ｃ） 密度；
   ｄ） 粘度；
   ｅ） 屈折率；
   ｆ） 混濁度；
   ｇ） 自動滴定；及び
   ｈ） 手動分析検証
   からなる群より選択される少なくとも１つの判定基準について監視される請求項１に記載の方法。
9. 前記第１化学物質ストリームの前記流量は第１流量制御手段により制御され、前記第１流量制御は前記集中監視システムへと送られる第１制御手段出力シグナルをもたらし、前記第２化学物質ストリームの前記流量は第２流量制御手段により制御され、前記第２流量制御は前記集中監視システムへと送られる前記第２制御手段出力シグナルをもたらす請求項１に記載の方法。
10. 前記第１化学物質ストリームは第１成分タンクから得られ、前記第２化学物質ストリームは第２成分タンクから得られる請求項１に記載の方法。
11. 一般のブレンダシステムを利用して、請求項１において規定された前記方法を実行する２つ以上の化学物質ブレンディングシステムを具備した化学物質ブレンディングシステム。
12. 化学物質ブレンディングシステムの運転方法であって、
    ａ） ブレンダシステム中で少なくとも第１化学物質ストリームを第２化学物質ストリームと混合することであって、前記ブレンダシステムはコンジットシステム中に混合区域を具備し且つリアルタイム制御方式によって第１溶液を形成し、前記第１化学物質ストリーム及び前記第２化学物質ストリームは前記混合区域中に連続的に導入されること；
    ｂ） 前記第１溶液を監視することであって、前記監視は集中監視システムへと送られる第１溶液出力シグナルをもたらすこと；
    ｃ） 前記第１化学物質ストリームの流量及び前記第２化学物質ストリームの流量を調節して前記第１溶液の所定の配合を維持すること；
    ｄ） 前記第１溶液を第１タンクシステムへと導入することであって、前記第１タンクシステムは第２タンクシステムに接続され、前記第１タンクシステムは少なくとも第１タンクと第２タンクとを更に具備し、前記第２タンクシステムは少なくとも第３タンクと第４タンクとを更に具備していること；
    ｅ） 所定の配合を有している第２溶液を前記第１タンクシステムから前記第２タンクシステムへと配送すること；
    ｆ） 前記第２溶液を監視することであって、前記監視は前記集中監視システムへと送られる第２溶液出力シグナルをもたらすこと；
    ｇ） 前記第２溶液の所定の配合を維持するために、前記第１溶液の前記流量及び前記第２溶液の前記流量を調節しながら、溶液を前記第１タンクシステムから出すとともに前記第１タンクシステムへと戻して循環させること；
    ｈ） 所定の配合を有している第３溶液を前記第２タンクシステムから前記化学物質配送システムへと配送すること；
    ｉ） 前記第３溶液を監視することであって、前記監視は前記集中監視システムへと送られる第２溶液出力シグナルをもたらすこと；及び
    ｊ） 前記第３溶液の所定の配合を維持するために、前記第１溶液の前記流量及び前記第２溶液の前記流量を調節しながら、溶液を前記第２タンクシステムから出すとともに前記第２タンクシステムへと戻して循環させること
    を具備した方法。
13. 前記第１タンクシステムは、前記循環を実行するように構成された再循環システムを更に具備した請求項１２に記載の方法。
14. 前記第２タンクシステムは、再循環システムを更に具備した請求項１２に記載の方法。
15. 前記第１溶液の前記所定の配合は、約０．００３質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項１２に記載の方法。
16. 前記第１溶液の前記所定の配合は、約０．０１質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項１２に記載の方法。
17. 前記第２溶液の前記所定の配合は、約０．００３質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項１２に記載の方法。
18. 前記第２溶液の前記所定の配合は、約０．０１質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項１２に記載の方法。
19. 前記第３溶液の前記所定の配合は、約０．００３質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項１２に記載の方法。
20. 前記第３溶液の前記所定の配合は、約０．０１質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項１２に記載の方法。
21. 前記第１溶液は、
    ａ） 導電率；
    ｂ） 音速；
    ｃ） 密度；
    ｄ） 粘度；
    ｅ） 屈折率；
    ｆ） 混濁度；
    ｇ） 自動滴定；及び
    ｈ） 手動分析検証
    からなる群より選択される少なくとも１つの判定基準について監視される請求項１２に記載の方法。
22. 前記第２溶液は、
    ａ） 導電率；
    ｂ） 音速；
    ｃ） 密度；
    ｄ） 粘度；
    ｅ） 屈折率；
    ｆ） 混濁度；
    ｇ） 自動滴定；及び
    ｈ） 手動分析検証
    からなる群より選択される少なくとも１つの判定基準について監視される請求項１２に記載の方法。
23. 前記第３溶液は、
    ａ） 導電率；
    ｂ） 音速；
    ｃ） 密度；
    ｄ） 粘度；
    ｅ） 屈折率；
    ｆ） 混濁度；
    ｇ） 自動滴定；及び
    ｈ） 手動分析検証
    からなる群より選択される少なくとも１つの判定基準について監視される請求項１２に記載の方法。
24. 前記第１化学物質ストリームの前記流量は第１流量制御手段により制御され、前記第１流量制御は前記集中監視システムへと送られる第１制御手段出力シグナルをもたらし、前記第２化学物質ストリームの前記流量は第２流量制御手段により制御され、前記第２流量制御は前記集中監視システムへと送られる前記第２制御手段出力シグナルをもたらす請求項１２に記載の方法。
25. 前記第１化学物質ストリームは第１成分タンクから得られ、前記第２化学物質ストリームは第２成分タンクから得られる請求項１２に記載の方法。
26. 一般のブレンダシステムを利用して、請求項１２において規定された前記方法を実行する２つ以上の化学物質ブレンディングシステムを具備した化学物質ブレンディングシステム。
27. 化学物質ブレンディングシステムの運転方法であって、
    ａ） ブレンダシステム中で少なくとも第１化学物質ストリームを第２化学物質ストリームと混合することであって、前記ブレンダシステムはコンジットシステム中に混合区域を具備し且つリアルタイム制御方式によって第１溶液を形成し、前記第１化学物質ストリーム及び前記第２化学物質ストリームは前記混合区域中に連続的に導入されること；
    ｂ） 前記第１溶液を監視することであって、前記監視は集中監視システムへと送られる第１溶液出力シグナルをもたらすこと；
    ｃ） 前記第１化学物質ストリームの流量及び前記第２化学物質ストリームの流量を調節して前記第１溶液の所定の配合を維持すること；
    ｄ） 前記第１溶液を第１タンクシステムへと導入することであって、前記第１タンクシステムは第２タンクシステムに接続され、前記第１タンクシステムは少なくとも第１タンクと第２タンクとを更に具備し、前記第２タンクシステムは少なくとも第３タンクと第４タンクとを更に具備していること；
    ｅ） 所定の配合を有している第２溶液を前記第１タンクシステムから前記第２タンクシステムへと配送すること；
    ｆ） 前記第２溶液を監視することであって、前記監視は前記集中監視システムへと送られる第２溶液出力シグナルをもたらすこと；
    ｇ） 前記第２溶液の所定の配合を維持するために、前記第１溶液の前記流量及び前記第２溶液の前記流量を調節しながら、溶液を前記第１タンクシステムから出すとともに前記第１タンクシステムへと戻して循環させること；
    ｈ） 所定の配合を有している第３溶液を前記第２タンクシステムから第３タンクシステムへと配送することであって、前記第３タンクシステムは少なくとも第５タンクと第６タンクとを更に具備していること；
    ｉ） 前記第３溶液を監視することであって、前記監視は前記集中監視システムへと送られる第３溶液出力シグナルをもたらすこと；
    ｊ） 前記第３溶液の所定の配合を維持するために、前記第１溶液の前記流量及び前記第２溶液の前記流量を調節しながら、溶液を前記第２タンクシステムから出すとともに前記第２タンクシステムへと戻して循環させること；
    ｋ） 所定の配合を有している第４溶液を前記第３タンクシステムから最終ユーザへと配送すること；
    ｌ） 前記第４溶液を監視することであって、前記監視は前記集中監視システムへと送られる第４溶液出力シグナルをもたらすこと；及び
    ｍ） 前記第４溶液の所定の配合を維持するために、前記第１溶液の前記流量及び前記第２溶液の前記流量を調節しながら、溶液を前記第３タンクシステムから出すとともに前記第３タンクシステムへと戻して循環させること
    を具備した方法。
28. 前記第１タンクシステムは、再循環システムを更に具備した請求項２７に記載の方法。
29. 前記第２タンクシステムは、再循環システムを更に具備した請求項２７に記載の方法。
30. 前記第３タンクシステムは、再循環システムを更に具備した請求項２７に記載の方法。
31. 前記第１溶液の前記所定の配合は、約０．００３質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項２７に記載の方法。
32. 前記第１溶液の前記所定の配合は、約０．０１質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項２７に記載の方法。
33. 前記第２溶液の前記所定の配合は、約０．００３質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項２７に記載の方法。
34. 前記第２溶液の前記所定の配合は、約０．０１質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項２７に記載の方法。
35. 前記第３溶液の前記所定の配合は、約０．００３質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項２７に記載の方法。
36. 前記第３溶液の前記所定の配合は、約０．０１質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項２７に記載の方法。
37. 前記第４溶液の前記所定の配合は、約０．００３質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項２７に記載の方法。
38. 前記第４溶液の前記所定の配合は、約０．０１質量％を超える精度の範囲内に維持される請求項２７に記載の方法。
39. 前記第１溶液は、
    ａ） 導電率；
    ｂ） 音速；
    ｃ） 密度；
    ｄ） 粘度；
    ｅ） 屈折率；
    ｆ） 混濁度；
    ｇ） 自動滴定；及び
    ｈ） 手動分析検証
    からなる群より選択される少なくとも１つの判定基準について監視される請求項２７に記載の方法。
40. 前記第２溶液は、
    ａ） 導電率；
    ｂ） 音速；
    ｃ） 密度；
    ｄ） 粘度；
    ｅ） 屈折率；
    ｆ） 混濁度；
    ｇ） 自動滴定；及び
    ｈ） 手動分析検証
    からなる群より選択される少なくとも１つの判定基準について監視される請求項２７に記載の方法。
41. 前記第３溶液は、
    ａ） 導電率；
    ｂ） 音速；
    ｃ） 密度；
    ｄ） 粘度；
    ｅ） 屈折率；
    ｆ） 混濁度；
    ｇ） 自動滴定；及び
    ｈ） 手動分析検証
    からなる群より選択される少なくとも１つの判定基準について監視される請求項２７に記載の方法。
42. 前記第４溶液は、
    ａ） 導電率；
    ｂ） 音速；
    ｃ） 密度；
    ｄ） 粘度；
    ｅ） 屈折率；
    ｆ） 混濁度；
    ｇ） 自動滴定；及び
    ｈ） 手動分析検証
    からなる群より選択される少なくとも１つの判定基準について監視される請求項２７に記載の方法。
43. 前記第１化学物質ストリームの前記流量は第１流量制御手段により制御され、前記第１流量制御は前記集中監視システムへと送られる第１制御手段出力シグナルをもたらし、前記第２化学物質ストリームの前記流量は第２流量制御手段により制御され、前記第２流量制御は前記集中監視システムへと送られる前記第２制御手段出力シグナルをもたらす請求項２７に記載の方法。
44. 前記第１化学物質ストリームは第１成分タンクから得られ、前記第２化学物質ストリームは第２成分タンクから得られる請求項２７に記載の方法。
45. 一般のブレンダシステムを利用して、請求項２７において規定された前記方法を実行する２つ以上の化学物質ブレンディングシステムを具備した化学物質ブレンディングシステム。
46. 化学物質ブレンディングシステムの運転方法であって、
    ａ） ブレンダシステムの混合区域中で少なくとも第１化学物質ストリームを第２化学物質ストリームと混合して第１溶液を形成することであって、前記第１化学物質ストリーム及び前記第２化学物質ストリームは前記混合区域中に連続的に導入されること；
    ｂ） 前記第１溶液を監視することであって、前記監視は集中監視システムへと送られる第１溶液出力シグナルをもたらすこと；
    ｃ） 前記第１溶液出力シグナルに基づいて、前記第１化学物質ストリームの流量及び前記第２化学物質ストリームの流量を調節して前記第１溶液の所定の配合を維持すること；
    ｄ） 前記ブレンダシステムから第１タンクシステムへと前記第１溶液を配送することであって、前記第１タンクシステムは少なくとも第１タンクと第２タンクとを更に具備していること；
    ｅ） 第２溶液を前記第１タンクシステムから配送すること；
    ｆ） 前記第２溶液を監視することであって、前記監視は前記集中監視システムへと送られる第２溶液出力シグナルをもたらすこと；
    ｇ） 前記第２溶液の所定の配合を維持するために、前記第１溶液の前記流量及び前記第２溶液の前記流量を調節しながら、溶液を前記第１タンクシステムから出すとともに前記第１タンクシステムへと戻して循環させることであって、前記調節は前記第２溶液出力シグナルに基づいて為されること；
    ｈ） 前記ブレンダシステムから第２タンクシステムへと前記第１溶液を配送することであって、前記第２タンクシステムは少なくとも第３タンクと第４タンクとを具備していること；
    ｉ） 第３溶液を前記第２タンクシステムから配送すること；
    ｊ） 前記第３溶液を監視することであって、前記監視は前記集中監視システムへと送られる第３溶液出力シグナルをもたらすこと；及び
    ｋ） 前記第３溶液の所定の配合を維持するために、前記第１溶液の前記流量及び前記第２溶液の前記流量を調節しながら、溶液を前記第２タンクシステムから出すとともに前記第２タンクシステムへと戻して循環させることであって、前記調節は前記第３溶液出力シグナルに基づいて為されること
    を具備した方法。
47. 前記第１タンクシステム及び前記第２タンクシステムは、１つ以上の半導体プロセスツールと流体で連絡している請求項４６に記載の方法。
48. 前記第２及び第３溶液の各々の前記所定の配合を維持するために前記第１化学物質ストリームの前記流量と前記第２化学物質ストリームの前記流量とを調節することが、前記第１溶液の前記所定の配合を維持するために前記第１化学物質ストリームの前記流量と前記第２化学物質ストリームの前記流量とを調節することより優先される請求項４６に記載の方法。
49. 前記各々のタンクシステムからの溶液の体積使用量に従って、前記第１溶液の前記ブレンダシステムから前記第１及び前記第２タンクシステムへの配送の優先度を制御することを更に具備した請求項４６に記載の方法。
50. 化学物質ブレンディングシステムであって、
    ａ） 少なくとも第１化学物質ストリームを第２化学物質ストリームと混合して第１溶液を形成するための混合区域を有しているブレンダシステム；及び
    ｂ） １つ以上の監視装置と１つ以上の制御装置とを備えた制御システムを具備し、
    前記制御システムは、
    ｉ） 前記第１溶液を監視し、前記監視は第１溶液出力シグナルをもたらし；
    ｉｉ） 前記第１化学物質ストリームの流量及び前記第２化学物質ストリームの流量を調節して前記第１溶液の所定の配合を維持し；
    ｉｉｉ） 第１タンクシステムへの前記第１溶液の配送を制御し、前記第１タンクシステムは少なくとも第１タンクと第２タンクとを更に具備し；
    ｉｖ） 前記第１タンクシステムからの所定の配合を有している第２溶液の配送を制御し；
    ｖ） 前記第２溶液を監視し、前記監視は第２溶液出力シグナルをもたらし；及び
    ｖｉ） 前記第２溶液の所定の配合を維持するために、前記第１溶液の前記流量及び前記第２溶液の前記流量を調節しながら、溶液を前記第１タンクシステムから出すとともに前記第１タンクシステムへと戻して循環を制御するように構成されている
    化学物質ブレンディングシステム。
51. 前記第１タンクシステムは化学物質分配システムに接続されている請求項５０に記載のシステム。
52. 前記第１タンクシステムと流体で接続された半導体プロセスツールを更に具備した請求項５０に記載のシステム。
53. 前記ブレンダシステムと接続された第２タンクシステムを更に具備し、前記制御システムは、ブレンダシステムを前記第１タンクシステム及び前記第２タンクシステムと選択的に流体で連絡させるように構成されている請求項５０に記載のシステム。
54. 前記第１タンクシステムと接続されて前記第１タンクシステムから前記第２溶液を受け取る第２タンクシステムを更に具備し；前記制御システムは、
    所定の配合を有している第３溶液の前記第２タンクシステムからの配送を制御し；
    前記第３溶液を監視し、前記監視は第３溶液出力シグナルをもたらし；及び
    前記第３溶液の所定の配合を維持するために、前記第１溶液の前記流量及び前記第２溶液の前記流量を調節しながら、溶液を前記第２タンクシステムから出すとともに前記第２タンクシステムへと戻して循環を制御すべく構成されている請求項５０に記載のシステム。

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