JP5897454B2 - 電子部品製造用の切断装置及び切断方法 - Google Patents
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Description
(1)基板と封止樹脂とのうち一方からなる最下層がステージに固定された状態において、基板と封止樹脂とのうち他方からなる最上層を回転刃が境界線に重なって切削することができる第1の位置に回転刃がつくまで、ステージとスピンドルとを相対的に移動させる。
(2)回転刃が第1の位置についた状態において、回転刃の外周部が最上層の表面から内側に向かって切り進むことができる一方向に回転刃を回転させる。
(3)回転刃において最上層に接触することができる第1の接触部に向かってノズルから切削水を吐出する。
(4)動作 (2)及び (3)の後に、ステージとスピンドルとを第1の方向に相対的に移動させて回転刃が最上層を切削する。
(5)最上層が切削された後に、最下層を回転刃が境界線に重なって切削することができ、かつ、回転刃の外周部が最下層の表面から内側に向かって切り進むことができる第2の位置に回転刃がつくまで、ステージとスピンドルとを相対的に移動させる。
(6)回転刃において最下層に接触することができる第2の接触部に向かってノズルから切削水を吐出する。
(7)動作 (5)及び (6)の後に、ステージとスピンドルとを第1の方向とは逆の第2の方向に相対的に移動させて回転刃が最下層を切削することによって、樹脂封止体を切断する。
(1)回転刃が、最上層と中間層とを第1の方向に沿って切削した後に、最下層を第2の方向に沿って切削する。
(2)回転刃が、最上層を第1の方向に沿って切削した後に、中間層と最下層とを第2の方向に沿って切削する。
(3)回転刃が、最上層と中間層とを第1の方向に沿って切削した後に、中間層と最下層とを第2の方向に沿って切削する。
図2を参照して、本発明の実施例1に係る電子部品製造用の切断方法を説明する。本実施例によれば、切断対象物であって2層構造を有する樹脂封止体1を2段階に分けて切断する。制御部CTLは、少なくとも、回転刃9の回転方向及び回転数と、ステージとスピンドルとの相対的な移動方向及び移動速度とを制御する、制御手段である。
図3を参照して、本発明の実施例1に係る電子部品製造用の切断方法を説明する。本実施例によれば、切断対象物であって2層構造を有する樹脂封止体1を2段階に分けて切断する。本実施例と実施例1との相違は、樹脂封止体1がステージ8の上面に固定される態様がZ方向において逆であるという点である。
図4を参照して、本発明の実施例3に係る電子部品製造用の切断方法を説明する。本実施例によれば、切断対象物である樹脂封止体13を3段階に分けて切断する。本実施例と実施例1との相違は、樹脂封止体13が3層構造を有することである。図4に示されるように、樹脂封止体13は、基板2(本実施例では最下層)と、反射用部材14(本実施例では中間層)と、封止樹脂4(本実施例では最上層)とからなる3層構造を有する。
2 基板(最上層、最下層)
3 領域
4 封止樹脂(最下層、最上層)
5 境界線
6 電極部
7 粘着テープ
8 ステージ
9 回転刃
10 回転軸
11 ノズル
12 切削水
14 反射用部材(中間層)
15 凹部
16 ダイボンディング用パッド
17 ワイヤボンディング用パッド
18、20 貫通配線
19、21 外部端子
22 発光素子
23 ワイヤ
24 レンズ部
25 連通部
A、B、C 位置
CTL 制御部
v 送り速度
Claims (10)
- 複数の領域を有する基板と該複数の領域にそれぞれ装着された複数のチップ状部品と封止樹脂とを有する樹脂封止体を前記複数の領域の境界線に沿って切断して複数の電子部品を製造する際に使用され、前記樹脂封止体が固定されるステージと、回転軸を有するスピンドルと、前記回転軸に固定された回転刃と、前記ステージと前記スピンドルとを相対的に移動させる駆動機構と、前記駆動機構による移動と前記回転軸の回転とを少なくとも制御する制御部とを備える電子部品製造用の切断装置であって、
前記回転刃と前記樹脂封止体とが接触する部分に切削水を吐出するノズルを備え、
前記制御部は次の動作が実行されるように制御することを特徴とする電子部品製造用の切断装置。
(1)前記基板と前記封止樹脂とのうち一方からなる最下層が前記ステージに固定された状態において、前記基板と前記封止樹脂とのうち他方からなる最上層を前記回転刃が前記境界線に重なって切削することができる第1の位置に前記回転刃がつくまで、前記ステージと前記スピンドルとを相対的に移動させる。
(2)前記回転刃が前記第1の位置についた状態において、前記回転刃の外周部が前記最上層の表面から内側に向かって切り進むことができる一方向に前記回転刃を回転させる。
(3)前記回転刃において前記最上層に接触することができる第1の接触部に向かって前記ノズルから前記切削水を吐出する。
(4)前記動作 (2)及び (3)の後に、前記ステージと前記スピンドルとを第1の方向に相対的に移動させて前記回転刃が少なくとも前記最上層を切削する。
(5)少なくとも前記最上層が切削された後に、前記最下層を前記回転刃が前記境界線に重なって切削することができ、かつ、前記回転刃の外周部が前記最下層の表面から内側に向かって切り進むことができる第2の位置に前記回転刃がつくまで、前記ステージと前記スピンドルとを相対的に移動させる。
(6)前記回転刃において前記最下層に接触することができる第2の接触部に向かって前記ノズルから前記切削水を吐出する。
(7)前記動作 (5)及び (6)の後に、前記ステージと前記スピンドルとを前記第1の方向とは逆の第2の方向に相対的に移動させて前記回転刃が少なくとも前記最下層を切削することによって、前記樹脂封止体を切断する。 - 請求項1に記載された電子部品製造用の切断装置において、
前記回転刃が有する1つの面の側において前記ノズルが単数個設けられ、
前記第1の接触部と前記第2の接触部とに向かって前記ノズルが同時に前記切削水を吐出することを特徴とする電子部品製造用の切断装置。 - 請求項1に記載された電子部品製造用の切断装置において、
前記回転刃が有する1つの面の側において前記ノズルが単数個設けられ、
前記第1の接触部の近傍と前記第2の接触部の近傍とに前記ノズルが移動することを特徴とする電子部品製造用の切断装置。 - 請求項1に記載された電子部品製造用の切断装置において、
前記回転刃が有する1つの面の側において前記ノズルが複数個設けられ、
前記複数個のノズルのうち一部分のノズルが前記第1の接触部に向かって前記切削水を吐出し、
前記複数個のノズルのうち他のノズルが前記第2の接触部に向かって前記切削水を吐出することを特徴とする電子部品製造用の切断装置。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載された電子部品製造用の切断装置において、
前記樹脂封止体は中間層を有し、
前記制御部は次の3つの動作のうちいずれか1つの動作が実行されるように制御することを特徴とする電子部品製造用の切断装置。
(1)前記回転刃が、前記最上層と前記中間層とを前記第1の方向に沿って切削した後に、前記最下層を前記第2の方向に沿って切削する。
(2)前記回転刃が、前記最上層を前記第1の方向に沿って切削した後に、前記中間層と前記最下層とを前記第2の方向に沿って切削する。
(3)前記回転刃が、前記最上層と前記中間層とを前記第1の方向に沿って切削した後に、前記中間層と前記最下層とを前記第2の方向に沿って切削する。 - 複数の領域を有する基板と該複数の領域にそれぞれ装着された複数のチップ状部品と封止樹脂とを有する樹脂封止体を前記複数の領域の境界線に沿って切断して複数の電子部品を製造する電子部品製造用の切断方法であって、
前記基板と前記封止樹脂とのうち一方からなる最下層を、スピンドルに対向して配置されたステージの側に向けて、前記樹脂封止体を前記ステージに固定する工程と、
前記スピンドルが有する回転軸に取り付けられた回転刃が前記基板と前記封止樹脂とのうち他方からなる最上層を前記境界線に重なって切削することができる第1の位置につくまで、前記ステージと前記スピンドルとを相対的に移動させる工程と、
前記回転刃が前記第1の位置についた状態において、前記回転刃の外周部が前記最上層の表面から内側に向かって切り進むことができる一方向に前記回転刃を回転させる工程と、
前記回転刃において前記最上層に接触することができる第1の接触部に向かって切削水を吐出する工程と、
前記ステージと前記スピンドルとを第1の方向に相対的に移動させて前記回転刃が少なくとも前記最上層を切削する工程と、
少なくとも前記最上層を切削した後に、前記最下層を前記回転刃が前記境界線に重なって切削することができ、かつ、前記回転刃の外周部が前記最下層の表面から内側に向かって切り進むことができる第2の位置に前記回転刃がつくまで、前記ステージと前記スピンドルとを相対的に移動させる工程と、
前記回転刃において前記最下層に接触することができる第2の接触部に向かって前記切削水を吐出する工程と、
前記ステージと前記スピンドルとを前記第1の方向とは逆の第2の方向に相対的に移動させて前記回転刃が少なくとも前記最下層を切削することによって、前記樹脂封止体を切断する工程とを備えることを特徴とする電子部品製造用の切断方法。
- 請求項6に記載された電子部品製造用の切断方法において、
前記切削水を吐出する工程では、前記回転刃が有する1つの面の側において固定して設けられた単数個のノズルから切削水を吐出することを特徴とする電子部品製造用の切断方法。 - 請求項6に記載された電子部品製造用の切断方法において、
前記切削水を吐出する工程では、前記回転刃が有する1つの面の側において移動可能に設けられた単数個のノズルから切削水を吐出するとともに、
前記単数個のノズルを移動させる工程を備えることを特徴とする電子部品製造用の切断方法。 - 請求項6に記載された電子部品製造用の切断方法において、
前記第1の接触部に向かって前記切削水を吐出する工程では、前記回転刃が有する1つの面の側において設けられた複数個のノズルのうち一部分のノズルが前記切削水を吐出し、
前記第2の接触部に向かって前記切削水を吐出する工程では、前記複数個のノズルのうち他のノズルが前記切削水を吐出することを特徴とする電子部品製造用の切断方法。 - 請求項6〜9のいずれか1つに記載された電子部品製造用の切断方法において、
前記樹脂封止体は中間層を有し、
前記最上層を切削する工程において前記中間層を切削すること、又は、前記樹脂封止体を切断する工程において前記中間層を切削することのうち少なくともいずれか1つを実行することを特徴とする電子部品製造用の切断方法。
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