JP2013507608A - 物品及びその表面の特性を決定するための測定機器及び方法 - Google Patents
物品及びその表面の特性を決定するための測定機器及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013507608A JP2013507608A JP2012532637A JP2012532637A JP2013507608A JP 2013507608 A JP2013507608 A JP 2013507608A JP 2012532637 A JP2012532637 A JP 2012532637A JP 2012532637 A JP2012532637 A JP 2012532637A JP 2013507608 A JP2013507608 A JP 2013507608A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- optical radiation
- reflected
- detector
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- YFGRSEAPXFKFPN-JHJMLUEUSA-N CCCCC(C)(CC1)[C@H]2C1=CC2 Chemical compound CCCCC(C)(CC1)[C@H]2C1=CC2 YFGRSEAPXFKFPN-JHJMLUEUSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection
- G01B11/0633—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection using one or more discrete wavelengths
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0608—Height gauges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0641—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of polarization
- G01B11/065—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of polarization using one or more discrete wavelengths
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0691—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of objects while moving
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/57—Measuring gloss
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
- G01B2210/40—Caliper-like sensors
- G01B2210/44—Caliper-like sensors with detectors on both sides of the object to be measured
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
- G01B2210/50—Using chromatic effects to achieve wavelength-dependent depth resolution
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
【選択図】図2b
Description
GA及びGBは、第1及び第2の参照の光沢度であり、φA及びφBは、後者に対応する強度値である。
次に、ピーク強度の焦点は、比率に比例し、
送信機101a及び受信機107aについて、例えば、送信光学的放射がS−偏光であり、受信もまた、S−偏光である場合;及び、
送信機101a及び受信機107bについて、例えば、送信光学的放射がP−偏光であり、受信もまた、P−偏光である場合;
また、例えば下記のような他の種類のバリエーションも使用することができ、
送信機101a及び受信機107aについて、送信光学的放射がS−偏光であり、受信がP−偏光(又は、例えば円偏光など)である場合。
Claims (12)
- 測定対象物へ光学的放射を放射させるための、少なくとも1つの光学的放射源と、
前記測定対象物から反射した前記放射を受信するため、及び、その強度に比例する電気信号を生成するための、少なくとも1つの検出器と、を具備する前記測定対象物の1つ以上の特性を、光学的放射を用いて決定するための測定デバイスであって、
前記測定デバイスが更に、
波長を分割するために前記光源によって放射された光学的放射を分割し、前記波長の内少なくとも最短及び最長の波長が、測定表面の法線方向で、前記測定対象物の表面の異なる半分及び異なる高さに集中するように、前記測定表面の前記法線方向から異なる方向で前記測定対象物へ前記分割した波長を向けるように調整される、(放射した)光学的放射処理ユニットと、
少なくとも前記測定表面の前記法線方向と異なるスペクトル反射の前記方向において、前記測定対象物から反射した光学的放射を受信し、且つ、受信した光学的放射を前記検出器へ向けるように調整される、(反射した)光学的放射処理ユニットと、を具備し、
前記測定デバイスは、前記検出器によって生成され、且つ、そこに集中した前記反射の前記強度に比例する電気信号を分析し、更に、その波長の前記強度に基づいて、光沢度などの測定対象物表面光沢を説明する特徴を少なくとも決定し、その焦点が前記測定表面に配置され、従って、スペクトルジオメトリにおける最強波長としてその点から前記検出器へ反射するように調整される、
ことを特徴とする測定デバイス。 - 光学的放射源が、2つ以上の光源を具備し、それぞれが同じ対象物表面であるが、異なる高さへ向けてスペクトルを分割し、前記光源は幾つかの分割した光源によるか、又はビーム分割器を用いた光学ラジエータの放射によって形成され、及び/又は、
光学的放射検出ユニットが、前記表面から反射した光線を検出し、異なる場所へ集中した前記光線がビーム分割器を用いて前記検出ユニットへ結合するように、いくつかの異なる場所へ集中するように調整され、又は、光学的放射検出ユニットが、前記放射源のそれぞれによって放射された、及び、前記測定対象物の前記表面から反射した光線を検出するための2つ以上の検出ユニットを具備する、
請求項1に記載の、測定デバイス。 - 2つ以上の放射源及び前記放射検出ユニットは、検出ユニットが実質的に他の対を考慮にいれず、独自の放射源からのみ強度を測定するよう配置されるように、送信機−受信機対内へ配置され、その場合、送信機−受信機対が、互いに異なる偏光レベル又は方向を有し得、前記測定デバイスが、正確に同じ場所から来る2つ以上の反射信号を測定するように配置され得、反射信号が、前記送信機及び前記受信機の間で異なる偏光率を有することができる、請求項2に記載の測定デバイス。
- 前記測定対象物を特徴付ける測定可能な特性が、屈折率及び/又は厚さである、請求項1〜3のいずれかに記載の測定デバイス。
- 前記基準点に対する前記波長の焦点への距離が既知であり、この場合、前記表面から反射した前記最強強度の波長を決定し、それを前記基準点からの前記波長の前記焦点の距離と比較することによって、測定デバイスが前記対象物の表面の位置を画定するように調整される、請求項1〜5のいずれかに記載の測定デバイス。
- 前記測定対象物が、利用した光学的放射に対して、少なくとも部分的に透過性であり、且つ、前記対象が少なくとも2つの実質的に平行な表面、すなわち、上部及び下部表面を具備し、前記波長の内、少なくとも前記最短及び前記最長の波長は、前記対象物の表面が前記波長の前記焦点の間で保持されるように調整され、その場合、前記測定デバイスが、両方の表面から反射した前記波長を受信し、これらの最強の強度ピークによって生じるピーク幅の変化に基づいて、前記対象の前記厚さを決定するように調整される、請求項1〜6のいずれかに記載の測定デバイス。
- 前記測定対象が、前記利用した光学的放射に対して、少なくとも部分的に透過性であり、且つ、前記対象が少なくとも2つの実質的に平行な表面、すなわち、前記上部及び前記下部表面を具備し、前記波長の内、少なくとも最短及び最長の波長は、前記対象物の表面が前記波長の前記焦点の間で留まるように焦点を調整され、その場合、前記測定デバイスが、2つの最強の強度に対応し、且つ、前記上部及び下部表面の間の距離を決定し、それに従って、前記対象の前記厚さを決定するそれらの焦点の位置データに基づいて、波長を決定するように調整される、請求項1〜6のいずれかに記載の測定デバイス。
- 前記測定対象物が、及び測定デバイスが互いに関連して移動する場合、前記測定デバイスが、前記対象物の少なくとも1つの表面のプロファイルを決定するように調整される、請求項6又は請求項8に記載の測定デバイス。
- 測定デバイスが、請求項1に記載の前記光学的放射源、前記検出器、及び前記光学的放射処理ユニットを少なくとも備える2つの測定機器を具備し、第1の測定機器が、前記対象の第1の半分に配置され、第2の測定機器が、前記対象の第2の半分に配置され、その場合、前記測定機器が、前記第1の測定機器によって測定された第1表面の前記位置データ、及び前記第2の測定機器によって測定された、前記第2の表面の前記位置データに基づいて前記測定対象の前記厚さを決定するように調整される、請求項6〜9のいずれかに記載の測定デバイス。
-
光学的放射が、前記光学的放射の測定対象物への少なくとも1つの光源によって放射され、
前記測定対象物から反射した放射が、少なくとも1つの検出器によって受信され、放射強度に比例する電気信号が生成される前記光学的放射を用いた対象の1つ以上の特性を決定するための方法であって、
更に、前記方法において、
測定表面の法線方向から、波長の内の少なくとも、最小及び最長の波長が、前記測定対象物の異なる半分及び異なる高さに集まるように、前記光源から放射した光学的放射は、様々な波長に分割され、前記様々な波長は、前記測定表面の法線方向とは異なる方向において測定対象物へ向けられ、
前記測定対象物(少なくとも、前記測定表面の前記法線方向から異なるスペクトル反射の方向)から反射した光学的放射が、受信され、前記光学的放射が前記検出器へ向けられ、かつ、
前記検出器によって生成され、そこに集中した前記放射の強度に比例する電気信号が分析され、更に、前記測定対象物を説明する1つ以上の特徴、少なくとも、前記表面の光沢特性を、その波長強度、前記測定表面に配置された前記焦点、及び、スペクトルジオメトリにおける最強の波長として、前記点から前記検出器へ反射したものに基づいて、分析する、
ことを特徴とする方法。 - 測定デバイスからの測定データを受信するように調整され、前記測定デバイスが、
測定対象物へ光学的放射を放射するための、少なくとも1つの光学的放射源と、
前記測定対象物から反射した前記放射を受信し、その強度に比例する電気信号を生成するための、少なくとも1つの検出器と、
を具備する前記光学的放射を用いて、対象物の1つ以上の特徴を決定するための、コンピュータプログラム製品であって、
前記測定デバイスが更に、
波長の内、少なくとも最短及び最長の波長が、測定表面の法線方向で、前記測定対象物の表面の異なる半分及び異なる高さへ集中するように、光源によって放射した光学的放射を、分割された波長に分割し、前記分割した波長を前記測定対象物の前記法線方向と異なる方向で前記測定対象物へ向けるように調整される、(放射された)光学的放射処理ユニットと、
前記測定表面の前記法線方向と異なる少なくともスペクトル反射の方向における前記測定対象物から反射した光学的放射を受信するように調整され、且つ、受信した光学的放射が前記検出器に向けられるように調整される、(反射した)光学的放射処理ユニットと、
を具備し、更に、
前記コンピュータプログラム製品が、前記検出器によって生成され、そこに集中した前記放射の強度に比例する電気信号を分析し、且つ、更に、その波長の前記強度に基づいて、前記測定対象物を説明する1つ以上の特徴少なくとも表面の光沢の特徴を決定するように調整され、その焦点が前記測定表面上に配置され、従って、前記コンユータプログラム製品がデータ処理デバイスにおいて運転される場合、前記スペクトルジオメトリにおける最強の波長としてその点から前記検出器へ反射する、
ことを特徴とするコンピュータプログラム製品。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20096035 | 2009-10-08 | ||
FI20096035A FI124299B (fi) | 2009-10-08 | 2009-10-08 | Mittalaite ja menetelmä kohteen ja kohteen pinnan ominaisuuksien mittaamiseksi |
PCT/FI2010/050778 WO2011042606A1 (en) | 2009-10-08 | 2010-10-07 | Measuring instrument and method for determination of the properties of an item and its surface |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013507608A true JP2013507608A (ja) | 2013-03-04 |
Family
ID=41263452
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012532637A Pending JP2013507608A (ja) | 2009-10-08 | 2010-10-07 | 物品及びその表面の特性を決定するための測定機器及び方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8786836B2 (ja) |
EP (1) | EP2486392B1 (ja) |
JP (1) | JP2013507608A (ja) |
CN (1) | CN102575985B (ja) |
ES (1) | ES2743461T3 (ja) |
FI (1) | FI124299B (ja) |
PL (1) | PL2486392T3 (ja) |
WO (1) | WO2011042606A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210092821A (ko) * | 2018-12-04 | 2021-07-26 | 프레시텍 옵트로닉 게엠베하 | 광학 측정 장치 |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102739952B (zh) * | 2011-03-29 | 2015-06-03 | 财团法人工业技术研究院 | 多视角取像方法及其应用系统 |
WO2013028196A1 (en) | 2011-08-25 | 2013-02-28 | Alliance For Sustainable Energy, Llc | On-line, continuous monitoring in solar cell and fuel cell manufacturing using spectral reflectance imaging |
US8643830B2 (en) * | 2011-11-01 | 2014-02-04 | Axalta Coating Systems Ip Co., Llc | Process for predicting metallic gloss of coating resulting from coating compositions by wet color measurement |
FI125408B (fi) * | 2012-09-17 | 2015-09-30 | Focalspec Oy | Menetelmä ja mittalaite pinnan etäisyyden, kohteen paksuuden ja optisten ominaisuuksien mittaamiseksi |
JP5701837B2 (ja) | 2012-10-12 | 2015-04-15 | 横河電機株式会社 | 変位センサ、変位測定方法 |
FI20126126L (fi) | 2012-10-30 | 2014-05-01 | Metso Automation Oy | Menetelmä ja laite kiillon mittaamiseksi |
GB2507813B (en) * | 2012-11-13 | 2017-06-21 | Focalspec Oy | Apparatus and method for inspecting seals of items |
CN103063615B (zh) * | 2012-12-28 | 2014-12-31 | 天威(成都)太阳能热发电开发有限公司 | 基于抛物面反射镜的光洁度测量仪及其测量方法 |
EP3044568B1 (en) * | 2013-09-12 | 2020-09-09 | SiO2 Medical Products, Inc. | Rapid, non-destructive, selective infrared spectrometry analysis of organic coatings on molded articles |
JP5907364B2 (ja) * | 2015-02-17 | 2016-04-26 | 横河電機株式会社 | 分光特性測定装置、分光特性測定方法、面状測定対象物品質監視装置 |
WO2017034723A1 (en) * | 2015-08-27 | 2017-03-02 | Illinois Tool Works Inc. | Field splitter for three-dimensional strain measurement |
FI127908B (en) * | 2015-09-22 | 2019-05-15 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy | Method and apparatus for measuring surface height |
US9863842B2 (en) | 2015-09-24 | 2018-01-09 | Novartis Ag | Method for characterizing an ophthalmic lens |
FI126900B (en) * | 2015-12-29 | 2017-07-31 | Optiweld Oy | Method and system for analyzing the properties of a weld |
DE102016122528A1 (de) * | 2016-11-22 | 2018-05-24 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zum Steuern oder Regeln einer Mikroskopbeleuchtung |
US10480935B2 (en) | 2016-12-02 | 2019-11-19 | Alliance For Sustainable Energy, Llc | Thickness mapping using multispectral imaging |
JP2018147579A (ja) * | 2017-03-01 | 2018-09-20 | オムロン株式会社 | 光電センサ |
DE102017126310A1 (de) | 2017-11-09 | 2019-05-09 | Precitec Optronik Gmbh | Abstandsmessvorrichtung |
CN110118737A (zh) * | 2018-02-05 | 2019-08-13 | 康代有限公司 | 检查包括光敏聚酰亚胺层的物体 |
CN108550080A (zh) * | 2018-03-16 | 2018-09-18 | 阿里巴巴集团控股有限公司 | 物品定损方法及装置 |
US11473901B2 (en) * | 2018-05-29 | 2022-10-18 | Hitachi High-Tech Corporation | Height measurement device in which optical paths projected on the sample at different incidence angles |
CN108955549A (zh) * | 2018-09-11 | 2018-12-07 | 深圳立仪科技有限公司 | 一种透光材料双面测厚装置 |
CN108827172B (zh) * | 2018-10-11 | 2019-01-08 | 中国人民解放军国防科技大学 | 基于固态变焦透镜的非接触式激光测厚装置及方法 |
JP2020148463A (ja) * | 2019-03-11 | 2020-09-17 | 株式会社日立ハイテク | 高さ測定装置及びビーム照射装置 |
CN113677971A (zh) * | 2019-04-11 | 2021-11-19 | 克里奥瓦克公司 | 用于密封完整性的在线检查的系统 |
US10876882B1 (en) * | 2019-06-26 | 2020-12-29 | Honeywell International Inc. | Online grade selection for weight measurements of composite sheets |
CN110425983B (zh) * | 2019-07-26 | 2021-04-06 | 杭州电子科技大学 | 一种基于偏振多光谱的单目视觉三维重建测距方法 |
CN110398447A (zh) * | 2019-08-15 | 2019-11-01 | 华帝股份有限公司 | 一种高灵敏度油烟浓度测量装置 |
SE543645C2 (en) * | 2019-09-02 | 2021-05-11 | Odinwell Ab | Optical device and method for monitoring a measurement object |
CN111750786B (zh) * | 2020-07-06 | 2022-03-01 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 厚度量测设备、抛光系统及抛光物料管理方法 |
FI130557B (en) * | 2020-09-29 | 2023-11-17 | Lmi Tech Inc | DEVICE FOR DETERMINING TARGET DISTANCE, SURFACE THICKNESS AND OPTICAL PROPERTIES AND RELATED METHODS |
US11346790B1 (en) * | 2020-12-02 | 2022-05-31 | Onto Innovation Inc. | Focus system for oblique optical metrology device |
FI20215460A1 (en) | 2021-04-19 | 2022-10-20 | Lmi Tech Oy | LIGHTING ASSEMBLY AND METHOD FOR PRODUCING MEASUREMENT LIGHT AND OPTICAL MEASUREMENT DEVICE |
CN113959349B (zh) * | 2021-10-25 | 2022-04-19 | 湖南捷力泰科技有限公司 | 一种膜片质量检测装置及其方法 |
CN114839165B (zh) * | 2022-04-12 | 2023-06-23 | 征图新视(江苏)科技股份有限公司 | 基于相机的表面光泽度检测方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996041123A1 (en) * | 1995-06-07 | 1996-12-19 | Keravision, Inc. | Distance measuring confocal microscope |
JPH09222361A (ja) * | 1995-12-12 | 1997-08-26 | Omron Corp | 物体の色等の検出装置及びそれを用いた検査装置 |
FR2848664A1 (fr) * | 2002-12-11 | 2004-06-18 | Micro Module | Detecteur de position, forme et reflectivite d'une surface |
JP2006153846A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-06-15 | Sharp Corp | 鏡面光沢予測装置、鏡面光沢予測方法、鏡面光沢予測装置の制御プログラム、および、記録媒体 |
JP2007147299A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Kobe Steel Ltd | 変位測定装置及び変位測定方法 |
JP2008065876A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Sony Corp | 膜厚判定装置、膜厚判定方法 |
WO2008046996A2 (fr) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Clextral | Procédé et installation de production en continu d'un produit poreux en poudre |
JP2008541101A (ja) * | 2005-05-17 | 2008-11-20 | マイクロ−エプシロン・メステヒニク・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カー・ゲー | 物体の表面測定装置およびその表面測定方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5747813A (en) * | 1992-06-16 | 1998-05-05 | Kla-Tencop. Corporation | Broadband microspectro-reflectometer |
US6031620A (en) * | 1997-05-01 | 2000-02-29 | Impact Systems, Inc. | Gloss sensor resistant to tilting and shifting paper and with improved calibration |
JP2001305057A (ja) * | 2000-04-19 | 2001-10-31 | Nichicon Corp | 光沢センサ |
US7345772B2 (en) * | 2004-08-06 | 2008-03-18 | Voith Paper Patent Gmbh | Optical triangulation device and method of measuring a variable of a web using the device |
US7460233B2 (en) * | 2005-11-08 | 2008-12-02 | Honeywell International Inc. | Pass-line and tilt insensitive sensor |
FI119259B (fi) * | 2006-10-18 | 2008-09-15 | Valtion Teknillinen | Pinnan ja paksuuden määrittäminen |
CA2697543C (en) * | 2007-08-31 | 2016-01-26 | Abb Ltd. | Web thickness measurement device |
-
2009
- 2009-10-08 FI FI20096035A patent/FI124299B/fi active IP Right Grant
-
2010
- 2010-10-07 US US13/500,073 patent/US8786836B2/en active Active
- 2010-10-07 JP JP2012532637A patent/JP2013507608A/ja active Pending
- 2010-10-07 EP EP10821623.5A patent/EP2486392B1/en active Active
- 2010-10-07 WO PCT/FI2010/050778 patent/WO2011042606A1/en active Application Filing
- 2010-10-07 PL PL10821623T patent/PL2486392T3/pl unknown
- 2010-10-07 CN CN201080045557.7A patent/CN102575985B/zh not_active Ceased
- 2010-10-07 ES ES10821623T patent/ES2743461T3/es active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1996041123A1 (en) * | 1995-06-07 | 1996-12-19 | Keravision, Inc. | Distance measuring confocal microscope |
JPH09222361A (ja) * | 1995-12-12 | 1997-08-26 | Omron Corp | 物体の色等の検出装置及びそれを用いた検査装置 |
FR2848664A1 (fr) * | 2002-12-11 | 2004-06-18 | Micro Module | Detecteur de position, forme et reflectivite d'une surface |
JP2006153846A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-06-15 | Sharp Corp | 鏡面光沢予測装置、鏡面光沢予測方法、鏡面光沢予測装置の制御プログラム、および、記録媒体 |
JP2008541101A (ja) * | 2005-05-17 | 2008-11-20 | マイクロ−エプシロン・メステヒニク・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カー・ゲー | 物体の表面測定装置およびその表面測定方法 |
JP2007147299A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Kobe Steel Ltd | 変位測定装置及び変位測定方法 |
JP2008065876A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Sony Corp | 膜厚判定装置、膜厚判定方法 |
WO2008046996A2 (fr) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Clextral | Procédé et installation de production en continu d'un produit poreux en poudre |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210092821A (ko) * | 2018-12-04 | 2021-07-26 | 프레시텍 옵트로닉 게엠베하 | 광학 측정 장치 |
JP2022510336A (ja) * | 2018-12-04 | 2022-01-26 | プレシテック オプトロニク ゲーエムベーハー | 光学測定装置 |
KR102567597B1 (ko) | 2018-12-04 | 2023-08-16 | 프레시텍 옵트로닉 게엠베하 | 광학 측정 장치 |
JP7429991B2 (ja) | 2018-12-04 | 2024-02-09 | プレシテック オプトロニク ゲーエムベーハー | 光学測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102575985A (zh) | 2012-07-11 |
FI20096035A0 (fi) | 2009-10-08 |
US8786836B2 (en) | 2014-07-22 |
FI124299B (fi) | 2014-06-13 |
FI20096035A (fi) | 2011-04-09 |
US20120206710A1 (en) | 2012-08-16 |
PL2486392T3 (pl) | 2020-01-31 |
CN102575985B (zh) | 2015-10-14 |
EP2486392A1 (en) | 2012-08-15 |
EP2486392B1 (en) | 2019-06-05 |
EP2486392A4 (en) | 2017-01-04 |
WO2011042606A1 (en) | 2011-04-14 |
ES2743461T3 (es) | 2020-02-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013507608A (ja) | 物品及びその表面の特性を決定するための測定機器及び方法 | |
JP5155325B2 (ja) | 表面および厚みの決定 | |
KR102567597B1 (ko) | 광학 측정 장치 | |
US7495762B2 (en) | High-density channels detecting device | |
US10788314B2 (en) | Object position independent method to measure the thickness of coatings deposited on curved objects moving at high rates | |
US9024259B2 (en) | Method and apparatus for electromagnetic detection for use in the manufacture of fibrous web | |
EP2198272B1 (en) | Microgloss measurement of paper and board | |
US11029143B2 (en) | Method and device for optical surface measurement by means of a chromatic confocal sensor | |
US9194799B2 (en) | Imaging based refractometers | |
HU229699B1 (en) | Imaging optical checking device with pinhole camera (reflectometer, polarimeter, ellipsicmeter) | |
US20020024669A1 (en) | Spectral ellipsometer having a refractive illuminating optical system | |
KR101987402B1 (ko) | 편광픽셀어레이를 이용한 박막과 후막의 두께 및 삼차원 표면 형상 측정 광학 장치 | |
US11125549B2 (en) | Optical intensity method to measure the thickness of coatings deposited on substrates | |
WO2019176938A1 (ja) | 波長検出装置及び共焦点計測装置 | |
US6721050B2 (en) | Method and device for the spectral analysis of light | |
JPH0515976B2 (ja) | ||
US10928307B2 (en) | Configurable retro-reflective sensor system for the improved characterization of the properties of a sample | |
FI124263B (fi) | Mittalaite ja menetelmä kohteen ja kohteen pinnan ominaisuuksien mittaamiseksi | |
JP5363976B2 (ja) | 反射率測定による特性評価の測定装置と方法 | |
US20040135995A1 (en) | Spectroscopic ellipsometer wafer mapper for DUV to IR | |
CN116793230A (zh) | 一种检测方法及检测系统 | |
US20210318243A1 (en) | Device and method for detecting and/or evaluating articles or products | |
CN112539705A (zh) | 一种发光装置及其聚焦方法、检测设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20130827 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20130827 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130926 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140819 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20141118 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20141126 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20141218 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20150116 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150219 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150526 |