JP4510954B2 - ダイシングテープ及びダイシング方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハのダイシングテープ及びそのダイシングテープを用いるダイシング方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
ダイシングテープは、一連の半導体チップ製造工程におけるダイシング工程で、半導体ウェハを固定する際に使用されるテープであり、ダイシング工程は、半導体ウェハから個々のチップに切断する工程である。このダイシング工程に続いて、エキスパンド工程、ピックアップ工程及びマウンティング工程が行われる。
【0003】
エキスパンド工程では、ダイシングテープを引き伸ばし、ダイシング工程によって形成される切り込み線(すなわち、ダイシングライン)の幅を広げることにより、チップ間隔を拡張する。このエキスパンド工程でチップ間隔を拡げる目的は、チップの認識性を高めることと、ピックアップの際に隣接するチップが相互に接触することによって起きるチップの破損を防止すること等にある。
現在、エキスパンド工程は、エキスパンド装置によってダイシングテープを引き伸ばすことによって行われている。ところが、エキスパンド装置では、引き伸ばし量や引き伸ばし時に加えるトルクが通常固定されており、ダイシングテープの種類や、その上に貼着されている半導体ウェハのサイズに応じて、引き伸ばし量やトルクを変化させて調整することは非常に煩雑な操作となる。
このため、ダイシングテープ基材が延性の大きい材料からなる場合には、半導体ウェハ貼着部まで引伸応力が伝達せず、充分なチップ間隔が得られなくなる。逆に、ダイシングテープ基材が延性の小さい材料からなる場合には、エキスパンド装置による引き伸ばしトルクが不足したり、あるいはダイシングテープのダイシングラインの間隔が不均一に拡がったり、更には破断してしまうことがあった。
また、粘着剤層と延性の大きいシート状基材層との間に延性の小さいシート状基材層を設けた3層構造のダイシングテープも知られているが、このダイシングテープの場合にも、半導体ウェハ貼着部の周縁には、ダイシングラインが形成されない部分が存在し、その部分も、ダイシングラインが形成されている部分と同時に引き伸ばされるので、エキスパンド装置のトルクが不足したり、あるいはダイシングテープが破断してしまうことがあった。
【0004】
一方、ダイシングテープに設けられる粘着剤としては、通常の粘着剤だけでなく紫外線(UV)硬化型粘着剤も広く採用されている。通常の粘着剤の場合は、弾性率が104〜106N/m2であるのに対して、紫外線硬化型粘着剤の弾性率は、紫外線照射後に107〜109N/m2にまで上昇する。粘着剤の弾性率が高い場合には、ピックアップ工程での突上ニードルによる突き上げの際の粘着剤の変形が小さくなり、より短時間でのピックアップ操作が可能になると共に、チップ裏面の汚染も低減される。しかしながら、エキスパンド装置に対しては、チップ間隔を広げるために高いトルクが必要とされていた。逆に、粘着剤の弾性率が低い場合には、エキスパンド工程においてダイシングテープにかかる応力が粘着剤層の変形によって緩和され、ダイシングラインに充分に応力が伝わらず、そのためにチップ間隔が得られにくいという問題点があった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の課題は、従来技術の前記欠点を解消することができ、ダイシングにおけるエキスパンド工程において、粘着剤の弾性率に影響を受けずに、均一で且つ充分にダイシングラインの間隔を拡げることができると共に、ダイシングラインにおける破断が生じにくいダイシングテープを提供し、更にそれを用いるダイシング方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記課題は、本発明により、
基材シートと、その片側表面上に設けた粘着剤層とを含むダイシングテープであって、
前記の基材シートが、前記粘着剤層と接触する上部層と、その上部層の下に設けた中間層と、その中間層の下に設けた下部層とからなり、弾性率と層厚との積によって表す抗伸張性に関して、上部層の抗伸張性(A)と、中間層の抗伸張性(B)と、下部層の抗伸張性(C)とが、
B<A≦C
の関係を満足することを特徴とする、前記のダイシングテープによって解決することができる。
【0007】
本発明のダイシングテープは、その好ましい態様によれば、前記の上部層の抗伸張性(A)と、前記の中間層の抗伸張性(B)と、前記の下部層の抗伸張性(C)とは、前記の関係:
B<A≦C
を満足すると同時に、更に
0.4≦A/C≦1
B/C≦0.5
の関係を満足する。
【0008】
更に、本発明のダイシングテープは、その別の態様においては、前記基材シートを形成する前記の上部層と下部層の少なくとも一方が2層以上の層から形成される。この場合、2層以上の層から形成される前記上部層全体の抗伸張性(A)は、その上部層を構成する各層毎の弾性率と層厚との積の和であり、同様に、2層以上の層から形成される前記下部層全体の抗伸張性(C)は、その下部層を構成する各層毎の弾性率と層厚との積の和である。
【0009】
更に、本発明は、前記のダイシングテープを用いるダイシング方法であって、前記ダイシングテープの粘着剤層に半導体ウェハを貼着した後にダイシングブレードにより切り込みを形成する際に、前記上部層についてはその上面から下面まで完全に切断し、前記中間層についてはその上面から途中までを部分的に切断し、そして前記下部層については全く切断しないことを特徴とする、前記のダイシング方法にも関する。
【0010】
本明細書において、「弾性率」とは、伸び変形において応力(T)とひずみ(ε)との間に比例関係(T=Eε)が成り立つ場合に、その比例定数(E)を意味し、別名、「ヤング率」と称されることのある値である。前記の弾性率は、引っ張り試験器を用いて引っ張り試験を行い、得られた引張強度と伸びのチャートから算出することができる。本明細書に記載の弾性率の具体的数値は、引っ張り試験器としてテンシロン/UTM−4−100(株式会社オリエンテック社製)を用いて測定した値から決定した。
また、「抗伸張性」とは、層を形成するシート材料の弾性率と層を形成するシート材料の厚さとの積によって表した値である。例えば、上部層の「抗伸張性」は、上部層の弾性率と上部層の厚さとの積によって表した値である。上部層、又は下部層が2層以上から形成されている場合は、それら上部層又は下部層を構成する各層の抗伸張性の和がそれぞれの上部層又は下部層の全体の抗伸張性の値である。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明による前記のダイシングテープは、ダイシング工程において、前記上部層についてはその上面から下面まで完全に切断し、前記中間層についてはその上面から途中までを部分的に切断し、前記下部層については全く切断しない態様で用いるのが好ましい。
【0012】
以下、添付図面に沿って本発明のダイシングテープを説明する。
図1は、本発明によるダイシングテープの基本態様を模式的に示す断面図である。
図1に示すダイシングテープ1は、基材シート2と、その片側表面上に設けた粘着剤層3とを含む。前記基材シート2は、更に、上部層21と、中間層22と、下部層23とからなり、ダイシングテープ1は、全体として、前記の粘着剤層3、上部層21、中間層22、及び下部層23が、この順に上から下に向かって積層されている4層構造からなる。
【0013】
また、本発明のダイシングテープ1の基材シート2は、前記の上部層21と下部層23の少なくとも一方が、2層以上の層、好ましくは2層ないし5層からなることができる。例えば、図1に破線で示すように、基材シート2は、第1上部層21aと第2上部層21bとからなる上部層21と、中間層22と、第1下部層23aと第2下部層23bとからなる下部層23とからなることができる。上部層21と下部層23の少なくとも一方を2層以上にすると、厚さ及び/又は抗伸張性の制御が容易になるので好ましい。
【0014】
図1に示すダイシングテープ1を用いる場合には、その粘着剤層3の上に、半導体ウェハ4を貼付する。続いて、図2に示すように、ダイシングブレード(図示せず)を用いて半導体ウェハ4を個々のチップに切断し、ダイシングライン5を形成する。その際、図2に示すように、半導体ウェハ4は、上面から下面まで完全に切断される。また、粘着剤層3と、上部層21も、それらの上面から下面までが完全に切断される。その下に設けられている中間層22は、その上面から途中までの一部が切断され、ダイシングライン5はその下に設けられている下部層23には到達しない。
基材シート2を形成する各層の内、上部層21が2層以上の層からなる場合には、それらの各層もそれぞれ上面から下面まで完全に切断される。また、下部層23が2層以上の層からなる場合には、それらの各層にはそれぞれダイシングライン5は形成されない。
【0015】
本発明のダイシングテープ1においては、上部層21の抗伸張性(A)と、中間層22の抗伸張性(B)と、下部層23の抗伸張性(C)とが、前記のとおり、
B<A≦C
の関係を満足する。また、好ましい態様においては、前記の
B<A≦C
の関係を満足すると共に、更に
0.4≦A/C≦1.0
B/C≦0.5
の関係を満足する。
【0016】
本発明によるダイシングテープ1においては、前記のとおり、上部層21の抗伸張性(A)が、中間層22の抗伸張性(B)よりも大きい。上部層21の抗伸張性(A)が、中間層22の抗伸張性(B)以下であると、上部層21が比較的に変形しやすくなり、中間層22への力の伝達が阻害されるので好ましくない。また、上部層21の抗伸張性(A)が、下部層23の抗伸張性(C)よりも大きいと、エキスパンド時にダイシングテープ1にかかる応力によりダイシングテープ1が破断しやすくなるので好ましくない。
【0017】
下部層23の抗伸張性(C)に対する上部層21の抗伸張性(A)の比(A/C)を0.4以上にすると、ダイシングライン5が形成されない層の強度がより適度になり、前記のエキスパンド装置を用いる実際のエキスパンド工程において、ダイシングライン5を充分に拡げ易くなる。また、前記の比(A/C)を、1.0以下にすると、前記のエキスパンド装置を用いる実際のエキスパンド工程において、ダイシングライン5を形成した部分でのダイシングテープの破断をより有効に防止することができる。
【0018】
また、下部層23の抗伸張性(C)に対する中間層22の抗伸張性(B)の比(B/C)を0.5以下にすると、前記のエキスパンド装置を用いる実際のエキスパンド工程において、ダイシングライン5の広がりをより均一にし易くなる。
【0019】
本発明のダイシングテープにおいて、基材シート2の各層を形成する材料としては、各層を形成した際に前記の条件を満足する抗伸張性を与えることができる材料である限り、特に限定はされないが、耐水性及び耐熱性に優れているものが適し、特に合成樹脂フィルムが適している。
このような基材シート2の各層を形成する材料としては、具体的には、低密度ポリエチレン(LDPE)、直鎖低密度ポリエチレン(LLDPE)、エチレン・プロピレン共重合体、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテン、エチレン・酢酸ビニル共重合体、エチレン・(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン・(メタ)アクリル酸メチル共重合体、エチレン・(メタ)アクリル酸エチル共重合体、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体、エチレン・塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体、ポリウレタン、ポリアミド、アイオノマーあるいはスチレン・ブタジエンゴム及びその水添加物又は変性物等からなるフィルムを用いることができる。また、上部層21や下部層23が2層以上からなる場合には、それらの上部層21や下部層23が全体として前記抗伸張性の条件を満たす範囲で、各層を任意の材料から形成することができる。
【0020】
本発明のダイシングテープにおいて、基材シート2の全体の厚さは、所定のダイシング工程を実施することができる厚さである限り、特に限定されるものではなく、また、上部層21、中間層22及び下部層23の各層の厚さも、所定のダイシング工程において、前記の上部層21が完全に切断され、前記の中間層22が途中まで切断され、しかも前記の下部層23が全く切断されない厚さである限り、特に限定されるものではない。
【0021】
一般的に、ダイシングテープのダイシングラインの切り込み深さ(図2の5h)は約10μm〜約40μmである。従って、本発明のダイシングテープ1全体の厚さは、好ましくは20μm〜500μm、より好ましくは50μm〜250μmである。ダイシングテープ1全体の厚さが20μm以上であれば、各層の厚さを制御することが容易になり、500μm以下であれば、製造及び取り扱いが容易になるので好ましい。なお、ダイシングラインの切り込みの先端が、前記の中間層22の途中で確実に止まり、下部層23にまで達することがないようにするために、中間層22の厚さを、5μm以上にすることが好ましく、10μm以上にすることがより好ましい。
【0022】
粘着剤層3は、従来より公知の種々の感圧性粘着剤を用いて形成することができる。例えば、ゴム系、アクリル系、シリコーン系、又はポリビニルエーテル系等の粘着剤を用いることができる。また、紫外線に代表される放射線硬化型や加熱発泡型の粘着剤も用いることができる。更に、ダイシング・ダインボンディング兼用可能な粘着剤であることもできる。粘着剤層3の厚さは、通常のダイシングテープと同様に、3μm〜100μm、好ましくは10μm〜50μmであることができる。
【0023】
本発明のダイシングテープ1は、種々の方法で製造することができる。例えば、離型シート上に粘着剤配合物を、それ自体公知のロールナイフコーター、グラビアコーター、ダイコーター、又はリバースコーター等により塗工した後に乾燥させて粘着剤層を形成し、この粘着剤層を、これとは別に予め形成した基材シート2と貼り合わせ、離型シートを除去することによって、本発明のダイシングテープ1を製造することができる。また半導体ウェハ4をダイシングテープ1に貼付するまでは、その離型シートを除去しなくてよいことはいうまでもない。基材シート2は、例えば、共押出成形法によって製造することができる。
【0024】
【実施例】
以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、これらは本発明の範囲を限定するものではない。
【実施例1】
本実施例では、粘着剤層3を、基材シート2(上部層21の1層、中間層22の1層、及び下部層23の1層からなる)の上部層21上に積層してなる本発明のダイシングテープ1を製造した。
前記粘着剤層3を形成する粘着剤としては、ブチルアクリレート/メチルメタアクリレート/2−ヒドロキシエチルアクリレート(50重量部/45重量部/5重量部)から調製した重量平均分子量50万の共重合化合物100重量部に対して、多官能ウレタンアクリレート125重量部、多価イソシアナート化合物1重量部、及び光重合開始剤5重量部を配合してなるアクリル系紫外線硬化型粘着剤を使用した。
前記上部層21としては、エチレン−メタクリル酸共重合体フィルム(メタクリル酸含有率=9%)を用い、前記中間層22としては、エチレン酢酸ビニル共重合体フィルム(酢酸ビニル含有率=22%)を用い、前記下部層23としては、エチレン−メタクリル酸共重合体フィルム(メタクリル酸含有率=9%)を用いた。これらの各層のフィルムの種類や、弾性率及び層厚を表1に示す。
【0025】
本発明のダイシングテープ1を、以下の手順で製造した。
上記フィルム組成物を三層共押出装置で同時に押し出し、三層の基材シート2を形成した。これとは別に、トルエンで希釈した前記アクリル系紫外線硬化型粘着剤を離型シート上にロールナイフコーターを用いて塗布し、100℃で1分間乾燥することにより、離型シート上に粘着剤層を形成した。この粘着剤層と、先に得られた基材シート2の上部層21とを貼り合わせた後に、離型シートを除去することにより、前記ダイシングテープ1を得た。得られたダイシングテープ1における各層の抗伸張性を表3に示す。また、得られたダイシングテープ1を後述する評価例1及び2の方法でダイシングした後、エキスパンド工程におけるダイシングラインの間隔を測定した。その結果を表5及び表6に示す。
【0026】
【実施例2】
本実施例では、上部層21の2層、中間層22の1層、及び下部層23の1層をこの順に積層してなる基材シート2の前記上部層21の上に粘着剤層3を積層してなる本発明のダイシングテープ1を製造した。また、前記粘着剤層3を形成する粘着剤としては、前記実施例1で使用した紫外線硬化型粘着剤を使用した。各層のフィルムの種類、弾性率及び層厚を表1に示す。
前記フィルム組成物を四層共押出装置で同時に押し出し、四層の基材シート2としたこと以外は実施例1に記載の手順に従って本発明のダイシングテープ1を製造した。得られたダイシングテープ1における各層の抗伸張性を表3に示す。また、得られたダイシングテープ1を後述する評価例1の方法でダイシングした後、エキスパンド工程におけるダイシングラインの間隔を測定した。その結果を表5に示す。
【0027】
【実施例3】
本実施例では、上部層21の1層、中間層22の1層、及び下部層23の2層をこの順に積層してなる基材シート2の前記上部層21の上に粘着剤層3を積層してなる本発明のダイシングテープ1を製造した。また、前記粘着剤層3を形成する粘着剤としては、前記実施例1で使用した紫外線硬化型粘着剤を使用した。各層のフィルムの種類、弾性率及び層厚を表1に示す。
前記フィルム組成物を四層共押出装置で同時に押し出し、四層の基材シート2としたこと以外は実施例1に記載の手順に従って本発明のダイシングテープ1を製造した。得られたダイシングテープ1において、各層の抗伸張性を表3に示す。また、得られたダイシングテープ1を後述する評価例1の方法でダイシングした後、エキスパンド工程におけるダイシングラインの間隔を測定した。その結果を表5に示す。
【0028】
【実施例4】
本実施例では、上部層21の1層、中間層22の1層、及び下部層23の1層をこの順に積層してなる基材シート2の前記上部層21の上に粘着剤層3を積層してなる本発明のダイシングテープ1を製造した。
前記粘着剤層3を形成する粘着剤としては、ブチルアクリレート/メチルメタアクリレート/2−ヒドロキシエチルアクリレート(85重量部/5重量部/10重量部)から調製した重量平均分子量60万の共重合化合物100重量部とメタクリロイルオキシエチルイソシアナート8重量部との反応物100重量部に対して、多価イソシアナート化合物0.9重量部、及び光重合開始剤0.9重量部を配合してなるアクリル系紫外線硬化型粘着剤を使用した。
各層のフィルムの種類、弾性率及び層厚を表1に示す。
得られたダイシングテープ1において、各層の抗伸張性を表3に示した。また、得られたダイシングテープ1を後述する評価例1の方法でダイシングした後、エキスパンド工程におけるダイシングラインの間隔を測定した。その結果を表5に示す。
【0029】
【実施例5】
本実施例では、粘着剤層3を形成する粘着剤として、ブチルアクリレート/メチルメタアクリレート/2−ヒドロキシエチルアクリレート(75重量部/20重量部/5重量部)から調製した重量平均分子量50万の共重合化合物100重量部に対して、多価イソシアナート化合物2重量部を配合してなるアクリル系粘着剤を使用すること以外は、前記実施例3と同じ構成のダイシングテープ1を、前記実施例3に記載の手順に従って製造した。
各層の弾性率及び層厚を表1に、抗伸張性を表3に示す。また、得られたダイシングテープ1を後述する評価例1の方法でダイシングした後、エキスパンド工程におけるダイシングラインの間隔を測定した。その結果を表5に示す。
【0030】
【比較例1】
本比較例では、基材シートが、エチレン−メタクリル酸共重合体フィルム(メタクリル酸含有率=9%)のみからなる基材シートであること以外は、前記実施例1で製造したダイシングテープと同じ手順に従って比較用のダイシングテープを製造した。各層の弾性率及び層厚を表2に、得られたダイシングテープの基材シートの抗伸張性を表4に示す。また、得られたダイシングテープを後述する評価例1の方法でダイシングした後、エキスパンド工程におけるダイシングラインの間隔を測定し、その結果を表5に示す。
【0031】
【比較例2】
粘着剤として、実施例4で使用した紫外線硬化型粘着剤を用いること以外は、前記比較例1で製造したダイシングテープと同じ手順に従って比較用のダイシングテープを製造した。各層の弾性率及び層厚を表2に、得られたダイシングテープの基材シートの抗伸張性を表4に示す。また、得られたダイシングテープを後述する評価例1及び2の方法でダイシングした後、エキスパンド工程におけるダイシングラインの間隔を測定し、その結果を表5及び表6に示す。
【0032】
《表1》
【0033】
【0034】
【0035】
【0036】
【評価例1】
《ダイシングライン幅の測定(1)》
以下の手順に従ってダイシングライン幅の測定を行った。
すなわち、前記実施例1〜実施例5で製造した本発明のダイシングテープ5種類及び前記比較例1〜比較例2で製造した比較用ダイシングテープ2種類の上に6インチの半導体ウェハを貼り付けた。次に、幅が30μmのダイシングブレードを用いて、10mm×10mmの大きさのチップが得られるように前記半導体ウェハを切断した。ダイシングブレードによる切り込み深さ5hは、上部層21を切断し、中間層22の途中までとなるよう行った。そのためにダイシングラインの切り込み深さ5hが、実施例1及び4で製造したダイシングテープの場合には50μm、実施例2、3及び5の場合には40μmになるよう行った。また、比較例1及び2の場合には40μmになるように行った。続いて、実施例1〜4及び比較例1〜2で製造したダイシングテープについては、紫外線を照射して粘着剤層の粘着力を低下させた後に、ダイシングテープをエキスパンド量としてダイシングフレームから12mm下げるエキスパンド操作を実施した〔ボンダーCPS−100(日電機械製)を使用〕。
【0037】
前記のエキスパンド操作を実施した後に、ダイシングライン幅を、半導体ウェハの周辺部と中心部とでそれぞれ測定した。なお、各地点における測定は、ダイシングラインが直交する二方向に関して実施し、以下、一方の方向を「x方向」と称し、それに直交する方向を「y方向」と称する。結果を表5に示す。表5における「ダイシングライン幅」の単位は「μm」である。なお、エキスパンド操作実施前のx方向及びy方向のダイシングラインの幅はダイシングブレードの幅と同じ30μmである。
表5から明らかなように、比較例1で製造した比較用ダイシングテープでは、ダイシングラインが充分に広がっておらず、比較例2で製造した比較用ダイシングテープでは、チップ間隔の広がりが不均一であるのに対して、本発明のダイシングテープでは、粘着剤の弾性率に影響を受けずに、均一で且つ充分なチップ間隔が得られることが確認された。
【0038】
【0039】
【評価例2】
《ダイシングライン幅の測定(2)》
ボンダーHS−1010(ヒューグル社製)を使用し、エキスパンド量を30mmとしたこと以外は、前記評価例1に記載の手順に従って、前記実施例1で製造した本発明のダイシングテープ及び前記比較例1で製造した比較用ダイシングテープにおけるエキスパンド評価を実施した。結果を表6に示す。本評価例で使用したボンダーは、前記評価例1で使用したボンダーに比べて、チップ間隔の広がり方が少ない傾向があるので、比較例1で製造した比較用ダイシングテープでは、チップ間隔が充分に広がらなかった。しかし、この条件でも、本発明のダイシングテープでは、充分なチップ間隔が得られることが確認された。
【0040】
【0041】
【発明の効果】
本発明のダイシングテープによれば、エキスパンド工程において、各チップの間隔を均一に且つ充分に拡げることができ、しかも、ダイシングラインにおける破断が生じることがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のダイシングテープを模式的に示す断面図である。
【図2】図1に示す本発明のダイシングテープに半導体ウェハを貼付し、更にダイシングラインを形成した状態を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
1・・ダイシングテープ
2・・基材シート
3・・粘着剤層
4・・半導体ウェハ
5・・ダイシングライン
5h・・ダイシングラインの切り込み深さ
21・・上部層
21a・・第1上部層
21b・・第2上部層
22・・中間層
23・・下部層
23a・・第1下部層
23b・・第2下部層
Claims (6)
- 基材シートと、その片側表面上に設けた粘着剤層とを含むダイシングテープであって、
前記の基材シートが、前記粘着剤層と接触する上部層と、その上部層の下に設けた中間層と、その中間層の下に設けた下部層とからなり、弾性率と層厚との積によって表す抗伸張性に関して、上部層の抗伸張性(A)と、中間層の抗伸張性(B)と、下部層の抗伸張性(C)とが、
B<A≦C
の関係を満足すること、
前記の上部層の抗伸張性(A)と、前記の中間層の抗伸張性(B)と、前記の下部層の抗伸張性(C)とが、更に
0.4≦A/C≦1
B/C≦0.5
の関係を満足すること、
前記ダイシングテープの全体の厚さが、50μm〜250μmであること、及び前記中間層の厚さが、10μm以上であることを特徴とする、前記のダイシングテープ。 - 上部層として、エチレン・(メタ)アクリル酸共重合体からなる層を含む、請求項1に記載のダイシングテープ。
- 中間層が、エチレン・酢酸ビニル共重合体、スチレン・ブタジエンゴムの水添加物、又はエチレン・(メタ)アクリル酸メチル共重合体からなる、請求項1又は2に記載のダイシングテープ。
- 下部層として、エチレン・(メタ)アクリル酸共重合体からなる層を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載のダイシングテープ。
- 前記基材シートを形成する前記の上部層と下部層の少なくとも一方が2層以上の層から形成され、2層以上の層から形成される前記上部層全体の抗伸張性(A)が、その上部層を構成する各層毎の弾性率と層厚との積の和であるか、あるいは2層以上の層から形成される前記下部層全体の抗伸張性(C)が、その下部層を構成する各層毎の弾性率と層厚との積の和である、請求項1〜4のいずれか一項に記載のダイシングテープ。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載のダイシングテープを用いるダイシング方法であって、
前記ダイシングテープの粘着剤層に半導体ウェハを貼着した後にダイシングブレードにより切り込みを形成する際に、前記上部層についてはその上面から下面までを完全に切断し、前記中間層についてはその上面から途中までを部分的に切断し、そして前記下部層については全く切断しないことを特徴とする、前記のダイシング方法。
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