JP7404412B2 - 統合バッファを備えたウエハ搬送アセンブリ - Google Patents
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Description
[適用例1]ウエハ搬送アセンブリであって、
第1ウエハ搬送モジュールと、
第2ウエハ搬送モジュールと、
前記第1および第2ウエハ搬送モジュールの間に接続されたバッファモジュールであって、前記第1ウエハ搬送モジュール、前記第2ウエハ搬送モジュール、および、前記バッファモジュールは、単一方向軸に整列され、前記バッファモジュールは、第1バッファスタックおよび第2バッファスタックを有し、前記第1バッファスタックは、前記単一方向軸の第1側に配置された前記バッファモジュールの第1側端に配置され、前記第2バッファスタックは、前記単一方向軸の第2側に配置された前記バッファモジュールの第2側端に配置されている、バッファモジュールと
を備え、
前記単一方向軸の前記第1側に配置された前記第1ウエハ搬送モジュールの第1側は、第1処理モジュールに接続するよう構成され、
前記単一方向軸の前記第1側に配置された前記第2ウエハ搬送モジュールの第1側は、第2処理モジュールに接続するよう構成され、
前記バッファモジュールの前記第1側端は、前記第1および第2ウエハ搬送モジュールと前記第1および第2処理モジュールとの間に入れ子状に配置された第1側面突起を規定し、
前記単一方向軸の前記第2側に配置された前記第1ウエハ搬送モジュールの第2側は、第3処理モジュールに接続するよう構成され、
前記単一方向軸の前記第2側に配置された前記第2ウエハ搬送モジュールの第2側は、第4処理モジュールに接続するよう構成され、
前記バッファモジュールの前記第2側端は、前記第1および第2ウエハ搬送モジュールと前記第3および第4処理モジュールとの間に入れ子状に配置された第2側面突起を規定し、前記第1ウエハ搬送モジュール、前記第2ウエハ搬送モジュール、および、前記バッファモジュールは、連続的な制御環境を規定するよう構成されている
ウエハ搬送アセンブリ。
[適用例2]適用例1に記載のウエハ搬送アセンブリであって、前記ウエハ搬送アセンブリは、前記第1または第3処理モジュールの一方から、前記第1ウエハ搬送モジュール、前記第1または第2バッファスタックの一方、前記第2ウエハ搬送モジュール、前記第2または第4処理モジュールの一方まで、ウエハのための搬送路を規定するよう構成されているウエハ搬送アセンブリ。
[適用例3]適用例1に記載のウエハ搬送アセンブリであって、前記第1および第2バッファスタックの各々は、約5~10のウエハを格納するよう構成されているウエハ搬送アセンブリ。
[適用例4]適用例1に記載のウエハ搬送アセンブリであって、前記制御環境は、真空制御された環境によって規定されるウエハ搬送アセンブリ。
[適用例5]適用例1に記載のウエハ搬送アセンブリであって、前記第1および第2バッファスタックは、複数のウエハ格納スロットを規定し、前記ウエハ格納スロットの少なくとも1つは、前記ウエハ搬送アセンブリによって規定された前記制御環境内でカバーウエハを格納するよう構成されているウエハ搬送アセンブリ。
[適用例6]適用例1に記載のウエハ搬送アセンブリであって、さらに、
前記第2搬送モジュールに接続され、前記単一方向軸に沿って整列された第2バッファモジュールを備え、
前記第2バッファモジュールは、前記単一方向軸の前記第1側に配置された前記第2バッファモジュールの第1側端に位置する第3バッファスタックと、前記単一方向軸の前記第2側に配置された前記第2バッファモジュールの第2側端に位置する第4バッファスタックとを有する
ウエハ搬送アセンブリ。
[適用例7]適用例6に記載のウエハ搬送アセンブリであって、前記第2バッファモジュールの前記第1側端は、第3側面突起を規定し、前記第2バッファモジュールの前記第2側端は、第4側面突起を規定するウエハ搬送アセンブリ。
[適用例8]適用例7に記載のウエハ搬送アセンブリであって、さらに、
前記第2バッファモジュールに接続され、前記単一方向軸に沿って整列された第3ウエハ搬送モジュールを備え、
前記単一方向軸の前記第1側に配置された前記第3ウエハ搬送モジュールの第1側は、第5処理モジュールに接続するよう構成され、前記単一方向軸の前記第2側に配置された前記第3ウエハ搬送モジュールの第2側は、第6処理モジュールに接続するよう構成されている
ウエハ搬送モジュール。
[適用例9]適用例8に記載のウエハ搬送アセンブリであって、
前記第3側面突起は、前記第2および第3ウエハ搬送モジュールと前記第2および第5処理モジュールとの間に入れ子状に配置され、
前記第4側面突起は、前記第2および第3ウエハ搬送モジュールと前記第4および第6処理モジュールとの間に入れ子状に配置されている
ウエハ搬送アセンブリ。
[適用例10]適用例1に記載のウエハ搬送アセンブリであって、前記ウエハ搬送アセンブリは、前記ウエハ搬送アセンブリの前端から前記ウエハ搬送アセンブリの後端まで伸びるサービストンネルの上に規定されているウエハ搬送アセンブリ。
[適用例11]ウエハ搬送アセンブリであって、
ハウジングと、
前記ハウジング内に配置された第1ウエハ搬送ロボットと、
前記ハウジング内に配置された第2ウエハ搬送ロボットと、
前記ハウジング内に配置され、前記第1および第2ウエハ搬送ロボットの間に位置する第1および第2バッファスタックと
を備え、
第1インターフェースが、前記ハウジングの第1側に沿って規定され、第1処理モジュールに接続するよう構成され、
第2インターフェースが、前記ハウジングの前記第1側に沿って規定され、第2処理モジュールに接続するよう構成され、
第1側面突起が、前記ハウジングの前記第1側に沿って前記第1および第2インターフェースの間に規定され、前記第1側面突起は、前記第1バッファスタックの位置を規定し、前記第1および第2ウエハ搬送ロボットと前記第1および第2処理モジュールとの間に入れ子状に配置され、
第3インターフェースが、前記ハウジングの第2側に沿って規定され、第3処理モジュールに接続するよう構成され、
第4インターフェースが、前記ハウジングの前記第2側に沿って規定され、第4処理モジュールに接続するよう構成され、
第2側面突起が、前記ハウジングの前記第2側に沿って前記第3および第4インターフェースの間に規定され、前記第2側面突起は、前記第2バッファスタックの位置を規定し、前記第1および第2ウエハ搬送ロボットと前記第3および第4処理モジュールとの間に入れ子状に配置され、
前記ウエハ搬送アセンブリは、連続的な制御環境を規定する
ウエハ搬送アセンブリ。
[適用例12]適用例11に記載のウエハ搬送アセンブリであって、前記ウエハ搬送アセンブリは、前記第1または第3処理モジュールの一方から、前記第1ウエハ搬送ロボット、前記第1または第2バッファスタックの一方、前記第2ウエハ搬送ロボット、前記第2または第4処理モジュールの一方まで、ウエハのための搬送路を規定するよう構成されているウエハ搬送アセンブリ。
[適用例13]適用例11に記載のウエハ搬送アセンブリであって、さらに、
真空源に接続するためのコネクタを備え、
前記連続的な制御環境は、真空制御された環境によって規定される
ウエハ搬送アセンブリ。
[適用例14]適用例11に記載のウエハ搬送アセンブリであって、
前記第1バッファスタックの上側部分が、複数の第1ウエハ格納スロットを規定し、前記第1バッファスタックの前記上側部分は、前記複数の第1ウエハ格納スロットの各々の間に規定された1または複数のセパレータを有し、
前記第1バッファスタックの下側部分が、複数の第2ウエハ格納スロットを規定し、前記第1バッファスタックの前記下側部分は、前記複数の第2ウエハ格納スロットの各々の間に規定されたセパレータを有していない
ウエハ搬送アセンブリ。
[適用例15]適用例14に記載のウエハ搬送アセンブリであって、前記第1バッファスタックの前記下側部分は、1または複数のカバーウエハまたはシーズニングウエハを格納するよう構成されているウエハ搬送アセンブリ。
[適用例16]適用例11に記載のウエハ搬送アセンブリであって、前記第1および第2バッファスタックの各々は、約5~10のウエハを格納するよう構成されているウエハ搬送アセンブリ。
[適用例17]適用例11に記載のウエハ搬送アセンブリであって、前記ウエハ搬送アセンブリは、前記ウエハ搬送アセンブリの前端から前記ウエハ搬送アセンブリの後端まで伸びるサービストンネルの上に規定されているウエハ搬送アセンブリ。
Claims (15)
- 基板処理ツールであって、
第1ウエハ搬送モジュールを有するウエハ搬送アセンブリであって、前記基板処理ツールにおいて、所定方向に基板を搬送するよう構成されたウエハ搬送アセンブリと、
前記ウエハ搬送アセンブリの下に規定されたサービストンネルと、
前記サービストンネルを挟んで互いに対向する位置に配置された第1処理モジュールおよび第2処理モジュールを有する複数の処理モジュールであって、前記第1ウエハ搬送モジュールの外側は、それぞれ、前記第1処理モジュールおよび前記第2処理モジュールに接続されている、複数の処理モジュールと、
を備え、
前記サービストンネルは、前記ウエハ搬送アセンブリの下の前記基板処理ツールの前端から前記基板処理ツールの後端まで前記所定方向に沿って伸びており、かつ前記ウエハ搬送アセンブリの下側と、前記ウエハ搬送アセンブリの下に配置されたサービスフロアとの間に規定された垂直寸法を有し、
前記サービスフロアは、工場フロアの高さよりも低い高さに規定されている
基板処理ツール。 - 請求項1に記載の基板処理ツールであって、
前記サービストンネルの前記垂直寸法は、183cm~244cmの範囲である、基板処理ツール。 - 請求項1に記載の基板処理ツールであって、
前記サービスフロアの前記高さは、前記工場フロアの前記高さより低い30.5cm~61cmである、基板処理ツール。 - 請求項1に記載の基板処理ツールであって、
前記ウエハ搬送アセンブリは、第2ウエハ搬送モジュールを備え、
前記複数の処理モジュールは、前記サービストンネルを挟んで互いに対向する位置に第3処理モジュールおよび第4処理モジュールを備え、前記第2ウエハ搬送モジュールの外側は、それぞれ、前記第2処理モジュールおよび前記第3処理モジュールに接続され、
前記第1ウエハ搬送モジュールおよび前記第2ウエハ搬送モジュールは、前記ウエハ搬送アセンブリ内で制御された環境を提供する連続的なウエハ搬送空間を規定する、基板処理ツール。 - 請求項4に記載の基板処理ツールであって、さらに、
前記ウエハ搬送アセンブリ内の前記連続的なウエハ搬送空間の前記第1ウエハ搬送モジュールと前記第2ウエハ搬送モジュールとの間に配置されたバッファモジュールを備える、基板処理ツール。 - 請求項5に記載の基板処理ツールであって、
前記バッファモジュールは、第1バッファスタックを有する、基板処理ツール。 - 請求項6に記載の基板処理ツールであって、
前記第1バッファスタックの第1部分は、複数の第1ウエハ格納スロットを規定し、前記複数の第1ウエハ格納スロットの各々の間に規定された1または複数のセパレータを有し、前記第1バッファスタックの第2部分は、各々の間に規定されたセパレータを有していない複数の第2ウエハ格納スロットを規定する、基板処理ツール。 - 請求項7に記載の基板処理ツールであって、
前記第1ウエハ搬送モジュールおよび前記第2ウエハ搬送モジュールの少なくともいずれかは、シーズニングウエハおよびカバーウエハの少なくともいずれかを前記第1バッファスタックの前記第2部分に格納し、処理済みウエハおよび未処理ウエハの少なくともいずれかを前記第1バッファスタックの前記第1部分に格納する、基板処理ツール。 - 請求項6に記載の基板処理ツールであって、さらに、
第2バッファスタックを備え、
前記第2バッファスタックの第1部分は、複数の第1ウエハ格納スロットを規定し、前記複数の第1ウエハ格納スロットの各々の間に規定された1または複数のセパレータを有し、
前記第2バッファスタックの第2部分は、各々の間に規定されたセパレータを有していない複数の第2ウエハ格納スロットを規定し、
前記第1ウエハ搬送モジュールおよび前記第2ウエハ搬送モジュールの少なくともいずれかは、未処理ウエハおよび処理済みウエハの少なくともいずれかを前記第2バッファスタックの前記第1部分に格納し、シーズニングウエハおよびカバーウエハの少なくともいずれかを前記第2バッファスタックの前記第2部分に格納する、基板処理ツール。 - 請求項4に記載の基板処理ツールであって、さらに、
工場フロアの上方の前記ウエハ搬送アセンブリの側面に沿って、前記第1処理モジュール、前記第2処理モジュール、前記第3処理モジュール、および前記第4処理モジュールを支持するよう構成された少なくとも2対の処理モジュールフレームを備える、基板処理ツール。 - 請求項1に記載の基板処理ツールであって、
前記ウエハ搬送アセンブリは、装置フロントエンドモジュール(EFEM)に向かって方向付けられた第1端と、前記第1端の反対側の第2端とを有する、基板処理ツール。 - 請求項11に記載の基板処理ツールであって、
前記ウエハ搬送アセンブリの前記第1端は、前記EFEMに対するアクセスを制御するロードロックに接続するよう構成され、前記サービストンネルの第1端は、実質的に前記EFEMまで伸びる、基板処理ツール。 - 請求項1に記載の基板処理ツールであって、さらに、
前記ウエハ搬送アセンブリに配置され、前記第1処理モジュールおよび前記第2処理モジュールにガス混合物を供給するよう構成された少なくとも2対のガスボックスと、
前記第1処理モジュールおよび前記第2処理モジュールを選択的に排気するよう配置された排気ダクトと、を備え、
前記少なくとも2対のガスボックスは、ガスが前記少なくとも2対のガスボックスから前記排気ダクトに排気されるように、その表面に沿って穿孔を有する、基板処理ツール。 - 請求項13に記載の基板処理ツールであって、さらに、
前記少なくとも2対のガスボックスにガス混合物を供給するよう構成された複数のガスラインであって、前記複数のガスラインの各々は、前記排気ダクトを通って前記少なくとも2対のガスボックスまで延びる、複数のガスラインを備える、基板処理ツール。 - 請求項14に記載の基板処理ツールであって、
前記複数のガスラインの各々は、前記排気ダクト内で前記ウエハ搬送アセンブリの外側の領域から前記ウエハ搬送アセンブリの内側の領域まで延びる、基板処理ツール。
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