JP6685779B2 - 光計測装置、光計測方法及び回転機械 - Google Patents

光計測装置、光計測方法及び回転機械 Download PDF

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Description

本発明は、光計測装置、光計測方法及び回転機械に関する。
タービンなどの回転機械においては、非接触での計測が行われており、例えば、特許文献1においては、ロータに貼りつけた反射シールにレーザ光を照射し、その反射光を光センサで検出し、検出値を信号処理することにより、トルク計測を行っている。また、タービンにおける翼振動計測やクリアランス計測においても、レーザ光を翼や反射ターゲットに照射し、その反射光を光センサで検出して、翼や反射ターゲットの通過時間を検知し、その時間差情報を演算することにより、所望の計測値を得ている。
特開2002−333376号公報
上述したように、レーザ光を静止側から回転側に照射し、その反射光の変化により計測を行う場合、汚れ等により反射強度が経時的に減少していく問題がある。例えば、図11のグラフに示すように、反射光の変化により通過時間を検知する場合、最初は、反射強度の変化が大きく、通過時間の検知が明瞭であっても、経時的に反射強度が減少して、計測誤差が大きくなっていき、最終的には、計測不可となる。
本発明は上記課題に鑑みなされたもので、反射強度を維持することができる光計測装置、光計測方法及び回転機械を提供することを目的とする。
上記課題を解決する第1の発明に係る光計測装置は、
光を出力すると共に当該光の発光波長を変更可能な波長可変光源と、
前記波長可変光源から出力された前記光を回転体に照射する第1の光ファイバと、
前記回転体に凹設された楕円面又は放物面からなり、前記第1の光ファイバから照射された前記光を反射する凹面と、
前記凹面により反射された前記光を受光する第2の光ファイバと、
前記第2の光ファイバで受光した前記光の強度を検出する強度検出手段と、
前記波長可変光源を制御すると共に、前記強度検出手段で検出した前記強度に基づいて、光計測を行う制御手段とを有し、
前記制御手段は、
前記波長可変光源の前記発光波長を変更させながら、前記強度検出手段により前記強度を検出して、前記強度が最大となる前記発光波長を選択し、
選択した前記発光波長による出射角度の前記光を用いて、前記凹面により反射された前記光の前記強度を検出して、前記光計測を行う
ことを特徴とする。
上記課題を解決する第2の発明に係る光計測装置は、
上記第1の発明に記載の光計測装置において、
前記凹面は、着色面、鏡面、拡散反射面及び琺瑯加工面のいずれか1つである
ことを特徴とする。
上記課題を解決する第3の発明に係る光計測装置は、
上記第1又は第2の発明に記載の光計測装置において、
更に、前記回転体の温度を検出する温度検出手段と、前記回転体の回転数を検出する回転数検出手段とを有し、
前記制御手段は、
前記温度検出手段で検出した前記温度と前記回転数検出手段で検出した前記回転数に基づいて、前記第1の光ファイバの先端から前記回転体の表面までの距離を予測し、
予測された前記距離に対応する出射角度を有する前記発光波長を設定し、
設定した前記発光波長による前記出射角度の前記光を用いて、前記凹面により反射された前記光の前記強度を検出して、前記光計測を行う
ことを特徴とする。
上記課題を解決する第4の発明に係る光計測装置は、
上記第3の発明に記載の光計測装置において、
前記制御手段は、
前記温度検出手段で検出した前記温度と前記回転数検出手段で検出した前記回転数に基づいて、前記第1の光ファイバの先端から前記回転体の表面までの距離を予測し、
予測された前記距離に対応する出射角度を有する前記発光波長を設定し、
設定した前記発光波長を中心波長とする波長領域において、前記波長可変光源の前記発光波長を変更させながら、前記強度検出手段により前記強度を検出して、前記強度が最大となる前記発光波長を選択し、
選択した前記発光波長による出射角度の前記光を用いて、前記凹面により反射された前記光の前記強度を検出して、前記光計測を行う
ことを特徴とする。
上記課題を解決する第5の発明に係る回転機械は、
上記第1〜第4のいずれか1つの発明に記載の光計測装置を備えた
ことを特徴とする。
上記課題を解決する第6の発明に係る光計測方法は、
光の発光波長を変更可能な波長可変光源から前記光を出力し、
第1の光ファイバを用いて前記波長可変光源から出力された前記光を回転体に照射し、
前記回転体に凹設された楕円面又は放物面からなる凹面により、前記第1の光ファイバから照射された前記光を反射し、
第2の光ファイバを用いて前記凹面により反射された前記光を受光し、
強度検出手段を用いて前記第2の光ファイバで受光した前記光の強度を検出し、
前記波長可変光源の前記発光波長を変更させながら、前記強度検出手段により前記強度を検出して、前記強度が最大となる前記発光波長を選択し、選択した前記発光波長による出射角度の前記光を用いて、前記凹面により反射された前記光の前記強度を検出して、光計測を行う
ことを特徴とする。
本発明によれば、回転体に設けた凹面が当該凹面で反射する光の集光を行うことになり、更に、回転体との距離が変化しても、反射強度が最大となる出射角度を有する発光波長の光を選択して、又は、距離に対応する出射角度を有する発光波長の光を設定して、凹面での受光幅が同じになるようにしているので、凹面による集光効果を維持することができる。
本発明に係る光計測装置及び回転機械の実施形態の一例(実施例1)を示す概略図である。 図1に示した光計測装置におけるセンサヘッドの一例を示す図であり、(a)は概略図、(b)はA−A線矢視断面図である。 図1に示した光計測装置における反射ターゲットとなる凹面の一例を示す図であり、(a)は概略図、(b)はB−B線矢視断面図である。 図1に示した光計測装置における光計測方法の一例を説明するフローチャートである。 出射角度の変更を説明する図であり、(a)は発光ファイバと凹面との関係を示す図、(b)はクリアランス変化前の出射角度を説明する図、(c)はクリアランス変化後であって、波長変化前の出射角度を説明する図、(d)はクリアランス変化後であって、波長変化後の出射角度を説明する図である。 発光ファイバにおける光学パラメータを説明する図である。 凹面における光の反射を説明する図であり、(a)はクリアランス変化前の光の反射を説明する図、(b)はクリアランス変化後であって、波長変化前の光の反射を説明する図、(c)はクリアランス変化後であって、波長変化後の光の反射を説明する図である。 本発明に係る光計測装置及び回転機械の実施形態の他の一例(実施例2)を示す概略図である。 図8に示した光計測装置における光計測方法の一例を説明するフローチャートである。 図8に示した光計測装置における光計測方法の他の一例(実施例3)を説明するフローチャートである。 反射強度の経時的な減少を説明するグラフである。
以下、図1〜図10を参照して、本発明に係る光計測装置、光計測方法及び回転機械の実施形態を説明する。なお、ここでは、回転機械の回転体として、ロータを例示しているが、本発明は、回転体として、シャフトやタービンなども使用可能である。
[実施例1]
本実施例の光計測装置は、図1に示すように、制御装置10、レーザ11、光ファイバ群12、センサヘッド15、フォトディテクタ16を有している。そして、そのセンサヘッド15が回転機械20のケーシング21に取り付けられている。静止部であるケーシング21の内部には、回転部(回転体)であるロータ22と、ロータ22を回転可能に支持するシャフト23が設けられており、ケーシング21に取り付けられたセンサヘッド15は、ロータ22の円筒面22a(外周面)を望むように配置されている。
レーザ11は、レーザ光を出力すると共に、レーザ光の発光波長の変更が可能な波長可変光源であり、例えば、波長可変な半導体レーザが好適である。なお、このような半導体レーザに代えて、波長可変な気体レーザ、液体レーザ、固体レーザなども使用可能である。また、波長変換素子を用いることにより、波長が固定されたレーザも使用可能である。
また、光ファイバ群12は、図2(a)、(b)に示すように、1つの発光ファイバ13(第1の光ファイバ)と複数の受光ファイバ14(第2の光ファイバ)からなる。発光ファイバ13は、レーザ11から出力されたレーザ光をロータ22の円筒面22aに照射するものであり、また、受光ファイバ14は、後述する凹面24により反射されたレーザ光を受光するものである。
そして、光ファイバ群12は、センサヘッド15においては、1つの発光ファイバ13を中央とし、その周囲に複数の受光ファイバ14を配置した構成としている。発光ファイバ13から照射されたレーザ光は、後述する凹面24で反射された後、複数の受光ファイバ14で受光されることになる。なお、ここでは、1つの発光ファイバ13の周囲に複数の受光ファイバ14が一重に配置されているが、複数の受光ファイバ14を二重、三重又はそれ以上にしたり、中央の発光ファイバ13の数を増やしたりなど、配置は適宜変更しても良い。
また、フォトディテクタ16(強度検出手段)は、複数の受光ファイバ14で受光されたレーザ光の反射強度を測定するものであり、レーザ11の可変の波長範囲において、レーザ光の反射強度を測定可能なものである。
また、制御装置10(制御手段)は、レーザ11の制御を行うものであり、また、フォトディテクタ16で検出した反射強度に基づいて、後述する制御や光計測の演算を行うものである。
そして、図3(a)、(b)に示すように、回転側のロータ22の円筒面22aには、反射ターゲットとなる凹面24が凹設されている。この凹面24は、発光ファイバ13から照射されたレーザ光を反射して、複数の受光ファイバ14に集光するものであり、楕円面や放物面などの凹形状の曲面に形成されている。なお、回転体がシャフトやタービン翼である場合には、シャフトの円筒面やタービンの翼先端やタービンシュラウドの円筒面に、凹面24を設ければ良い。
ここで、凹面24の離心率eについて説明する。凹面24が放物面(e=1)である場合、凹面24から平行光線が反射され、平面での反射に比べて、反射光量が増加する。一方、凹面24が円筒面(e=0)である場合、中央の発光ファイバ13に反射光が返り、周囲の受光ファイバ14に光が入りにくくなる。従って、周囲の受光ファイバ14に向けて幅を持った光を反射させる必要がある。そのため、凹面24の離心率eは0<e≦1とするが、つまり、凹面24は楕円面や放物面とするが、離心率eは、発光ファイバ13(センサヘッド15)の先端から測定対象であるロータ22の円筒面22aまでの距離(以降、クリアランスd)と、センサヘッド15における光ファイバ群12の径に基づいて設定する。
また、凹面24は、レーザ光に対する反射率を高くするため、ペイントや溶射による着色面(例えば、白色着色面)にしたり、鏡面にしたり、拡散反射面にしたり、琺瑯(ホーロー)加工面にしたりしても良い。
このように、ロータ22の円筒面22aに凹面24を設けることにより、発光ファイバ13から照射されたレーザ光の反射光を複数の受光ファイバ14に集光することができ、経時的な反射強度の減少による影響を抑えるようにしている。しかしながら、このような構成の場合、クリアランスdが変化すると、その変化に伴い、凹面24での受光幅も変化し、その結果、集光効果が低下するおそれがある。
そこで、本実施例においては、図4に示す光計測方法を行うことにより、凹面24による集光効果を維持するようにしている。図4と共に、図1や図5及び図6も参照して、本実施例の光計測方法を説明する。なお、ここでは、後述する初期クリアランスd0より運転中のクリアランスd1が大きくなる場合(d0<d1)を例示して説明するが、逆になる場合、即ち、d0>d1の場合も同様の方法で良い。
(ステップS1)
制御装置10は、クリアランスdの初期値である初期クリアランスd0に合わせて、レーザ11の発光波長λ=λ0を選択する。図5(a)に示すように、初期クリアランスd0は、回転機械20の運転前において、発光ファイバ13(センサヘッド15)の先端とロータ22の円筒面22aとの間の距離である。また、発光波長λ0のときの発光ファイバ13からの出射角度θ=θ0とする。
ここで、図5(b)〜(d)における計算の前提として、図6を参照して、出射角度θの計算について説明する。図6において、出射角度θ=2θaであり、nfは、発光ファイバ13のコア13aの屈折率、ncは、発光ファイバ13のクラッド13bの屈折率である。なお、niは、空気の屈折率であり、θcは、臨界角である。角度θaと屈折率nf及びncは、以下の式の関係となり、開口数NAを求めることができる。
Figure 0006685779
上記式において、屈折率nf及びncに基づいて、角度θa、即ち、出射角度θを求めることができる。コア13aの屈折率nfは、光の波長に依存して変化するので(プリズムの原理)、発光波長λ0のときの屈折率nfに基づいて、出射角度θ0が求まることになる。
そして、本実施例では、発光波長λを変更しており、これにより、発光ファイバ13のコア13aの屈折率nfを変化させ、発光ファイバ13からの光の出射角度θ(開口数NA)を変化させており、このような変化を利用して、後述するように、クリアランスdに対応した出射角度θとしている。
例えば、図5(a)、(b)に示すように、凹面24の幅を2.5mmとし、初期クリアランスd0=4mmとし、発光波長λ0=486nm(水色)とする。また、発光波長λ0=486nmのとき、屈折率nf=1.5224、屈折率nc=1.4982とする。これらの数値に基づいて、上記式を用いて計算すると、NA=0.27、θa=15.7°、θ=31.4°となる。そして、出射角度θ=31.4°のとき、初期クリアランスd0=4mmにおける凹面24での受光幅は、2.24mmとなる。
つまり、回転機械20の運転前においては、初期クリアランスd0に合わせて、即ち、凹面24での受光幅に合わせて、発光波長λ=λ0(=486nm)としているので、図5(a)、(b)に示すように、発光ファイバ13から照射されたレーザ光は、出射角度θ=31.4°で出射され、その結果、凹面24の幅の範囲内で受光して反射することができ、その反射光を複数の受光ファイバ14に集光することができる状態となっている。
(ステップS2)
発光波長λ0の選択後、回転機械20の運転を行う。回転機械20の運転に伴い、ロータ22の回転数の変化や温度変化により、クリアランスdが初期クリアランスd0からd1へ変化する。
例えば、初期クリアランスd0=4mmから1mm変動して、クリアランスd1=5mmとなったとする。すると、図5(c)に示すように、発光ファイバ13から照射されたレーザ光が、出射角度θ=31.4°で出射されたままであれば、クリアランスd1=5mmにおける凹面24での受光幅は、2.82mmとなり、初期状態より、受光幅が0.6mm大きくなる。つまり、発光ファイバ13から出射角度θ=31.4°で出射されたレーザ光は、凹面24の幅を超えた受光幅となり、その結果、照射されたレーザ光の全てを凹面24が受光して反射することができず、その集光効果が低下することになる。
(ステップS3〜S4)
そこで、本実施例において、制御装置10は、レーザ11の発光波長を変更(スキャン)しながら、フォトディテクタ16で反射強度を検出し、反射強度が最も大きい発光波長を計測における発光波長λ=λ1として選択している。
例えば、フォトディテクタ16で検出した反射強度が最も大きい発光波長λ=λ1=656nm(赤色)とすると、このときの屈折率nf=1.5143である。これらの数値に基づいて、上記式を用いて計算すると、NA=0.22、θa=12.7°、θ=25.4°となる。そして、図5(d)に示すように、出射角度θ=25.4°のとき、クリアランスd0=5mmにおける凹面24での受光幅は、2.24mmとなる。
つまり、回転機械20の運転中においては、反射強度が最も大きい発光波長λ=λ1(=656nm)を選択しているので、図5(d)に示すように、発光ファイバ13から照射されたレーザ光は、出射角度θ=25.4°で出射され、その結果、凹面24の幅の範囲内で受光して反射することができ、その反射光を複数の受光ファイバ14に集光することができる状態となっている。このように、クリアランスdの変化に応じて、出射角度θを絞りたい場合には、レーザ11のレーザ光の色を水色から赤にして、発光波長を長くすれば良い。
(ステップS5)
制御装置10は、ステップS4で選択した発光波長λ1を用いて、凹面24により反射された反射強度を検出し、検出した反射強度に基づいて、所望の計測を行う。
以上説明したように、レーザ11の発光波長λを変更しながら、フォトディテクタ16で反射強度を検出し、反射強度が最も大きい発光波長λを選択して、レーザ光の出射角度θを変化させている。これにより、クリアランスdに応じて、凹面24での受光幅も適切に変化させることになり、クリアランスdが変化しても、凹面24での受光幅が同じになる発光波長を選択することができ、この結果、凹面24による集光効果を維持することができる。
従って、発光ファイバ13から照射されたレーザ光が凹面24を通過する際に、その反射光は集光効果により受光ファイバ14に集光することになる。そのため、凹面24による反射強度のピークを明瞭化でき、信号の立ち上がりと立ち下がりが鋭敏となる。その結果、経時的な変化があっても、その影響を抑制することになり、所望の計測を適切な状態で行うことができる。
また、クリアランスdの変化に伴い、凹面24での受光幅が変化すると、離心率eの凹面24からの反射光の方向が変化し、その結果、集光効果が低下するおそれがある。しかしながら、本実施例では、上述したように、発光波長λの変更、即ち、レーザ光の出射角度θの変更により、凹面24での受光幅が同じになるようにして、凹面24からの反射光の方向も変わらないようにしている。この点について、図7(a)〜(c)を参照して説明する。なお、図7(a)〜(c)においては、理解し易くするため、発光ファイバ13からのレーザ光の最も外側の光線(以降、最外光線)を例示して説明を行う。
図7(a)に示す回転機械20の運転前(初期状態)においては、発光ファイバ13と凹面24が正対するとき、最外光線が受光ファイバ14に向かって反射するように、初期クリアランスd0及び光ファイバ群12の径や出射角度θ0に基づいて、凹面24の離心率eが設定されている。
そして、上述したように、回転機械20の運転を行うと、運転に伴う回転数の変化や温度変化により、クリアランスdが初期クリアランスd0からd1へ変化する。ここでも、d0<d1とする。
すると、図7(b)に示す回転機械20の運転中においては、クリアランスd1へ変化し、凹面24での受光幅が変化したため、発光ファイバ13と凹面24が正対するとき、最外光線が受光ファイバ14より外側に向かって反射してしまい、凹面24による集光効果が低下することになる。
しかしながら、上述したように、回転機械20の運転中においては、反射強度が最も大きい発光波長λ1を選択し、凹面24での受光幅が同じになるようにして、凹面24からの反射光の向きも同じになるようにしている。すると、図7(c)に示すように、クリアランスd1へ変化した状態においても、発光ファイバ13と凹面24が正対するとき、最外光線が受光ファイバ14に向かって反射することになり、凹面24による集光効果を維持することができる。
このようにして、クリアランスdに応じて、凹面24からの反射光の向きも適切に変化させることになり、クリアランスdが変化しても、凹面24による集光効果を維持することができる。その結果、経時的な変化があっても、その影響を抑制することになり、所望の計測を適切な状態で行うことができる。
[実施例2]
本実施例の光計測装置は、上記実施例1に示した光計測装置を前提としている。そのため、ここでは、図1〜図3に示した実施例1の光計測装置と同様の構成には、同じ符号を付し、重複する構成については、その説明を省略する。
本実施例の光計測装置は、図8に示すように、更に、温度センサ17(温度検出手段)と回転数計18(回転数検出手段)とを有している。温度センサ17は、ケーシング21に設けられ、ロータ22の温度を計測している。また、回転数計18は、シャフト23に設けられ、シャフト23、即ち、ロータ22の回転数を計測している。
そして、本実施例でも、実施例1と同様に、レーザ11の発光波長を変更することにより、クリアランスdに応じて、発光ファイバ13からのレーザ光の出射角度θを変化させている。しかしながら、実施例1では、レーザ11の発光波長をスキャンした後、反射強度が最も大きい発光波長を選択しているのに対して、本実施例では、上述した温度センサ17及び回転数計18による温度及び回転数に基づいて、クリアランスdの変化を予測し、予測したクリアランスdに基づいて、対応する発光波長を設定するようにしている。このような光計測方法について、図9と共に、図8も参照して説明を行う。
(ステップS11)
実施例1におけるステップS1と同様に、制御装置10は、初期クリアランスd0に合わせて、レーザ11の発光波長λ=λ0を選択する。
(ステップS12)
実施例1におけるステップS2と同様に、発光波長λ0の選択後、回転機械20の運転を行う。回転機械20の運転に伴い、回転数の変化や温度変化により、クリアランスdが初期クリアランスd0からd1へ変化する。
(ステップS13)
制御装置10は、温度センサ17及び回転数計18を用いて、温度及び回転数を計測する。
(ステップS14)
制御装置10は、温度センサ17及び回転数計18で計測した温度及び回転数に基づく解析により、変化後のクリアランスd1を予測する。例えば、熱力学的、運動力学的にロータ22の変位を解析し、当該解析に基づいて、クリアランスd1を予測する。
(ステップS15)
制御装置10は、予測したクリアランスd1に基づいて、予測したクリアランスd1に対応する出射角度を有する発光波長λ=λ1を設定する。例えば、クリアランスd1における凹面24での受光幅がクリアランスd0における凹面24での受光幅と同じになる出射角度を求め、当該出射角度となる発光波長λ1を求めれば良い。
(ステップS16)
制御装置10は、ステップS15で設定した発光波長λ1を用いて、凹面24により反射された反射強度を検出し、検出した反射強度に基づいて、所望の計測を行う。
本実施例においては、クリアランスdが変化しても、クリアランスdに対応する出射角度を有する発光波長の光を設定して、凹面24での受光幅が同じになるようにしているので、凹面24による集光効果を維持することができる。
[実施例3]
本実施例の光計測装置は、上記実施例2に示した光計測装置と同じ装置で良く、その光計測方法に相違があるものである。そのため、本実施例の光計測装置の図示や説明は省略し、その光計測方法を図10に示し、図8も参照して説明を行う。
(ステップS21)
実施例1におけるステップS1及び実施例2におけるステップS11と同様に、制御装置10は、初期クリアランスd0に合わせて、レーザ11の発光波長λ=λ0を選択する。
(ステップS22)
実施例1におけるステップS2及び実施例2におけるステップS12と同様に、発光波長λ0の選択後、回転機械20の運転を行う。回転機械20の運転に伴い、回転数の変化や温度変化により、クリアランスdが初期クリアランスd0からd1へ変化する。
(ステップS23)
実施例2におけるステップS13と同様に、制御装置10は、温度センサ17及び回転数計18を用いて、温度及び回転数を計測する。
(ステップS24)
実施例2におけるステップS14と同様に、制御装置10は、温度センサ17及び回転数計18で計測した温度及び回転数に基づく解析により、変化後のクリアランスd1を予測する。
(ステップS25)
実施例2におけるステップS15と同様に、制御装置10は、予測したクリアランスd1に基づいて、予測したクリアランスd1に対応する出射角度を有する発光波長λ=λ1を求めるが、これに加えて、制御装置10は、更に、この発光波長λ1を中心波長とする波長領域を設定する。
(ステップS26〜S27)
制御装置10は、設定した波長領域において、レーザ11の発光波長を変更(スキャン)しながら、フォトディテクタ16で反射強度を検出し、反射強度が最も大きい発光波長を最終的な発光波長λ=λ1として選択する。
(ステップS28)
制御装置10は、ステップS27で設定した発光波長λ1を用いて、凹面24により反射された反射強度を検出し、検出した反射強度に基づいて、所望の計測を行う。
本実施例においても、クリアランスdが変化しても、反射強度が最大となる出射角度を有する発光波長の光を選択して、凹面24での受光幅が同じになるようにしているので、凹面24による集光効果を維持することができる。
本発明は、回転機械(例えば、タービン、圧縮機などのターボ機械など)の回転体を対象とする計測に好適なものである。例えば、タービンにおいては、内部リーク低減やラビング回避のための翼振動計測やクリアランス計測などに適用可能である。
10 制御装置
11 レーザ
12 光ファイバ群
13 発光ファイバ
14 受光ファイバ
15 センサヘッド
16 フォトディテクタ
17 温度センサ
18 回転数計
20 回転機械
22 ロータ
22a 円筒面
24 凹面

Claims (6)

  1. 光を出力すると共に当該光の発光波長を変更可能な波長可変光源と、
    前記波長可変光源から出力された前記光を回転体に照射する第1の光ファイバと、
    前記回転体に凹設された楕円面又は放物面からなり、前記第1の光ファイバから照射された前記光を反射する凹面と、
    前記凹面により反射された前記光を受光する第2の光ファイバと、
    前記第2の光ファイバで受光した前記光の強度を検出する強度検出手段と、
    前記波長可変光源を制御すると共に、前記強度検出手段で検出した前記強度に基づいて、光計測を行う制御手段とを有し、
    前記制御手段は、
    前記波長可変光源の前記発光波長を変更させながら、前記強度検出手段により前記強度を検出して、前記強度が最大となる前記発光波長を選択し、
    選択した前記発光波長による出射角度の前記光を用いて、前記凹面により反射された前記光の前記強度を検出して、前記光計測を行う
    ことを特徴とする光計測装置。
  2. 請求項1に記載の光計測装置において、
    前記凹面は、着色面、鏡面、拡散反射面及び琺瑯加工面のいずれか1つである
    ことを特徴とする光計測装置。
  3. 請求項1又は請求項2に記載の光計測装置において、
    更に、前記回転体の温度を検出する温度検出手段と、前記回転体の回転数を検出する回転数検出手段とを有し、
    前記制御手段は、
    前記温度検出手段で検出した前記温度と前記回転数検出手段で検出した前記回転数に基づいて、前記第1の光ファイバの先端から前記回転体の表面までの距離を予測し、
    予測された前記距離に対応する出射角度を有する前記発光波長を設定し、
    設定した前記発光波長による前記出射角度の前記光を用いて、前記凹面により反射された前記光の前記強度を検出して、前記光計測を行う
    ことを特徴とする光計測装置。
  4. 請求項3に記載の光計測装置において、
    前記制御手段は、
    前記温度検出手段で検出した前記温度と前記回転数検出手段で検出した前記回転数に基づいて、前記第1の光ファイバの先端から前記回転体の表面までの距離を予測し、
    予測された前記距離に対応する出射角度を有する前記発光波長を設定し、
    設定した前記発光波長を中心波長とする波長領域において、前記波長可変光源の前記発光波長を変更させながら、前記強度検出手段により前記強度を検出して、前記強度が最大となる前記発光波長を選択し、
    選択した前記発光波長による出射角度の前記光を用いて、前記凹面により反射された前記光の前記強度を検出して、前記光計測を行う
    ことを特徴とする光計測装置。
  5. 請求項1から請求項4のいずれか1つに記載の光計測装置を備えた
    ことを特徴とする回転機械。
  6. 光の発光波長を変更可能な波長可変光源から前記光を出力し、
    第1の光ファイバを用いて前記波長可変光源から出力された前記光を回転体に照射し、
    前記回転体に凹設された楕円面又は放物面からなる凹面により、前記第1の光ファイバ
    から照射された前記光を反射し、
    第2の光ファイバを用いて前記凹面により反射された前記光を受光し、
    強度検出手段を用いて前記第2の光ファイバで受光した前記光の強度を検出し、
    前記波長可変光源の前記発光波長を変更させながら、前記強度検出手段により前記強度を検出して、前記強度が最大となる前記発光波長を選択し、選択した前記発光波長による出射角度の前記光を用いて、前記凹面により反射された前記光の前記強度を検出して、光計測を行う
    ことを特徴とする光計測方法。
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