JP7379485B2 - テトラキス(トリクロロシリル)ゲルマン、その製造方法およびその使用 - Google Patents

テトラキス(トリクロロシリル)ゲルマン、その製造方法およびその使用 Download PDF

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Description

本発明は、非帯電性の塩素化物質であるテトラキス(トリクロロシリル)ゲルマンの新規の製造方法およびその使用に関する。
ハロシラン、ポリハロシラン、ハロゲルマン、ポリハロゲルマン、シラン、ポリシラン、ゲルマン、ポリゲルマン、および対応する混合化合物は、長年にわたって知られている。無機化学の一般的な教本に加えて、国際公開第2004/036631号、またはC.J. Ritter et al., J. Am. Chem. Soc., 2005, 127, 9855-9864を参照のこと。
Lars Muellerらは、J. Organomet. Chem. 1999, 579, 156-163において、部分的に塩素化された有機ゲルマニウム化合物をトリエチルアミンの添加下にトリクロロシランと反応させて、Si-Ge結合を生成する方法について説明している。
Thomas Lobreyerらは、SiHとGeHとナトリウムとの反応に基づいて、中性のSi-Ge化合物を生成する別の方法を紹介している(Angew. Chem. 1993, 105, 587-588)。
Singhらは、国際公開第2004/036631号において、SiまたはSiを有する膜を蒸着させるための様々なSi-Ge化合物を提案している。
特許出願EP 17173940.2、EP 17173951.9およびEP 17173959.2には、さらなるSi-Ge化合物およびその製造方法が開示されている。
そのため、基礎研究の面では、新規の化合物や、少なくともそのような化合物の新規の製造経路を見出すことが、特に工業的な応用や適宜改善可能な応用についても尽力されている。
本発明は、発火性物質や毒性物質を使用せずに非帯電性ケイ素-ゲルマニウム化合物を製造するための新規の合成法を提供するという課題に基づいていた。
[RN][Ge(SiCl]または[RP][Ge(SiCl]型のアンモニウムまたはホスホニウムのトリス(トリクロロシリル)ゲルマニド塩を、それぞれAlClおよびアルキルまたは芳香族基Rと反応させることで、非帯電性の塩素化Si-Ge化合物が生成されるまったく新規の合成法が見出された。とりわけ、この新規の合成法の驚くべき点は、得られるテトラキス(トリクロロシリル)ゲルマンが1ステップで生成され、かつ非帯電性であることである。
したがって、本発明の対象は、式(I)
Figure 0007379485000001
のテトラキス(トリクロロシリル)ゲルマンの製造方法であって、
(a)[X][Ge(SiCl]型の少なくとも1つのトリス(トリクロロシリル)ゲルマニド塩をAlClと混合し、ここで、
Xは、アンモニウム(RN)および/またはホスホニウム(RP)であり、
Rは、アルキル基または芳香族基であり、
(b)少なくとも1つの塩素化炭化水素の環境中で5~40℃の温度で反応させて、塩[RN][AlCl]および/または[RP][AlCl]と、テトラキス(トリクロロシリル)ゲルマンとを含む粗生成物を得て、次いでこの粗生成物を、
(c)少なくとも1種の非極性溶媒に導入し、不溶性残渣を分離した後に、
(d)非極性溶媒を除去して、テトラキス(トリクロロシリル)ゲルマンを得る
ことによる方法である。
本方法は、例えばSiH、GeHまたはナトリウムなどの発火性物質や毒性物質を使用する必要がないという利点を有する。確かに従来技術では、このような有害物質の使用を避ける方法がすでに知られている。しかし、こうした従来の方法では、一般的に有機残渣を伴う中性のSi-Ge化合物が生成される。蒸着時に設定された温度でSiCが形成されるため、有機残渣が存在すると、半導体エレクトロニクスで注目されているこのような蒸着反応においてSi-Ge化合物を使用することができなくなる。SiCは非導電性であり、Si-Ge層に求められる導電性や半導電性を損なう。
同様に、塩状のSi-Ge化合物も、そうした物質には有機残渣が存在することから、半導体エレクトロニクスには使用することができない。
一方、本発明による方法では、塩状のSi-Ge化合物は生成されず、有機残渣も存在しない。特許請求の範囲に記載された方法では、塩状の出発物質が単一のステップで非帯電性の非イオン性生成物に転化される。そのため、本発明による、または本発明により得られたテトラキス(トリクロロシリル)ゲルマンを半導体エレクトロニクスに支障なく使用できることは、さらに非常に重要な利点であることが判明した。
したがって、本発明による方法により製造されたテトラキス(トリクロロシリル)ゲルマンの、Si-Ge層を蒸着するための前駆体としての使用も、本発明の対象である。
以下、本発明につき詳説する。
本発明において「常圧」という用語は、「周囲圧力」という用語と同義である。これは、周囲のガスの圧力が1013hPaであることを意味していると理解される。なお、本発明において「室温」は「RT」と略記される。
本発明による方法の少なくとも1つ、2つ、3つ、またはすべてのステップは、好ましくは、常圧下および/または無酸素乾燥環境下で実施することができる。
本発明による方法のステップbの反応中に、塩[RN][AlCl]および/または[RP][AlCl]に加えて、非帯電性の塩素化化合物であるテトラキス(トリクロロシリル)ゲルマンをも含む粗生成物が得られる。
塩化アンモニウム塩または塩化ホスホニウム塩は、AlClと[RN][AlCl]または[RP][AlCl]型の塩を形成するが、これらも同様に粗生成物中に含まれている。これらの塩状の化合物から、式(I)の非帯電性分子が非極性溶媒での抽出により分離され、純粋な形で回収される。非極性溶媒としては、有利にペンタン、ヘキサンおよび/またはベンゼンが適している。特に好ましくは、n-ヘキサンを使用することができる。
本発明による方法のステップbにおいて反応を室温で行い、かつ/またはステップdにおいて非極性溶媒を室温で除去することが有利である場合がある。
さらに、本発明による方法のステップbにおいて、塩素化炭化水素としてジクロロメタンCHClを使用することができる。
本発明による方法のステップcにおいて、有利に、非極性溶媒を、ヘキサン、n-ヘキサン、ペンタンおよび/またはベンゼンから選択することができる。特に好ましくは、ステップcにおいてn-ヘキサンを使用することができる。
本発明による方法のさらに好ましい一実施形態は、ステップaにおいて、[X][Ge(SiCl]およびAlClであって、これらの成分は好ましくは固体状態であるものとする成分を、好ましくは無酸素環境中で、特に好ましくは保護ガス、窒素またはアルゴン下に、さらに好ましくはグローブボックス内で撹拌により混合し、ステップbにおいて、ステップaで得られたこの混合物を、1種以上の塩素化炭化水素に完全に溶解させ、0.1~24時間後、好ましくは1~5時間後に、この1種以上の塩素化炭化水素を除去し、この除去を、好ましくは5~40℃の温度で、特に好ましくは室温で、さらに好ましくは無酸素乾燥環境中で、特に好ましくは隔離された環境中で、さらに好ましくは常圧または減圧下で、特に好ましくは1~500hPaの範囲で行うことである。
さらに、本方法のステップcにおいて、粗生成物を導入した後に、1種以上の非極性溶媒の温度を、1回~5回、好ましくは3回、RTから高温にすることが有利である場合がある。好ましくは、1種以上の非極性溶媒の温度を少なくとも1種の非極性溶媒の沸点にし、その後、1種以上の非極性溶媒を好ましくはRTまで冷却させてもよい。
さらに、テトラキス(トリクロロシリル)ゲルマンを、溶媒であるEtO中で6当量のLiAlHと反応させると、中性の水素化化合物であるテトラキス(シリル)ゲルマンが得られることが判明した。好ましくは、この反応はグローブボックス内で行うことができる。さらに、この反応を室温でかつ周囲圧力下で行うことが好ましい。
水素化化合物であるテトラキス(シリル)ゲルマンは、すでにThomas Lobreyerら(Angew. Chem. 1993 105, 587-588)によって報告されている。しかし、そこではこの化合物は、発火性で毒性のある出発物質SiHおよびGeHを使用して得られている。
以下の実施例は、対象を限定することなく本発明をさらに説明するものである。
本発明による生成物Iの29Si NMRスペクトルを示す図。 本発明による生成物IのX線回折分析結果を示す図。
実施例1では、[PhP][Ge(SiCl]とAlClとの反応について説明する。[RN][Ge(SiCl]または[RP][Ge(SiCl]型の他のアンモニウムまたはホスホニウムのトリス(トリクロロシリル)ゲルマニド塩の反応も、同様に実施することができる。
結晶構造決定の分析手法
いずれの構造のデータも、鏡面光学系を備えたGenixマイクロフォーカス管を搭載したSTOE IPDS II 2サークル回折計を用いて、173KでMoKα線(λ=0.71073Å)を用いて収集し、プログラムX-AREA(Stoe & Cie, 2002)のフレーム・スケーリング手順を用いてスケーリングした。構造は、プログラムSHELXS(Sheldrick, 2008)を用いて直接法で解析し、Fに対しては完全行列最小二乗法を用いて精密化した。セルパラメータは、I>6σ(I)の反射のθ値に対して精密化して決定した。
実施例1:テトラキス(トリクロロシリル)ゲルマン(I)の製造
式1により、CHClの添加下に[PhP][Ge(SiCl]およびAlClから合成を行った。
Figure 0007379485000002
式1:CHClの添加下で室温での[PhP][Ge(SiCl]とAlClとの反応
この反応を、グローブボックス内で行った。
0.10g(0.12mmolに相当)の量の[PhP][Ge(SiCl]と、0.016g(0.12mmolに相当)の量のAlClとを、固体状態で混合した後、ジクロロメタンCHCl中に完全に溶解させた。
3時間後、ジクロロメタンをRTにて常圧下でゆっくりと蒸発させた。1日後、Ge(SiCl(I)と[PhP][AlCl]との混合物が結晶性の粗生成物として形成された。この粗生成物に、沸騰するまでn-ヘキサン各7mlを3回加えて加熱した。その後、無色透明のn-ヘキサン溶液から、シリンジを用いて不溶性残渣を分離した。
その後、非極性溶媒をRTにて常圧下でゆっくりと除去し、1日後に本発明による生成物であるGe(SiCl (I)を結晶性物質として単離した。収量は0.018gであり、これは0.029mmol、または24%に相当する。
本発明による生成物Iの29Si NMRスペクトルを図1aに、そのX線回折分析結果を図1bに示す。
29Si NMR分光分析のデータ:
29Si NMR(99.4MHz、CDCl、298K):δ=3.8ppm

Claims (7)

  1. 式(I)
    Figure 0007379485000003
    のテトラキス(トリクロロシリル)ゲルマンの製造方法であって、
    (a)[X][Ge(SiCl]型の少なくとも1つのトリス(トリクロロシリル)ゲルマニド塩をAlClと混合し、ここで、
    Xは、アンモニウム(RN)および/またはホスホニウム(RP)であり、
    Rは、アルキル基または芳香族基であり、
    (b)少なくとも1つの塩素化炭化水素の環境中で5~40℃の温度で反応させて、塩[RN][AlCl]および/または[RP][AlCl]と、テトラキス(トリクロロシリル)ゲルマンとを含む粗生成物を得て、次いで前記粗生成物を、
    (c)少なくとも1種の非極性溶媒に導入し、不溶性残渣を分離した後に、
    (d)前記非極性溶媒を除去して、テトラキス(トリクロロシリル)ゲルマンを得る
    ことによる、方法。
  2. 前記ステップbにおいて前記反応を室温で行い、かつ/または前記ステップdにおいて前記非極性溶媒を室温で除去する、請求項1記載の方法。
  3. 前記ステップbにおいて、塩素化炭化水素としてジクロロメタンCHClを使用する、請求項1または2記載の方法。
  4. 前記ステップcにおいて、前記非極性溶媒が、ヘキサン、n-ヘキサン、ペンタンおよび/またはベンゼンから選択される、請求項1から3までのいずれか1項記載の方法。
  5. 前記ステップaにおいて、
    [X][Ge(SiCl]およびAlCl 無酸素環境中で、撹拌により混合し、
    前記ステップbにおいて、
    前記ステップaで得られた前記混合物を、1種以上の前記塩素化炭化水素に完全に溶解させ、0.1~24時間後に、前記1種以上の塩素化炭化水素を除去し、前記除去を5~40℃の温度で、無酸素乾燥環境中で、常圧または減圧下行う、請求項1から4までのいずれか1項記載の方法。
  6. 前記ステップcにおいて、前記粗生成物を導入した後に、前記1種以上の非極性溶媒の温度を、1回~5回、RTから少なくとも1種の非極性溶媒の沸点にし、その後、前記1種以上の非極性溶媒をRTまで冷却させる、請求項1から5までのいずれか1項記載の方法。
  7. 請求項1から6までのいずれか1項記載の方法により製造されたテトラキス(トリクロロシリル)ゲルマンの、Si-Ge層を蒸着するための前駆体としての使用。
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