JP3908222B2 - ダート蓄積補償機構を有する光沢センサ装置および方法 - Google Patents

ダート蓄積補償機構を有する光沢センサ装置および方法 Download PDF

Info

Publication number
JP3908222B2
JP3908222B2 JP2003514242A JP2003514242A JP3908222B2 JP 3908222 B2 JP3908222 B2 JP 3908222B2 JP 2003514242 A JP2003514242 A JP 2003514242A JP 2003514242 A JP2003514242 A JP 2003514242A JP 3908222 B2 JP3908222 B2 JP 3908222B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gloss
collimator
mirror
window
receive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2003514242A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004536305A5 (ja
JP2004536305A (ja
Inventor
ベロットサーコヴァスキー,エドワード
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Honeywell International Inc
Original Assignee
Honeywell International Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Honeywell International Inc filed Critical Honeywell International Inc
Publication of JP2004536305A publication Critical patent/JP2004536305A/ja
Publication of JP2004536305A5 publication Critical patent/JP2004536305A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3908222B2 publication Critical patent/JP3908222B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • G01N21/57Measuring gloss

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

本発明は、紙シートの表面特性を測定するための光沢センサに関し、より詳細には、ダート蓄積を補償する単一の装置を使用した光沢の測定に関する。
表面の品質を判定する際に使用するパラメータの1つが、表面艶または表面の光沢である。例えば、紙の生産では、様々な適用分野に適合するように、表面光沢が異なる様々な等級の紙が製造されている。紙の生産中、紙表面が所望の光沢を有すように保証するために、紙の表面の光沢を周期的または連続的に測定することが望ましい。
通常、紙の表面光沢は、完成した紙をロールとして梱包して出荷する前の紙製造の最終段階中に光沢計を使用して測定される。次いで紙のロールが紙製品製造業者に出荷され、紙製品製造業者は、所期の用途に従って紙シートを処理する。
紙表面の光沢を判定する装置は、紙表面から反射された光ビームの強度を測定する光学系を利用する。通常、紙表面の光沢は、その反射率を、既知の光沢を有する磨き面を有するガラスタイルなどの既知の光沢標準の反射率と比較することによって判定される。
具体的には、紙表面の反射率を測定する際に、光を表面に投射し、光の強度に応答するセンサを配置して、紙表面から反射された光の強度を測定する。光沢計は、紙表面の代わりにタイル表面を使用することによって同様にタイル表面の反射率を測定する。紙表面の反射率をタイル表面の反射率と関係付け、それによって紙表面の光沢の測定値が得られる。実際には、タイル表面の反射率の測定は、光沢計が紙表面をスキャンするときに、オフシート時および各スキャンの間に周期的に実施される。光沢計は、そのような各測定中にタイル表面の既知の反射率で較正される。
この技法の下で、2つの光沢センサ規格が業界で開発された。DIN 54502の下で略述される、通常の光沢測定用の第1の規格は、入射光ビームに関して、測定面に対して垂直な直線からの角度75°を用いて測定を行うべきことを指定する。高光沢測定では、測定は、入射光ビームに関して、測定する面に対して垂直な直線からの角度45°を用いて行われる。両方の測定を行うべき場合、一般には2つの別々のセンサが使用される。TAPPI T480の下で略述される第2の規格は、入射光ビームに関して、測定する面に対して垂直な直線からの角度75°だけを用いて測定を行うべきことを指定する。
入手可能な光沢センサに関連する1つの問題は、センサ窓が汚れた場合に適切に機能することができないことである。例えば、製造中に細かい紙塵が生成される。この細かい紙塵は、基準タイルまたはセンサ窓を被覆する。したがって、基準タイルをスキャンすることによってセンサがリセットされたとき、または光ビームが汚れたセンサ窓を通過した場合、読取り値が不正確となる。したがって、紙の光沢が適切に検出されなくなる。
したがって、製造中のダート蓄積(dirt buildup)とは無関係に、正確な光沢測定結果を生成することのできる光沢センサが求められている。
現在入手可能なセンサよりもコンパクトで、使用する部品が少なく、保守の必要が少ない光沢センサも求められている。
本発明の一態様によれば、表面の光沢を光学的に測定するための光沢センサが提供される。この光沢センサは、光源と、光源から光を受けるための、平行光ビームを形成するように構成された第1コリメータとを含み、平行光ビームはコリメータの第1端部から放射される。この光沢センサは、基準信号を発生させるための、コリメータ内の第1検出器と、コリメータの第1端部に隣接して配設され、第1ビーム、および反射装置で受けられる第2ビームに平行ビームを分割するためのビームスプリッタと、第1窓に隣接して配置され、測定する表面に第1ビームを反射するように適合され、反射装置から反射された第2ビームを受けるようにさらに適合された第1ミラーとをさらに含む。第2ミラーは第2窓に隣接して配置される。第2ミラーは、測定する表面から反射された第1ビームと、第1ミラーによって反射された第2ビームとを第1窓および第2窓を通じて受ける。第2ミラーは、第2ビームを反射装置に戻すような角度に配置される。第2コリメータが、第1コリメータに隣接して配設され、第2ミラーから反射された第1ビームを受けるように配置される。第2検出器が、第2コリメータ内に位置し、第1ビームを受けるように適合される。反射装置に隣接して配設された第3検出器が、第2ビームを受けるように適合される。
本発明の一態様によれば、表面の光沢を測定するための光沢センサが、照明源と、少なくとも2つのコリメータとを含み、照明源は、2つのコリメータの一方の中に配設される。第1検出器が第1コリメータ内に配設され、照明源から放射されたビームを受けるように適合される。光沢センサは、照明源から放射されたビームを2つの別々のビームに分割するビームスプリッタと、この2つの別々のビームを反射するための手段とをさらに含む。第2コリメータ内に配設された第2検出器が、ビームスプリッタからのこの2つのビームの一方を受け、第3検出器が、他方の第2ビームを受けるように配置される。
本発明の別の態様によれば、サンプル表面の光沢を光学的に測定するための光沢センサが提供される。この光沢センサは、光源と、光源から光を受けて平行光ビームを形成し、第1コリメータの第1端部から放射する第1コリメータと、基準信号を発生させるための、コリメータ内に位置する第1検出器と、コリメータの第1端部に隣接して配設され、第1ビーム、および反射装置で受けられる第2ビームに平行ビームを分割するビームスプリッタとを含む。第1ミラーが、第1窓に隣接して配置され、測定する表面上に第1ビームを反射し、さらに、反射装置から反射された第2ビームを受けるように適合される。第2窓に隣接して配置された第2ミラーが、測定する表面から反射された第1ビームと、第1ミラーによって反射された第2ビームとを第1窓および第2窓を通じて受け、第2ミラーは、第2ビームを反射装置に戻すような角度に配置される。第1コリメータに隣接して配置された第2コリメータが、第2ミラーから反射された第1ビームを受けるように配置される。第2コリメータ内に配設された第2検出器が、第1ビームを受け、測定信号を生成する。反射装置に隣接して配設された第3検出器が、第2ビームを受け、ダート補償ビームを生成する。基準信号およびダート蓄積信号で測定信号を補正することによって光沢値を生成するための信号補正手段。
次に、添付の図面に示す好ましい実施形態を参照しながら本発明をより詳細に説明する。添付の図面では、同様の要素は同様の参照番号を有する。
図1に示す概略図は、DIN光沢測定を行うように配置された光沢感知システムの図である。
ここで図1を参照すると、本発明の光沢センサ100の図が示されている。この光沢センサ100は、第1コリメータ102、ビームスプリッタ160、第1ミラー165、複数の窓162および162’、第2ミラー165’、プリズム反射器150、第2コリメータ104、ならびに空気渦クランプ170を含む。加えて、気密ケース90を有する光沢センサ100を提供することができ、それによって光沢センサ100全体が汚染から遮蔽される。
第1コリメータ102は、照明源110、基準検出器120、ディフューザ(diffuser)130、および絞り140を含む。第2コリメータ104は、フィルタ135および検出器127を含む。第1コリメータ102および第2コリメータ104は、DIN 54502規格に従って構築される。
光源110には、白熱電球、メタルハライド光源、キセノン光源、またはより好ましくは超高輝度(extra bright)発光ダイオード(LED)を含めることができる。光源110は、可視(450〜650m)領域で強い放射を生成し、ピーク強度が約540〜550nmとなるように電気的に調節される。光源をさらに、第1周波数および第2周波数を有する光エネルギーを供給するように調節することができる。以下で詳細に説明するが、第1周波数の光エネルギーは、ビームスプリッタ160を通過するように適合され、第2周波数の光エネルギーは、ビームスプリッタ160によって第2の方向に反射される。単一光源とビームスプリッタ160を使用することにより、光沢センサ100をよりコンパクトにすることが可能となる。加えて、本発明の光沢センサのより単純な設計により、光沢センサ100の全コストを、現在周知の同等の光沢センサよりも低く抑えることができる。
DIN 54502規格に従うDIN光沢(75°)測定を実現するために、光源110によって生成される光エネルギーが第1コリメータ102によって平行にされ、平行ビーム115となる。上述のように、光源によって生成される光エネルギーは、第1周波数および第2周波数の光エネルギーを含む。第1コリメータ102内に配設された基準検出器120は、光源110によって生成された光エネルギーの特性に関する情報を含む信号125を送る。基準信号125は、図3に示し、以下でより詳細に説明する蓄積補償装置を用いて、紙表面の反射率を光源110で生成された光エネルギーの強度と比較するのに使用される。
図1に示すように、平行ビーム115はビームスプリッタ160を通過し、そこで第2周波数の光エネルギーが、ビーム117として平行ビーム115から分離され、平行ビーム115に対して約90°の角度の方向に向けられる。ビームスプリッタ160を通過した後の平行ビーム115は、第1周波数の光エネルギーを含み、ミラー165により、窓162を通じて紙105に向かって反射される。ミラー165は、測定する表面に垂直な直線に対して約37.5°の角度に設定され、それによって平行ビーム115が紙105の方向に向けられる。次いで平行ビーム115は、紙105によって反射される。紙表面から反射される光エネルギーの強さが紙表面の光沢を表す。
紙105によって反射された平行ビーム115は、窓162’を通じて第2ミラー165’で受けられる。第2ミラー165’は、約37.5°の角度に配置され、それによってビーム115を第2コリメータ104に向けるように適合される。第2コリメータ104は、平行ビーム115がフィルタ135を通過した後に、平行ビーム115の光エネルギーを検出器127上に凝縮する。図1に示すように、平行ビーム115は紙105のところで、紙の平面に垂直な直線に対して約75°の角度をなす。紙表面105からの反射係数は、紙光沢に比例する。
本発明の光沢センサ100は、ダート蓄積補償装置(dirt buildup compensation device)をさらに含む。ダート蓄積補償装置は、プリズム反射器150、窓検出器124、および複数のコンバイニング装置310、320、および330を備える(コンバイニング装置310、320、および330は図3に示す)。図1に示すように、ビームスプリッタ160は、平行ビーム115内に含まれる第2周波数の光エネルギーを、平行ビーム115に対して約90°の角度のビーム部分117として分離する。ビーム117はプリズム反射器150によってミラー165に反射される。次いでビーム117は、ミラー165により、2つの窓162、162’を通じて反射される。次いでビーム117は、ミラー165’によって反射され、それによってビーム117がプリズム反射器150によって受けられ、窓検出器124に反射される。窓検出器124は、以下で詳細に示すように使用するためにダート蓄積補償信号126を発生させる。プリズム反射器150は光沢センサ100内で調節可能であり、したがって第2ビーム117の反射角を、それに応じて調節することができる。
図1に示すように、本発明の光沢センサ100により、2つの基準信号と1つの測定信号を含む3つの別個の信号が発生する。第1基準信号125は、第1コリメータ102内で発生する。第2基準信号は、窓検出器124によってダート蓄積補償信号126として発生する。図1に示すように、信号126はビーム117から発生し、窓162、162’上のダート蓄積量を測定するのに使用される。第3信号129は、検出器127によって第2コリメータ104内で発生する測定信号である。
次に図2を参照すると、本発明のダート蓄積補正機構300の代替実施形態が示されている。図2に示されているように、光沢センサ100のプリズム反射器150がミラー250および252で置き換えられている。ミラー250および252は調節可能であり、それによってビーム117の適切な反射角を、それに応じて調節することができる。
次に図3を参照すると、本発明のダート蓄積補正装置300の機能を示す機能図が示されている。補正装置300は、第1コンバイニング装置310、第2コンバイニング装置320、および第3コンバイニング装置330を含む。コンバイニング装置310、320、および330はそれぞれ、光沢センサ100の検出器で生成された信号を受け取るように適合される。図3に示すように、第1コンバイニング装置310は、得られた測定信号129および第1基準信号125を受け取る。信号129と125はコンバイニング装置310によって結合され、信号340として出力される。出力信号340は、紙105の未補正光沢測定値を表す。第2コンバイニング装置320は、窓162および162’上のダート蓄積を示すダート蓄積補償信号126と、第1基準信号125とを受け取るように適合される。信号126と125は、第2コンバイニング装置320によって結合され、ダート補正信号360として出力される。次いで、未補正光沢信号340およびダート補正信号360はコンバイニング装置330で受け取られ、補正済み光沢信号370として出力される。
窓162および162’を通過したダート蓄積補償信号126は、窓上のダートの蓄積に関する情報を含む。例えば、紙作成工程中に、塵が窓162および162’上に蓄積する可能性があり、したがって、この塵蓄積について光沢測定信号を補正しない場合、測定信号129は光沢測定値を正確に表さないことになる。信号126はまた、信号129の測定値を変える可能性のある空気中の塵も補償する。
ダート補償装置300の結果として、本発明の光沢センサ100では、以下で詳細に説明する標準化手順が不要である。さらに、光沢センサ100では、標準化機械ユニットが不要である。したがって、現在周知の光沢センサに通常見られる可動部を少なくして、光沢センサ100を既存のセンサよりもコンパクトに作成することができる。
通常、標準化ユニット(図示せず)は、既知の光沢のある表面からなり、それによって、光沢センサが既知の光沢のある表面の読取りを行うように、光沢センサまたは既知の光沢のある表面を移動する。例えば、既知の光沢のある表面はタイルを含むことができ、それによって光沢センサが、紙表面上に配置された位置から光沢のある表面上に配置された位置まで移動し、そこで光沢センサが、既知の光沢のある表面に従って較正される。あるいは、標準化ユニットは第2光源、または第1光源に源を発するライトパイプを備えることもでき、光源が既知の光沢のある表面に向く角度に向けられ、その反射が検出器で受けられる。次いでこの信号を使用して、それに応じて光沢センサが較正される。
代替実施形態(図示せず)では、光沢測定とダート蓄積測定を分離するために、平行ビーム115およびビーム117を2つの相異なる周波数f1およびf2で変調することができる。
本発明の光沢センサ100はまた、紙表面の平滑度を正確に測定するのに利用することもできる。当業者は理解するであろうが、紙表面の平滑度も、紙の光沢と相関させることができる。
さらに、高光沢測定(紙の平面に垂直な直線に対して75°)を行うセンサとして本発明を説明したが、本発明の装置および方法はまた、標準光沢測定を行うのにも効果的に利用することができる。標準光沢測定は、ミラー165、165’を位置変更および/または再配置することにより、紙平面に垂直な直線に対して45°の角度で行われ、それによって平行ビーム115が、紙105の平面に垂直な直線に対して45°の角度に向けられて収集される。加えて、本発明の光沢センサ100の要素を二重にして、それによって光沢(45°)測定と高光沢(75°)測定を同時またはある循環速度でどちらも行うことができる光沢センサを作成することができる。
ISO 2.813規格に従って20°、60°、および80°で光沢測定を実現し、またはTAPPI T480規格に従ってTAPPI 75°測定を実現するように本発明の光沢センサ100をさらに変更できることを当業者は理解されよう。
特定の実施形態に関して本発明を説明したが、本発明から逸脱することなく、様々な変更および修正を行えること、および均等物を利用できることが当業者には明らかであろう。
本発明の光沢センサの概略図である。 本発明の光沢センサのための蓄積補正システムの代替実施形態の概略図である。 本発明のダート蓄積補正機構の機能図である。

Claims (12)

  1. サンプル表面の光沢を光学的に測定するための光沢センサであって、
    照明源と、
    前記照明源から光を受け、第1コリメータの第1端部から放射される平行光ビームを形成するように構成された第1コリメータと、
    基準信号を発生させるための、前記第1コリメータ内の第1検出器と、
    前記第1コリメータの前記第1端部に隣接して配設され、第1ビームと第2ビームに前記平行ビームを分割するビームスプリッタと、
    前記第2ビームを受けるための反射装置と、
    第1窓に隣接して配置され、測定する表面上に前記第1ビームを反射する第1ミラーであって、さらに、前記反射装置から反射された前記第2ビームを受けるように配置された第1ミラーと、
    第2窓に隣接して配置され、測定する前記表面から反射された前記第1ビームと、前記第1ミラーによって反射された前記第2ビームとを前記第1窓および前記第2窓を通じて受ける第2ミラーであって、前記第2ビームを前記反射装置に戻すような角度に配置される第2ミラーと、
    前記第2ミラーから反射された前記第1ビームを受けるように配置された第2コリメータと、
    前記第2コリメータ内に配設され、前記第1ビームを受けるように適合された第2検出器と、
    前記反射装置に隣接して配設され、前記第2ビームを受けるように適合された第3検出器とを備える光沢センサ。
  2. 前記照明源が、超高輝度発光ダイオードを含む請求項1に記載の光沢センサ。
  3. 前記照明源が、約540nmから550nmの間にピーク強度を有する強い放射を生成するように電気的に変調される請求項2に記載の光沢センサ。
  4. 前記強い放射が、約450mから約650mの間の可視領域で生成される請求項3に記載の光沢センサ。
  5. 前記照明源がメタルハライドバルブを含む請求項1に記載の光沢センサ。
  6. 前記照明源がキセノンガス封入光源を含む請求項1に記載の光沢センサ。
  7. 前記照明源が、第1周波数および第2周波数を生成するように変調され、前記第1周波数が前記第1ビームであり、前記第2周波数が前記第2ビームである請求項2に記載の光沢センサ。
  8. 前記反射装置がプリズム反射器である請求項1に記載の光沢センサ。
  9. 前記プリズム反射器が調節可能である請求項8に記載の光沢センサ。
  10. 前記反射装置が複数の調節可能ミラーである請求項1に記載の光沢センサ。
  11. サンプル表面の光沢を光学的に測定するための光沢センサであって、
    照明源と、
    前記照明源から光を受け、第1コリメータの第1端部から放射される平行光ビームを形成するように構成された第1コリメータと、
    基準信号を発生させるための、前記第1コリメータ内の第1検出器と、
    前記第1コリメータの前記第1端部に隣接して配設され、第1ビームと第2ビームに前記平行ビームを分割するビームスプリッタと、
    前記第2ビームを受けるための反射装置と、
    第1窓に隣接して配置され、測定する表面上に前記第1ビームを反射する第1ミラーであって、さらに、前記反射装置から反射された前記第2ビームを受けるように配置された第1ミラーと、
    第2窓に隣接して配置され、測定する前記表面から反射された前記第1ビームと、前記第1ミラーによって反射された前記第2ビームとを前記第1窓および前記第2窓を通じて受ける第2ミラーであって、前記第2ビームを前記反射装置に戻すような角度に配置される第2ミラーと、
    前記第2ミラーから反射された前記第1ビームを受けるように配置された第2コリメータと、
    前記第2コリメータ内に配設され、前記第1ビームを受け、測定信号を生成するように適合された第2検出器と、
    前記反射装置に隣接して配設され、前記第2ビームを受け、ダート補償信号を生成するように適合された第3検出器と、
    前記基準信号および前記ダート補償信号で前記測定信号を補正することによって光沢読取り値を生成するための信号補正手段とを備える光沢センサ。
  12. 前記第2コリメータが、前記第1コリメータに隣接して配設される請求項1に記載の光沢センサ。
JP2003514242A 2001-07-16 2002-07-16 ダート蓄積補償機構を有する光沢センサ装置および方法 Expired - Fee Related JP3908222B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/906,516 US6507403B1 (en) 2001-07-16 2001-07-16 Gloss sensor having dirt buildup compensation apparatus and method
PCT/US2002/022625 WO2003008947A1 (en) 2001-07-16 2002-07-16 Gloss sensor having dirt buildup compensation apparatus and method

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2004536305A JP2004536305A (ja) 2004-12-02
JP2004536305A5 JP2004536305A5 (ja) 2005-12-22
JP3908222B2 true JP3908222B2 (ja) 2007-04-25

Family

ID=25422578

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003514242A Expired - Fee Related JP3908222B2 (ja) 2001-07-16 2002-07-16 ダート蓄積補償機構を有する光沢センサ装置および方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6507403B1 (ja)
EP (1) EP1407249B1 (ja)
JP (1) JP3908222B2 (ja)
AT (1) ATE360811T1 (ja)
CA (1) CA2454202C (ja)
DE (1) DE60219792T2 (ja)
WO (1) WO2003008947A1 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7423758B1 (en) * 2007-07-27 2008-09-09 Voith Patent Gmbh Gloss sensor for a paper machine
US7619740B2 (en) 2007-10-11 2009-11-17 Honeywell International Inc. Microgloss measurement of paper and board
DE102010017211A1 (de) 2010-06-02 2011-12-08 Vorwerk & Co. Interholding Gmbh Basisstation für ein selbsttätig verfahrbares Bodenreinigungsgerät sowie Verfahren zur Reinigung eines Bodens mittels eines solchen Bodenreinigungsgerätes
CN103983614A (zh) * 2014-05-28 2014-08-13 爱彼思(苏州)自动化科技有限公司 一种检测角度可调的光泽度检测装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3636361A (en) * 1970-05-28 1972-01-18 Kenneth Bowers Radiation-sensitive glossmeter with means to compensate for environmental contaminants
US4124803A (en) * 1976-12-22 1978-11-07 Kenneth Bowers Surface finish monitor
DE2853458C3 (de) * 1978-09-29 1981-04-02 Gebrüder Bühler AG, 9240 Uzwil Verfahren und Vorrichtung zur Messung der relativen Helligkeit einer Probe
JPH0420845A (ja) * 1990-05-15 1992-01-24 Jujo Paper Co Ltd 光沢むらの測定方法
US6233053B1 (en) * 1997-07-29 2001-05-15 Honeywell International Inc Dual standard gloss sensor
US6134011A (en) * 1997-09-22 2000-10-17 Hdi Instrumentation Optical measurement system using polarized light
JP4166340B2 (ja) * 1997-09-24 2008-10-15 オリンパス株式会社 基板検査装置
US5978441A (en) * 1997-12-01 1999-11-02 Advanced Micro Devices, Inc. Extreme ultraviolet lithography mask blank and manufacturing method therefor
US6380529B1 (en) * 1999-09-29 2002-04-30 Hewlett-Packard Company Position sensing device having a movable photosensing element

Also Published As

Publication number Publication date
DE60219792T2 (de) 2008-01-17
CA2454202C (en) 2011-06-21
DE60219792D1 (de) 2007-06-06
CA2454202A1 (en) 2003-01-30
JP2004536305A (ja) 2004-12-02
EP1407249B1 (en) 2007-04-25
WO2003008947A1 (en) 2003-01-30
EP1407249A1 (en) 2004-04-14
US6507403B1 (en) 2003-01-14
US20030011785A1 (en) 2003-01-16
ATE360811T1 (de) 2007-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6404502B2 (en) Dual standard gloss sensor
US6987832B2 (en) Calibration and alignment of X-ray reflectometric systems
EP2720013B1 (en) Displacement sensor and displacement measuring method
JP4664971B2 (ja) 多チャンネル赤外線センサを使用した薄膜厚さの測定
JPS6357732B2 (ja)
US5831740A (en) Optical characteristic measuring apparatus with correction for distance variation
AU2017202269A1 (en) Device For Determining A 3D Structure Of An Object
US7564032B2 (en) Gas sensor
CA2373682C (en) Method and measuring arrangement for measuring paper surface
CA2373674A1 (en) Method and measuring arrangement for measuring paper surface
JP3908222B2 (ja) ダート蓄積補償機構を有する光沢センサ装置および方法
GB2313909A (en) Colour measuring device
US7423758B1 (en) Gloss sensor for a paper machine
CN111998782A (zh) 光学测量装置及方法
JP2002522782A (ja) 発光ビームの波長を測定するための装置
US8665438B2 (en) Color sensing device
EP1055114A1 (en) Method and device for measuring the amount of coating on a moving substrate
KR100280259B1 (ko) 레이저를 이용한 합금화도 측정방법
JPH1125821A (ja) 光学式センサ装置
KR20210048999A (ko) 광학 측정 장치 및 광학 측정 방법
JPH05322661A (ja) 波長変動量測定装置
JPH05240709A (ja) 波長測定装置
JPS6021439A (ja) 表面欠陥検出装置
CN103097858A (zh) 用于测定距离的光学测量系统

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050209

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050209

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060914

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061213

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070111

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070117

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3908222

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110126

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120126

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120126

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130126

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140126

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees