CN112539705A - 一种发光装置及其聚焦方法、检测设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种发光装置及其聚焦方法、检测设备，包括光源模块、多个第一透镜组和合光组件，光源模块出射多个光路不同的光束，不同光路的光束的波长范围不同，并且，不同光路的光束可以合成一束宽光谱测量光，因此，可以采用宽光谱的测量光对待测样品进行测量，从而可以更加准确地测量待测样品的膜层厚度等信息；由于任一第一透镜组到光源模块的距离可调，可以使不同光路上的光束在待测样品表面会聚于同一点，因此，可以减小不同光路的光束的色差，即减小宽光谱测量光的色差，从而可以提高检测设备的测量精确度，使得检测设备能够满足集成电路前道制程50μm及以下功能模块的测量要求。

Description

一种发光装置及其聚焦方法、检测设备

技术领域

本发明涉及光学测量技术领域，更具体地说，涉及一种发光装置及其聚焦方法、检测设备。

背景技术

常见的光学检测设备的光源波长范围在可见光(400nm-800nm)范围内。但是，由于紫外-可见-红外宽光谱可以更加准确地测量样品的结构和材料特征，因此，现有的一些光学检测设备采用了宽光谱的光源来对样品进行测量。但是，由于宽光谱的色差较大，因此，会影响宽光谱检测设备的测量精确度，导致检测设备难以满足集成电路前道制程50μm及以下功能模块的测量要求。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种发光装置及其聚焦方法、检测设备，以提高宽光谱检测设备的测量精确度。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种发光装置，包括：

光源模块，用于出射多个光路不同的光束，不同光路的光束的波长范围不同；

多个第一透镜组，分别位于不同光束的光路上，所述第一透镜组用于对所述光束进行准直；

合光组件，用于将不同光路上的光束合成一束测量光，并将所述测量光入射到待测样品表面，以使所述测量光经所述待测样品后形成信号光，并且，任一所述第一透镜组到所述光源模块的距离可调，以使不同光路上的光束在所述待测样品表面会聚于同一点。

可选地，所述光源模块包括多个光源，不同光源出射的光束的光路不同，不同光路的光束的波长范围不同；

其中，所述第一透镜组到所述光源模块的距离可调包括：所述第一透镜组到所述光源的距离可调。

可选地，所述光源模块包括一个光源和位于所述光源出射光路上的第一分光组件，所述第一分光组件用于将所述光源出射的光分成多个光路不同的光束，不同光路的光束的波长范围不同；

其中，所述第一透镜组到所述光源模块的距离可调包括：所述第一透镜组到所述第一分光组件的距离可调，和/或，所述第一分光组件到所述光源的距离可调。

可选地，还包括第二检测模块；

所述第二检测模块用于检测照射到所述待测样品表面的光束的光斑，根据不同光路上的光束的光斑是否重合确定不同光路上的光束是否在所述待测样品表面会聚于同一点。

可选地，所述第二检测模块为成像模块，用于对待测样品表面光斑进行成像，形成光斑图像。

可选地，所述第二检测模块还用于检测所述测量光或所述信号光，并根据所述测量光或所述信号光的光学信息确定所述光束是否聚焦到所述待测样品表面，所述光学信息用于表征一个或多个波长信号光光强的加权。

可选地，还包括多个控制模块；

所述多个控制模块分别位于不同光束的光路上，且所述控制模块位于所述光源模块和所述合光组件之间；所述控制模块用于控制对应光路上的光束是否入射到所述合光组件上。

可选地，还包括驱动组件；

所述驱动组件用于驱动一个或多个第一透镜组移动；或者，所述光源模块包括多个光源，不同光源出射的光束的光路不同，所述驱动组件用于驱动所述多个光源中一者移动，或者驱动所述多个光源中的若干个光源分别移动。

可选地，所述多个光路中至少一者的光束为多波长。

可选地，所述测量光与所述待测样品表面法线的夹角为锐角。

一种检测设备，包括：

如上任意一项所述的发光装置；

第一检测模块，用于检测所述信号光，并根据所述信号光获得所述待测样品的检测信息。

可选地，还包括第二分光组件；

所述第二分光组件用于将所述信号光分成光路不同的多个子信号光，不同光路的子信号光的波长范围不同；

所述第一检测模块包括多个子检测模块和多个第二透镜组，所述多个子检测模块分别设置在不同子信号光的光路上，所述第二透镜组位于所述第二分光组件和所述子检测模块之间；

所述第二透镜组用于对所述子信号光进行准直；

所述子检测模块用于对所述子信号光进行检测，以获得所述待测样品的检测信息。

可选地，还包括位于所述发光装置和所述检测样品之间的起偏器、依次位于所述待测样品和所述第一检测模块之间补偿器和检偏器；

所述起偏器用于将所述测量光调整为具有相应偏振态的测量光；

所述补偿器用于对所述信号光进行相位补偿；

所述检偏器用于将具有相应偏振态的所述信号光传输至所述检测模块。

一种聚焦方法，应用于如上任一项所述的发光装置，所述聚焦方法包括：光源模块出射多个光路不同的光束，不同光路的光束的波长范围不同；

调整任一第一透镜组到所述光源模块的距离，使不同光路上的光束经过合光组件合成一束测量光，并使所述测量光在待测样品表面会聚于同一点，所述测量光经所述待测样品后形成信号光。

可选地，当所述光源模块包括多个光源时，调整任一第一透镜组到所述光源模块的距离包括：调整任一所述第一透镜组到所述光源的距离。

可选地，当所述光源模块包括一个光源和位于所述光源出射光路上的第一分光组件时，调整任一第一透镜组到所述光源模块的距离包括：

调整所述第一透镜组到所述第一分光组件的距离，和/或，调整所述第一分光组件到所述光源的距离。

可选地，使所述测量光在待测样品表面会聚于同一点包括：

使第二检测模块的检测面处于所述待测样品表面的位置；

通过所述第二检测模块检测照射到所述检测面的光束的光斑，根据不同光路上的光束的光斑是否重合确定不同光路上的光束是否在所述待测样品表面会聚于同一点。

与现有技术相比，本发明所提供的技术方案具有以下优点：

本发明所提供的发光装置及其聚焦方法、检测设备，光源模块出射多个光路不同的光束，不同光路的光束的波长范围不同，并且，不同光路的光束可以合成一束宽光谱测量光，因此，可以采用宽光谱的测量光对待测样品进行测量，从而可以更加准确地测量待测样品的膜层厚度等信息；

由于任一第一透镜组到光源模块的距离可调，可以使不同光路上的光束在待测样品表面会聚于同一点，因此，可以减小不同光路的光束的色差，即减小宽光谱测量光的色差，从而可以提高检测设备的测量精确度，使得检测设备能够满足集成电路前道制程50μm及以下功能模块的测量要求。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本发明一个实施例提供的发光装置的结构示意图；

图2为本发明另一个实施例提供的发光装置的结构示意图；

图3为本发明另一个实施例提供的发光装置的结构示意图；

图4为本发明另一个实施例提供的发光装置的结构示意图；

图5为本发明一个实施例提供的检测设备的结构示意图；

图6为本发明另一个实施例提供的检测设备的结构示意图；

图7为本发明另一个实施例提供的检测设备的结构示意图；

图8为本发明一个实施例提供的聚焦方法的流程图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供了一种发光装置，如图1所示，包括光源模块1、多个第一透镜组2和合光组件3。

其中，光源模块1用于出射多个光路不同的光束，不同光路的光束的波长范围不同。可选地，不同光路上的光束都为宽光谱光束。如图1所示，以光源模块1出射两个不同的光路光束S1和S2为例，光束S1和S2的光路不同，光束S1和S2的波长范围不同。可选地，光束S1的波长范围为190nm～400nm，光束S2的波长范围为220nm～1700nm。当然，本发明并不仅限于此，在其他实施例中，可以根据实际需要对每个光路的光束的波长范围进行设定。

多个第一透镜组2分别位于不同光束的光路上，第一透镜组2用于对光束进行准直。如图1所示，一个第一透镜组2位于光束S1的光路上，对光束S1进行准直，一个第一透镜组2位于光束S2的光路上，对光束S2进行准直。

合光组件3用于将不同光路上的光束合成一束宽光谱的测量光C1，并将测量光入射到待测样品4表面，以使测量光经待测样品4后形成信号光。如将光束S1和S2合成一束光，由于光束S1和S2的波长范围不同，且都为宽光谱光束，因此，合成的测量光C1也为宽光谱的光，从而可以采用宽光谱的测量光C1对待测样品A进行测量，进而可以更加准确地测量待测样品A的膜层厚度等信息。

本发明实施例中，任一第一透镜组2到光源模块1的距离可调，以使不同光路上的光束在待测样品4表面会聚于同一点。如令光束S1和光束S2在待测样品4表面的会聚光斑重合，或者说二者的光斑的圆心相同，以减小合成的宽光谱测量光C1的色差。

本发明实施例中，宽光谱的测量光C1包括可见光、紫外光和/或红外光，即宽光谱的测量光C1包括可见光和紫外光，或包括可见光和红外光，或包括可见光、紫外光和红外光。也就是说，光源模块1出射的所有光束的波长范围的合集大于可见光的波长范围、大于紫外光的波长范围和/或大于红外光的波长范围。

本发明的一些实施例中，如图1和图2所示，光源模块1包括多个光源10，每个光源10的出射光路上都具有一个第一透镜组2。光源10用于出射光束，不同光源出射的光束的光路不同，不同光路的光束的波长范围不同。第一透镜组2用于对光源10出射的光束进行准直。

如图2所示，发光装置还包括位于每个光束光路上的光阑组件5，光阑组件5用于对光束在待测样品4表面形成的光斑大小进行调整，以便剔除低信噪比的波长，采用尺寸较小的光斑对待测样品A表面的微结构进行测量，提高微结构测量的精度，采用尺寸较大的光斑对待测样品A表面的大尺寸结构进行测量，提高测量的速度，从而能够对待测样品A表面多种尺寸的结构进行高速高精度的全自动测量，指导待测样品A表面膜层的生长，有效地提高待测样品A表面膜层的良率。

可选地，如图1和图2所示，光源模块1包括两个光源10，一个光源10出射波长范围为190nm～400nm的光束S1，另一个光源10出射波长范围为220nm～1700nm的光束S2。光束S1和S2经过第一透镜组2准直后，形成色差很小的平行光。

当然，本发明并不仅限于此，在另一些实施例中，如图3所示，光源模块1包括一个光源10和位于光源10出射光路上的第一分光组件11。第一分光组件11用于将光源10出射的光分成多个光路不同的光束，不同光路的光束的波长范围不同。当然，本发明的一些实施例中，光源模块1还包括反射镜12和13等，以通过反射镜12和13改变光路的方向，使得不同光路上的光束都能够入射到合光组件3上。

可选地，光源10出射波长范围为190nm～1700nm的光束，第一分光组件11将该光束分成波长范围为190nm～400nm的光束S1和波长范围为220nm～1700nm的光束S2。

需要说明的是，由于不同光路上的光束的波长范围不同，因此，不同光路上的光束在合光组件3上可能不会在同一点会聚，因此，本发明实施例中，任一第一透镜组2到光源10的光路长度可调，以使不同光束在待测样品4表面上会聚于同一点，以减小会聚后的测量光C1的色差。

本发明实施例中的发光装置还包括驱动组件，该驱动组件用于驱动一个或多个第一透镜组2移动，以通过驱动第一透镜组2移动调整第一透镜组2到光源10的光路长度，或者，该驱动组件用于驱动光源10移动，以通过移动光源10调整第一透镜组2到光源10的光路长度。

其中，当光源模块1包括多个光源10，不同光源10出射的光束的光路不同时，驱动组件还用于驱动多个光源10中一者移动，或者驱动多个光源10中的若干个光源分别移动。

本发明实施例中还包括第二检测模块，其中，第二检测模块用于检测测量光或信号光，并根据测量光或信号光的光学信息确定光束是否聚焦到待测样品4表面，光学信息用于表征一个或多个波长信号光光强的加权。此外，第二检测模块还用于检测照射到待测样品4表面的测量光光束的光斑，并根据不同光路上的光束的光斑是否重合确定不同光路上的光束是否在待测样品4表面会聚于同一点。可选地，第二检测模块为成像模块，用于对待测样品4表面光斑进行成像，形成光斑图像。进一步可选地，第二检测模块为CCD图像传感器等。

具体地，可将第二检测模块的检测面放置在待测样品4表面的位置，通过第二检测模块的检测面检测发光装置出射的测量光，并根据测量光的光学信息确定任一光束是否聚焦到待测样品4表面。或者，可将第二检测模块的检测面放置在待测样品4的信号光的光路上，通过第二检测模块的检测面检测发光装置出射的信号光，并根据信号光的光学信息确定任一光束是否聚焦到待测样品4表面。

当将第二检测模块的检测面放置在待测样品4表面的位置时，所有光束都会在检测面形成不同的光斑，调整任一第一透镜组2到光源10的光路长度，并根据不同光路上的光束在检测面形成的光斑是否重合确定不同光路上的光束是否在检测面会聚于同一点。若所有光路上光束的光路在检测面会聚于同一点，则必然会在待测样品4表面会聚于同一点，在此不再赘述。

需要说明的是，本发明实施例中，仅以两个不同光路的光束S1和S2为例进行说明，但是，本发明并不仅限于此，在其他实施例中，还可以通过增加光源10或增加反射镜和分光组件等，得到三个甚至更多个光路的光束。

可选地，本发明实施例中，多个光路中至少一者的光束为多波长。可选地，光源10为多重波长的光源，即光源10出射的光束为宽光谱光束。具体地，光源10的光谱可以在紫外至红外光范围内，即，在190nm至11000nm波长范围内。光源10可以是氙灯、氘灯、钨灯、卤素灯、汞灯、包含氘灯和钨灯的复合宽带光源、包含钨灯和卤素灯的复合宽带光源、包含汞灯和氙灯的复合宽带光源、或者包含氘钨卤素的复合宽带光源等，通常此类光源10出射的光束为自然光。当然，本发明并不仅限于此，在其他实施例中，光源10也可以为出射偏振光的光源，但是，需要利用消偏振器等将偏振光转化成自然光后出射。

还需要说明的是，本发明实施例中的光源10的出光端还可以具有视场光阑，以通过视场光阑和光阑组件5的配合使用，有效抑制待测样品4表面光斑的大小，实现微结构的有效测量。

本发明实施例提供的测量系统，还包括多个控制模块；多个控制模块分别位于不同光束的光路上，且控制模块位于光源模块1和合光组件3之间；控制模块用于控制对应光路上的光束是否入射到合光组件3上。

可选地，如图4所示，控制模块包括挡光组件80和控制挡光组件80移动的控制器，在测量系统工作的过程中，当挡光组件80进入对应设置的光束的光路上时，该光路上的光束不能入射到合光组件3上合成测量光；当挡光组件80离开对应设置的光束的光路上时，该光路上的光束入射到合光组件3上合成测量光。基于此，可以根据实际需要控制合成的测量光的光谱范围，并且，此控制过程不需要移动其他器件，即其他器件是固定不动的，从而可以降低测量光波长范围的调试难度。

本发明实施例还提供了一种检测设备，如图5所示，包括如上任一实施例提供的发光装置和第一检测模块6，第一检测模块6用于检测信号光C2，并根据信号光C2获得待测样品4的检测信息。

此外，本发明实施例提供的检测设备还包括第一会聚透镜7和第二会聚透镜8，第一会聚透镜7用于将测量光会聚到待测样品4表面；第二会聚透镜8用于收集信号光，并会聚至第一检测模块6。

本发明实施例提供的测量系统，如图6所示，还包括第二分光组件9。第二分光组件9用于将信号光分成光路不同的多个子信号光，不同光路的子信号光的波长范围不同。第一检测模块6包括多个子检测模块60和多个第二透镜组61，多个子检测模块60分别设置在不同子信号光的光路上，第二透镜组61位于第二分光组件9和子检测模块60之间；第二透镜组61用于对子信号光进行准直；子检测模块60用于对子信号光进行检测，以获得待测样品4的信息。本发明实施例中，第一检测模块6中的子检测模块60可以为光谱仪或CCD等，在此不再赘述。

由于深紫外波段(190nm～300nm)对材料特性和厚度具有更高的灵敏性，能够提高测量的准确性和拓展材料分析的能力，因此，本发明实施例中，至少一个子信号光包括紫外光，位于该子信号光的光路上的子检测模块60为紫外光检测模块。由于红外波段(800nm～1700nm)可探测晶格振动声子及自由电荷载子(等离子体)等的性质，对于多晶硅、Al等非晶/金属薄膜的测量具有很好的效果，因此，本发明实施例中，至少一个子信号光的波长范围包括红外光的波长范围，位于该子信号光的光路上的子检测模块60为红外光检测模块。

本发明实施例中的检测设备可以为椭圆偏振检测设备，基于此，如图7所示，该设备还包括位于发光装置和待测样品4之间的起偏器20、位于待测样品4和第一检测模块6之间的补偿器21和检偏器22；其中，起偏器20用于将测量光调整为具有相应偏振态的测量光；补偿器21用于对信号光进行相位补偿；检偏器22用于将具有相应偏振态的信号光传输至第一检测模块6。

需要说明的是，本发明实施例中的第一透镜组2和第二透镜组61可以为管镜，也可以为多个透镜组成的透镜组，并且，不同光路上的第一透镜组2的结构可以相同或不同，不同光路上的第二透镜组61的结构也可以相同或不同。此外，本发明实施例中的第一会聚透镜7和第二会聚透镜8为物镜，当然，本发明并不仅限于此。

不同光路的光束即不平行光经第一透镜组2准直后成为平行光，经光阑组件5调整光斑大小后，在合光组件3上合成一束宽光谱的测量光C1，宽光谱测量光C1经起偏器20起偏后，被第一会聚透镜7会聚到待测样品4表面，经待测样品4表面反射或散射后形成宽光谱信号光C2，宽光谱信号光C2被第二会聚透镜8会聚至补偿器21上，之后宽光谱信号光C2经过检偏器22检偏后，被第二分光组件9分成多个子信号光，子信号光被第二透镜组61准直后，入射到对应的子检测模块60上，以获得待测样品4的膜层厚度等信息。

本发明实施例中，合光组件3、第一分光组件11和第二分光组件9都为二向色片，二向色片通过透射部分光线、反射另一部分光线，来实现光束的分光和合光。当然，本发明并不仅限于此，在其他实施例中，合光组件3、第一分光组件11和第二分光组件9还可以为半反半透镜等。

本发明实施例还提供了一种聚焦方法，应用于如上任一实施例提供的发光装置，如图8所示，聚焦方法包括：

S101：光源模块出射多个光路不同的光束，不同光路的光束的波长范围不同；

如图1所示，当光源模块1包括多个光源10时，光源模块1出射多个光路不同的光束包括：不同光源10出射波长范围不同且位于不同光路上的光束。如图2所示，当光源模块1包括一个光源10和位于光源10出射光路上的第一分光组件11时，光源模块1出射多个光路不同的光束包括：第一分光组件11将光源10出射的光分成多个光路不同的光束，不同光路的光束的波长范围不同。

S102：调整任一第一透镜组到光源模块的距离，使不同光路上的光束经过合光组件合成一束测量光，并使测量光在待测样品表面会聚于同一点，测量光经待测样品后形成信号光。

其中，当光源模块1包括多个光源10时，调整任一第一透镜组2到光源模块1的距离包括：调整任一第一透镜组2到光源10的距离。

当光源模块1包括一个光源10和位于光源10出射光路上的第一分光组件11时，调整任一第一透镜组2到光源模块1的距离包括：调整第一透镜组2到第一分光组件11的距离，和/或，调整第一分光组件11到光源10的距离。

具体地，可以驱动一个或多个第一透镜组2移动，以通过驱动第一透镜组2移动调整第一透镜组2到光源10的光路长度，或者，驱动光源10移动，以通过移动光源10调整第一透镜组2到光源10的光路长度。

其中，当光源模块1包括多个光源10，不同光源10出射的光束的光路不同时，驱动光源10移动包括驱动多个光源10中一者移动，或者驱动多个光源10中的若干个光源分别移动。

本发明实施例中，使测量光在待测样品表面会聚于同一点包括：

使第二检测模块的检测面处于待测样品表面的位置；

通过第二检测模块检测照射到检测面的光束的光斑，根据不同光路上的光束的光斑是否重合确定不同光路上的光束是否在待测样品表面会聚于同一点。

具体地，可将第二检测模块的检测面放置在待测样品4表面的位置，通过第二检测模块的检测面检测发光装置出射的测量光，并根据测量光的光学信息确定任一光束是否聚焦到待测样品4表面。或者，可将第二检测模块的检测面放置在待测样品4的信号光的光路上，通过第二检测模块的检测面检测发光装置出射的信号光，并根据信号光的光学信息确定任一光束是否聚焦到待测样品4表面。

当将第二检测模块的检测面放置在待测样品4表面的位置时，所有光束都会在检测面形成不同的光斑，调整任一第一透镜组2到光源10的光路长度，并根据不同光路上的光束在检测面形成的光斑是否重合确定不同光路上的光束是否在检测面会聚于同一点。若所有光路上光束的光路在检测面会聚于同一点，则必然会在待测样品4表面会聚于同一点，在此不再赘述。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (16)

1.一种发光装置，其特征在于，包括：

光源模块，用于出射多个光路不同的光束，不同光路的光束的波长范围不同；

多个第一透镜组，分别位于不同光束的光路上，所述第一透镜组用于对所述光束进行准直；

合光组件，用于将不同光路上的光束合成一束测量光，并将所述测量光入射到待测样品表面，以使所述测量光经所述待测样品后形成信号光，并且，任一所述第一透镜组到所述光源模块的距离可调，以使不同光路上的光束在所述待测样品表面会聚于同一点。

2.根据权利要求1所述的发光装置，其特征在于，所述光源模块包括多个光源，不同光源出射的光束的光路不同，不同光路的光束的波长范围不同；

其中，所述第一透镜组到所述光源模块的距离可调包括：所述第一透镜组到所述光源的距离可调。

3.根据权利要求1所述的发光装置，其特征在于，所述光源模块包括一个光源和位于所述光源出射光路上的第一分光组件，所述第一分光组件用于将所述光源出射的光分成多个光路不同的光束，不同光路的光束的波长范围不同；

其中，所述第一透镜组到所述光源模块的距离可调包括：所述第一透镜组到所述第一分光组件的距离可调，和/或，所述第一分光组件到所述光源的距离可调。

4.根据权利要求1所述的发光装置，其特征在于，还包括第二检测模块；

所述第二检测模块用于检测照射到所述待测样品表面的光束的光斑，根据不同光路上的光束的光斑是否重合确定不同光路上的光束是否在所述待测样品表面会聚于同一点。

5.根据权利要求4所述的发光装置，其特征在于，所述第二检测模块为成像模块，用于对待测样品表面光斑进行成像，形成光斑图像。

6.根据权利要求1或5所述的发光装置，其特征在于，所述第二检测模块还用于检测所述测量光或所述信号光，并根据所述测量光或所述信号光的光学信息确定所述光束是否聚焦到所述待测样品表面，所述光学信息用于表征一个或多个波长信号光光强的加权。

7.根据权利要求1所述的发光装置，其特征在于，还包括多个控制模块；

所述多个控制模块分别位于不同光束的光路上，且所述控制模块位于所述光源模块和所述合光组件之间；所述控制模块用于控制对应光路上的光束是否入射到所述合光组件上。

8.根据权利要求1所述的发光装置，其特征在于，还包括驱动组件；

所述驱动组件用于驱动一个或多个第一透镜组移动；或者，所述光源模块包括多个光源，不同光源出射的光束的光路不同，所述驱动组件用于驱动所述多个光源中一者移动，或者驱动所述多个光源中的若干个光源分别移动。

9.根据权利要求1所述的发光装置，其特征在于，所述多个光路中至少一者的光束为多波长。

10.一种检测设备，其特征在于，包括：

权利要求1～9任意一项所述的发光装置；

第一检测模块，用于检测所述信号光，并根据所述信号光获得所述待测样品的检测信息。

11.根据权利要求10所述的设备，其特征在于，还包括第二分光组件；

所述第二分光组件用于将所述信号光分成光路不同的多个子信号光，不同光路的子信号光的波长范围不同；

所述第一检测模块包括多个子检测模块和多个第二透镜组，所述多个子检测模块分别设置在不同子信号光的光路上，所述第二透镜组位于所述第二分光组件和所述子检测模块之间；

所述第二透镜组用于对所述子信号光进行准直；

所述子检测模块用于对所述子信号光进行检测，以获得所述待测样品的检测信息。

12.根据权利要求10所述的设备，其特征在于，还包括位于所述发光装置和所述检测样品之间的起偏器、依次位于所述待测样品和所述第一检测模块之间补偿器和检偏器；

所述起偏器用于将所述测量光调整为具有相应偏振态的测量光；

所述补偿器用于对所述信号光进行相位补偿；

所述检偏器用于将具有相应偏振态的所述信号光传输至所述检测模块。

13.一种聚焦方法，其特征在于，应用于权利要求1～9任一项所述的发光装置，所述聚焦方法包括：

光源模块出射多个光路不同的光束，不同光路的光束的波长范围不同；

调整任一第一透镜组到所述光源模块的距离，使不同光路上的光束经过合光组件合成一束测量光，并使所述测量光在待测样品表面会聚于同一点，所述测量光经所述待测样品后形成信号光。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，当所述光源模块包括多个光源时，调整任一第一透镜组到所述光源模块的距离包括：

调整任一所述第一透镜组到所述光源的距离。

15.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，当所述光源模块包括一个光源和位于所述光源出射光路上的第一分光组件时，调整任一第一透镜组到所述光源模块的距离包括：

调整所述第一透镜组到所述第一分光组件的距离，和/或，调整所述第一分光组件到所述光源的距离。

16.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，使所述测量光在待测样品表面会聚于同一点包括：

使第二检测模块的检测面处于所述待测样品表面的位置；

通过所述第二检测模块检测照射到所述检测面的光束的光斑，根据不同光路上的光束的光斑是否重合确定不同光路上的光束是否在所述待测样品表面会聚于同一点。

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