JP5795481B2 - フォトリソグラフィパターンを形成する方法 - Google Patents
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Description
さらなる形態に従って、本明細書に記載される方法によって形成された電子デバイスが提供される。
さらなる形態に従って、コーティングされた基体が提供される。コーティングされた基体は、パターン形成される1以上の層を基体表面上に含む基体;酸により切断可能な基を含む樹脂と酸発生剤とを含むフォトレジスト組成物であって、前記パターン形成される1以上の層上のフォトレジスト組成物の露光された層;並びに、フォトレジスト組成物層の露光された層と接触する現像剤溶液であって、2−ヘプタノンおよび/または5−メチル−2−ヘキサノンを含む現像剤溶液;を含む。
本発明は、ここで、本発明に従ったネガ現像によってフォトリソグラフィパターンを形成するための第1の典型的なプロセスフローを示す図1A−Eを参照して説明される。
図1Aは様々な層およびフィーチャを含むことができる基体100の断面を示す。基体は半導体、例えば、シリコン、または化合物半導体(例えば、III−V、もしくはII−VI)、ガラス、石英、セラミック、銅などの材料からなることができる。典型的には、基体は単結晶シリコンのような半導体ウェハ、または化合物半導体ウェハであり、基体表面上に形成された1以上の層およびパターン形成されたフィーチャを有することができる。パターン形成される1以上の層102は基体100上に提供されうる。場合によっては、例えば、基体材料に溝を形成することが望まれる場合には、下地ベース基体材料自体がパターン形成されることができる。ベース基体材料自体をパターン形成する場合には、そのパターンは基体の層に形成されるとみなされるものとする。
テルクリーントラックリシウス(TEL CLEAN TRACK商標LITHIUS商標)i+コーター上で、300mmシリコンウェハがAR商標40A反射防止材(ロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズ)でスピンコートされて、第1ボトム反射防止塗膜(BARC)を形成した。このウェハは215℃で60秒間ベークされて、75nmの第1のBARC膜厚を生じさせた。次いで、AR商標124反射防止材(ロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズ)を用いてこの第1のBARC上に第2のBARC層がコーティングされ、205℃で60秒間ベークされて、23nmのトップBARC層を生じさせた。この二重BARC上にEPIC商標2389フォトレジスト(ロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズ)がコーティングされ、そしてコーター上で100℃で60秒間ソフトベークされて、110Åのレジスト膜厚を提供した。このレジスト層は、次いで、OC商標2000トップコート材料(ロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズ)でコーティングされ、そして60nmの目標サイズで110nmピッチの83nmマスクCD(臨界寸法)を有する6%減衰−相シフトポストマスクを通して、開口数1.20で、22.5〜61.5mJ/cm2、増分1.3mJ/cm2の様々な露光線量での輪帯照明条件(0.96アウターシグマ(outer sigma)/0.69インナーシグマ(inner sigma)、XY−偏光)下で、ASML TWINSCAN商標XT:(エイエスエムエル ツインスキャン エックスティー)1900i液浸スキャナーを用いて露光された。次いで、ウェハは100℃で60秒間露光後ベーク(PEB)された。像形成されたレジスト層は次いで、酢酸n−ブチル現像剤を用いて25秒間現像された。ウェハは1−ヘキサノール(シグマアルドリッチ)で15秒間すすがれた。得られる理論的な構造は図3に認められることができ、この図3においてはdはコンタクトホール直径であり、pはコンタクトホールピッチである。
EL=100(EDlower−EDupper)/ED目標
式中、ELは露光寛容度であり、EDlowerはCD下限(−10%)での露光線量であり、EDupperはCD上限(+10%)での露光線量であり、ED目標は目標CDでの露光線量である。計算された露光寛容度は13%であった。これらの結果および他のデータ並びに観察結果が以下の表1に提供される。
酢酸n−ブチル現像剤を5−メチル−2−ヘキサノンに代えることを除き、比較例1の手順が繰り返された。60nm(測定値61.25nm)の標的CDを提供する露光線量は39.40mJ/cm2であった。この条件で、均一なサイズおよび形状のコンタクトホールの正確なパターニングが生じた。得られた露光寛容度は15%であり、CD均一性(3σ)は7.22であった。
102 エッチングされる層
102’ エッチングされたフィーチャ
104 ハードマスク層
104’ パターン形成されたハードマスク層
106 ボトム反射防止塗膜
106’ パターン形成されたBARC
108 フォトレジスト層
108a 未露光領域
108b 露光領域
108c 2回露光された領域
110 活性化放射線
112 第1のフォトマスク
113 光学的に透明な領域
114 光学的に不透明な領域
116 フォトマスク
120 フィーチャ
Claims (9)
- (a)パターン形成される1以上の層を基体表面上に含む基体を提供し;
(b)酸により切断可能な基を含む樹脂と酸発生剤とを含むフォトレジスト組成物の層を、前記パターン形成される1以上の層上に適用し;
(c)前記フォトレジスト組成物層を化学線にパターン様に露光し;並びに、
(d)2−ヘプタノンおよび/または5−メチル−2−ヘキサノンを含む現像剤を前記フォトレジスト組成物層に適用し、フォトレジスト層の未露光部分が現像剤によって除去され、前記パターン形成される1以上の層上にフォトレジストパターンを残す;ことを含む、フォトリソグラフィパターンを形成する方法。 - フォトレジストパターンのパターンを、フォトレジストマスクの下にある1以上の層に転写することをさらに含み、このパターン転写がエッチングプロセスによって行われ、当該方法が現像剤適用とエッチングプロセスとの間に現像後すすぎを含まない、請求項1に記載の方法。
- 現像剤が2−ヘプタノンを含む、請求項1に記載の方法。
- 現像剤が5−メチル−2−ヘキサノンを含む、請求項1に記載の方法。
- 第一のパターン様露光の後で、現像剤を適用する前に、フォトレジスト組成物層の化学線への第二のパターン様露光を行うことをさらに含み、第二のパターン様露光のパターンが第一のパターン様露光のパターンとは異なる、請求項1に記載の方法。
- 現像剤が溶媒の混合物を含む、請求項1に記載の方法。
- コーティングされた基体であって、
パターン形成される1以上の層を基体表面上に含む基体;
酸により切断可能な基を含む樹脂と酸発生剤とを含むフォトレジスト組成物であって、前記パターン形成される1以上の層上のフォトレジスト組成物の露光された層;並びに、
フォトレジスト組成物層の露光された層と接触する現像剤溶液であって、2−ヘプタノンおよび/または5−メチル−2−ヘキサノンを含む現像剤溶液;を含む、コーティングされた基体。 - 現像剤が2−ヘプタノンを含む、請求項7に記載のコーティングされた基体。
- 現像剤が5−メチル−2−ヘキサノンを含む、請求項7に記載のコーティングされた基体。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US33954310P | 2010-03-05 | 2010-03-05 | |
US61/339543 | 2010-03-05 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011227465A JP2011227465A (ja) | 2011-11-10 |
JP5795481B2 true JP5795481B2 (ja) | 2015-10-14 |
Family
ID=44187911
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011046078A Active JP5795481B2 (ja) | 2010-03-05 | 2011-03-03 | フォトリソグラフィパターンを形成する方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8778601B2 (ja) |
EP (1) | EP2363749B1 (ja) |
JP (1) | JP5795481B2 (ja) |
KR (2) | KR101680721B1 (ja) |
CN (1) | CN102338982B (ja) |
IL (1) | IL211532A0 (ja) |
TW (1) | TWI428958B (ja) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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EP2492753A2 (en) | 2011-02-28 | 2012-08-29 | Rohm and Haas Electronic Materials LLC | Developer compositions and methods of forming photolithographic patterns |
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EP2217963B1 (en) | 2007-11-09 | 2011-08-10 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Light output device |
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JP5601884B2 (ja) * | 2009-06-04 | 2014-10-08 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線または感放射線性樹脂組成物を用いたパターン形成方法及びパターン |
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JP5440468B2 (ja) * | 2010-01-20 | 2014-03-12 | 信越化学工業株式会社 | パターン形成方法 |
-
2011
- 2011-03-03 JP JP2011046078A patent/JP5795481B2/ja active Active
- 2011-03-03 EP EP11156745.9A patent/EP2363749B1/en active Active
- 2011-03-03 IL IL211532A patent/IL211532A0/en unknown
- 2011-03-04 TW TW100107276A patent/TWI428958B/zh active
- 2011-03-07 US US13/042,371 patent/US8778601B2/en active Active
- 2011-03-07 CN CN201110108960.6A patent/CN102338982B/zh active Active
- 2011-03-07 KR KR1020110019843A patent/KR101680721B1/ko active IP Right Grant
-
2016
- 2016-03-22 KR KR1020160034272A patent/KR20160036549A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011227465A (ja) | 2011-11-10 |
CN102338982A (zh) | 2012-02-01 |
IL211532A0 (en) | 2011-06-30 |
TW201214508A (en) | 2012-04-01 |
EP2363749A3 (en) | 2011-11-02 |
US8778601B2 (en) | 2014-07-15 |
CN102338982B (zh) | 2014-08-20 |
KR101680721B1 (ko) | 2016-11-29 |
EP2363749B1 (en) | 2015-08-19 |
KR20110101098A (ko) | 2011-09-15 |
EP2363749A2 (en) | 2011-09-07 |
US20110159253A1 (en) | 2011-06-30 |
TWI428958B (zh) | 2014-03-01 |
KR20160036549A (ko) | 2016-04-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150803 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150813 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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