JP2014081199A - 分光器を利用した変位センサ、分光特性測定装置、色測定装置、面状測定対象物品質監視装置、変位測定方法、分光特性測定方法および色測定方法 - Google Patents
分光器を利用した変位センサ、分光特性測定装置、色測定装置、面状測定対象物品質監視装置、変位測定方法、分光特性測定方法および色測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014081199A JP2014081199A JP2012227038A JP2012227038A JP2014081199A JP 2014081199 A JP2014081199 A JP 2014081199A JP 2012227038 A JP2012227038 A JP 2012227038A JP 2012227038 A JP2012227038 A JP 2012227038A JP 2014081199 A JP2014081199 A JP 2014081199A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- light
- spectral
- displacement
- feature amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 title claims abstract description 235
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 207
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 118
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title claims description 10
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 126
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims abstract description 34
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 54
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 29
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 5
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 35
- 230000006870 function Effects 0.000 description 19
- 230000008859 change Effects 0.000 description 14
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 8
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 7
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 3
- 239000000109 continuous material Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 description 2
- 239000004904 UV filter Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000005022 packaging material Substances 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0291—Housings; Spectrometer accessories; Spatial arrangement of elements, e.g. folded path arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0608—Height gauges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0208—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using focussing or collimating elements, e.g. lenses or mirrors; performing aberration correction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0216—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using light concentrators or collectors or condensers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/027—Control of working procedures of a spectrometer; Failure detection; Bandwidth calculation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/46—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
- G01J3/50—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
- G01B2210/50—Using chromatic effects to achieve wavelength-dependent depth resolution
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】面状測定対象物の測定領域の変位を測定する変位センサであって、出射方向によって波長が変わる光を、測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する光源ユニットと、測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器と、分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と変位との関係に基づいて、測定領域の変位を算出する変位算出部とを備える。
【選択図】図1
Description
k:絶対値を規定する固定の係数
S(λ):規格で決められた光源の分光分布
x ̄(λ)、y ̄(λ)、z ̄(λ):規格で決められた等色関数と呼ばれる分光感度(ただし、x ̄は、xバーを表わす。y ̄、z ̄についても同様である)
R(λ):測定対象物の分光反射率
Δλ:計算時に用いる波長刻み幅
である。なお、λは可視光の波長範囲で変化し、[数1]では、可視光の波長範囲を400nm〜700nmとしている。
ここで、前記光源ユニットは、誘電体多層膜を用いた光学素子に対して斜めに光を入射することで、出射方向によって波長が変わる光を生成することができる。
また、前記特徴量抽出部は、前記分光分布のピーク波長を特徴量とすることができる。
上記課題を解決するため、本発明の第2の態様である分光特性測定装置は、面状測定対象物の測定領域に光を照射する第1光源ユニットと、前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器とを備え、前記第1光源ユニットに係る反射光の分光分布に基づいて分光特性を測定する分光特性測定装置であって、出射方向によって波長が変わる光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する第2光源ユニットと、前記第2光源ユニットに係る反射光の分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光特性との関係に基づいて、前記分光特性を補正する分光特性補正部とを備えたことを特徴とする。
ここで、前記第2光源ユニットは、誘電体多層膜を用いた光学素子に対して斜めに光を入射することで、出射方向によって波長が変わる光を生成することができる。
また、前記第1光源ユニットが出射する波長範囲と、前記第2光源ユニットが出射する波長範囲とが重ならないようにしてもよい。
上記課題を解決するため、本発明の第3の態様である色測定装置は、面状測定対象物の測定領域に光を照射する第1光源ユニットと、前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器とを備え、前記第1光源ユニットに係る反射光の分光分布に基づいて分光反射率を算出し、前記測定領域の色を測定する色測定装置であって、出射方向によって波長が変わる光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する第2光源ユニットと、前記第2光源ユニットに係る反射光の分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光反射率との関係に基づいて、前記分光反射率を補正する分光反射率補正部とを備えたことを特徴とする。
上記課題を解決するため、本発明の第4の態様である変位センサは、面状測定対象物の測定領域の変位を測定する変位センサであって、波長および光軸の異なる光源を複数個含み、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する光源ユニットと、前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器と、前記分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と変位との関係に基づいて、前記測定領域の変位を算出する変位算出部とを備えたことを特徴とする。
ここで、前記特徴量抽出部は、それぞれの光源の波長の強度比を特徴量とすることができる。
上記課題を解決するため、本発明の第5の態様である分光特性測定装置は、面状測定対象物の測定領域に光を照射する第1光源ユニットと、前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器とを備え、前記第1光源ユニットに係る反射光の分光分布に基づいて分光特性を測定する分光特性測定装置であって、波長および光軸の異なる光源を複数個含み、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する第2光源ユニットと、前記第2光源ユニットに係る反射光の分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光特性との関係に基づいて、前記分光特性を補正する分光特性補正部とを備えたことを特徴とする。
上記課題を解決するため、本発明の第6の態様である色測定装置は、面状測定対象物の測定領域に光を照射する第1光源ユニットと、前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器と、前記第1光源ユニットに係る反射光の分光分布に基づいて分光反射率を算出し、前記測定領域の色を測定する色測定装置であって、波長および光軸の異なる光源を複数個含み、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する第2光源ユニットと、前記第2光源ユニットに係る反射光の分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光反射率との関係に基づいて、前記分光反射率を補正する分光反射率補正部とを備えたことを特徴とする。
上記課題を解決するため、本発明の第7の態様である面状測定対象物品質監視装置は、上述の色測定装置を走査ヘッドに搭載したことを特徴とする。
上記課題を解決するため、本発明の第8の態様である変位測定方法は、面状測定対象物の測定領域の変位を測定する変位測定方法であって、出射方向によって波長が変わる光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射し、前記測定領域における反射光の分光分布を測定し、前記分光分布の特徴量を抽出し、前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と変位との関係に基づいて、前記測定領域の変位を算出することを特徴とする。
上記課題を解決するため、本発明の第9の態様である分光特性測定方法は、面状測定対象物の測定領域に第1光を照射し、前記測定領域における前記第1光の反射光の分光分布に基づいて分光特性を測定する分光特性測定方法であって、出射方向によって波長が変わる第2光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射し、前記測定領域における前記第2光の反射光の分光分布の特徴量を抽出し、前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光特性との関係に基づいて、前記分光特性を補正することを特徴とする。
上記課題を解決するため、本発明の第10の態様である色測定方法は、面状測定対象物の測定領域に第1光を照射し、前記測定領域における前記第1光の反射光の分光分布に基づいて分光反射率を算出し、前記測定領域の色を測定する色測定方法であって、出射方向によって波長が変わる第2光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射し、前記測定領域における前記第2光の反射光の分光分布の特徴量を抽出し、前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光反射率との関係に基づいて、前記分光反射率を補正することを特徴とする。
なお、分光器300を利用した変位センサを適用した色測定装置20は、図12に示した上側走査ヘッド620に搭載することで、面状測定対象物品質監視装置を構成することができる。
Claims (15)
- 面状測定対象物の測定領域の変位を測定する変位センサであって、
出射方向によって波長が変わる光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する光源ユニットと、
前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器と、
前記分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、
前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と変位との関係に基づいて、前記測定領域の変位を算出する変位算出部と、
を備えたことを特徴とする変位センサ。 - 前記光源ユニットは、
誘電体多層膜を用いた光学素子に対して斜めに光を入射することで、出射方向によって波長が変わる光を生成することを特徴とする請求項1に記載の変位センサ。 - 前記特徴量抽出部は、
前記分光分布のピーク波長を特徴量とすることを特徴とする請求項1または2に記載の変位センサ。 - 面状測定対象物の測定領域に光を照射する第1光源ユニットと、
前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器とを備え、
前記第1光源ユニットに係る反射光の分光分布に基づいて分光特性を測定する分光特性測定装置であって、
出射方向によって波長が変わる光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する第2光源ユニットと、
前記第2光源ユニットに係る反射光の分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、
前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光特性との関係に基づいて、前記分光特性を補正する分光特性補正部とを備えたことを特徴とする分光特性測定装置。 - 前記第2光源ユニットは、
誘電体多層膜を用いた光学素子に対して斜めに光を入射することで、出射方向によって波長が変わる光を生成することを特徴とする請求項4に記載の分光特性測定装置。 - 前記第1光源ユニットが出射する波長範囲と、前記第2光源ユニットが出射する波長範囲とが重ならないことを特徴とする請求項4または5に記載の分光特性測定装置。
- 面状測定対象物の測定領域に光を照射する第1光源ユニットと、
前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器とを備え、
前記第1光源ユニットに係る反射光の分光分布に基づいて分光反射率を算出し、前記測定領域の色を測定する色測定装置であって、
出射方向によって波長が変わる光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する第2光源ユニットと、
前記第2光源ユニットに係る反射光の分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、
前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光反射率との関係に基づいて、前記分光反射率を補正する分光反射率補正部とを備えたことを特徴とする色測定装置。 - 面状測定対象物の測定領域の変位を測定する変位センサであって、
波長および光軸の異なる光源を複数個含み、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する光源ユニットと、
前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器と、
前記分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、
前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と変位との関係に基づいて、前記測定領域の変位を算出する変位算出部と、
を備えたことを特徴とする変位センサ。 - 前記特徴量抽出部は、
それぞれの光源の波長の強度比を特徴量とすることを特徴とする請求項8に記載の変位センサ。 - 面状測定対象物の測定領域に光を照射する第1光源ユニットと、
前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器とを備え、
前記第1光源ユニットに係る反射光の分光分布に基づいて分光特性を測定する分光特性測定装置であって、
波長および光軸の異なる光源を複数個含み、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する第2光源ユニットと、
前記第2光源ユニットに係る反射光の分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、
前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光特性との関係に基づいて、前記分光特性を補正する分光特性補正部とを備えたことを特徴とする分光特性測定装置。 - 面状測定対象物の測定領域に光を照射する第1光源ユニットと、
前記測定領域における反射光の分光分布を測定する分光器とを備え、
前記第1光源ユニットに係る反射光の分光分布に基づいて分光反射率を算出し、前記測定領域の色を測定する色測定装置であって、
波長および光軸の異なる光源を複数個含み、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射する第2光源ユニットと、
前記第2光源ユニットに係る反射光の分光分布の特徴量を抽出する特徴量抽出部と、
前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光反射率との関係に基づいて、前記分光反射率を補正する分光反射率補正部とを備えたことを特徴とする色測定装置。 - 請求項7または11に記載の色測定装置を走査ヘッドに搭載したことを特徴とする面状測定対象物品質監視装置。
- 面状測定対象物の測定領域の変位を測定する変位測定方法であって、
出射方向によって波長が変わる光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射し、
前記測定領域における反射光の分光分布を測定し、
前記分光分布の特徴量を抽出し、
前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と変位との関係に基づいて、前記測定領域の変位を算出することを特徴とする変位測定方法。 - 面状測定対象物の測定領域に第1光を照射し、前記測定領域における前記第1光の反射光の分光分布に基づいて分光特性を測定する分光特性測定方法であって、
出射方向によって波長が変わる第2光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射し、
前記測定領域における前記第2光の反射光の分光分布の特徴量を抽出し、
前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光特性との関係に基づいて、前記分光特性を補正することを特徴とする分光特性測定方法。 - 面状測定対象物の測定領域に第1光を照射し、前記測定領域における前記第1光の反射光の分光分布に基づいて分光反射率を算出し、前記測定領域の色を測定する色測定方法であって、
出射方向によって波長が変わる第2光を、前記測定領域を含む面に対して斜め方向に照射し、
前記測定領域における前記第2光の反射光の分光分布の特徴量を抽出し、
前記抽出した特徴量と、あらかじめ取得した特徴量と分光反射率との関係に基づいて、前記分光反射率を補正することを特徴とする色測定方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012227038A JP5701837B2 (ja) | 2012-10-12 | 2012-10-12 | 変位センサ、変位測定方法 |
EP13187113.9A EP2720013B1 (en) | 2012-10-12 | 2013-10-02 | Displacement sensor and displacement measuring method |
EP17174857.7A EP3244160B1 (en) | 2012-10-12 | 2013-10-02 | Spectral characteristic measuring apparatus, color measuring apparatus, planar measured object quality monitoring apparatus, spectral characteristic measuring method, and color measuring method |
US14/051,855 US9488468B2 (en) | 2012-10-12 | 2013-10-11 | Displacement sensor, spectral characteristic measuring apparatus, color measuring apparatus, planar measured object quality monitoring apparatus, displacement measuring method, spectral characteristic measuring method, and color measuring method |
CN201310478380.5A CN103727880B (zh) | 2012-10-12 | 2013-10-14 | 位移传感器、光谱特性测量设备及方法、颜色测量设备及方法、平面测量对象质量监控设备、和位移测量方法 |
US15/287,869 US9605949B2 (en) | 2012-10-12 | 2016-10-07 | Displacement sensor, spectral characteristic measuring apparatus, color measuring apparatus, planar measured object quality monitoring apparatus, displacement measuring method, spectral characteristic measuring method, and color measuring method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012227038A JP5701837B2 (ja) | 2012-10-12 | 2012-10-12 | 変位センサ、変位測定方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015028867A Division JP5907364B2 (ja) | 2015-02-17 | 2015-02-17 | 分光特性測定装置、分光特性測定方法、面状測定対象物品質監視装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014081199A true JP2014081199A (ja) | 2014-05-08 |
JP5701837B2 JP5701837B2 (ja) | 2015-04-15 |
Family
ID=49263238
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012227038A Active JP5701837B2 (ja) | 2012-10-12 | 2012-10-12 | 変位センサ、変位測定方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9488468B2 (ja) |
EP (2) | EP3244160B1 (ja) |
JP (1) | JP5701837B2 (ja) |
CN (1) | CN103727880B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016093042A1 (ja) * | 2014-12-08 | 2016-06-16 | コニカミノルタ株式会社 | 測色センサ装置及び画像形成装置 |
JP2017015417A (ja) * | 2015-06-29 | 2017-01-19 | 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 | 構造材の変形量評価装置および方法 |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2510777A (en) | 2011-11-03 | 2014-08-13 | Verifood Ltd | Low - cost spectrometry system for end - user analysis |
US10395134B2 (en) | 2013-07-26 | 2019-08-27 | University Of Utah Research Foundation | Extraction of spectral information |
JP2016528496A (ja) | 2013-08-02 | 2016-09-15 | ベリフード, リミテッドVerifood, Ltd. | 分光器システムおよび方法、分光分析デバイスおよび方法 |
DE102013221898A1 (de) * | 2013-10-29 | 2015-04-30 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Vorrichtung zur Positionsbestimmung |
EP3090239A4 (en) | 2014-01-03 | 2018-01-10 | Verifood Ltd. | Spectrometry systems, methods, and applications |
US9863756B1 (en) * | 2014-10-07 | 2018-01-09 | Kla-Tencor Corporation | Line scan spectroscopic white light interferometry for semiconductor inspection and metrology |
CN107250739A (zh) | 2014-10-23 | 2017-10-13 | 威利食品有限公司 | 手持式光谱仪的附件 |
WO2016125164A2 (en) | 2015-02-05 | 2016-08-11 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system applications |
WO2016125165A2 (en) | 2015-02-05 | 2016-08-11 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system with visible aiming beam |
WO2016162865A1 (en) | 2015-04-07 | 2016-10-13 | Verifood, Ltd. | Detector for spectrometry system |
US10066990B2 (en) | 2015-07-09 | 2018-09-04 | Verifood, Ltd. | Spatially variable filter systems and methods |
US10203246B2 (en) | 2015-11-20 | 2019-02-12 | Verifood, Ltd. | Systems and methods for calibration of a handheld spectrometer |
JP6685779B2 (ja) * | 2016-03-11 | 2020-04-22 | 三菱重工業株式会社 | 光計測装置、光計測方法及び回転機械 |
US10254215B2 (en) | 2016-04-07 | 2019-04-09 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system applications |
EP3488204A4 (en) | 2016-07-20 | 2020-07-22 | Verifood Ltd. | ACCESSORIES FOR HANDLABLE SPECTROMETERS |
US10791933B2 (en) | 2016-07-27 | 2020-10-06 | Verifood, Ltd. | Spectrometry systems, methods, and applications |
JP2018081063A (ja) * | 2016-11-18 | 2018-05-24 | 株式会社東芝 | 位置検出装置、処理装置、およびプログラム |
CN107091690B (zh) * | 2017-04-27 | 2018-11-16 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光学仪器及其轻巧型焦面扫描机构 |
CN107167242A (zh) * | 2017-07-07 | 2017-09-15 | 深圳谱研光电科技有限公司 | 分光辐射亮度计 |
JP6919458B2 (ja) * | 2017-09-26 | 2021-08-18 | オムロン株式会社 | 変位計測装置、計測システム、および変位計測方法 |
JP7006425B2 (ja) | 2018-03-22 | 2022-02-10 | 横浜ゴム株式会社 | タイヤ用ゴム組成物および空気入りタイヤ |
CN112513566B (zh) * | 2018-07-31 | 2023-04-14 | 特里纳米克斯股份有限公司 | 用于确定至少一个对象的位置的检测器 |
JP6512361B1 (ja) * | 2018-11-29 | 2019-05-15 | 横河電機株式会社 | 測定装置、測定方法、および測定プログラム |
WO2020197497A1 (en) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | Ams Sensors Singapore Pte. Ltd. | Self-calibrating spectral sensor modules |
DE102020201111A1 (de) * | 2020-01-30 | 2021-08-05 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Verfahren zum Ermitteln eines Spektrums und zum Erkennen einer Abstandsveränderung zwischen einer Spektrometereinrichtung und einem Messobjekt beim Erzeugen des Spektrums und Spektrometereinrichtung zum Ermitteln eines Spektrums und zum Erkennen einer Abstandsveränderung zwischen der Spektrometereinrichtung und einem Messobjekt beim Erzeugen des Spektrums |
CN112230236A (zh) * | 2020-10-10 | 2021-01-15 | 武汉烽火凯卓科技有限公司 | 一种光谱共焦位移传感器测距计算方法、系统、装置及存储介质 |
DE102021124505A1 (de) * | 2021-09-22 | 2023-03-23 | WICKON HIGHTECH GmbH | Inspektionssystem und Verfahren zur Fehleranalyse |
DE102021124507A1 (de) * | 2021-09-22 | 2023-03-23 | WICKON HIGHTECH GmbH | Inspektionssystem und Verfahren zur Fehleranalyse |
DE102021124504A1 (de) * | 2021-09-22 | 2023-03-23 | WICKON HIGHTECH GmbH | Inspektionssystem und Verfahren zur Fehleranalyse |
CN114720392B (zh) * | 2022-04-06 | 2024-05-07 | 河南科技大学 | 一种双孢菇白度检测装置 |
CN116625275B (zh) * | 2023-03-31 | 2024-02-13 | 东莞理工学院 | 一种基于光场信息融合的超薄多层图形微纳结构三维重构方法 |
CN116659564B (zh) * | 2023-07-27 | 2023-12-08 | 广东汉瑞通信科技有限公司 | 一种有机光电传感器的特性测试设备 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06249620A (ja) * | 1993-02-23 | 1994-09-09 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 膜厚測定方法 |
JP2001356050A (ja) * | 2000-06-14 | 2001-12-26 | Toray Ind Inc | 分光方法及びフィルムの製造方法 |
JP2002350117A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Olympus Optical Co Ltd | 形状計測装置及び形状計測方法 |
JP2007101399A (ja) * | 2005-10-05 | 2007-04-19 | Nikon Corp | 高さ測定装置および方法 |
JP2008032590A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Fujifilm Corp | 光半導体素子、波長可変光源、および光断層画像化装置 |
JP2008039750A (ja) * | 2006-08-03 | 2008-02-21 | Kaneyuki Kubodera | 高さ測定装置 |
JP2010107355A (ja) * | 2008-10-30 | 2010-05-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 光学フィルタ調整方法およびムラ検査装置 |
WO2011042606A1 (en) * | 2009-10-08 | 2011-04-14 | Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus | Measuring instrument and method for determination of the properties of an item and its surface |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5457539A (en) | 1993-06-18 | 1995-10-10 | Abb Industrial Systems, Inc. | On-line compensation for deflection in instruments using focused beams |
CN1158160A (zh) * | 1995-05-31 | 1997-08-27 | 欧姆龙株式会社 | 物体观测设备和方法 |
JPH08327455A (ja) | 1995-06-01 | 1996-12-13 | Toppan Printing Co Ltd | 自動xy測色機 |
JPH09288007A (ja) | 1996-04-22 | 1997-11-04 | Minolta Co Ltd | 分光測色計 |
CN1205428A (zh) * | 1997-06-10 | 1999-01-20 | 惠普公司 | 位移传感器及其形成目标特征部分的方法 |
JP2000131243A (ja) | 1998-10-21 | 2000-05-12 | Omron Corp | 反射型光センサ |
JP2001021754A (ja) | 1999-07-08 | 2001-01-26 | Teijin Seiki Co Ltd | 選択波長調整方法、波長選択装置、光通信システム、角度検出器及び放射角度検出器 |
JP2001264173A (ja) | 2000-03-14 | 2001-09-26 | Minolta Co Ltd | 反射特性測定装置 |
EP1703717A3 (de) * | 2000-08-11 | 2008-07-30 | GretagMacbeth AG | Verfahren und Vorrichtung zur farbmetrischen Ausmessung einer zweidimensionalen Vorlage |
KR100406843B1 (ko) * | 2001-04-06 | 2003-11-21 | (주) 인텍플러스 | 색정보를 이용한 실시간 3차원 표면형상 측정방법 및 장치 |
EP1314972B1 (de) * | 2001-11-26 | 2010-07-14 | X-Rite Europe GmbH | Spektralphotometer und Verwendung desselben |
JP4499476B2 (ja) | 2004-05-25 | 2010-07-07 | オリンパス株式会社 | 分光画像入力装置及びそれを備えた光学装置 |
US7283240B2 (en) | 2005-08-24 | 2007-10-16 | Xerox Corporation | Spectrophotometer target distance variation compensation |
FI119259B (fi) * | 2006-10-18 | 2008-09-15 | Valtion Teknillinen | Pinnan ja paksuuden määrittäminen |
JP5109482B2 (ja) * | 2007-05-31 | 2012-12-26 | コニカミノルタオプティクス株式会社 | 反射特性測定装置及び反射特性測定装置の校正方法 |
CN100590387C (zh) * | 2008-03-05 | 2010-02-17 | 合肥智丰传感集成技术有限公司 | 隧道结非接触式位移测量方法及位移传感器 |
JP5147060B2 (ja) * | 2008-05-02 | 2013-02-20 | 栄子 小菅 | 歯科x線画像の照合システム及び歯科x線画像の照合方法 |
CZ2009133A3 (cs) * | 2009-03-03 | 2009-07-08 | Witrins S.R.O. | Zarízení, zpusob merení vnejších rozmeru testovaného výrobku a použití tohoto zarízení |
JP2010281808A (ja) | 2009-05-01 | 2010-12-16 | Konica Minolta Sensing Inc | 照明装置およびそれを用いる反射特性測定装置 |
US8422017B2 (en) * | 2009-08-06 | 2013-04-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Color analysis system and method |
-
2012
- 2012-10-12 JP JP2012227038A patent/JP5701837B2/ja active Active
-
2013
- 2013-10-02 EP EP17174857.7A patent/EP3244160B1/en active Active
- 2013-10-02 EP EP13187113.9A patent/EP2720013B1/en active Active
- 2013-10-11 US US14/051,855 patent/US9488468B2/en active Active
- 2013-10-14 CN CN201310478380.5A patent/CN103727880B/zh active Active
-
2016
- 2016-10-07 US US15/287,869 patent/US9605949B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06249620A (ja) * | 1993-02-23 | 1994-09-09 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 膜厚測定方法 |
JP2001356050A (ja) * | 2000-06-14 | 2001-12-26 | Toray Ind Inc | 分光方法及びフィルムの製造方法 |
JP2002350117A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Olympus Optical Co Ltd | 形状計測装置及び形状計測方法 |
JP2007101399A (ja) * | 2005-10-05 | 2007-04-19 | Nikon Corp | 高さ測定装置および方法 |
JP2008032590A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Fujifilm Corp | 光半導体素子、波長可変光源、および光断層画像化装置 |
JP2008039750A (ja) * | 2006-08-03 | 2008-02-21 | Kaneyuki Kubodera | 高さ測定装置 |
JP2010107355A (ja) * | 2008-10-30 | 2010-05-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 光学フィルタ調整方法およびムラ検査装置 |
WO2011042606A1 (en) * | 2009-10-08 | 2011-04-14 | Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus | Measuring instrument and method for determination of the properties of an item and its surface |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016093042A1 (ja) * | 2014-12-08 | 2016-06-16 | コニカミノルタ株式会社 | 測色センサ装置及び画像形成装置 |
JP2017015417A (ja) * | 2015-06-29 | 2017-01-19 | 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 | 構造材の変形量評価装置および方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9605949B2 (en) | 2017-03-28 |
US20140104623A1 (en) | 2014-04-17 |
EP2720013B1 (en) | 2021-08-18 |
CN103727880A (zh) | 2014-04-16 |
EP2720013A2 (en) | 2014-04-16 |
EP3244160B1 (en) | 2021-12-01 |
JP5701837B2 (ja) | 2015-04-15 |
US20170023355A1 (en) | 2017-01-26 |
US9488468B2 (en) | 2016-11-08 |
CN103727880B (zh) | 2017-09-08 |
EP3244160A1 (en) | 2017-11-15 |
EP2720013A3 (en) | 2017-08-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5701837B2 (ja) | 変位センサ、変位測定方法 | |
JP6126375B2 (ja) | クロマティックポイントセンサシステムの動作方法 | |
JP2013507608A (ja) | 物品及びその表面の特性を決定するための測定機器及び方法 | |
CN102203550A (zh) | 带有反馈控制的扫描器 | |
JP2010249808A (ja) | 分光透過率可変素子を備えた分光イメージング装置及び分光イメージング装置における分光透過率可変素子の調整方法 | |
US20130268237A1 (en) | Container thickness measuring systems and methods | |
JP2019525194A (ja) | クロマティック共焦点センサ | |
TWI794400B (zh) | 用於連續移動帶材的紅外光透射檢查 | |
EP3341703B1 (en) | Holmium oxide glasses as calibration standards for near infrared moisture sensors | |
US9612213B2 (en) | Automatic z-correction for basis weight sensors | |
JP2005326393A (ja) | 分光透過率測定装置、透過型厚さ計、色彩値測定装置、分光透過率測定方法、厚さ測定方法、及び色彩値測定方法 | |
JP5907364B2 (ja) | 分光特性測定装置、分光特性測定方法、面状測定対象物品質監視装置 | |
JP2008139062A (ja) | 分光測定装置よび分光測定方法 | |
US9250186B2 (en) | Profilometry systems and methods based on absorption and optical frequency conversion | |
US9074874B2 (en) | Coating detection on transparent sheet material | |
US20050195411A1 (en) | System and method for measuring the permeability of a material | |
JPH07280523A (ja) | フィルムの厚さ測定装置および測定方法ならびにフィルムの製造方法 | |
US11209370B2 (en) | Method and system for real-time web manufacturing supervision | |
JP3908222B2 (ja) | ダート蓄積補償機構を有する光沢センサ装置および方法 | |
JP2001194301A (ja) | 紙・合成樹脂製シートの品質測定方法及び紙・合成樹脂製シートの品質測定装置 | |
CN111664805A (zh) | 超光谱线扫描3d测量装置及测量方法 | |
CN210070874U (zh) | 超光谱线扫描3d测量装置 | |
JP5086325B2 (ja) | 光スペクトラムアナライザおよびその波長校正方法 | |
JP2005321349A (ja) | 材質判断装置 | |
US7787125B2 (en) | Apparatus for measuring a spectral distribution of a printed product produced with a printing device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140826 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140827 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141017 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150218 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5701837 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |