JP6858498B2 - ロジック回路 - Google Patents
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Description
本実施の形態では、半導体装置の一例としてダイナミックロジック回路について説明する。
図1はダイナミックロジック回路の一例を示す回路図である。図1に示すロジック回路100は、n+1個(nは1以上の整数)の信号A0−Anで決定される論理レベルの信号OUTを出力する機能を有するダイナミックロジック回路である。ロジック回路100は、ダイナミックロジック回路10、回路20を有する。ロジック回路100にはVSS、VDD1、VDD2が供給される。VSSは低電源電圧であり、VDD1、VDD2は高電源電圧である。ここでは、VDD2>VDD1>VSSである。
ダイナミックロジック回路10はn+1入力のロジック回路である。ダイナミックロジック回路10は、回路30、トランジスタM1、トランジスタM2、容量素子C1、並びにノードX、Y、NH1、NL1を有する。ここでは、ノードYがダイナミックロジック回路10の出力ノードである。
回路20はノードYと電気的に接続されている。回路20は、ノードY_H、NH2、トランジスタM3および容量素子C3を有する。
図2Aのタイミングチャートを参照して、ロジック回路100の動作例を説明する。図2Aにおいて、P1、P2等は期間を表している。図2Aでは、信号PREおよび信号PREBの最大電圧をVDD3とし、最小電圧をVSSとしている。VDD3>VDD2>VDD1である。
信号PREがHレベルの期間(P1、P3)では、ロジック回路100はプリチャージ動作を行う。トランジスタM1はオンであり、トランジスタM2はオフである。ノードYの電圧はVSSとなり、ノードY_Hの電圧はVL3となる。VL3はVDD2よりもトランジスタM3の閾値電圧(VthM3)だけ低い電圧である。
信号PREがLレベルの期間(P2、P4)では、ロジック回路100は評価動作を行う。トランジスタM1はオフであり、トランジスタM2はオンである。信号A0―Anの論理条件は、期間P2では真であり、期間P4では偽である。よって、ノードYは、期間P2では“H”となり、期間P4では“L”となる。
期間P2では、回路30によって、ノードYの電圧はVSSからVH1に上昇される。VH1=VDD1―ΔV10である。回路30において、ノードYとノードNH1との間の電流経路を形成しているトランジスタの段数によって、ΔV10は決まる。トランジスタの段数が多いほど、トランジスタの閾値電圧によりΔV10が大きくなるため、VH1は低くなる。回路20の機能により、ノードY_Hの電圧は、ノードYの電圧と共に上昇する。ノードY_Hの電圧は、VL3よりもΔV20高い電圧VH3となる。式(a1)に示すように、ΔV20は、VH1、容量素子C3の容量C3、およびノードY_Hの寄生容量CYHによって決まる。
期間P4では、ノードYの電圧は、期間P3のプリチャージ動作によって設定された電圧(VSS)に維持される。よって、ノードY_Hも電圧も変化せず、VL3が維持される。ロジック回路100のノードY_Hの電圧によって、後段の回路が駆動されるため、VL3(論理状態が“L”であるときのノードY_Hの電圧)は、後段の回路のトランジスタの閾値電圧未満であることが好ましい。
図4A、図4Bに4入力AND回路の一例を示す。ロジック回路110(図4A)はロジック回路100に対応し、ロジック回路111(図4B)はロジック回路101に対応する。
図6に4入力OR回路の一例を示す。図6に示すロジック回路112はトランジスタM1、M2、容量素子C1、回路20、52、ノードX、Y、Y_Hを有する。回路52は回路30に対応する回路である。回路52はトランジスタMB20―MB23を有する。トランジスタMB20―MB23は、ノードXとノードY間に並列に電気的に接続されている。トランジスタMB20はバックゲートを有し、バックゲートがゲートに電気的に接続されている。トランジスタMB21−MB23も同様である。トランジスタMB20―MB23のゲートには、それぞれ、信号A0―A3が入力され、かつトランジスタMB20―MB23のバックゲートに信号A0―A3が入力される。
図7にAND―OR回路の一例を示す。図7に示すロジック回路113はトランジスタM1、M2、容量素子C1、回路20、53、ノードX、Y、Y_Hを有する。回路53は回路30に対応する回路であり、トランジスタMB30―MB33、MB35―MB38を有する。トランジスタMB30はバックゲートを有し、バックゲートはゲートに電気的に接続されている。これはトランジスタMB31−MB33、MB35−MB38も同様である。回路53には、信号A0―A3および信号S0―S3が入力される。信号A0―A3は、それぞれ、トランジスタMB30―MB33のゲートに入力され、信号S0―S3は、それぞれ、トランジスタMB35―MB38のゲートに入力される。
本実施の形態では、実施の形態1のロジック回路を有する半導体装置について説明する。
図8は、記憶装置の構成の一例を示すブロック図である。図8に示す記憶装置300は、DRAMとして用いることが可能である。記憶装置300は、メモリセルアレイ301、行デコーダ302、列デコーダ303、列ドライバ304、入出力回路305、および制御回路306を有する。
図9A―図9Fはメモリセルの回路構成例を示す。図9A―図9Fに示すメモリセルはメモリセル309に適用することができる。
図10は行デコーダ302の構成例を示す。ここでは、信号RAは8ビットの信号である。行デコーダ302には、信号RA[7:0]、RAB[7:0]、PRE、PREBが入力される。信号RABは、信号RAの反転信号である。信号RABは、記憶装置300の外部から入力されている例を示しているが、記憶装置300の内部で、例えば、制御回路306又は行デコーダ302で、信号RAから信号RABを生成してもよい。
図12は行デコーダ302およびメモリセルアレイ301のデバイス構造の一例を示す。ここでは、メモリセルアレイ301はメモリセル311で構成されていることとしている。また、行デコーダ302として、代表的にAND320の回路20(トランジスタM3および容量素子C3)を示している。図12は、記憶装置300を構成する電子部品のうち、OSトランジスタで構成される回路を含むチップの断面図に相当する。
図13は記憶装置300のデバイス構造例を示す断面図である。この例では、層350の下層にSiトランジスタが形成される層(層352)がある。層352に、記憶装置300のSiトランジスタが設けられている。ここでは、Siトランジスタをフィン(FIN)型トランジスタとしている。トランジスタMn1はn型のSiトランジスタであり、トランジスタMp1はp型のSiトランジスタである。ここでは、トランジスタMn1、Mp1をFIN型トランジスタとしている。
図14は記憶装置300のデバイス構造例を示す断面図である。この例では、層352に層351が積層され、層351に層350が積層されている。また、メモリセルアレイ301は、メモリセル311で構成されていることとしている。
上記の例では、記憶装置300のOSトランジスタはトランジスタ500と同様のデバイス構造を有し、Siトランジスタは、FIN型トランジスタとしているが、記憶装置300を構成するOSトランジスタ、Siトランジスタのデバイス構造は、上記の例に限定されるものでない。例えば、OSトランジスタをトランジスタ502(図32)と同様なデバイス構造をもつトランジスタとすることができる。また、Siトランジスタをプレーナー型トランジスタとすることができる。そのような例を図15に示す。
図16Aに撮像装置の構成例を示す。図16Aに示す撮像装置400は、画素部401および周辺回路415を有する。周辺回路415は、行ドライバ402、列ドライバ403を有する。画素部401は、アレイ状に配列された複数の画素回路410を有する。画素回路410は撮像素子であり、光を電荷に変換する機能、電荷を蓄積する機能等を有する。図16Bに画素回路410の一例を示す。
図18に表示装置の構成例を示す。図18に示す表示装置800は、CPU811、制御回路812、電源回路813、画像処理回路814、記憶装置815、および表示パネル820を有する。表示パネル820は画素部830および周辺回路835を有する。周辺回路835はゲートドライバ836およびソースドライバ837を有する。ゲートドライバ836は配線GLを駆動するための回路であり、配線GLに供給する信号を生成する機能を有する。ソースドライバ837は配線SLを駆動するため回路であり、配線SLに供給する信号を生成する機能を有する。
図19Aに示す画素832はトランジスタMD11、MD12、EL素子DE2、および容量素子CP2を有する。ここでは、トランジスタMD11、MD12はn型としている。トランジスタMD11は、トランジスタMD12のゲートと配線SLとの導通を制御するパストランジスタであり、選択トランジスタと呼ばれる。トランジスタMD12は、駆動トランジスタと呼ばれるトランジスタであり、EL素子DE2に供給する電流源または電圧源として機能する。ここでは、電流駆動能力を向上させるため、トランジスタMD12にバックゲートを設けている。トランジスタMD11にも、ゲート電極と電気的に接続されるバックゲートを設けてもよい。容量素子CP2はトランジスタMD12のゲート電位を保持する保持容量である。
図19Bに示す画素833は、トランジスタMD13、液晶素子DE3および容量素子CP3を有する。液晶素子DE3は、画素電極、対向電極、およびこれらに挟まれた液晶層を有する。画素電極はトランジスタMD13に接続されている。ここでは、トランジスタMD13はn型である。また、トランジスタMD13はバックゲートを有しており、バックゲートとゲートとが電気的に接続されている。これにより、トランジスタMD13の電流駆動能力を向上することができる。トランジスタMD13は、バックゲートを設けない構成であってもよい。
図20は、表示装置800の分解斜視図である。表示装置800は、上部カバー871と下部カバー872との間に、タッチパネルユニット873、表示パネル820、バックライトユニット874、フレーム876、プリント基板877、およびバッテリ878を有する。上部カバー871および下部カバー872は、タッチパネルユニット873および表示パネル820のサイズに合わせて、形状や寸法を適宜変更することができる。フレーム876は表示パネル820やタッチパネルユニット873の保護機能の他、プリント基板877の動作により発生する電磁波を遮断するための電磁シールドとしての機能を有する。またフレーム876は、放熱板の機能を有していてもよい。
図22Aに示す表示パネル2500は、画素部2505、ゲートドライバ2504および端子部2506を有する。画素部2505は、トランジスタ2502t、EL素子2550、着色層2567、遮光層2568を有する。EL素子2550は、下部電極、上部電極、および下部電極と上部電極との間のEL層を有する。EL素子2550が発した光2551は、着色層2567を通って、外部に取り出される。
ここでは、表示パネル2501が表示パネル2500と異なっている点を説明する。画素部2505は、液晶素子2552、およびトランジスタ2502tを有する。液晶素子2552は、画素電極2523、対向電極2524、および液晶層2529を有する。また、液晶を配向するための配向膜は必要に応じて設ければよい。基板2570にスペーサ2530が設けられている。スペーサ2530としては、基板2510と基板2570との間の距離(セルギャップ)を制御するために設けられる。スペーサ2530は基板2510に設けてもよい。スペーサ2530は、例えば、感光性樹脂材料で形成すればよい。
本実施の形態では、半導体装置の例として、ロジック回路、記憶装置等を有するプロセッシングユニットについて説明する。また、本実施の形態では、半導体装置を電子部品に適用する例、及び該電子部品を具備する電子機器に適用する例、表示装置等を備えた電子機器等について説明する。
図23に、CPUの構成の一例を示す。図23に示すCPU1030は、CPUコア1031、パワーマネージメントユニット1043および周辺回路1044を有する。パワーマネージメントユニット1043は、パワーコントローラ1032、およびパワースイッチ1033を有する。周辺回路1044は、キャッシュメモリを有するキャッシュ1034、バスインターフェース(BUS I/F)1035、及びデバッグインターフェース(Debug I/F)1036を有する。CPUコア1031は、データバス1045、制御装置1037、PC(プログラムカウンタ)1038、パイプラインレジスタ1039、パイプラインレジスタ1040、ALU(Arithmetic logic unit)1041、及びレジスタファイル1042を有する。CPUコア1031と、キャッシュ1034等の周辺回路1044とのデータのやり取りは、データバス1045を介して行われる。
プロセッシングユニットの一例として、RFIC(Radio Frequency Integrated Circuit)について説明する。RFICは、内部の記憶装置に必要な情報を記憶し、非接触手段、例えば無線通信を用いて外部と情報の授受を行うものである。このような特徴から、RFICは、物品などの個体情報を読み取ることにより物品の識別を行う個体認証システムなどに用いられている。
図25Aは、電子部品の作製方法例を示すフローチャートである。電子部品は、半導体パッケージ、またはIC用パッケージともいう。この電子部品は、端子取り出し方向や、端子の形状に応じて、複数の規格や名称が存在する。そこで、本実施の形態では、その一例について説明することにする。
表示装置8000は、TV放送受信用の表示装置に相当し、筐体8001、表示部8002、スピーカー部8003、電子部品8004等を有する。本発明の一形態に係る電子部品8004は、筐体8001の内部に設けられている。
図27Aは、電気自動車8500の一例を示す外観図である。図27Bに示すように、電気自動車8500には、リチウムイオン二次電池 8501が搭載されている。リチウムイオン二次電池 8501の電力は、制御回路8502により出力が調整されて、駆動装置8503に供給される。制御回路8502は、プロセッシングユニット8504によって制御される。例えば、制御回路8502やプロセッシングユニット8504等の記憶装置に、本発明の一形態に係るロジック回路を適用することができる。
以下に、半導体装置の一例として、表示部を備えた電子機器の一例を示す。このような電子機器としては、テレビ受像機、ノート型パーソナルコンピュータ(PC)、タブレット型PC、画像再生装置(代表的にはDVDやブルーレイディスク、ハードディスク等の記録媒体に記憶されている映像を再生し、その画像を表示しうる表示部を有する装置)、携帯電話、スマートフォン、携帯型ゲーム機、携帯型情報端末(例えば、タブレット型情報端末)、ウエアラブル型(例えば、眼鏡型、ゴーグル型、時計型、バングル型等)情報端末、電子書籍端末、カメラ(例えば、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ)、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオーディオ、デジタルオーディオプレイヤー等)、複写機、ファクシミリ、プリンター、プリンター複合機、現金自動預け入れ払い機(ATM)、自動販売機などが挙げられる。これら電子機器の具体例を図28に示す。
本実施の形態では、OSトランジスタのデバイス構造等について説明する。
図29Aはトランジスタ500の上面図である。図29Bは、x11−x12線による図29Aの断面図であり、図29Cは、y11−y12線による図29Aの断面図である。なお、x11−x12線の方向をトランジスタ500のチャネル長方向と呼び、y11−y12線の方向をトランジスタ500のチャネル幅方向と呼ぶ場合がある。なお、図29Aでは、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。図31A等の上面図も図29Aと同様である。
金属酸化物層532は、例えば、インジウム(In)を含む酸化物半導体である。金属酸化物層532は、例えば、インジウムを含むと、キャリア移動度(電子移動度)が高くなる。また、金属酸化物層532は、元素Mを含むと好ましい。元素Mは、好ましくは、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)、イットリウム(Y)またはスズ(Sn)などである。また、ホウ素(B)、シリコン(Si)、チタン(Ti)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、ゲルマニウム(Ge)、ジルコニウム(Zr)、モリブデン(Mo)、ランタン(La)、セリウム(Ce)、ネオジム(Nd)、ハフニウム(Hf)、タンタル(Ta)、タングステン(W)などが、元素Mに適用可能である。ただし、元素Mとして、前述の元素を複数組み合わせてもよい。元素Mは、例えば、酸素との結合エネルギーが高い元素である。例えば、酸素との結合エネルギーがインジウムよりも高い元素である。または、元素Mは、例えば、金属酸化物のエネルギーギャップを大きくする機能を有する元素である。また、金属酸化物層532は、亜鉛(Zn)を含むと好ましい。金属酸化物は、亜鉛を含むと結晶化しやすくなる場合がある。
図30Bに示すエネルギーバンド構造図を用いて、金属酸化物層531―433の積層により構成される金属酸化物層530の機能およびその効果について説明する。図30Bは、図30Aのz1−z2線で示した部位のエネルギーバンド構造を示している。Ec514、Ec531、Ec532、Ec533、Ec515は、それぞれ、絶縁層514、金属酸化物層531、金属酸化物層532、金属酸化物層533、絶縁層515の伝導帯下端のエネルギーを示している。
基板510には、例えば、絶縁体基板、半導体基板または導電体基板を用いればよい。絶縁体基板は、例えば、ガラス基板、石英基板、サファイア基板、安定化ジルコニア基板(イットリア安定化ジルコニア基板など)、樹脂基板などである。また、半導体基板は、例えば、シリコン、ゲルマニウムなどの単体半導体基板、または炭化シリコン、シリコンゲルマニウム、ヒ化ガリウム、リン化インジウム、酸化亜鉛、酸化ガリウムからなる化合物半導体基板などである。半導体基板の構造はバルク型でも、SOI(Silicon On Insulator)型でもよい。導電体基板は、例えば、黒鉛基板、金属基板、合金基板(例えば、ステンレス基板)、導電性樹脂基板、金属窒化物を有する基板、金属酸化物を有する基板などである。
導電層522−524は、銅(Cu)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、金(Au)、アルミニウム(Al)、マンガン(Mn)、チタン(Ti)、タンタル(Ta)、ニッケル(Ni)、クロム(Cr)、鉛(Pb)、錫(Sn)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ルテニウム(Ru)、白金(Pt)、イリジウム(Ir)、ストロンチウム(Sr)の低抵抗材料からなる単体、合金、またはこれらを主成分とする化合物を含む導電膜の単層または積層とすることが好ましい。
領域535、536は、例えば、導電層523、524が、金属酸化物層532の酸素を引き抜くことで形成される。酸素の引き抜きは、高い温度で加熱するほど起こりやすい。トランジスタ500の作製工程には、いくつかの加熱工程があることから、領域535、536には酸素欠損が形成される。また、加熱により該酸素欠損のサイトに水素が入りこみ、領域535、536に含まれるキャリア濃度が増加する。その結果、領域535、536が低抵抗化する。
絶縁層511―517は、例えば、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化ガリウム、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化ハフニウム、酸化タンタルなどでなる絶縁膜で形成することができる。絶縁層511−517に求められる特性に合わせて、材料や層構造を決定すればよい。
図31Aはトランジスタ501の上面図である。図31Bは図31Aのx11−x12線断面図であり、図31Cはy11−y12線断面図である。トランジスタ501もトランジスタ500等と同様にs−channel構造のトランジスタである。トランジスタ501には、ゲート電極を構成する導電層521の側面に接して、絶縁層519が設けられている。絶縁層519はトランジスタ501のサイドウォール絶縁層を構成する。
図32にトランジスタの構成の一例を示す。図32Aはトランジスタ502の構成の一例を示す上面図である。図32Bは、図32Aのx11−x12線断面図であり、図32Cはy11−y12線断面図であり、図32Dはy13−y14線断面図である。
トランジスタ500−502は、電荷蓄積層(絶縁層513)を設けない構造とすることができる。あるいは、トランジスタ500−502は、バックゲート電極(導電層522)を設けない構造とすることできる。この場合、絶縁層512、513を設けなくてもよい。
本実施の形態は、酸化物半導体の構造について説明する。酸化物半導体は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体とに分けられる。非単結晶酸化物半導体には、CAAC−OS(c−axis−aligned crystalline oxide semiconductor)、多結晶酸化物半導体、nc−OS(nanocrystalline oxide semiconductor)、擬似非晶質酸化物半導体(a−like OS:amorphous−like oxide semiconductor)および非晶質酸化物半導体等がある。別の観点では、酸化物半導体は、非晶質酸化物半導体と、それ以外の結晶性酸化物半導体とに分けられる。結晶性酸化物半導体には、単結晶酸化物半導体、CAAC−OS、多結晶酸化物半導体およびnc−OS等がある。
CAAC−OSは、c軸配向した複数の結晶部(ペレットともいう。)を有する酸化物半導体の一種である。
CAAC−OSをX線回折(XRD:X−Ray Diffraction)によって解析した場合について説明する。例えば、空間群R−3mに分類されるInGaZnO4の結晶を有するCAAC−OSに対し、out−of−plane法による構造解析を行うと、回折角(2θ)が31°近傍にピークが現れる。このピークがInGaZnO4の結晶の(009)面に帰属されることから、CAAC−OSでは、結晶がc軸配向性を有し、c軸がCAAC−OSの膜を形成する面(被形成面ともいう。)、または上面に略垂直な方向を向いていることが確認できる。なお、2θが31°近傍のピークの他に、2θが36°近傍にもピークが現れる場合がある。2θが36°近傍のピークは、空間群Fd−3mに分類される結晶構造に起因する。そのため、CAAC−OSは、該ピークを示さないことが好ましい。
例えば、InGaZnO4の結晶を有するCAAC−OSに対し、CAAC−OSの被形成面に平行にプローブ径が300nmの電子線を入射させると、回折パターン(制限視野電子回折パターンともいう。)が現れる場合がある。この回折パターンには、InGaZnO4の結晶の(009)面に起因するスポットが含まれる。したがって、電子回折によっても、CAAC−OSに含まれるペレットがc軸配向性を有し、c軸が被形成面または上面に略垂直な方向を向いていることがわかる。試料面に垂直にプローブ径が300nmの電子線を入射させると、リング状の回折パターンが現れる。したがって、プローブ径が300nmの電子線を用いた電子回折によっても、CAAC−OSに含まれる結晶部のa軸およびb軸は配向性を有さないことが確認できる。
透過型電子顕微鏡(TEM:Transmission Electron Microscope)によって、CAAC−OSの明視野像と回折パターンとの複合解析像(TEM像ともいう。)を観察すると、複数の結晶部を確認することができる。一方、高分解能TEM像であっても結晶部同士の境界、即ち結晶粒界(グレインバウンダリーともいう。)を明確に確認することができない場合がある。そのため、CAAC−OSは、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。高分解能TEM像の観察には、球面収差補正(Spherical Aberration Corrector)機能を用いることが好ましい。ここでは、球面収差補正機能を用いた高分解能TEM像を、Cs補正高分解能TEM像と呼ぶ。
(XRD)
例えば、nc−OSに対し、out−of−plane法による構造解析を行うと、配向性を示すピークが現れない。即ち、nc−OSの結晶は配向性を有さない。例えば、InGaZnO4の結晶を有するnc−OSを薄片化し、厚さが34nmの領域に対し、被形成面に平行にプローブ径が50nmの電子線を入射させると、リング状の回折パターンが観測される。また、同じ試料にプローブ径が1nmの電子線を入射させると、リング状の領域内に複数のスポットが観測される。したがって、nc−OSは、プローブ径が50nmの電子線を入射させることでは秩序性が確認されないが、プローブ径が1nmの電子線を入射させることでは秩序性が確認される。
nc−OSの断面のCs補正高分解能TEM像では、結晶部を確認することのできる領域と、明確な結晶部を確認することのできない領域とを確認することができる。nc−OSに含まれる結晶部は、1nm以上10nm以下の大きさであり、特に1nm以上3nm以下の大きさであることが多い。なお、結晶部の大きさが10nmより大きく100nm以下である酸化物半導体を微結晶酸化物半導体(microcrystalline oxide semiconductor)と呼ぶことがある。高分解能TEM像では、nc−OSの結晶粒界を明確に確認できない場合がある。なお、ナノ結晶は、CAAC−OSにおける結晶部と起源を同じくする可能性がある。そのため、以下ではnc−OSの結晶部をペレットと呼ぶ場合がある。
a−like OSは、nc−OSと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する酸化物半導体である。例えば、a−like OSの構造の規則性は、nc−OSよりも低いが、非晶質酸化物半導体よりも高い。a−like OSは、nc−OSおよびCAAC−OSと比べて、不安定な構造である。また、a−like OSは、nc−OSおよびCAAC−OSと比べて密度が低い。これは、a−like OSが鬆(低密度領域)を有するためである。鬆は高分解能断面TEM像によって確認することができる。
10:ダイナミックロジック回路、14:ダイナミックロジック回路、15:ダイナミックロジック回路、20:回路、30:回路、31:回路、50−53:回路、55:ダイナミックロジック回路、100:ロジック回路、101:ロジック回路、110:ロジック回路、111:ロジック回路、112:ロジック回路、113:ロジック回路、
300:記憶装置、301:メモリセルアレイ、302:行デコーダ、303:列デコーダ、304:列ドライバ、305:入出力回路、306:制御回路、309−315:メモリセル、320:AND回路、340:基板、341−343:絶縁層、350−352:層、
400:撮像装置、401:画素部、402:行ドライバ、403:列ドライバ、410:画素回路、415:周辺回路、420:半導体基板、421:Siトランジスタ、422:OSトランジスタ、423:導電層、
500−502:トランジスタ、510:基板、511−519:絶縁層、521−524:導電層、530−533:金属酸化物層、535:領域、536:領域、541−544:領域、
800:表示装置、811:CPU、812:制御回路、813:電源回路、814:画像処理回路、815:記憶装置、820:表示パネル、821:素子基板、822:素子基板、830:画素部、831:画素、832:画素、833:画素、835:周辺回路、836:ゲートドライバ、836E:回路、836W:回路、837:ソースドライバ、851:基板、852:基板、853:端子部、855:IC、871:上部カバー、872:下部カバー、873:タッチパネルユニット、874:バックライトユニット、875:光源、876:フレーム、877:プリント基板、878:バッテリ、880:FPC、881:FPC、
1030:CPU、1031:CPUコア、1032:パワーコントローラ、1033:パワースイッチ、1034:キャッシュ、1035:バスインターフェース、1036:デバッグインターフェース、1037:制御装置、1038:PC、1039:パイプラインレジスタ、1040:パイプラインレジスタ、1041:ALU、1042:レジスタファイル、1043:パワーマネージメントユニット、1044:周辺回路、1045:データバス、1080:RFIC、1081:アンテナ、1082:整流回路、1083:定電圧回路、1084:復調回路、1085:変調回路、1086:ロジック回路、1087:記憶装置、1088:ROM、1090:通信器、1091:アンテナ、1092:無線信号、1700:電子部品、1701:リード、1702:プリント基板、1703:回路部、1704:回路基板、
2500:表示パネル、2501:表示パネル、2502t:トランジスタ、2503c:容量素子、2503t:トランジスタ、2504:ゲートドライバ、2505:画素部、2506:端子部、2509:FPC、2510:基板、2510a:絶縁層、2510b:可撓性基板、2510c:接着層、2511:配線、2518:導電体、2519:端子、2521:絶縁層、2522:絶縁層、2523:画素電極、2524:対向電極、2528:隔壁、2529:液晶層、2530:スペーサ、2531:絶縁層、2550:EL素子、2551:光、2552:液晶素子、2560:封止層、2567:着色層、2568:遮光層、2570:基板、2570a:絶縁層、2570b:可撓性基板、2570c:接着層、
5100:情報端末、5101:筐体、5102:表示部、5103:操作キー、5200:情報端末、5201:筐体、5202:表示部、5203:バンド、5204:バックル、5205:操作ボタン、5206:入出力端子、5207:アイコン、5300:携帯型ゲーム機、5301:筐体、5302:筐体、5303:表示部、5304:表示部、5305:マイクロホン、5306:スピーカー、5307:操作キー、5308:スタイラス、5600:電子書籍端末、5601:筐体、5602:表示部、5700:情報端末、5701:筐体、5702:表示部、5900:情報端末、5901:筐体、5902:表示部、5903:カメラ、5904:スピーカー部、5905:ボタン、5906:外部接続部、5907:マイク、
8000:表示装置、8001:筐体、8002:表示部、8003:スピーカー部、8004:電子部品、8100:照明装置、8101:筐体、8102:光源、8103:電子部品、8104:天井、8105:側壁、8106:床、8107:窓、8200:室内機、8201:筐体、8202:送風口、8203:電子部品、8204:室外機、8300:電気冷凍冷蔵庫、8301:筐体、8302:冷蔵室用扉、8303:冷凍室用扉、8304:電子部品、8500:電気自動車、8502:制御回路、8503:駆動装置、8504:プロセッシングユニット
Claims (8)
- ダイナミックロジック回路と、
第1容量素子と、を有するロジック回路であって、
前記ダイナミックロジック回路は評価回路を有し、
前記第1容量素子の第1端子は前記ダイナミックロジック回路の第1出力ノードと直接接続され、
前記第1容量素子の第2端子は前記ロジック回路の第2出力ノードと電気的に接続され、
前記評価回路は直列に接続された複数のトランジスタを有し、
前記複数のトランジスタは同じ導電型を有し、
前記複数のトランジスタはそれぞれバックゲートを有し、
前記複数のトランジスタのフロントゲートには、複数の各ビットに対応する第1信号がそれぞれ入力され、
前記複数のトランジスタの前記バックゲートには、複数の第2信号がそれぞれ入力され、
前記複数のトランジスタの一のソースまたはドレインは前記第1出力ノードと直接接続されるロジック回路。 - 請求項1において、
前記複数のトランジスタの一の前記バックゲートに入力される前記第2信号は、前記複数のトランジスタの一のフロントゲートに入力される前記第1信号と同じであるロジック回路。 - 請求項1において、
前記複数のトランジスタの一の前記バックゲートに入力される前記第2信号は、前記複数のトランジスタの一のフロントゲートに入力される前記第1信号と異なるロジック回路。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
前記複数のトランジスタのチャネル形成領域は酸化物半導体を有するロジック回路。 - ダイナミックロジック回路と、
第1容量素子と、
第1トランジスタと、を有するロジック回路であって、
前記ダイナミックロジック回路は評価回路を有し、
前記第1容量素子の第1端子は前記ダイナミックロジック回路の第1出力ノードと直接接続され、
前記第1容量素子の第2端子は前記ロジック回路の第2出力ノードと電気的に接続され、
前記評価回路は直列に接続された複数の第2トランジスタを有し、
前記第1トランジスタ、及び前記複数の第2トランジスタは同じ導電型を有し、
前記第1トランジスタはダイオード接続され、
前記第1トランジスタの第1端子は前記第2出力ノードと電気的に接続され、
前記第1トランジスタの第2端子には第1電圧が入力され、
前記第1トランジスタはバックゲートを有し、
前記第1トランジスタの前記バックゲートには第1信号が入力され、
前記複数の第2トランジスタはそれぞれバックゲートを有し、
前記複数の第2トランジスタのフロントゲートには、複数の各ビットに対応する第2信号がそれぞれ入力され、
前記複数の第2トランジスタの前記バックゲートには、複数の第3信号がそれぞれ入力され、
前記複数の第2トランジスタの一のソースまたはドレインは前記第1出力ノードと直接接続されるロジック回路。 - 請求項5において、
前記複数の第2トランジスタの一の前記バックゲートに入力される前記第3信号は、前記複数の第2トランジスタの一のフロントゲートに入力される前記第2信号と同じであるロジック回路。 - 請求項5において、
前記複数の第2トランジスタの一の前記バックゲートに入力される前記第3信号は、前記複数の第2トランジスタの一のフロントゲートに入力される前記第2信号と異なるロジック回路。 - 請求項5乃至請求項7のいずれか一において、
前記第1トランジスタ、及び前記複数の第2トランジスタのチャネル形成領域は酸化物半導体を有するロジック回路。
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