JP5701837B2 - 変位センサ、変位測定方法 - Google Patents
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Description
k:絶対値を規定する固定の係数
S(λ):規格で決められた光源の分光分布
x ̄(λ)、y ̄(λ)、z ̄(λ):規格で決められた等色関数と呼ばれる分光感度(ただし、x ̄は、xバーを表わす。y ̄、z ̄についても同様である)
R(λ):測定対象物の分光反射率
Δλ:計算時に用いる波長刻み幅
である。なお、λは可視光の波長範囲で変化し、[数1]では、可視光の波長範囲を400nm〜700nmとしている。
ここで、前記光源ユニットは、誘電体多層膜を用いた光学素子に対して斜めに光を入射することで、出射方向によって波長が変わる光を生成することができる。
また、前記特徴量抽出部は、前記分光分布のピーク波長を特徴量とすることができる。
上記課題を解決するため、本発明の第2の態様である分光特性測定装置は、面状測定対象物の測定領域に光を照射する第1光源ユニットと、前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器とを備え、前記第1光源ユニットに係る反射光の分光分布に基づいて分光特性を測定する分光特性測定装置であって、出射方向によって波長が変わる光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する第2光源ユニットと、前記第2光源ユニットに係る反射光の分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光特性との関係に基づいて、前記分光特性を補正する分光特性補正部とを備えたことを特徴とする。
ここで、前記第2光源ユニットは、誘電体多層膜を用いた光学素子に対して斜めに光を入射することで、出射方向によって波長が変わる光を生成することができる。
また、前記第1光源ユニットが出射する波長範囲と、前記第2光源ユニットが出射する波長範囲とが重ならないようにしてもよい。
上記課題を解決するため、本発明の第3の態様である色測定装置は、面状測定対象物の測定領域に光を照射する第1光源ユニットと、前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器とを備え、前記第1光源ユニットに係る反射光の分光分布に基づいて分光反射率を算出し、前記測定領域の色を測定する色測定装置であって、出射方向によって波長が変わる光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する第2光源ユニットと、前記第2光源ユニットに係る反射光の分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光反射率との関係に基づいて、前記分光反射率を補正する分光反射率補正部とを備えたことを特徴とする。
上記課題を解決するため、本発明の第4の態様である変位センサは、面状測定対象物の測定領域の変位を測定する変位センサであって、波長および光軸の異なる光源を複数個含み、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する光源ユニットと、前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器と、前記分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と変位との関係に基づいて、前記測定領域の変位を算出する変位算出部とを備えたことを特徴とする。
ここで、前記特徴量抽出部は、それぞれの光源の波長の強度比を特徴量とすることができる。
上記課題を解決するため、本発明の第5の態様である分光特性測定装置は、面状測定対象物の測定領域に光を照射する第1光源ユニットと、前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器とを備え、前記第1光源ユニットに係る反射光の分光分布に基づいて分光特性を測定する分光特性測定装置であって、波長および光軸の異なる光源を複数個含み、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する第2光源ユニットと、前記第2光源ユニットに係る反射光の分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光特性との関係に基づいて、前記分光特性を補正する分光特性補正部とを備えたことを特徴とする。
上記課題を解決するため、本発明の第6の態様である色測定装置は、面状測定対象物の測定領域に光を照射する第1光源ユニットと、前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器と、前記第1光源ユニットに係る反射光の分光分布に基づいて分光反射率を算出し、前記測定領域の色を測定する色測定装置であって、波長および光軸の異なる光源を複数個含み、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する第2光源ユニットと、前記第2光源ユニットに係る反射光の分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光反射率との関係に基づいて、前記分光反射率を補正する分光反射率補正部とを備えたことを特徴とする。
上記課題を解決するため、本発明の第7の態様である面状測定対象物品質監視装置は、上述の色測定装置を走査ヘッドに搭載したことを特徴とする。
上記課題を解決するため、本発明の第8の態様である変位測定方法は、面状測定対象物の測定領域の変位を測定する変位測定方法であって、出射方向によって波長が変わる光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射し、前記測定領域における反射光の分光分布を測定し、前記分光分布の特徴量を抽出し、前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と変位との関係に基づいて、前記測定領域の変位を算出することを特徴とする。
上記課題を解決するため、本発明の第9の態様である分光特性測定方法は、面状測定対象物の測定領域に第1光を照射し、前記測定領域における前記第1光の反射光の分光分布に基づいて分光特性を測定する分光特性測定方法であって、出射方向によって波長が変わる第2光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射し、前記測定領域における前記第2光の反射光の分光分布の特徴量を抽出し、前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光特性との関係に基づいて、前記分光特性を補正することを特徴とする。
上記課題を解決するため、本発明の第10の態様である色測定方法は、面状測定対象物の測定領域に第1光を照射し、前記測定領域における前記第1光の反射光の分光分布に基づいて分光反射率を算出し、前記測定領域の色を測定する色測定方法であって、出射方向によって波長が変わる第2光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射し、前記測定領域における前記第2光の反射光の分光分布の特徴量を抽出し、前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光反射率との関係に基づいて、前記分光反射率を補正することを特徴とする。
なお、分光器300を利用した変位センサを適用した色測定装置20は、図12に示した上側走査ヘッド620に搭載することで、面状測定対象物品質監視装置を構成することができる。
Claims (3)
- 面状測定対象物の測定領域の変位を測定する変位センサであって、
出射方向によって波長が変わる光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する光源ユニットと、
前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器と、
前記分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、
前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と変位との関係に基づいて、前記測定領域の変位を算出する変位算出部と、
を備え、
前記光源ユニットは、
誘電体多層膜を用いた光学素子に対して光源光軸が一定の角度で斜めに光を入射することで、出射方向によって波長が変わる光を生成することを特徴とする変位センサ。 - 前記特徴量抽出部は、
前記分光分布のピーク波長を特徴量とすることを特徴とする請求項1に記載の変位センサ。 - 面状測定対象物の測定領域の変位を測定する変位測定方法であって、
誘電体多層膜を用いた光学素子に対して光源光軸が一定の角度で斜めに光を入射することで生成される出射方向によって波長が変わる光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射し、
前記測定領域における反射光の分光分布を測定し、
前記分光分布の特徴量を抽出し、
前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と変位との関係に基づいて、前記測定領域の変位を算出することを特徴とする変位測定方法。
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