JP7009197B2 - ダイシング用基体フィルム - Google Patents
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Description
表層/中間層/裏層の順に積層された構成を含むダイシング用基体フィルムであって、 表層及び裏層はポリエチレン系樹脂を含む樹脂組成物からなり、
中間層はポリエチレン系樹脂、ビニル芳香族炭化水素系樹脂、及び非晶性ポリオレフィンからなる群から選ばれる少なくとも1種の樹脂を含む樹脂組成物からなり、前記ビニル芳香族炭化水素系樹脂中のビニル芳香族炭化水素成分の含有量は1~50重量%である、 ダイシング用基体フィルム。
前記中間層が1~5層である、前記項1記載のダイシング用基体フィルム。
前記ポリエチレン系樹脂が、分岐鎖状低密度ポリエチレン(LDPE)、直鎖状低密度ポリエチレン(LLDPE)、エチレン-酢酸ビニル共重合体(EVA)、エチレン-メチルアクリレート共重合体(EMA)、エチレン-エチルアクリレート共重合体、エチレン-ブチルアクリレート共重合体、エチレン-メチルメタクリレート共重合体(EMMA)、エチレン-メタクリル酸共重合体(EMAA)、及びアイオノマー樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種の樹脂である、前記項1又は2に記載のダイシング用基体フィルム。
前記ビニル芳香族炭化水素系樹脂が、ビニル芳香族炭化水素の単独重合体、ビニル芳香族炭化水素と共役ジエン炭化水素との共重合体の水素添加物、ビニル芳香族炭化水素と共役ジエン炭化水素との共重合体、及びビニル芳香族炭化水素と脂肪族不飽和カルボン酸エステルとの共重合体からなる群から選ばれる少なくとも1種の樹脂である、前記項1~3のいずれかに記載のダイシング用基体フィルム。
前記非晶性ポリオレフィンが、エチレン及び炭素数3~20のα-オレフィンからなる群から選ばれた2種以上のオレフィンを必須として構成されるオレフィン共重合体である、前記項1~4のいずれかに記載のダイシング用基体フィルム。
前記請求項1~5のいずれか1項記載のダイシング用基体フィルムの表層側に、粘着剤層とダイボンド層とをこの順に設けたダイシングフィルム。
本発明のダイシング用基体フィルムは、
表層/中間層/裏層の順に積層された構成を含むことを特徴とする。
表層は、ポリエチレン系樹脂を含む樹脂組成物からなる。
裏層は、表層と同様に、ポリエチレン系樹脂を含む樹脂組成物からなる。
中間層は、(i)ポリエチレン系樹脂、(ii)ビニル芳香族炭化水素系樹脂、及び(iii)非晶性ポリオレフィンからなる群から選ばれる少なくとも1種の樹脂を含む樹脂組成物からなり、前記ビニル芳香族炭化水素系樹脂中のビニル芳香族炭化水素成分の含有量は1~50重量%である。
ポリエチレン系樹脂は、表層で使用可能な樹脂を用いることができる。
ビニル芳香族炭化水素系樹脂中のビニル芳香族炭化水素成分の含有量は1~50重量%である。
ビニル芳香族炭化水素-共役ジエン炭化水素共重合体は、共役ジエン炭化水素中の二重結合の存在により引き起こされる酸化劣化等に起因してフィルムが脆くなる傾向がある。ビニル芳香族炭化水素系樹脂においてビニル芳香族炭化水素と共役ジエン炭化水素との共重合体の水素添加物を用いることで、その酸化劣化等を防止することができる。
中間層の非晶性ポリオレフィンは、エチレン及び炭素数3~20のα-オレフィンからなる群から選ばれた2種以上のオレフィンを必須として構成されるオレフィン共重合体が好ましい。
本発明のダイシング用基体フィルムは、必要に応じて表層と中間層との間、中間層と裏層との間に層間強度を向上させるための接着層を設けることができる。
本発明のダイシング用基体フィルムは、表層/中間層/裏層の順に積層された構成を含む。
表層/中間層/裏層のダイシング用基体フィルムは、表層、中間層、及び裏層用の樹脂組成物を多層共押出成形して製造することができる。具体的には、前記表層用樹脂組成物、中間層用樹脂組成物、及び裏層用樹脂組成物を、表層/中間層/裏層の順に積層されるよう共押出成形することにより製造することができる。
本発明のダイシングフィルムは、周知の技術に沿って製造することができる。例えば、粘着剤層を構成する粘着剤を有機溶剤等の溶媒に溶解させ、これをダイシング用基体フィルム上に塗布し、溶媒を除去することにより基体フィルム/粘着剤層の構成のフィルムを得ることができる。
表1にダイシング用基体フィルムの原料を示した。
PE:ポリエチレン系樹脂
非晶性PO:非晶性ポリオレフィン
SEBS:スチレン-ブタジエン共重合体水素添加物
(スチレン-エチレン-ブチレン-スチレン共重合体)
LDPE:分岐状低密度ポリエチレン
VA含量:酢酸ビニル含有割合
St含量:スチレン含有割合
(ビニル芳香族炭化水素系樹脂中のビニル芳香族炭化水素(St)成分の含有量)
Bd含量:ブタジエン含有割合
IO:アイオノマー樹脂
表2及び3に記載の表層/中間層/裏層となるように、各成分及び組成で樹脂組成物を配合し、ダイシング用基体フィルムを作製した。
表5及び6に記載の表層/中間-2層/中間-1層/中間-2層/裏層となるように、各成分及び組成で樹脂組成物を配合し、ダイシング用基体フィルムを作製した。
(4-1)低温エキスパンド性(Ex性)
<評価方法>
(引張伸度の測定)
フィルムのMD方向(フィルム成形の押出方向)及びTD方向(フィルム成形により成形されたフィルムの幅方向)について、200mm/minの引張速度で、15mm幅でチャック間距離が40mmになるように加工したフィルムサンプルを用いて、フィルムの引張伸度測定を行った。
フィルムのMD方向(フィルム成形の押出方向)及びTD方向(フィルム成形により成形されたフィルムの幅方向)について、200mm/minの引張速度で、15mm幅でチャック間距離が40mmになるように加工したフィルムサンプルを用いて、SSカーブ(応力-ひずみ曲線)を得た。
(ア)低温エキスパンド性(低温Ex性)
○:引張試験を行った際に、伸び率が100%以上あるもの。
×:引張試験を行った際に、フィルム伸び率が100%未満のもの。
MD方向の伸び率30%における応力値と、TD方向の伸び率30%における応力値の比を求め、モジュラス比(MD/TD)とした。
×:モジュラス比(MD/TD)が1.5以上のもの。
条件1-引張試験:株式会社島津製作所製「オートグラフAG-500NX TRAPEZIUM X」を用いて、-15±2℃環境下で、200mm/minの引張速度で、15mm幅でチャック間距離が40mmになるように加工したフィルムサンプルを、MD方向及びTD方向に、夫々200%伸ばした。
長さ100mm(標線間隔40mm+つかみシロ(上下に30mmずつ))、幅15mmの大きさのフィルム短冊サンプルを作成し、上記条件1にて伸長させた。
MD方向及びTD方向共に、回復率を測定し、これをヒートシュリンク性(HS性)と表した。
(ア)ヒートシュリンク性(HS性)
○:ヒートシュリンクにより、回復率が70%以上ある。回復率は、90~110%であることがより好ましい。
×:ヒートシュリンクにより、回復率が70%未満である。
○:MD方向の回復率とTD方向の回復率との比(MD/TD)が1.2未満である。回復率の比(MD/TD)は、0.9~1.15であることがより好ましい。
×:回復率の比(MD/TD)が1.2以上である。
本発明のダイシング用基体フィルムを用いると、半導体製造ラインでは、エキスパンド工程後に加工途中の製品が残ったシートを、シートにたるみが残らず、ラックにおいて一時的に良好に保管(収納)することができる。また、本発明のダイシング用基体フィルムを用いた製品同士は衝突せず欠陥が生じない。
Claims (6)
- 表層/中間層/裏層の順に積層された構成を含むダイシング用基体フィルムであって、
表層及び裏層は、ポリエチレン系樹脂を含む樹脂組成物からなり、
中間層は、ポリエチレン系樹脂、ビニル芳香族炭化水素系樹脂、及び非晶性ポリオレフィンからなる群から選ばれる樹脂を含む樹脂組成物からなり、前記ビニル芳香族炭化水素系樹脂中のビニル芳香族炭化水素成分の含有量は1~50重量%であり、
前記中間層の樹脂組成物は、ビニル芳香族炭化水素系樹脂、及び非晶性ポリオレフィンを含み、
前記ビニル芳香族炭化水素系樹脂が、ビニル芳香族炭化水素の単独重合体、ビニル芳香族炭化水素と共役ジエン炭化水素との共重合体の水素添加物、ビニル芳香族炭化水素と共役ジエン炭化水素との共重合体、及びビニル芳香族炭化水素と脂肪族不飽和カルボン酸エステルとの共重合体からなる群から選ばれる少なくとも1種の樹脂であり、
前記非晶性ポリオレフィンが、エチレン及び炭素数3~20のα-オレフィンからなる群から選ばれた2種以上のオレフィンを必須として構成されるオレフィン共重合体である、
ダイシング用基体フィルム。 - 前記中間層が1~5層である、請求項1記載のダイシング用基体フィルム。
- 前記ポリエチレン系樹脂が、分岐鎖状低密度ポリエチレン(LDPE)、直鎖状低密度ポリエチレン(LLDPE)、エチレン-酢酸ビニル共重合体(EVA)、エチレン-メチルアクリレート共重合体(EMA)、エチレン-エチルアクリレート共重合体、エチレン-ブチルアクリレート共重合体、エチレン-メチルメタクリレート共重合体(EMMA)、エチレン-メタクリル酸共重合体(EMAA)、及びアイオノマー樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種の樹脂である、請求項1又は2に記載のダイシング用基体フィルム。
- 前記表層及び前記裏層の少なくとも一方は、帯電防止剤を含む、請求項1~3のいずれかに記載のダイシング用基体フィルム。
- 前記帯電防止剤を含有させたダイシング用基体フィルムは、その裏面の表面抵抗率が10 7 ~10 12 Ω/□である、請求項4に記載のダイシング用基体フィルム。
- 請求項1~5のいずれか1項記載のダイシング用基体フィルムの表層側に、粘着剤層とダイボンド層とをこの順に設けたダイシングフィルム。
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