JP2009196029A - スピンドルユニット - Google Patents
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Abstract
【課題】エアーベアリングによって回転軸が支持される構成のスピンドルユニットにおいて、噴出されて使用済みとなったエアーが高温となることによりスピンドルユニットに連結されたコードやチューブが劣化するのを防止する。
【解決手段】回転軸20の先端部に切削ブレードが装着され後端部に回転駆動部22が連結され回転軸20がスラストベアリング212及びラジアルベアリング214から噴出されるエアーによって回転可能に支持された構成のスピンドルユニット2において、噴出され回収したエアーを回転駆動部22の後部側で開口する排気口219から排気することによりエアーが高温とならないようにしてコード22cやチューブ216aの劣化を防止する。
【選択図】図4
【解決手段】回転軸20の先端部に切削ブレードが装着され後端部に回転駆動部22が連結され回転軸20がスラストベアリング212及びラジアルベアリング214から噴出されるエアーによって回転可能に支持された構成のスピンドルユニット2において、噴出され回収したエアーを回転駆動部22の後部側で開口する排気口219から排気することによりエアーが高温とならないようにしてコード22cやチューブ216aの劣化を防止する。
【選択図】図4
Description
本発明は、切削装置に搭載されるスピンドルユニットに関するものである。
ウェーハ状のものを切削する切削ブレードを有する切削装置においては、回転軸の先端部に切削ブレードが装着されると共に、回転軸の後端部にモータ等の回転駆動部が連結され、回転駆動部によって回転駆動されて回転軸が回転するのに伴い切削ブレードも回転する構成となっている。
切削ブレードが装着される回転軸は、ハウジングによって回転可能に支持されている。ハウジングは、回転軸をスラスト方向に支持するスラストベアリングとラジアル方向に支持するラジアルベアリングとを備えており、スラストベアリング及びラジアルベアリングから噴出されるエアーによって、回転軸を非接触の状態で支持している(例えば特許文献1、2参照)。
しかし、スラストベアリング及びラジアルベアリングから噴出された使用済みのエアーは、駆動部に向けて流通させることにより駆動部の冷却に使用されており、駆動部を通過し排出されるエアーは、その温度が例えば80℃を超えるような高温となるため、スピンドルユニットに連結されたコードやチューブ等が劣化するという問題がある。
そこで、本発明が解決しようとする課題は、エアーベアリングによって回転軸が支持される構成のスピンドルユニットにおいて、噴出されて使用済みとなったエアーが高温となることによりスピンドルユニットに連結されたコードやチューブが劣化するのを防止することである。
本発明は、ウェーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウェーハを切削する切削ブレードを有する切削手段とを少なくとも備えた切削装置において、切削手段を構成するスピンドルユニットに関するもので、スピンドルユニットは、先端部に切削ブレードが装着される回転軸と、回転軸を回転可能に支持するハウジングと、回転軸を回転駆動する回転駆動部とを備え、ハウジングは、回転軸のスラスト方向にエアーを噴出する噴出口を有し噴出口から噴出されるエアーによって回転軸を支持するスラストベアリングと、回転軸のラジアル方向にエアーを噴出する噴出口を有し噴出口から噴出されるエアーによって回転軸を支持するラジアルベアリングと、スラストベアリング及びラジアルベアリングにエアーを送り込むエアー供給口と、スラストベアリング及びラジアルベアリングの噴出口から噴出した使用済みのエアーを回収するエアー回収部と、エアー回収部と連通し回転駆動部の後部側で開口する排気口と、ハウジングからエアーを排出する排出口とを備える。
本発明は、回転駆動部の後部側にエアー回収部と連通する排気口を設け、回収したエアーが回転駆動部を避けて排気されるようにしたことにより、回転駆動部が高温となってもエアーが加熱されないため、スピンドルユニットの後部側に連結されたコードやチューブの劣化を防止することができる。
図1に示す切削装置1は、切削対象のウェーハを保持してX軸方向に移動可能なチャックテーブル10と、ウェーハWを切削する切削手段11と、チャックテーブル10をX軸方向に駆動するX軸送り手段12と、切削手段11をY軸方向に駆動するY軸送り手段13と、切削手段11をZ軸方向に駆動するZ軸送り手段14とを備えている。
切削手段11は、スピンドルユニット2と、スピンドルユニット2に取り付けられチャックテーブル10に保持されたウェーハを切削する切削ブレード110とを備えている。また、切削手段11には、ウェーハの切削すべき位置を検出して切削ブレード110との位置合わせを行うためのアライメント手段15が固定され、アライメント手段15は切削手段11と連動する構成となっている。アライメント手段15には撮像部150を備えており、撮像部150が取得した画像と予め記憶してあるウェーハの画像とのマッチングによって切削すべき位置を検出することができる。撮像部150は、切削ブレード110のX軸方向の延長線上に位置している。
X軸送り手段12は、X軸方向の軸心を有するボールネジ120と、ボールネジ120に平行に配設された一対のガイドレール121と、ボールネジ120の一端に連結されたモータ122と、図示しない内部のナットがボールネジ120に螺合すると共に下部がガイドレール121に摺接するスライド部123と、スライド部123に固定されチャックテーブル10を所望角度回転させるパルスモータを内部に備えた駆動部124とから構成され、モータ122に駆動されてボールネジ120が回動するのに伴い、スライド部123がガイドレール121上をX軸方向に摺動し、これに伴いチャックテーブル10もX軸方向に移動する構成となっている。
Y軸送り手段13は、Y軸方向の軸心を有するボールネジ130と、ボールネジ130に平行に配設された一対のガイドレール131と、ボールネジ130の一端に連結されたパルスモータ132と、図示しない内部のナットがボールネジ130に螺合すると共に下部がガイドレール131に摺接するスライド部133とから構成され、パルスモータ132に駆動されてボールネジ130が回動するのに伴い、スライド部133がガイドレール131上をY軸方向に摺動し、これに伴い切削手段11もY軸方向に移動する構成となっている。
Z軸送り手段14は、Z軸方向の軸心を有するボールネジ140と、ボールネジ140に平行に配設された一対のガイドレール141と、ボールネジ140の一端に連結されたパルスモータ142と、図示しない内部のナットがボールネジ140に螺合すると共に側部がガイドレール141に摺接し切削手段11を支持する支持部143とから構成され、パルスモータ142に駆動されてボールネジ140が回動するのに伴い支持部143がガイドレール141にガイドされてZ軸方向に昇降し、これに伴い切削手段11もZ軸方向に昇降する構成となっている。
図2に示すように、切削ブレード110は、中心部に貫通孔110aが形成された基台110bと、基台110bの周縁部に固着された切り刃110cとから構成される。
切削手段11を構成するスピンドルユニット2は、Y軸方向の軸心を有する回転軸20がハウジング21によって回転可能に支持されて構成されている。回転軸20の先端部には、テーパー面を有するフランジ装着部200と、雄ネジ201とが形成されている。
フランジ装着部200には、固定フランジ111が装着される。この固定フランジ111には、切削ブレード110の基台110bを当接させる当接部111aと、切削ブレード110の貫通孔110aを嵌合させる嵌合部111bと、嵌合部111bの先端部に形成された雄ネジ111cと、フランジ装着部200に挿入するための貫通孔111dとが形成されている。図示していないが、貫通孔111dの内周面は、フランジ装着部200のテーパー面に対応したテーパー面に形成されている。
切削ブレード110を回転軸20の先端部に装着してスピンドルユニット2と一体化させる際には、回転軸20に固定フランジ111を装着し、ナット113を雄ネジ201に螺着させて固定フランジ111を回転軸20に固定し、固定フランジ111の嵌合部111bに切削ブレード110の貫通孔110aを挿入して嵌合させ、切削ブレード110の基台110bを当接部111aに当接させる。そして、雄ネジ111cにナット112を螺着させると、切削ブレード110が固定フランジ111を介して回転軸20に固定される。
このようにして切削ブレード110が回転軸20の先端部に装着され、更に、図3に示すように、ハウジング21の端部にブレードカバー114を固定すると、切削ブレード110の上方がブレードカバー114によって覆われた状態となる。ブレードカバー114には、切削ブレード110と被切削物との接触部位に向けて切削水を吐出する一対の切削水ノズル114aが配設されており、一対の切削水ノズル114aによって切削ブレード110が両側から挟まれた状態となる。
図4に示すように、スピンドルユニット2を構成する回転軸20の前部側(切削ブレード110が装着される側、図4における左側)には、軸心方向に直交する平面を有する円板状のスラストプレート202が形成されている。また、回転軸20の後部側には、ロータ22aが連結されており、ロータ22aとロータ22aを回転させるステータ22bとで回転駆動部22が構成される。回転駆動部22は、ハウジング21の内周面21aと後部壁21bとに囲まれたスピンドルユニット2の後部側の空間に位置している。
ハウジング21はほぼ円筒状に形成されており、スラストプレート202が収容される位置におけるハウジング21の内径は、スラストプレート202の外径に対応させて拡径されている。ハウジング21において、スラストプレート202の両平面に対面する位置には、スラストプレート202のそれぞれの平面に向けてエアーを噴出する噴出口210、211が環状に複数形成されており、噴出口210と噴出口211とで、回転軸20をスラスト方向に支持するスラストベアリング212が構成されている。
ハウジング21の内周面21a、すなわち回転軸20の側面に対面する面には、回転軸20の軸心に向けてエアーを噴出する噴出口213が複数形成されており、これらの噴出口213は、噴出されるエアーによって回転軸20をラジアル方向に支持するラジアルベアリング214を構成している。
スラストベアリング212を構成する噴出口210、211及びラジアルベアリング214を構成する噴出口213は、ハウジング21の内部に形成されたエアー流路215を介してエアー供給口216に連通しており、エアー供給口216にはエアー供給用のチューブ216aが連結されている。そして、チューブ216aから導入されたエアーがエアー流路215を通って噴出口210、211、213から噴出されることにより、回転軸20と非接触の状態で回転軸20を回転可能に支持している。すなわち、スラストベアリング212及びラジアルベアリング214に対してエアー供給口216からエアーが送り込まれる構成となっている。
ハウジング21の内周面21aには、スラストベアリング212を構成する噴出口210、211及びラジアルベアリング214を構成する213から噴出された使用済みのエアーを回収するエアー回収部217が形成されている。このエアー回収部217は、ハウジング21の内部に形成された回収路218を介して排気口219と連通している。この排気口219は、内周面21aのうち回転駆動部22の後部側において開口している。
ハウジング21の後部壁21bには、スピンドルユニット2に連結され回転駆動部22に供給する電源線等からなるコード22cを通すための開口部220が形成されていると共に、排気口219から排気されたエアーをスピンドルユニット2の外部に排出する排出口221が形成されている。
図1に示したチャックテーブル10に保持されたウェーハを切削する際には、切削ブレード110を回転させるために、図4に示した回転駆動部22によって回転軸20を回転駆動する。このとき、噴出口210、211、213からは常にエアーが噴出されており、このエアーの圧力によって回転軸20とハウジング21の内周面21aとの間の間隔は一定に保たれている。
噴出口210、211、213から噴出され使用済みとなったエアーは、エアー回収部217において回収され、回収路218を通って排気口219に達する。そしてそのエアーは、排出口221から排出される。このように、使用済みのエアーが回転駆動部22を通らずに排出口221を介してハウジング21から排出される。したがって、回転駆動部22が高温となっても、エアーが加熱されずに外部に排出されるため、スピンドルユニット2に連結された周辺のコード22cやチューブ216aが加熱されることがなく、コードやチューブの劣化を防止することができる。
なお、図5に示すスピンドルユニット2aのように、排気口222が排出口を兼ねた構成としてもよい。この排気口222も、図4に示した排気口219と同様に、回転駆動部22の後部側において開口している。なお、スピンドルユニット2aにおけるその他の構成については、図4に示したスピンドルユニット2と同様であるため、図4と同一の符号を付し、説明を省略する。
1:切削装置
10:チャックテーブル
11:切削手段
110:切削ブレード 110a:貫通孔 110b:基台 110c:切り刃
111:固定フランジ 111a:当接部 111b:嵌合部 111c:雄ネジ
111d:貫通孔
112:ナット 113:ナット
114:ブレードカバー 114a:切削水ノズル
12:X軸送り手段
120:ボールネジ 121:ガイドレール 122:モータ 123:スライド部
124:駆動部
13:Y軸送り手段
130:ボールネジ 131:ガイドレール 132:パルスモータ
133:スライド濡
14:Z軸送り手段
140:ボールネジ 141:ガイドレール 142:パルスモータ 143:支持部
15:アライメント手段
150:撮像部
2、2a:スピンドルユニット
20:回転軸
200:フランジ装着部 201:雄ネジ
202:スラストプレート
21:ハウジング 21a:内周面 21b:後部壁
210,211:噴出口 212:スラストベアリング 213:噴出口
214:ラジアルベアリング 215:エアー流路
216:エアー供給口 216a:チューブ 217:回収部
218:回収路 219:排気口 220:開口部 221:排出口
222:排気口(排出口)
22:回転駆動部 22a:ロータ 22b:ステータ 22c:コード
10:チャックテーブル
11:切削手段
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111d:貫通孔
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12:X軸送り手段
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14:Z軸送り手段
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2、2a:スピンドルユニット
20:回転軸
200:フランジ装着部 201:雄ネジ
202:スラストプレート
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222:排気口(排出口)
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Claims (1)
- ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを切削する切削ブレードを有する切削手段とを少なくとも備えた切削装置において、該切削手段を構成するスピンドルユニットであって、
該スピンドルユニットは、先端部に切削ブレードが装着される回転軸と、該回転軸を回転可能に支持するハウジングと、該回転軸を回転駆動する回転駆動部とを備え、
該ハウジングは、該回転軸のスラスト方向にエアーを噴出する噴出口を有し該噴出口から噴出されるエアーによって該回転軸を支持するスラストベアリングと、該回転軸のラジアル方向にエアーを噴出する噴出口を有し該噴出口から噴出されるエアーによって該回転軸を支持するラジアルベアリングと、該スラストベアリング及び該ラジアルベアリングにエアーを送り込むエアー供給口と、該スラストベアリング及び該ラジアルベアリングの噴出口から噴出した使用済みのエアーを回収するエアー回収部と、該エアー回収部と連通し該回転駆動部の後部側で開口する排気口と、該ハウジングからエアーを排出する排出口と
を備えたスピンドルユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008039895A JP2009196029A (ja) | 2008-02-21 | 2008-02-21 | スピンドルユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008039895A JP2009196029A (ja) | 2008-02-21 | 2008-02-21 | スピンドルユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009196029A true JP2009196029A (ja) | 2009-09-03 |
Family
ID=41140139
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008039895A Pending JP2009196029A (ja) | 2008-02-21 | 2008-02-21 | スピンドルユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009196029A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011214605A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Disco Corp | スピンドルアセンブリ |
CN103855058A (zh) * | 2012-12-03 | 2014-06-11 | 东和株式会社 | 电子元件制造装置及制造方法 |
CN107088971A (zh) * | 2016-02-17 | 2017-08-25 | 株式会社迪思科 | 加工装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000130438A (ja) * | 1998-10-23 | 2000-05-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | エアースピンドルユニット |
JP2004190739A (ja) * | 2002-12-10 | 2004-07-08 | Ntn Corp | 非接触軸受スピンドル装置の給気構造 |
-
2008
- 2008-02-21 JP JP2008039895A patent/JP2009196029A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000130438A (ja) * | 1998-10-23 | 2000-05-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | エアースピンドルユニット |
JP2004190739A (ja) * | 2002-12-10 | 2004-07-08 | Ntn Corp | 非接触軸受スピンドル装置の給気構造 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011214605A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Disco Corp | スピンドルアセンブリ |
CN103855058A (zh) * | 2012-12-03 | 2014-06-11 | 东和株式会社 | 电子元件制造装置及制造方法 |
JP2014108491A (ja) * | 2012-12-03 | 2014-06-12 | Towa Corp | 電子部品製造用の切断装置及び切断方法 |
CN103855058B (zh) * | 2012-12-03 | 2016-09-07 | 东和株式会社 | 电子元件制造装置及制造方法 |
CN107088971A (zh) * | 2016-02-17 | 2017-08-25 | 株式会社迪思科 | 加工装置 |
KR20170096958A (ko) * | 2016-02-17 | 2017-08-25 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 장치 |
KR102485790B1 (ko) * | 2016-02-17 | 2023-01-05 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 장치 |
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Legal Events
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A977 | Report on retrieval |
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