JP7014677B2 - 新規なクロロシリルアリールゲルマン、その製造方法およびその使用 - Google Patents
新規なクロロシリルアリールゲルマン、その製造方法およびその使用 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7014677B2 JP7014677B2 JP2018106110A JP2018106110A JP7014677B2 JP 7014677 B2 JP7014677 B2 JP 7014677B2 JP 2018106110 A JP2018106110 A JP 2018106110A JP 2018106110 A JP2018106110 A JP 2018106110A JP 7014677 B2 JP7014677 B2 JP 7014677B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- germanic
- chlorosilylaryl
- hexachlorodisilane
- solvent
- catalyst
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 34
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 28
- LXEXBJXDGVGRAR-UHFFFAOYSA-N trichloro(trichlorosilyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl LXEXBJXDGVGRAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 19
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 18
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- GHQQDVAMJITDPU-UHFFFAOYSA-N Cl[Si]([Ge]([Ge](C1=CC=CC=C1)(C1=CC=CC=C1)[Si](Cl)(Cl)Cl)(C1=CC=CC=C1)C1=CC=CC=C1)(Cl)Cl Chemical compound Cl[Si]([Ge]([Ge](C1=CC=CC=C1)(C1=CC=CC=C1)[Si](Cl)(Cl)Cl)(C1=CC=CC=C1)C1=CC=CC=C1)(Cl)Cl GHQQDVAMJITDPU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 6
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 3
- REJGOFYVRVIODZ-UHFFFAOYSA-N phosphanium;chloride Chemical compound P.Cl REJGOFYVRVIODZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 14
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000000655 nuclear magnetic resonance spectrum Methods 0.000 description 10
- AXYNYSABCBEHQO-UHFFFAOYSA-N Cl[Si](Cl)(Cl)[Ge](Cl)(Cl)Cl Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)[Ge](Cl)(Cl)Cl AXYNYSABCBEHQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- XOYLJNJLGBYDTH-UHFFFAOYSA-M chlorogallium Chemical compound [Ga]Cl XOYLJNJLGBYDTH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 9
- JSJSFKAKOSUZMG-UHFFFAOYSA-N Cl[Ge-](Cl)Cl Chemical compound Cl[Ge-](Cl)Cl JSJSFKAKOSUZMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 7
- WXHSFWSUJRWSCT-UHFFFAOYSA-N Cl[Si](Cl)(Cl)[Ge](C1=CC=CC=C1)(C1=CC=CC=C1)C1=CC=CC=C1 Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)[Ge](C1=CC=CC=C1)(C1=CC=CC=C1)C1=CC=CC=C1 WXHSFWSUJRWSCT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 6
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 6
- SCCCLDWUZODEKG-UHFFFAOYSA-N germanide Chemical compound [GeH3-] SCCCLDWUZODEKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 6
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 6
- PPDADIYYMSXQJK-UHFFFAOYSA-N trichlorosilicon Chemical group Cl[Si](Cl)Cl PPDADIYYMSXQJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910008310 Si—Ge Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 5
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012043 crude product Substances 0.000 description 4
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 4
- 238000005133 29Si NMR spectroscopy Methods 0.000 description 3
- YJLVTGBTECYCSW-UHFFFAOYSA-N Cl[Si](Cl)(Cl)[Ge-]([Si](Cl)(Cl)Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)[Ge-]([Si](Cl)(Cl)Cl)[Si](Cl)(Cl)Cl YJLVTGBTECYCSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005481 NMR spectroscopy Methods 0.000 description 3
- 238000006664 bond formation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- -1 trichlorosilylmethyl Chemical group 0.000 description 3
- 238000005160 1H NMR spectroscopy Methods 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 2
- ILAHWRKJUDSMFH-UHFFFAOYSA-N boron tribromide Chemical compound BrB(Br)Br ILAHWRKJUDSMFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000004607 11B NMR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229910015845 BBr3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002841 Lewis acid Substances 0.000 description 1
- 229910010082 LiAlH Inorganic materials 0.000 description 1
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008813 Sn—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 150000003841 chloride salts Chemical class 0.000 description 1
- ONQMBYVVEVFYRP-UHFFFAOYSA-N chloro(triphenyl)germane Chemical compound C=1C=CC=CC=1[Ge](C=1C=CC=CC=1)(Cl)C1=CC=CC=C1 ONQMBYVVEVFYRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- PFPTYRFVUHDUIN-UHFFFAOYSA-N dichloro(diphenyl)germane Chemical compound C=1C=CC=CC=1[Ge](Cl)(Cl)C1=CC=CC=C1 PFPTYRFVUHDUIN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910000078 germane Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical group [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 150000007517 lewis acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 150000004714 phosphonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 229920000548 poly(silane) polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 238000006479 redox reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007670 refining Methods 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052990 silicon hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006884 silylation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010189 synthetic method Methods 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J31/00—Catalysts comprising hydrides, coordination complexes or organic compounds
- B01J31/02—Catalysts comprising hydrides, coordination complexes or organic compounds containing organic compounds or metal hydrides
- B01J31/0234—Nitrogen-, phosphorus-, arsenic- or antimony-containing compounds
- B01J31/0235—Nitrogen containing compounds
- B01J31/0239—Quaternary ammonium compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07F—ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
- C07F7/00—Compounds containing elements of Groups 4 or 14 of the Periodic Table
- C07F7/30—Germanium compounds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J31/00—Catalysts comprising hydrides, coordination complexes or organic compounds
- B01J31/02—Catalysts comprising hydrides, coordination complexes or organic compounds containing organic compounds or metal hydrides
- B01J31/0234—Nitrogen-, phosphorus-, arsenic- or antimony-containing compounds
- B01J31/0255—Phosphorus containing compounds
- B01J31/0267—Phosphines or phosphonium compounds, i.e. phosphorus bonded to at least one carbon atom, including e.g. sp2-hybridised phosphorus compounds such as phosphabenzene, the other atoms bonded to phosphorus being either carbon or hydrogen
- B01J31/0268—Phosphonium compounds, i.e. phosphine with an additional hydrogen or carbon atom bonded to phosphorous so as to result in a formal positive charge on phosphorous
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
- C01B33/06—Metal silicides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
- C01G17/00—Compounds of germanium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07F—ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
- C07F7/00—Compounds containing elements of Groups 4 or 14 of the Periodic Table
- C07F7/02—Silicon compounds
- C07F7/025—Silicon compounds without C-silicon linkages
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2231/00—Catalytic reactions performed with catalysts classified in B01J31/00
- B01J2231/60—Reduction reactions, e.g. hydrogenation
- B01J2231/62—Reductions in general of inorganic substrates, e.g. formal hydrogenation, e.g. of N2
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07B—GENERAL METHODS OF ORGANIC CHEMISTRY; APPARATUS THEREFOR
- C07B2200/00—Indexing scheme relating to specific properties of organic compounds
- C07B2200/13—Crystalline forms, e.g. polymorphs
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07F—ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
- C07F9/00—Compounds containing elements of Groups 5 or 15 of the Periodic Table
- C07F9/02—Phosphorus compounds
- C07F9/28—Phosphorus compounds with one or more P—C bonds
- C07F9/54—Quaternary phosphonium compounds
- C07F9/5442—Aromatic phosphonium compounds (P-C aromatic linkage)
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02524—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02532—Silicon, silicon germanium, germanium
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02623—Liquid deposition
- H01L21/02628—Liquid deposition using solutions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Catalysts (AREA)
- Low-Molecular Organic Synthesis Reactions Using Catalysts (AREA)
Description
R3Ge-SiCl3、Cl3Si-GeR2-GeR2-SiCl3、Cl3Ge-SiCl3、[Ph4P][Ge(SiCl3)3]、[Ph4P][Ge(SiCl3)3*GaCl3]、[Ph4P][Ge(SiCl3)3*BBr3]
を製造するための新規な合成方法として、RnGeCl4-n(n=0、2、3)型の塩素化または過塩素化された有機または非有機ゲルマニウム化合物と、ヘキサクロロジシランとを、触媒量の塩化アンモニウム塩[R4N]Clまたはホスホニウム塩[R4P]Cl(ここで、基Rは、Me、Et、iPr、nBuである)の添加下に、あるいは化学量論量のかかる塩の添加下に反応させることが見出された。この本発明による反応によって、様々なケイ素-ゲルマニウム化合物が得られる。
Cl3Si-GeCl3(GeCl4:Si2Cl6:[R4N]Cl、1:1:0.1)または
[Ph4P][Ge(SiCl3)3](GeCl4:Si2Cl6:[Ph4P]Cl、1:4:1)
が生成された。[Ph4P][Ge(SiCl3)3]をルイス酸(略して「LS」)と反応させることにより、相応する付加物[Ph4P][Ge(SiCl3)3*LS]へと転化させることができる。
XGe(Y2)-SiCl3 (I)
[式中、
X=Yであるか、またはXは[-Ge(Y2)-SiCl3]であり、かつ
基Yは、互いに独立してフェニル(Ph)を表す]
のクロロシリルアリールゲルマンである。
(a)アリールクロロゲルマンをヘキサクロロジシランとともに溶媒に溶解させ、ここで、前記アリールクロロゲルマンのアリール基は、互いに独立してフェニルを表すものとし、かつ
(b)触媒の存在下で5~40℃の温度で反応させる
ことによる方法も同様に対象である。
いずれの構造のデータも、MoKα線(λ=0.71073Å)を用いたミラー光学系を備えたGenixマイクロフォーカス管を備えたSTOE IPDS IIデュアルビーム回折計を用いて173Kで収集し、X-AREAプログラム(Stoe & Cie、2002)のフレームスケーリング手順を用いてスケーリングした。構造を、SHELXSプログラム(Sheldrick、2008)を用いた直接法で解析し、完全行列最小二乗法技術によりF2に対して精密化した。セルパラメーターを、I>6σ(I)の反射のθ値に対する精密化によって求めた。
ヘキサクロロジシラン、略して「HCDS」、Evonik Industries AG製GeCl4、トリフェニルクロロゲルマン、ジフェニルジクロロゲルマン。
合成を、式1にしたがって、触媒量の0.1当量の[nBu4N]Clを添加してPh3GeClおよびSi2Cl6から行った。
5ml、すなわち78.3ミリモルのCH2Cl2中の、500mgに相当する1.47ミリモルのPh3GeClと、40mg、すなわち0.14ミリモルの[nBu4N]Clとの無色透明な溶液に、撹拌しながら室温で、400mgに相当する1.49ミリモルのSi2Cl6を加えた。無色透明な反応溶液が得られ、これを12時間撹拌した。ゆっくりと溶媒を除去した後、この反応溶液から無色の結晶性固体の形態の粗生成物(1)を単離することができた。収率は59%であった。この粗生成物はなおも、出発材料Ph3GeClを約30%含んでいた。X線回折法により、上記(1)の結晶構造を求めることができた(図1a)。図1a中の印のない原子は、水素を表す。
合成を、式2にしたがって、触媒量(0.1当量)の[nBu4N]Clを添加してPh2GeCl2およびSi2Cl6から行った。
5ml、すなわち78.3ミリモルのCH2Cl2中の、500mg、すなわち1.68ミリモルのPh2GeCl2と、90mg、すなわち0.17ミリモルの[nBu4N]Clとを含む無色透明な溶液に、室温で、903mg、すなわち3.36ミリモルのSi2Cl6を加えた。得られた反応溶液を、次いで室温で12時間撹拌した。
合成を、式3にしたがって、触媒量としての0.1当量の[nBu4N]Clを添加してGeCl4およびSi2Cl6(1:1)から行った。
GeCl4とCH2Cl2との30:70の混合物中の100mg、すなわち0.4ミリモルの[nBu4N]Clを含む無色透明な溶液に、室温で、1g、すなわち3.7ミリモルのSi2Cl6を加え、そのようにして得られた反応混合物を、室温で12時間撹拌した。この反応溶液から、生成物(3)を、他の揮発性成分とともに、窒素冷却した受け器へと凝縮させた。その後の1013hPaでの蒸留により、純粋な(3)が22%の収率で無色透明な液体として単離された。
例3と同様に行ったが、ただし、[nBu4N]Clを、1当量と同義である化学量論量で使用した点が異なる。転化反応を、式4によるレドックス反応で行った。
CH2Cl2中の、300mg、すなわち1.4ミリモルのGeCl4と、390mg、すなわち1.4ミリモルの[nBu4N]Clとの無色透明な溶液に、室温で、375mg、すなわち1.4ミリモルのSi2Cl6を加え、そのようにして得られた反応混合物を、室温で12時間撹拌した。溶媒をゆっくりと除去した後、この反応溶液からトリクロロゲルマニド(4)を帯黄色の結晶性固体として単離することができた。X線回折法により、上記(4)の構造を求めることができた。これを図4aに示す。分かりやすくするために、図4aにはカチオン[nBu4N]+は図示されていない。
合成を、式5にしたがって、化学量論量の、この場合は1当量の[Ph4P]Clを添加して、1:4のモル比のGeCl4およびSi2Cl6から行った。
溶媒としてのCH2Cl2中の、93mg、すなわち0.4ミリモルのGeCl4と、163mg、すなわち0.4ミリモルの[Ph4P]Clとを含む無色透明な溶液に、室温で478mg、すなわち1.7ミリモルのSi2Cl6を加え、そのようにして得られた反応混合物を、室温で12時間撹拌した。溶媒をゆっくりと除去した後、この混合物から上記(5)を帯黄色の結晶性固体として99%の収率で単離することができた。X線回折法により、上記(5)の結晶構造を求めることができた。これを図5aに示す。分かりやすくするために、図5aにはカチオン[Ph4P]+は図示されていない。
上記(6)の合成を、式6にしたがって、トリス-トリクロロシリルゲルマニド(5)およびGaCl3から行った。
50mg、すなわち0.1ミリモルの5と、10mg、すなわち0.1ミリモルのGaCl3とを、室温で固体として混合し、次いでCH2Cl2に完全に溶解させた。透明な黄色の反応混合物を、室温で12時間撹拌した。ゆっくりと溶媒を除去した後、この透明な黄色の反応溶液から、上記(6)を、黄色の結晶性固体として82%の収率で得ることができた。X線回折法により、上記(6)の結晶構造を求めることができた。これを図6aに示す。分かりやすくするために、図6aにはカチオン[Ph4P]+は図示されていない。
上記(7)の合成を、式7にしたがって、トリス-トリクロロシリルゲルマニド(5)およびBBr3から行った。
CH2Cl2中の5の透明な黄色の溶液に、室温でBBr3を加えた。4日後、そのようにして得られた黄色の反応溶液から無色の結晶が析出した。X線回折法により、上記(7)の結晶構造を求めることができた。これを図7aに示す。分かりやすくするために、図7aにはカチオン[Ph4P]+は図示されていない。
Claims (12)
- 一般式(I)
XGe(Y2)-SiCl3 (I)
[式中、
基Xは、フェニル(Ph)または[-Ge(Y2)-SiCl3]であり、
基Yは、互いに独立してフェニル(Ph)を表す]
のクロロシリルアリールゲルマン。 - トリクロロシリルトリフェニルゲルマンおよび/または1,2-ビス(トリクロロシリル)-1,1,2,2-テトラフェニルジゲルマンの系列から選択される、請求項1記載のクロロシリルアリールゲルマン。
- 請求項1または2記載のクロロシリルアリールゲルマンの製造方法であって、
(a)アリールクロロゲルマンをヘキサクロロジシランとともに溶媒に溶解させ、ここで、前記アリールクロロゲルマンのアリール基は、互いに独立してフェニルを表すものとし、かつ
(b)触媒の存在下で5~40℃の温度で反応させる
ことによる方法。 - 前記反応を室温で行う、請求項3記載の方法。
- トリアリールクロロゲルマンを、ヘキサクロロジシラン、略してHCDSに対して1:1のモル比で使用し、かつ/またはジアリールジクロロゲルマンを、ヘキサクロロジシランに対して1:2のモル比で使用することを特徴とする、請求項3記載の方法。
- トリフェニルクロロゲルマンおよび/またはジフェニルジクロロゲルマンの系列からのアリールクロロゲルマンを使用することを特徴とする、請求項3から5までのいずれか1項記載の方法。
- 溶媒としてジクロロメタンを使用することを特徴とする、請求項3から6までのいずれか1項記載の方法。
- 触媒として、塩化ホスホニウム塩[R4P]Clまたは塩化アンモニウム塩[R4N]Clを使用し、ここで、前記基Rは、Me、Et、iPr、nBu、Phから選択されることを特徴とする、請求項3から7までのいずれか1項記載の方法。
- ヘキサクロロジシラン1モルあたり0.001~1モルの量の前記触媒を使用することを特徴とする、請求項3から8までのいずれか1項記載の方法。
- ヘキサクロロジシラン1モルあたり少なくとも5モルの溶媒を使用することを特徴とする、請求項3から9までのいずれか1項記載の方法。
- 前記反応を、
混合しながら、
1~24時間かけて、かつ
保護ガス下で
行い、次いで溶媒の除去を、
乾燥した無酸素環境で
行い、形成されたクロロシリルアリールゲルマンを結晶性生成物として取得することを特徴とする、請求項3から10までのいずれか1項記載の方法。 - GeSi層を生成するための、請求項1もしくは2記載のまたは請求項3から11までのいずれか1項記載の方法により製造されたクロロシリルアリールゲルマンの使用。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP17173940.2A EP3410466B1 (de) | 2017-06-01 | 2017-06-01 | Neue chlorsilylarylgermane, verfahren zu deren herstellung und deren verwendung |
EP17173940.2 | 2017-06-01 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018203737A JP2018203737A (ja) | 2018-12-27 |
JP7014677B2 true JP7014677B2 (ja) | 2022-02-01 |
Family
ID=59070424
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018106110A Active JP7014677B2 (ja) | 2017-06-01 | 2018-06-01 | 新規なクロロシリルアリールゲルマン、その製造方法およびその使用 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10414783B2 (ja) |
EP (2) | EP3413334B1 (ja) |
JP (1) | JP7014677B2 (ja) |
KR (1) | KR102529558B1 (ja) |
CN (2) | CN114751934A (ja) |
TW (1) | TWI781176B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3409645B1 (de) * | 2017-06-01 | 2019-10-02 | Evonik Degussa GmbH | Triphenylgermylsilan und trichlorsilyl-trichlorgerman für die erzeugung von germanium-silizium-schichten sowie verfahren zu deren herstellung aus trichlorsilyl-triphenylgerman |
EP3653577B1 (de) | 2018-11-14 | 2021-10-06 | Evonik Operations GmbH | Tris(trichlorsilyl)dichlorogallylgerman, verfahren zu dessen herstellung und dessen verwendung |
ES2874228T3 (es) | 2018-11-14 | 2021-11-04 | Evonik Operations Gmbh | Tetraquis(triclorosilil)germano, procedimiento para su producción |
US20230219982A1 (en) | 2020-06-05 | 2023-07-13 | Johann Wolfgang Goethe-Universität | Silylated oligogermanes and polycyclic silicon-germanium compounds, processes for their preparation and their use for the preparation of a si- and ge-containing solid |
DE102020114994A1 (de) | 2020-06-05 | 2021-12-09 | Johann Wolfgang Goethe-Universität Frankfurt am Main Stiftung des öffentlichen Rechts | Silylierte Oligogermane, Verfahren zur Herstellung derselben sowie die Verwendung derselben zum Herstellen eines Si- und Ge-enthaltenden Festkörpers |
EP3932925A1 (de) | 2020-07-01 | 2022-01-05 | Evonik Operations GmbH | Neue perchlorierte disilene und germasilene sowie neopentatetrelane, verfahren zu deren herstellung und deren verwendung |
US20240025926A1 (en) | 2020-11-27 | 2024-01-25 | Johann Wolfgang Goethe-Universität | Polycyclic silicon-germanium compounds, processes for their preparation and their use for preparing a si- and ge-containing solid |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006515955A (ja) | 2002-10-18 | 2006-06-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | シリコン化合物によるシリコン含有層の堆積 |
JP2010523458A (ja) | 2007-04-02 | 2010-07-15 | アリゾナ ボード オブ リージェンツ ア ボディー コーポレート アクティング オン ビハーフ オブ アリゾナ ステイト ユニバーシティ | ハロシリルゲルマンの新規な製造方法および使用方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6199150A (ja) * | 1984-10-22 | 1986-05-17 | Canon Inc | 堆積膜の形成法 |
JPS63234513A (ja) * | 1987-03-24 | 1988-09-29 | Canon Inc | 堆積膜形成法 |
JP3120160B2 (ja) * | 1992-03-05 | 2000-12-25 | 達哉 庄野 | Si−Ge結合を有する化合物の製造方法 |
JPH07316860A (ja) * | 1994-03-30 | 1995-12-05 | Osaka Gas Co Ltd | Si−Ge結合を有する化合物の製造方法 |
CN100471991C (zh) * | 2002-10-18 | 2009-03-25 | 应用材料有限公司 | 采用硅化合物进行的含硅层沉积 |
JP4714422B2 (ja) * | 2003-04-05 | 2011-06-29 | ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. | ゲルマニウムを含有するフィルムを堆積させる方法、及び蒸気送達装置 |
JP4954448B2 (ja) * | 2003-04-05 | 2012-06-13 | ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. | 有機金属化合物 |
FR2941455B1 (fr) * | 2009-01-29 | 2011-02-11 | Rhodia Operations | Procede de fabrication de composes comprenant des fonctions nitriles |
DE102011078942A1 (de) * | 2011-07-11 | 2013-01-17 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung höherer Silane mit verbesserter Ausbeute |
JP6640596B2 (ja) * | 2016-02-22 | 2020-02-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法 |
-
2017
- 2017-06-01 EP EP17197538.6A patent/EP3413334B1/de active Active
- 2017-06-01 EP EP17173940.2A patent/EP3410466B1/de active Active
-
2018
- 2018-05-29 TW TW107118289A patent/TWI781176B/zh active
- 2018-05-31 KR KR1020180062253A patent/KR102529558B1/ko active IP Right Grant
- 2018-05-31 CN CN202210457317.2A patent/CN114751934A/zh active Pending
- 2018-05-31 CN CN201810547407.4A patent/CN108976256B/zh active Active
- 2018-05-31 US US15/994,110 patent/US10414783B2/en active Active
- 2018-06-01 JP JP2018106110A patent/JP7014677B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006515955A (ja) | 2002-10-18 | 2006-06-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | シリコン化合物によるシリコン含有層の堆積 |
JP2010523458A (ja) | 2007-04-02 | 2010-07-15 | アリゾナ ボード オブ リージェンツ ア ボディー コーポレート アクティング オン ビハーフ オブ アリゾナ ステイト ユニバーシティ | ハロシリルゲルマンの新規な製造方法および使用方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
KAWACHI, A. et al.,Synthesis and structures of a series of Ge-M (M=C, Si, and Sn) compounds derived from germyllithium containing three 2-(dimethylamino)phenyl groups on germanium,Journal of Organometallic Chemistry,1999年,Vol.590, No.1,pp.15-24 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018203737A (ja) | 2018-12-27 |
CN108976256A (zh) | 2018-12-11 |
US10414783B2 (en) | 2019-09-17 |
KR102529558B1 (ko) | 2023-05-09 |
TWI781176B (zh) | 2022-10-21 |
EP3410466A1 (de) | 2018-12-05 |
EP3413334B1 (de) | 2020-09-09 |
CN114751934A (zh) | 2022-07-15 |
KR20180131981A (ko) | 2018-12-11 |
EP3410466B1 (de) | 2020-02-26 |
TW201902905A (zh) | 2019-01-16 |
US20180346494A1 (en) | 2018-12-06 |
CN108976256B (zh) | 2024-05-03 |
EP3413334A1 (de) | 2018-12-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7014677B2 (ja) | 新規なクロロシリルアリールゲルマン、その製造方法およびその使用 | |
JP7085905B2 (ja) | 新規なハロゲルマニドおよびその製造方法 | |
KR102562290B1 (ko) | 게르마늄-규소 층의 제조를 위한 트리페닐게르밀실란 및 트리클로로실릴-트리클로로게르만, 및 트리클로로실릴-트리페닐게르만으로부터 그를 제조하는 방법 | |
JP7379485B2 (ja) | テトラキス(トリクロロシリル)ゲルマン、その製造方法およびその使用 | |
JPH06166691A (ja) | ゲルマニウム二ハロゲン化物−エーテル付加物の製造方法 | |
JP7387733B2 (ja) | トリス(トリクロロシリル)ジクロロガリルゲルマン、その製造方法およびその使用 | |
WO2024141311A1 (en) | Silylated polymer and mixtures comprising said polymer | |
TW202214663A (zh) | 新穎之全氯化二矽烯與鍺矽烯以及新戊四烷、其製備方法與其用途 | |
KR20230112619A (ko) | 폴리사이클릭 실리콘-게르마늄 화합물, 이의 제조 방법 및 si- 및 ge-함유 고체를 제조하기 위한 이의 용도 | |
JP2021528358A (ja) | 部分水素化クロロシランおよび選択的水素化によるその製造方法 | |
JP2010235595A (ja) | アルキル化されたインドール類の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210914 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210916 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20211208 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211209 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211222 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220120 |