JP7007911B2 - リニアアクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、可動体を直線駆動して振動させるリニアアクチュエータに関するものである。

情報を振動によって報知するデバイスとして、永久磁石を備えた可動体と、永久磁石と対向するコイルを有する固定体とを備えたリニアアクチュエータが提案されており、固定体は、可動体を収容したケースを備えている（特許文献１参照）。また、特許文献１に記載のリニアアクチュエータでは、可動体の共振を抑制するために、ケースと可動体との間にエアダンパーが構成されている。

特開２００６－７１６１号公報

しかしながら、特許文献１に記載の構成では、ケースを用いてエアダンパーを構成しているため、リニアアクチュエータを組み立てた後でなければ、ダンパー性能を含めた振動特性を検査することができないという問題点がある。また、エアダンパーに代えて、シリコーンゲル等のダンパー部材を可動体とケースとの間に配置して可動体の共振を抑制した場合も、リニアアクチュエータを組み立てた後でなければ、ダンパー性能を含めた振動特性を検査することができないという問題点がある。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、磁気駆動機構によって可動体を固定体に対して直線駆動して振動させるにあたって、ケースを用いなくても、固定体と可動体との間にダンパー部材を設けることのできるリニアアクチュエータを提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明のリニアアクチュエータは、固定体と、可動体と、前記固定体に対して前記可動体を第１方向に直動させる磁気駆動機構と、前記可動体と前記固定体との間に設けられたダンパー部材と、を有し、前記磁気駆動機構は、前記可動体および前記固定体のうちの一方側に設けられたコイルホルダと、前記コイルホルダのコイル支持部に支持されたコイルと、前記可動体および前記固定体のうちの他方側に設けられた第１ヨークと、前記第１ヨークに保持され、前記コイルと前記第１方向に対して交差する第２方向で対向する第１永久磁石と、を有し、前記コイルホルダは、前記コイル支持部によって前記コイルを前記第１ヨークとは反対側から支持するホルダ本体と、前記コイルを前記第１ヨークの側から覆うコイルプレートと、を備え、前記ダンパー部材は、前記第１ヨークと前記コイルホルダとの間において前記コイルプレートと前記第１ヨークとが前記第２方向で対向する部分に設けられていることを特徴とする。

本発明では、磁気駆動機構によって可動体を直動させて振動させると、振動が利用者に伝わる。従って、伝達すべき情報に対応して振動の形態を切り換えることによって、情報を振動によって伝達することができる。その際、固定体と、可動体と、の間にダンパー部材が設けられているため、可動体が共振することを抑制することができる。ここで、ダンパー部材は、コイルを保持するコイルホルダと、永久磁石を保持するヨークとの間に設けられており、ダンパー部材を設けるのにケースが用いられていない。従って、ケースを用いなくても、固定体と可動体との間にダンパー部材を設けることができる。それ故、ケースを有しないリニアアクチュエータにダンパー部材を設けることができる。また、ケースを設けていない組み立て途中の段階でダンパー部材を設けることができる。

また、本発明において、前記ダンパー部材は、前記コイルホルダと前記第１ヨークとが前記第２方向で対向する部分に設けられている。このため、コイルホルダおよび第１ヨークを複雑な形状にしなくても、コイルホルダと第１ヨークとの間にダンパー部材を設けることができる。

また、本発明において、前記コイルホルダは、前記コイル支持部によって前記コイルを前記第１ヨークとは反対側から支持するホルダ本体と、前記コイルを前記第１ヨークの側から覆うコイルプレートと、を備え、前記ダンパー部材は、前記コイルプレートと前記第１ヨークとの間に設けられている。このため、コイルと重なる位置にダンパー部材を設けることができる。

本発明において、前記磁気駆動機構は、前記可動体および前記固定体のうちの他方側で前記コイルホルダに対して前記第１ヨークと反対側に設けられた第２ヨークと、前記第２ヨークに保持され、前記コイルに対して前記第１永久磁石とは反対側で前記コイルに前記第２方向で対向する第２永久磁石と、を有し、前記ダンパー部材は、さらに、前記コイルホルダと前記第２ヨークとが前記第２方向で対向する部分に設けられている態様を採用することができる。

本発明において、前記コイルは、前記第１方向で並列して前記第１方向および前記第２方向に対して交差する第３方向に延在する２つの長辺部と、前記長辺部の前記第３方向の両端を繋ぐ２つの短辺部と、を備え、前記ダンパー部材は、前記コイルの前記短辺部側に設けられている態様を採用することができる。

本発明において、前記ダンパー部材は、ゲル状ダンパー部材である態様を採用することができ。

本発明において、前記コイルホルダおよび前記コイルは、前記固定体側に設けられ、前記第１ヨークおよび前記第１永久磁石は、前記可動体側に設けられている態様を採用することができる。

本発明において、前記固定体は、前記可動体、前記ダンパー部材、および前記磁気駆動機構を内部に収容するケースを有している態様を採用することができる。

本発明では、磁気駆動機構によって可動体を直動させて振動させると、振動が利用者に伝わる。従って、伝達すべき情報に対応して振動の形態を切り換えることによって、情報を振動によって伝達することができる。その際、固定体と、可動体と、の間にダンパー部材が設けられているため、可動体が共振することを抑制することができる。ここで、ダンパー部材は、コイルを保持するコイルホルダと、永久磁石を保持するヨークとの間に設けられており、ダンパー部材を設けるのにケースが用いられていない。従って、ケースを用いなくても、固定体と可動体との間にダンパー部材を設けることができる。それ故、ケースを有しないリニアアクチュエータにダンパー部材を設けることができる。また、ケースを設けていない組み立て途中の段階でダンパー部材を設けることができる。

本発明を適用したリニアアクチュエータの斜視図である。 図１に示すリニアアクチュエータのＹＺ断面図である。 図１に示すリニアアクチュエータの分解斜視図である。 図１に示すリニアアクチュエータに用いた磁気駆動機構等の分解斜視図である。 図１に示すリニアアクチュエータに用いたコイルホルダ等の説明図である。

以下に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の説明において、可動体６の直動方向（第１方向、振動方向）にＸを付し、第１方向Ｘと交差する第２方向にＹを付し、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに対して交差する第３方向にＺを付して説明する。なお、第１方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第１方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第２方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第２方向Ｙの他方側にＹ２を付し、第３方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第３方向Ｚの他方側にＺ２を付して説明する。

（全体構成）
図１は、本発明を適用したリニアアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すリニアアクチュエータ１のＹＺ断面図である。図３は、図１に示すリニアアクチュエータ１の分解斜視図である。図４は、図１に示すリニアアクチュエータ１に用いた磁気駆動機構等の分解斜視図である。図５は、図１に示すリニアアクチュエータ１に用いたコイルホルダ等の説明図である。

図１に示すリニアアクチュエータ１は、第３方向Ｚに長手方向を向けた直方体形状を有しており、リニアアクチュエータ１を手にした利用者に対して第１方向Ｘの振動によって情報を報知する。従って、リニアアクチュエータ１は、ゲーム機の操作部材等として利用することができ、振動等によって新たな感覚を実感することができる。

図２および図３に示すように、リニアアクチュエータ１は、リニアアクチュエータ１の外形を規定する角形のケース３等を含む固定体２と、ケース３の内部で固定体２に対して第１方向Ｘに移動可能に支持された可動体６とを有しており、可動体６は、第１方向Ｘに振動することによって情報を出力する。

本形態においては、図２～図５を参照して以下に説明するように、固定体２は、ケース３、コイルホルダ４、コイル５、配線基板５９を有しており、可動体６は、永久磁石（第１永久磁石７１および第２永久磁石７２）、およびヨーク（第１ヨーク８１および第２ヨーク８２）を有している。また、コイルホルダ４、コイル５、永久磁石（第１永久磁石７１および第２永久磁石７２）、およびヨーク（第１ヨーク８１および第２ヨーク８２）によって磁気駆動機構１０が構成されている。また、可動体６は、可動体６と固定体２との間に設けられたダンパー部材９１、９２を介して固定体２に支持されている。

（固定体２の構成）
図１、図２および図３に示すように、固定体２において、ケース３は、第２方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する第１ケース部材３１と、第２方向Ｙの他方側Ｙ２で第１ケース部材３１と重なる第２ケース部材３２とを有しており、第１ケース部材３１の側板部３１１と第２ケース部材３２の側板部３２１とが結合されてケース３を構成する。その際、第１ケース部材３１と第２ケース部材３２との間には、コイルホルダ４、コイル５および可動体６が収容される。

図２、図４および図５に示すように、磁気駆動機構１０は、コイル５と、コイル５を支持するコイルホルダ４とを有している。コイル５は、長円状に巻回された環状の平面形状を有する空芯コイルであり、第１方向Ｘで並列して第３方向Ｚに延在する２つの長辺部５１と、２つの長辺部５１の第３方向Ｚの両端を繋ぐ円弧状の２つの短辺部５２とを備えている。

図２、図４および図５に示すように、コイルホルダ４は、コイル支持部４０によってコイル５を第２方向Ｙの他方側Ｙ２（第１ヨーク８１とは反対側）から支持するホルダ本体４１と、第３方向Ｚで離間する２か所でコイル５を第２方向Ｙの一方側Ｙ１（第１ヨーク８１の側）から覆う２つのコイルプレート４５とを備えている。ホルダ本体４１は、第３方向Ｚに延在した第１板部４１１と、第１板部４１１の第３方向Ｚの両側で第１方向Ｘの両側に突出した第２板部４１２とを有しており、図１に示すように、第１ケース部材３１と第２ケース部材３２とを重ねた際、２つの第２板部４１２の各々の外周部が側板部３１１、３２１との間に挟まれる。

図２、図４および図５に示すように、コイルホルダ４の第１板部４１１には、コイル支持部４０が設けられている。コイル支持部４０は、コイル５が収容される長円状の貫通穴からなるコイル収容穴４０１と、コイル収容穴４０１の第３方向Ｚの両端部において、第２方向Ｙの他方側Ｙ２でコイル収容穴４０１に向けて突出した支持板部４０２とを有している。従って、コイル収容穴４０１にコイル５を収容すると、支持板部４０２がコイル５を第２方向Ｙの他方側Ｙ２から支持する。

この状態で、コイル５の第３方向Ｚの両側の短辺部５２には、コイルプレート４５が第２方向Ｙの一方側Ｙ１から覆われる。その際、支持板部４０２およびコイルプレート４５のコイル５側の面に接着剤を塗布しておくことにより、コイル５は、コイルプレート４５によってホルダ本体４１に固定される。本形態では、コイルプレート４５のコイル５側の面には、接着剤の溜まり部としての凹部４５０が環状に形成されている（図５参照）。

コイルホルダ４の第３方向Ｚの他方側Ｚ２の端部には、コイル５に対する給電用の配線基板５９が固定され、配線基板５９には、コイル５に用いた巻線の端部５６、５７が接続される。

（可動体６の構成）
図２、図３および図４に示すように、磁気駆動機構１０は、コイル５に対して第２方向Ｙの一方側Ｙ１に配置された磁性板からなる第１ヨーク８１と、コイル５に第２方向Ｙの一方側Ｙ１で対向するように第１ヨーク８１の第２方向Ｙの他方側Ｙ２の面に保持された平板状の第１永久磁石７１とを有している。また、磁気駆動機構１０は、コイル５に対して第２方向Ｙの他方側Ｙ２に配置された磁性板からなる第２ヨーク８２と、コイル５に第２方向Ｙの他方側Ｙ２で対向するように第２ヨーク８２の第２方向Ｙの一方側Ｙ１の面に保持された平板状の第２永久磁石７２とを有している。本形態において、可動体６は、第１ヨーク８１、第１永久磁石７１、第２ヨーク８２、および第２永久磁石７２によって構成されている。

第１ヨーク８１は、第１永久磁石７１と重なる第１平板部８１１と、第１平板部８１１の第３方向Ｚの両側の端部から第３方向Ｚの一方側Ｚ１および他方側Ｚ２に突出した２つの第２平板部８１２と、第１平板部８１１の第１方向Ｘの両側の端部から第２方向Ｙの他方側Ｙ２に折れ曲がった２つの第３平板部８１３とを有している。２つの第３平板部８１３は、第１永久磁石７１を第１方向Ｘの両側から覆っている。２つの第２平板部８１２は、コイルホルダ４のコイルプレート４５に第２方向Ｙの一方側Ｙ１で対向している。

第２ヨーク８２は、第１ヨーク８１と同様な構造を有している。すなわち、第２ヨーク８２は、第２永久磁石７２と重なる第１平板部８２１と、第１平板部８２１の第３方向Ｚの両側の端部から第３方向Ｚの一方側Ｚ１および他方側Ｚ２に突出した２つの第２平板部８２２と、第１平板部８２１の第１方向Ｘの両側の端部から第２方向Ｙの一方側Ｙ１に折れ曲がった２つの第３平板部８２３とを有している。２つの第３平板部８２３は、第２永久磁石７２を第１方向Ｘの両側から覆っている。２つの第２平板部８１２は、コイルホルダ４のコイルプレート４５に第２方向Ｙの一方側Ｙ１で対向している。

第１永久磁石７１および第２永久磁石７２は各々、コイル５の２つの長辺部５１と第２方向Ｙの一方側Ｙ１および他方側Ｙ２で対向している。第１永久磁石７１は、例えば、第１方向の一方側Ｘ１がＮ極に着磁され、第１方向の他方側Ｘ２がＳ極に着磁されている。第２永久磁石７２は、第１永久磁石７１とは逆に、第１方向Ｘの一方側Ｘ１がＳ極に着磁され、第１方向Ｘの他方側Ｘ２がＮ極に着磁されている。

（ゲル状ダンパー部材１０の構成）
図２、図３、図４および図５に示すように、可動体６は、可動体６と固定体２との間に設けられたダンパー部材９１、９２によって第１方向Ｘに直線往復移動可能に支持されている。従って、本形態では、可動体６と固定体２との間は、可動体６を第１方向Ｘに直線往復移動可能に支持する板バネ等が配置されていない。

本形態において、ダンパー部材９１は、第１ヨーク８１とコイルホルダ４との間において、コイルホルダ４と第１ヨーク８１とが第２方向Ｙで対向する部分に設けられている。ダンパー部材９２は、第２ヨーク８２とコイルホルダ４との間において、コイルホルダ４と第２ヨーク８２とが第２方向Ｙで対向する部分に設けられている。より具体的には、ダンパー部材９１は、コイルホルダ４の２つコイルプレート４５と第１ヨーク８１の２つの第２平板部８１２とに挟まれた２か所に設けられ、ダンパー部材９２は、コイルホルダ４の２つ第２板部４１２と第２ヨーク８２の２つの第２平板部８２２とに挟まれた２か所に設けられている。従って、ダンパー部材９１、９２は、コイル５の短辺部５２側に設けられている。

本形態において、ダンパー部材９１、９２は粘弾性体である。ここで、粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、ダンパー部材９１、９２（粘弾性体）として、各種ゲル状部材を用いることができる。また、ダンパー部材９１、９２（粘弾性体）として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。より具体的には、ダンパー部材９１、９２（粘弾性体）は、シリコーンゲル等からなるゲル状ダンパー部材である。本形態において、ダンパー部材９１、９２は、針入度が１０度から１１０度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、ＪＩＳ－Ｋ－２２０７やＪＩＳ－Ｋ－２２２０で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。ダンパー部材９１、９２は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、ダンパー部材９１、９２は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。これにより、ダンパー部材９１、９２が可動体３と支持体２との間で厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、ダンパー部材９１、９２が大きく変形することを抑制できるので、可動体３と支持体２とのギャップが大きく変化することを抑制できる。一方、ダンパー部材９１、９２が厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。従って、ダンパー部材９１、９２では、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、ダンパー部材９１、９２のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。なお、ダンパー部材９１、９２と第１ヨーク８１や第２ヨーク８２との固定、およびダンパー部材９１、９２とコイルホルダ４との固定は、接着剤、粘着剤、あるいはシリコーンゲルの粘着性を利用して行われる。

（動作）
本形態のリニアアクチュエータ１において、配線基板５９を介して外部（上位の機器）からコイル５に給電すると、コイル５、第１永久磁石７１および第２永久磁石７２を備えた磁気駆動機構１０によって、可動体６が第１方向Ｘに往復移動する。従って、リニアアクチュエータ１を手に持っていた利用者は、リニアアクチュエータ１からの振動によって情報を得ることができる。その際、コイル５に印加される信号波形については、伝達すべき情報によって、周波数を変化させる。また、コイル５に印加される信号波形については極性を反転させるが、その際、駆動信号の極性が負の期間と正の期間とにおいて電圧の変化に対して緩急の差を設ける。その結果、可動体６が第１方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する際の加速度と可動体６が第１方向Ｘの他方側Ｘ２に移動する際の加速度との間に差が発生する。従って、利用者に対して、リニアアクチュエータ１が第１方向Ｘの一方側Ｘ１あるいは他方側Ｘ２に移動するような錯覚を感じさせることができる。
また、本形態では、支持体は、コイル５または磁石７１，７２を保持するホルダを備え、ダンパー部材９１、９２は、ホルダと可動体６とが第１方向で対向する個所に配置される構成を採用することができる。このようにすると、可動体６とカバーとの間にダンパー部材９１、９２を配置するための隙間を確保する必要がない。従って、アクチュエータの薄型化を図ることができる。また、カバーを取り付ける前の状態でダンパー部材９１、９２を取り付けることができるため、カバーを取り付ける前の状態でダンパー性能を含めた振動特性を検査することができる。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のリニアアクチュエータ１においては、可動体６と固定体２との間にダンパー部材９１、９２が設けられているため、可動体６が共振することを抑制することができる。ここで、ダンパー部材９１は、コイルホルダ４と第１ヨーク８１との間に設けられており、ダンパー部材９２は、コイルホルダ４と第２ヨーク８２との間に設けられている。従って、ダンパー部材９１、９２を設けるのにケース３が用いられていない。従って、ケース３を用いなくても、固定体２と可動体６との間にダンパー部材９１、９２を設けることができる。それ故、ケース３を設けていない組み立て途中の段階でダンパー部材９１、９２を設けることができるので、製造途中にダンパー特性を含む振動特性を測定することができる。また、ダンパー部材９１、９２を設けるのにケース３が用いられていないので、ケース３を有しないリニアアクチュエータにダンパー部材９１、９２を設けることができる。

また、可動体６の共振を抑制するためのダンパー部材９１、９２は、第１方向Ｘおよび第３方向Ｚで離間する計４個所に設けられているため、板状バネ等を用いずに、可動体６を第１方向Ｘに移動可能に支持することができる。
また、ダンパー部材９１、９２は、固定体２と可動体６とにおいて第１方向Ｘ（振動方向）に対して交差する第２方向Ｙで対向する位置に設けられているため、可動体６が第１方向Ｘに振動した際、そのせん断方向に変形して共振を防止する。このため、可動体６が第１方向Ｘに振動しても、ダンパー部材９１、９２の弾性率の変化が小さいので、可動体６の共振を効果的に抑制することができる。

また、ダンパー部材９１は、コイルホルダ４と第１ヨーク８１とが第２方向Ｙで対向する部分に設けられ、ダンパー部材９２は、コイルホルダ４と第２ヨーク８２とが第２方向Ｙで対向する部分に設けられている。このため、ダンパー部材９１がコイルホルダ４と第１ヨーク８１とが第１方向Ｘあるいは第３方向Ｚで対向する態様と違って、コイルホルダ４、第１ヨーク８１および第２ヨーク８２を複雑な形状にしなくても、コイルホルダ４と第１ヨーク８１との間、およびコイルホルダ４と第２ヨーク８２との間にダンパー部材９１、９２を設けることができる。

また、コイルホルダ４は、コイル支持部４０によってコイル５を第１ヨーク８１とは反対側から支持するホルダ本体４１と、コイル５を第１ヨーク８１の側から覆うコイルプレート４５とを備えているため、コイル５と重なる位置にダンパー部材９１を設けることができる。

（他の実施の形態）
上記実施の形態では、コイル５に対する第２方向Ｙの他方側Ｙ１に第２永久磁石７２および第２ヨーク８２を設けたが、コイル５に対する第２方向Ｙの他方側Ｙ１に第２ヨーク８２のみを設け、第２永久磁石７２を設けないリニアアクチュエータに本発明を適用してもよい。

上記実施の形態では、コイルホルダ４およびコイル５を固定体２に設け、永久磁石（第１永久磁石７１および第２永久磁石７２）およびヨーク（第１ヨーク８１および第２ヨーク８２）を可動体６に設けたが、コイルホルダ４およびコイル５を可動体６に設け、永久磁石（第１永久磁石７１および第２永久磁石７２）およびヨーク（第１ヨーク８１および第２ヨーク８２）を固定体２に設けたリニアアクチュエータに本発明を適用してもよい。

上記実施の形態では、固定体２と可動体６とにおいて第２方向Ｙで対向する部分にダンパー部材９１、９２を設けたが、固定体２と可動体６とにおいて第１方向Ｘあるいは第３方向Ｚで対向する部分にダンパー部材９１、９２を設けたリニアアクチュエータに本発明を適用してもよい。

１…リニアアクチュエータ、２…固定体、３…ケース、４…コイルホルダ、５…コイル、６…可動体、１０…磁気駆動機構、３１…第１ケース部材、３２…第２ケース部材、４０…コイル支持部、４１…ホルダ本体、４５…コイルプレート、５１…長辺部、５２…短辺部、７１…第１永久磁石、７２…第２永久磁石、８１…第１ヨーク、８２…第２ヨーク、９１、９２…ダンパー部材、３１１、３２１…側板部、４０１…コイル収容穴、４０２…支持板部、４１１…第１板部、４１２…第２板部、８１１、８２１…第１平板部、８１２、８２２…第２平板部、８１３、８２３…第３平板部、Ｘ…第１方向、Ｙ…第２方向、Ｚ…第３方向

Claims (6)

1. 可動体と、
   固定体と、
   前記固定体に対して前記可動体を第１方向に直動させる磁気駆動機構と、
   前記可動体と前記固定体との間に設けられたダンパー部材と、
   を有し、
   前記磁気駆動機構は、前記可動体および前記固定体のうちの一方側に設けられたコイルホルダと、前記コイルホルダのコイル支持部に支持されたコイルと、前記可動体および前記固定体のうちの他方側に設けられた第１ヨークと、前記第１ヨークに保持され、前記コイルと前記第１方向に対して交差する第２方向で対向する第１永久磁石と、を有し、
   前記コイルホルダは、前記コイル支持部によって前記コイルを前記第１ヨークとは反対側から支持するホルダ本体と、前記コイルを前記第１ヨークの側から覆うコイルプレートと、を備え、
   前記ダンパー部材は、前記第１ヨークと前記コイルホルダとの間において前記コイルプレートと前記第１ヨークとが前記第２方向で対向する部分に設けられていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
2. 前記磁気駆動機構は、前記可動体および前記固定体のうちの他方側で前記コイルホルダに対して前記第１ヨークと反対側に設けられた第２ヨークと、前記第２ヨークに保持され、前記コイルに対して前記第１永久磁石とは反対側で前記コイルに前記第２方向で対向する第２永久磁石と、を有し、
   前記ダンパー部材は、さらに、前記コイルホルダと前記第２ヨークとが前記第２方向で対向する部分に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
3. 前記コイルは、前記第１方向で並列して前記第１方向および前記第２方向に対して交差する第３方向に延在する２つの長辺部と、前記長辺部の前記第３方向の両端を繋ぐ２つの短辺部と、を備え、
   前記ダンパー部材は、前記コイルの前記短辺部側に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のリニアアクチュエータ。
4. 前記ダンパー部材は、ゲル状ダンパー部材であることを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載のリニアアクチュエータ。
5. 前記コイルホルダおよび前記コイルは、前記固定体側に設けられ、
   前記第１ヨークおよび前記第１永久磁石は、前記可動体側に設けられていることを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載のリニアアクチュエータ。
6. 前記固定体は、前記可動体、前記ダンパー部材、および前記磁気駆動機構を内部に収容するケースを有していることを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載のリニアアクチュエータ。

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