JP2001264173A - 反射特性測定装置 - Google Patents

反射特性測定装置

Info

Publication number
JP2001264173A
JP2001264173A JP2000070638A JP2000070638A JP2001264173A JP 2001264173 A JP2001264173 A JP 2001264173A JP 2000070638 A JP2000070638 A JP 2000070638A JP 2000070638 A JP2000070638 A JP 2000070638A JP 2001264173 A JP2001264173 A JP 2001264173A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measurement
sample
distance
reflection characteristic
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000070638A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinsuke Fukuchi
伸輔 福地
Toshio Miyashita
利夫 宮下
Takeshi Hirata
猛 平田
Norio Ishikawa
典夫 石川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Minolta Co Ltd
Original Assignee
Minolta Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Minolta Co Ltd filed Critical Minolta Co Ltd
Priority to JP2000070638A priority Critical patent/JP2001264173A/ja
Publication of JP2001264173A publication Critical patent/JP2001264173A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 走査機構を備え、非接触で高速、かつ精度良
く反射特性を測定する。 【解決手段】 CPU65は、分光測色計と測定試料間
の距離と測色データとの関係を表わす補正係数を複数の
走査位置について求め、得られた補正係数をEEPRO
M67に格納する。操作表示部12の測定スイッチが押
されると入出力IC70を介してX,Y軸パルスモータ
6,10の動作を制御して分光測色計を移動させ、発光
回路66を制御して光源21を測定箇所ごとに発光させ
て測色動作を行い、EEPROM67に格納されている
白色校正値やゼロ校正値を用いて測定試料の測色値を求
める。そして、EEPROM67に格納されている補正
係数を求めた走査位置と測定箇所との関係から、補正係
数を補間した補間データを用いて、求められた測色値を
補正する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、分光測色計などの
反射特性測定装置に係り、特に、測定試料を非接触で走
査する走査機構を備えた反射特性測定装置に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】従来、走査機構付き測色装置として、測
色部の先端部を測定試料に接触させて測定を行うように
した測色装置が実用化されている。この装置では、照明
部や受光部と測定試料との距離が常に等しくなるので、
距離変動の生じない高精度な測色が可能になっている。
【0003】ところが、この装置で多数の測定箇所の測
色を行う場合には、測色部を測定試料に接触させて測定
を行うと、一旦測色部を離間させてから次の測定点まで
移動させ、再度測色部を接触させて測定を行う必要があ
る。すなわち、測色部を横方向に移動させる際には、一
旦上下方向に昇降させる必要があるため、多数の測定箇
所を自動的に連続して測定する場合には、測定に時間を
要するという問題がある。印刷業界において、プリンタ
のカラープロファイルを作成する場合には、数百〜数千
のカラーサンプルからなるテストチャートの全てのサン
プルを測定しなければならず、例えば700サンプルの
測定を行うと、多大な測定時間を要してしまう。この測
定は自動的に行われるものの、測定時間の短縮が望まれ
る。
【0004】そこで、高速測定を実現するための手段と
して、測色部を測定試料に対して非接触で測定する方法
が知られている。この場合には、測色部を測定試料に対
して平行に移動させるだけでよく、上下方向に昇降させ
る必要がないため、複数の測定箇所を自動的に連続測定
すると大幅な時間短縮が可能になる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、測色部を測定
試料に対して平行に移動させる場合には、測色部と測定
試料との距離変動が機械精度の範囲内で常に存在してし
まう。例えば、測定試料を載置するための試料台の平面
度など測定台の歪み、測色部の移動を案内するための
X,Y軸方向のレールの曲がり、同レールの試料台に対
する平行度のずれなどによって、測色部と測定試料との
間の距離が変動してしまう。
【0006】測色部と測定試料との間の距離が変動する
と、照明部からの測定試料上での照明光の光量が変動す
るとともに、その反射光の受光部における受光信号の出
力レベルも変動するため、測色を精度良く行えなくな
る。
【0007】例えば、図15(a)は45/0ジオメトリ
の測色装置における照明光および反射光を示しており、
この測色装置の受光部は、測定試料の試料面が基準位置
P0に位置するときにQ0の範囲の反射光を受光するよ
うに構成されている。これに対して、試料面が基準位置
P0からP1またはP2に変化すると、照明光の反射位
置(図中、斜線で表示)が範囲Q0に対して左右にずれ
るため、受光部によって受光される範囲はQ1またはQ
2となり、いずれの場合も受光光量が低下する。
【0008】ところで、反射率Rは、 R=W・L/Lw で求められる。但し、Wは白色校正板の反射率、Lは測
定試料の受光光量/入射光量、Lwは白色校正板の受光
光量/入射光量である。
【0009】ここで、Wは既知の値で一定値である。ま
た、入射光量は光源から直接モニタするため、測色部と
測定試料との距離に依存しない。また、Lwは白色校正
板を基準位置に配置して白色校正を行うため、やはり測
色部と測定試料との距離に依存しない。
【0010】従って、測定される反射率Rは、測定試料
の受光光量、すなわち測色部と測定試料との距離に依存
して増減することになる。図15(b)は、その様子を
示したもので、測色部と測定試料との距離の基準値に対
する変動量h(図15(a)の例では、基準位置P0を
原点として、例えばP1側を負とし、P2側を正として
P0からP1,P2までの距離に相当する)に対して反
射率Rが直線的に変化している。
【0011】一般に、印刷やプリンタの分野では、測色
装置の光学系として45/0ジオメトリが採用されること
が多いが、この45/0ジオメトリは、d/0ジオメトリな
どの拡散照明方式に比べて上記距離の変動による影響を
受け易い。そのため、この距離変動による測定誤差を補
正する必要がある。
【0012】この補正手段として、例えば、特開平11
−44578号公報に従来の技術として開示されている
ように、測色部と測定試料との距離を測定し、その測定
値を用いて測色結果を補正する方法が知られている。
【0013】ところが、この方法では、測色を行うごと
に、距離測定を行うための時間を要するため、非接触で
測色を行うものでありながら高速測定には不向きである
という問題があった。
【0014】本発明は、上記課題を解決するもので、走
査機構を備え、非接触で高速、かつ精度良く反射特性を
測定可能な反射特性測定装置を提供することを目的とす
る。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明は、試料台に載置
された測定試料の反射特性を非接触で測定する測定手段
と、この測定手段を上記試料台に対して非接触状態を保
ちながら相対移動させる走査手段と、上記測定手段を上
記試料台に対して相対移動させて、上記測定手段により
当該試料台に載置された測定試料上の複数の測定箇所の
反射特性を測定させる測定制御手段と、上記測定手段を
上記試料台に対して相対移動させたときの当該試料台上
における複数の走査位置ごとに求められ、上記測定試料
の反射特性を補正するための複数の補正データが、それ
ぞれ上記走査位置の情報に対応づけて格納されている記
憶手段と、この記憶手段に格納されている複数の補正デ
ータを用いて上記測定試料の各測定箇所における反射特
性を補正する補正演算手段とを備えたことを特徴として
いる。
【0016】この構成によれば、試料台に載置された測
定試料の反射特性を非接触で測定する測定手段が、試料
台に対して非接触状態を保ちながら相対移動して、測定
試料上の複数の測定箇所の反射特性が測定される。一
方、記憶手段には、測定手段を試料台に対して相対移動
させたときの当該試料台上における複数の走査位置ごと
に求められ、測定試料の反射特性を補正するための複数
の補正データが、それぞれ走査位置の情報に対応づけて
格納されており、この補正データを用いて測定試料の複
数の測定箇所における反射特性が補正される。これによ
って、複数の測定箇所の反射特性が、高速に、かつ精度
良く得られることとなる。
【0017】特に、所定の形式で多数の測定箇所が配列
されてなる測定試料上の各測定箇所を連続的に測定する
場合において、記憶手段に記憶されている補正データを
用いて補正演算を行う本発明によれば、各測定箇所にお
ける反射特性の測定ごとに距離を測定して補正演算を行
う従来技術に比べて、測定時間の大幅な短縮が可能にな
る。
【0018】なお、補正データは、走査位置における測
定手段と測定試料または試料台との距離に応じたデータ
であっても、この距離に関係なく得られる他のデータで
あってもよい。
【0019】また、請求項2の発明は、請求項1記載の
反射特性測定装置において、上記記憶手段に格納されて
いる上記複数の走査位置は、上記試料台のうちで上記測
定手段により測定可能な範囲が分割されてなる複数の小
領域ごとにそれぞれ設定されていることを特徴としてい
る。
【0020】この構成によれば、記憶手段に格納されて
いる複数の走査位置は、試料台のうちで測定手段により
測定可能な範囲が分割されてなる複数の小領域ごとにそ
れぞれ設定されているので、複数の補正データは、試料
台に載置された測定試料の全領域に対して偏ることなく
得られており、これによって補正データを用いた補正が
精度良く行われることとなる。
【0021】また、請求項3の発明は、請求項2記載の
反射特性測定装置において、上記補正演算手段は、測定
試料を上記試料台に載置したときに上記小領域に含まれ
る測定箇所における反射特性の補正を、当該小領域の補
正データをそのまま用いて行うことを特徴としている。
【0022】この構成によれば、測定試料を試料台に載
置したときに小領域に含まれる測定箇所における反射特
性の補正は、当該小領域で設定された走査位置に対応す
る補正データがそのまま用いられて行われる。すなわ
ち、小領域内に複数の測定箇所が含まれる場合には、そ
れらの測定箇所については同一の補正データが用いられ
る。これによって、補正演算が簡素な構成で容易に行わ
れる。
【0023】また、請求項4の発明は、請求項2記載の
反射特性測定装置において、上記補正演算手段は、上記
測定試料の複数の測定箇所における反射特性の補正を、
上記測定箇所と上記走査位置との位置関係に応じて上記
複数の補正データを補間して得られる補間データを用い
て行うことを特徴としている。
【0024】この構成によれば、測定試料の複数の測定
箇所における反射特性の補正は、測定箇所と走査位置と
の位置関係に応じて複数の補正データを補間して得られ
る補間データを用いて行われることから、測定箇所が走
査位置に一致していない場合でも、補正が精度良く行わ
れることとなる。
【0025】また、請求項5の発明は、請求項1乃至4
のいずれかに記載の反射特性測定装置において、上記記
憶手段に格納されている上記補正データは、上記走査位
置における上記測定手段と上記測定試料との距離に応じ
たデータであることを特徴としている。
【0026】この構成によれば、記憶手段に格納されて
いる補正データは、走査位置における測定手段と測定試
料との距離に応じたデータであることから、測定手段と
測定試料との間の距離の変動による影響が適正に補正さ
れることとなる。
【0027】また、請求項6の発明は、請求項5記載の
反射特性測定装置において、さらに、上記複数の走査位
置における上記測定手段と上記測定試料との間の距離を
測定する距離測定手段と、この距離測定手段により測定
された距離に応じた補正データを上記走査位置に対応づ
けて上記記憶手段に格納する記憶制御手段とを備えたこ
とを特徴としている。
【0028】この構成によれば、複数の走査位置におけ
る測定手段と測定試料との間の距離が測定され、この測
定された距離に応じた補正データが走査位置に対応づけ
て記憶手段に格納されることにより、測定試料の厚さが
異なったり、走査手段の経時変化により走査位置におけ
る測定手段と測定試料との間の距離が変化した場合で
も、再度距離を測定して補正データを記憶手段に格納す
ることにより、常に適正な補正データを記憶手段に格納
しておくことが可能になる。
【0029】また、請求項7の発明は、請求項1乃至4
のいずれかに記載の反射特性測定装置において、上記記
憶手段に格納されている上記補正データは、上記測定試
料として反射特性が既知の試料を測定したときの測定結
果に基づくものであることを特徴としている。
【0030】この構成によれば、記憶手段に格納されて
いる補正データは、測定試料として反射特性が既知の試
料を測定したときの測定結果に基づくものであることか
ら、測定手段と測定試料との間の距離の変動による影響
が簡易な構成で容易に補正されることとなる。
【0031】なお、ここでは、反射特性が既知の試料と
して、反射特性から求めることが可能な特性の値、例え
ば濃度や三刺激値などが既知の試料も含むものである。
【0032】また、請求項8の発明は、請求項7記載の
反射特性測定装置において、さらに、上記測定試料とし
て反射特性が既知の試料を測定したときの測定結果に基
づき補正データを作成する補正作成手段と、作成された
補正データを上記走査位置に対応づけて上記記憶手段に
格納する記憶制御手段とを備えたことを特徴としてい
る。
【0033】この構成によれば、測定試料として反射特
性が既知の試料を測定したときの測定結果に基づき補正
データが作成され、この作成された補正データが上記走
査位置に対応づけて記憶手段に格納されることから、測
定手段と測定試料との間の距離を測定するのに比べて、
補正データを簡易な構成で容易に求めることが可能にな
る。
【0034】
【発明の実施の形態】まず、図1を用いて、本発明に係
る反射特性測定装置の一実施形態としての走査機構付き
測色装置の全体構成について説明する。図1(a)は同
測色装置の平面図、(b)は同測色装置の側面図であ
る。
【0035】この走査機構付き測色装置1は、測定試料
を載置するための試料台2と、この試料台2上で測定試
料に対して非接触でX軸方向およびY軸方向に2次元的
に移動可能な分光測色計3とを備え、測定試料としては
印刷物などの試料台2上に置くことのできる平面物体が
用いられ、その複数の測定箇所の色を非接触で連続的に
測定するものである。
【0036】試料台2の左右両端には、Y軸に平行に固
定レール4,4が配設され、右端の固定レール4は、Y
軸に平行に配設されたボールねじ軸5を回転可能に支持
している。このボールねじ軸5は、試料台2上に配設さ
れたY軸パルスモータ6により回転駆動される。
【0037】固定レール4,4上には計器支持部7が配
設されており、この計器支持部7は分光測色計3をX軸
方向に移動可能に支持している。この計器支持部7には
雌ねじ部8が設けられており、この雌ねじ部8は、上記
ボールねじ軸5に螺合している。また、計器支持部7
は、X軸に平行に配設されたボールねじ軸9を回転可能
に支持している。このボールねじ軸9は、計器支持部7
に配設されたX軸パルスモータ10により回転駆動され
る。分光測色計3には雌ねじ部11が設けられ、この雌
ねじ部11が上記ボールねじ軸9に螺合している。
【0038】このような構成により、Y軸パルスモータ
6の駆動により計器支持部7がY軸方向に移動すること
によって分光測色計3がY軸方向に移動し、X軸パルス
モータ10の駆動により分光測色計3がX軸方向に移動
するようになっており、分光測色計3は、試料台2上の
所定範囲の測色が可能になっている。
【0039】また、試料台2上の分光測色計3により測
色可能な範囲内には、所定形状(本実施形態では例えば
正方形)の測定試料載置領域2aと、白色校正部2b
と、ゼロ校正部2cとが設けられている。この白色校正
部2bおよびゼロ校正部2cについては後述する。
【0040】次に、図2〜図6を用いて分光測色計3の
内部構成について説明する。図2は分光測色計3の断面
図、図3は分光測色計3の平面図、図4は制限枠の正面
図、図5はマスク板の正面図である。また、図6は検出
部を示す図で、(a)は側面図、(b)は正面図であ
る。なお、説明の便宜上、図2では光源、検出部および
処理部の図示を省略している。
【0041】図2に示すように、この分光測色計3は、
上面に操作表示部12、底面に測定用開口13を備え、
この測定用開口13を測定試料14に対向させた非接触
の状態で当該測定試料14の測色を行うもので、内部に
照明部20、受光部30、分光部40、検出部50、処
理回路基板601に配設された処理部60(後述)など
を備えている。
【0042】操作表示部12は、使用者により操作され
る操作スイッチ、例えば測定開始を指示するための測定
スイッチや校正開始を指示するための校正スイッチなど
を備えるとともに、測定結果などを表示するためのLC
Dを備えている。
【0043】測定用開口13の近傍には参照板15およ
び距離センサ16(後述)が配設されている。この参照
板15は、例えば白色またはライトグレーに塗装された
板で、校正時と測定時とで照明部20からの照明光強度
の変動による影響を補正するために、照明光の光強度を
得るためのもので、照明部20からの照明光を測定試料
14を介さずに受光部30に向けて反射するものであ
る。
【0044】照明部20は、光源21、制限枠22、ト
ロイダルミラー23、赤外カットフィルタ24を備え、
測定用開口13および参照板15を含む範囲を照明する
ものである。光源21は、短寸法のフィラメントを有す
るタングステンランプからなり、フィラメントが測定用
開口13の法線13n上に一致するように配置されてい
る。
【0045】制限枠22は、開口22aを有し、所望の
照明領域以外の光線を遮光し、迷光などの有害な光が受
光部30に入射しないようにするためのもので、中心が
測定用開口13の法線13nに一致するように配置され
ている。開口22aは、図4に示すように、C字形状部
22bおよびその左側の扇形状部22cが合わさった形
状の開口と、その左側の円形状の開口22dとからなっ
ている。
【0046】トロイダルミラー23は、曲線が軸の周り
に回転して形成される非球面を有するもので、図3に示
すように、受光部30の部分を除いて測定用開口13を
囲むように平面視C字形状のものが採用されており、内
面は、例えばアルミニウムなどの金属が真空蒸着されて
鏡面になっている。このトロイダルミラー23は、光源
21(本実施形態ではタングステンランプのフィラメン
トの位置)に焦点が一致するように配置されており、ト
ロイダルミラー23で反射した光源21からの光は、ほ
ぼ平行光にされる。
【0047】赤外カットフィルタ24は、測定用開口1
3の直ぐ内側に配設され、赤外波長成分の光を吸収し、
それ以下の波長成分を透過するもので、この赤外カット
フィルタ24により測定用開口13は閉塞されている。
【0048】受光部30は、平面反射鏡31、結像レン
ズ32,33、マスク板34およびフィールドレンズ3
5を備え、照明部20からの照明光が測定試料14で反
射された試料光を分光部40に導くとともに、参照板1
5で反射された参照光を分光部40に導くものである。
【0049】マスク板34は、図5に示すように、第1
入射スリット341と、第2入射スリット342とを備
え、照明部20からの照明光による照明範囲のうちで、
分光部40に導く測定領域をスリット341,342に
より限定するためのものである。第1入射スリット34
1は、中心より多少上方に穿設され、第2入射スリット
342は、その下方に穿設されており、スリットの図
中、横方向の寸法は、第1入射スリット341より第2
入射スリット342の方が大きくなっている。
【0050】第1入射スリット341と測定用開口13
とは、平面反射鏡31および結像レンズ32,33から
なる光学手段に関して互いに共役な位置に配置され、第
2入射スリット342と参照板15とは、平面反射鏡3
1および結像レンズ32,33からなる光学手段に関し
て互いにほぼ共役な位置に配置されている。
【0051】フィールドレンズ35は、図3に示すよう
に、結像レンズ32,33の光軸L1に対して多少傾斜
して配置されており、マスク板34の第1、第2入射ス
リット341,342を通過した光を平行光として分光
部40に導くとともに、分光部40で分光されて反射さ
れた光を平面反射鏡41を介して検出部50上に結像す
るように配置されている。
【0052】図2に戻り、分光部40は、縦方向(図3
では紙面奥行き方向)の溝が例えば600本/mmのピッチ
で横方向に並んで形成された回折格子からなり、第1入
射スリット341を通過した測定試料14からの試料光
および第2入射スリット342を通過した参照板15か
らの参照光をそれぞれ波長ごとに分光して、図3中、多
少上向きに平面反射鏡41に向けて反射するものであ
る。
【0053】このような構成により、光源21から射出
された光は、制限枠22によって通過する光が制限さ
れ、トロイダルミラー23で反射された後、平行光とな
って、CIEまたはJISで規定された、測定用開口1
3の法線13nに対して(45±8)°の照明角度で測定用
開口13およびその近傍を照明する。
【0054】測定試料14および参照板15によって拡
散反射した試料光および参照光は、いずれも、平面反射
鏡31によって反射され、結像レンズ32,33によっ
て集束され、それぞれ、第1入射スリット341および
第2入射スリット342を通過する。
【0055】第1、第2入射スリット341,342を
通過した試料光および参照光は、それぞれ、フィールド
レンズ35により平行光にされ、分光部40に入射して
波長ごとに分光されて反射される。分光部40で反射さ
れた光は、再びフィールドレンズ35を通過して、平面
反射鏡41により図中、上向きに反射され、検出部50
の光電変換素子上に結像する。
【0056】検出部50は、図6に示すように2列の検
出列51,52を備え、センサ基板401上に設けられ
ている。この検出列51,52は、1チップのシリコン
ウェハ上に分光波長域(本実施形態では、例えば400nm
〜700nm)に亘って、分光波長ピッチ(本実施形態で
は、例えば10nm)に対応して複数の光電変換素子53が
それぞれ配設されて形成されている。検出列51には第
1入射スリット341を通過した試料光が入射し、検出
列52には第2入射スリット342を通過した参照光が
入射する。光電変換素子53は、例えばフォトダイオー
ドからなり、光強度に応じた電気信号(フォトダイオー
ドであれば電流信号)を出力するもので、上方の光電変
換素子53から順に、各波長ごとの光強度に応じた電気
信号が得られる。なお、検出列51,52において、並
んだ位置の光電変換素子53には、それぞれ同一波長の
光が入射する。
【0057】次に、図1、図2、図4、図7、図8を用
いて、分光測色計3と測定試料14間の距離測定につい
て説明する。図7は距離センサ16の正面図、図8
(a)は距離の測定箇所を示す図、(b)は距離測定結
果の一例を示す図である。
【0058】図2に示すように、光源21から出力され
る光のうちで、制限枠22の開口22aの円形状の開口
22d(図4)を通過した光は、トロイダルミラー23
で反射されて平行光になって測定試料14を照明して反
射され、測定試料14からの正反射光成分が距離センサ
16に入射する。従って、測定試料14の表面は均一で
あることが好ましい。
【0059】距離センサ16は、図7に示すように、2
個の光電変換素子(例えばフォトダイオード)161,
162が近接して並べられてなる。この光電変換素子1
61,162は、図2中、左右方向に並べられており、
図7に示すように、測定試料14(図2)からの反射光
による照射領域17は、双方の光電変換素子161,1
62にまたがった領域になる。
【0060】ここで、図2において、分光測色計3の下
端(測定用開口13の端面)と測定試料14との距離が
基準値(例えば1mm)のときに照射領域17(図7)の
中心が光電変換素子161,162の中央になるよう
に、制限枠22の円形状の開口22d(図4)および距
離センサ16の位置を設定しておく。すなわち、分光測
色計3と測定試料14との距離が基準値のときは、光電
変換素子161,162の出力信号の比が1:1にな
る。
【0061】そして、光電変換素子161,162の出
力信号の比と、分光測色計3と測定試料14間の距離と
の関係を予め求めておき、後述する処理部60のEEP
ROM67(図10)に格納しておく。これによって、
光電変換素子161,162の出力信号の比を求めるこ
とにより、分光測色計3と測定試料14の距離を測定す
ることができる。
【0062】図1(a)に示す試料台2上の測定試料載
置領域2aは、図8(a)に示すように、例えば寸法A
×Aの正方形で、この領域2a内には、6×6に分割さ
れてなる小領域201〜236が設けられている。そし
て、分光測色計3と測定試料14との間の距離Hの測定
は、小領域201〜236内の予め設定された位置(走
査位置)、本実施形態では例えば中心(図中、×印)で
行う。その測定結果H201〜H236は、処理部60
のRAM68(図10)に格納しておく。
【0063】なお、RAM68(図10)には、距離の
値をそのまま格納してもよく、あるいは基準値(例えば
1mm)に対する偏差データ(例えば基準値を超える値を
+、基準値未満の値を−)として格納してもよい。
【0064】また、距離測定位置(走査位置)と異なる
位置の距離、例えば小領域201,207,213,2
19,225,231の中心を通るライン(図中、破
線)上で、×印と×印との間の距離Hは、図8(b)に
示すように、各小領域の測定値201S,207S,2
13S,219S,225S,231Sを線形補間した
値とすればよい。
【0065】また、ライン上以外の位置の距離、例えば
小領域208内の位置Bの距離HBは、小領域201,
202の中心の測定値を補間した値と、小領域207,
208の中心の測定値を補間した値との平均値とすれば
よい。
【0066】すなわち、任意の位置の距離H(X,Y)
は、その(X,Y)座標に応じて、X軸方向で当該位置に
最も近い2つの測定値を補間した値と、Y軸方向で当該
位置に最も近い2つの測定値を補間した値との平均値と
すればよい。
【0067】また、測定試料載置領域2aを6×6に分
割して小領域を形成するのに限られず、要求される測色
精度に応じて、分割数を多く(小領域の面積を小さく)
したり、分割数を少なく(小領域の面積を大きく)すれ
ばよい。また、小領域は正方形に限られないが、正方形
とすることにより、X軸方向とY軸方向とで補正係数を
求める間隔を等しくすることができる。
【0068】ここで、分光測色計3と測定試料14との
間の距離Hと測色データとの関係を表わす補正係数K
(H)は、例えば後述する処理部60(図10)のCPU
65により測色を行う前に予め求めておき、EEPRO
M67に格納しておく。
【0069】この補正係数K(H)は、例えば以下のよう
にして求める。すなわち、分光測色計3と白色試料との
距離を基準値(例えば1mm)から増減させて、複数の距
離で測色する。これによって、上記図15(b)に示す
ような測色値(例えば分光反射特性)の距離依存特性が
得られる。これを適当な関数(例えば1次関数)で近似
した近似関数が補正係数K(H)となる。
【0070】そして、分光測色計3で測定した測色値を
R(λ)とし、補正係数をK(H)とすると、 Rr(λ)=R(λ)・K(H) により、各測色箇所(X,Y)に対して、補正された測
色値Rr(λ)を得ることができる。
【0071】なお、一般に、距離が変化すると、反射率
の絶対値は変化するものの、その変化量は波長による相
違は殆どないので、補正係数K(H)は、波長には無関係
の距離Hのみに依存した値として得られるが、波長λに
も依存する値K(H,λ)としてもよい。
【0072】また、補正係数K(H)は、関数で近似せず
に、種々の距離Hに対するテーブル形式で与えるように
してもよい。
【0073】次に、図9を用いて、図2に示した白色校
正部2bおよびゼロ校正部2cについて説明する。図9
は試料台2上の白色校正部2bおよびゼロ校正部2cを
示す断面図である。
【0074】白色校正部2bは、分光反射率が既知の白
色校正板、例えば「JIS Z 8722 色の測定方
法−反射及び透過物体色 4.3.4節」にあるような
白色面を有する板からなる。
【0075】ゼロ校正部2cは、開口241を有するボ
ックス242からなる。ここで、まず、ゼロ校正につい
て説明する。通常、測色装置においては、光電変換素子
の暗電流や測定試料からの測定したい光以外の迷光が存
在するため、反射率0%の測定試料の反射率を測定した
場合でも、微小レベルのオフセットが出力されて0%と
ならない。ここで、迷光は、例えば測定試料を照明する
ための光源からの光が直接光電変換素子に到達してしま
うものや、レンズなどの光学手段による散乱光などから
なる。
【0076】この暗電流や迷光等による余分な出力を除
去するために、本実施形態では、測色を行う前にゼロ校
正部2cの測定を行い、その結果をゼロ校正値として処
理部60のEEPROM67またはRAM68に格納し
ておく。そして、測定試料14の測色を行う際に、検出
部50の光電変換素子53の出力信号からオフセット分
であるゼロ校正値を差し引くようにしている。
【0077】ゼロ校正部2cの開口241の大きさは、
ゼロ校正を行う際に、分光測色計3からの照明光が試料
台2の表面に反射して分光測色計3の測定用開口13か
ら内部に戻らないような、測定用開口13より充分大き
い値に設定されている。ボックス242の内壁は黒色の
高拡散塗料で塗装されており、その底壁の開口241の
直下部分には、例えば円錐形状の傾斜部243が形成さ
れている。
【0078】ボックス242の深さは、分光測色計3か
らの照明光が、測定領域(すなわちマスク板34の第1
入射スリット341を通過する領域)を直接照射するこ
とがないような十分深い値に設定されている。
【0079】このような構成において、ゼロ校正を行う
際に、測定用開口13および開口241を介して分光測
色計3からボックス242に入射した照明光は、ボック
ス242の内壁で反射を繰り返して多重反射されるため
に、分光測色計3の受光部30および分光部40を介し
て検出部50により受光される光量は、無視できるほど
小さくなっている。
【0080】また、開口241の直下部分のボックス2
42の底壁に傾斜部243を形成しているので、分光測
色計3の照明部20の迷光が測定領域を直接照射した場
合でも、円錐面で反射されることから、多重反射しない
正反射光が直接受光部20に入射することがない。従っ
て、ゼロ校正をより適正に行える。
【0081】このように、ゼロ校正を行っているので、
光源21の経時変化や外乱などによって迷光量が変化し
た場合でも、これによる影響を適正に除去することがで
き、これによって誤差が生じるのを防止することができ
る。
【0082】次に、図10のブロック図を用いて、走査
機構付き測色装置1の電気的構成について説明する。
【0083】処理部60は、図10に示すように、種々
の電子部品からなる回路ブロック61〜70を備え、こ
れらの回路ブロック61〜70は、処理回路基板601
(図2)上に配設されている。
【0084】検出部50の検出列51,52の各光電変
換素子53から出力される電流信号は、電流電圧変換回
路61により、それぞれ電圧信号に変換され、マルチプ
レクサ62により切り替えられて、それぞれ順次増幅回
路63により増幅され、A/D変換部64によりディジ
タル値に変換されて、CPU65に入力される。
【0085】また、距離センサ16の光電変換素子16
1,162(図7)から出力される電流信号は、同様に
電圧信号に変換され、増幅回路63により増幅され、A
/D変換部64によりディジタル値に変換されて、CP
U65に入力される。
【0086】CPU65は、この測色装置1の各部の動
作を制御するもので、以下の〜に示す機能を有す
る。
【0087】操作表示部12の校正スイッチが押さ
れ、その操作信号が入出力IC70を介して入力される
と、入出力IC70を介してX,Y軸パルスモータ6,
10の動作を制御して白色校正部2bおよびゼロ校正部
2cに分光測色計3を移動させ、それぞれ発光回路66
を制御して光源21を発光させて白色校正およびゼロ校
正動作を行う校正制御部としての機能。
【0088】EEPROM67に格納されている光電
変換素子161,162の出力信号の比と、分光測色計
3と測定試料14間の距離Hとの関係を用いて、光源2
1を発光させたときの光電変換素子161,162の出
力信号の比から距離Hを求める距離測定部としての機
能。このとき、X,Y軸パルスモータ6,10の動作を
制御して予め設定された距離測定位置に分光測色計3を
移動させる。
【0089】分光測色計3と測定試料14間の距離H
と測色データとの関係を表わす補正係数K(H)を求める
補正作成部としての機能。
【0090】A/D変換部64からの測定値を一時的
にRAM68に格納したり、得られた白色校正値、ゼロ
校正値、補正係数K(H)などをEEPROM67に格納
する記憶制御部としての機能。
【0091】操作表示部12の測定スイッチが押さ
れ、その操作信号が入出力IC70を介して入力される
と、入出力IC70を介してX,Y軸パルスモータ6,
10の動作を制御して予め設定された測色位置に分光測
色計3を移動させ、発光回路66を制御して光源21を
発光させて測色動作を行い、EEPROM67に格納さ
れている白色校正値やゼロ校正値を用いて測定試料14
の測色値、例えば分光反射特性を求める測定制御部とし
ての機能。
【0092】EEPROM67に格納されている補正
係数K(H)を用いて、求められた測色値(分光反射特
性)を補正する補正演算部としての機能。
【0093】得られた測色値を入出力IC70を介し
て操作表示部12のLCDに表示したり、インターフェ
ースIC69を介して外部装置71に出力する出力制御
部としての機能。
【0094】なお、の校正制御部やの測定制御部に
おいて、それぞれ校正スイッチや測定スイッチに代え
て、外部装置71(例えばパーソナルコンピュータ)か
らの入力コマンドにより動作させるようにしてもよい。
【0095】次に、図11のフローチャートを用いて、
本測色装置1による測色動作の手順について説明する。
【0096】まず、分光測色計3の距離依存特性が測定
され、その結果がEEPROM67に格納される(#1
0)。これは、上述したように、例えば分光測色計3を
計器支持部7から取り外した状態で、白色試料との距離
を増減させて測定を行い、測色値(本実施形態では、例
えば分光反射特性)の距離に対する依存特性を求め、こ
れを補正係数K(H)としてEEPROM67に格納して
おく。この動作は、例えば測色装置1の製造時や定期的
なメンテナンス時に行うようにする。
【0097】次いで、測定試料14を試料台2に載置し
た状態で、分光測色計3と測定試料14間の距離Hが測
定され、その測定結果がEEPROM67に格納される
(#20)。これは、図8を用いて説明したように、分
光測色計3により測定可能な範囲内に設けられた測定試
料載置領域2aが分割されてなる小領域ごとに予め設定
された位置(走査位置)で距離測定を行う。
【0098】次いで、測定試料14上の複数の測定箇所
の色が測定され、その結果がRAM68に一時的に格納
される(#30)。続いて、EEPROM67に格納さ
れている距離Hを測定した位置と色測定箇所とが一致し
ないときは、距離Hを補間して得られる距離を距離Hと
した補正係数K(H)を用いて、色測定結果が補正される
(#40)。そして、その補正結果が、操作表示部12
のLCDに表示される(#50)。
【0099】なお、#20では、測定試料14を試料台
2に載置した状態で距離を測定しているが、これに限ら
れない。
【0100】例えば、測定試料14が紙のように薄く、
その厚さが無視できるような場合であって、静電吸着な
どにより試料台2に隙間なく密着できるような場合に
は、分光測色計3と試料台2との間の距離を測定し、そ
の結果をEEPROM67に格納しておいてもよい。こ
の場合には、測色装置1の製造時や定期的なメンテナン
ス時に距離測定を行うようにすればよい。
【0101】また、測定試料14が異なる場合であって
も、その厚さがほぼ同一であるような場合には、新たに
距離測定を行うことなく、既にEEPROM67に格納
されている距離測定結果を用いるようにしてもよい。
【0102】このように、本実施形態によれば、予め分
光測色計3と測定試料14との距離Hを測定し、分光測
色計3の距離依存特性を補正係数K(H)としてEEPR
OM67に格納し、分光測色計3を測定試料14に対し
て非接触のままで移動させるようにしたので、複数の測
定箇所の測色を行う場合でも、測色時間を短縮すること
ができる。特に、プリンタのカラープロファイルを作成
する場合のように数百のカラーサンプルの色測定を行う
ような場合に、測色時間の大幅な短縮を図ることができ
る。
【0103】また、分光測色計3により測定可能な範囲
内に設けられた測定試料載置領域2aを複数の小領域2
01〜236に分割し、当該小領域ごとに距離測定を行
い、色測定箇所の距離は補間によって求めるようにした
ので、全ての色測定箇所の距離測定を行う必要がないた
め、距離測定を高速化することができる。
【0104】また、測色用の光源21からの照明光の反
射光を距離センサ16に入射するようにしているので、
距離測定のための光源を別途設ける必要がなく、部品点
数の増大によるコストの上昇や装置の大型化を防止する
ことができる。
【0105】なお、本発明は、上記実施形態に限られ
ず、以下の変形形態を採用することができる。
【0106】(1)上記実施形態では、距離センサ16
を備え、分光測色計3と測定試料14との距離Hを測定
し、その測定結果を用いて測色値を補正しているが、こ
れに限られず、分光反射率が既知の試料(以下「既知試
料」という。)の測色値を測定し、その結果を用いて測
定試料14の測色値を補正するようにしてもよい。
【0107】既知試料としては、例えば測色する全波長
に亘って高反射率であり、かつ、試料全面に亘って汚れ
や変色のない均一な白色で、試料台2の測定試料載置領
域2a(図1)とほぼ同一サイズのものを採用する。
【0108】図12のフローチャートを用いて、この変
形形態における測色動作の手順について説明する。
【0109】まず、上記既知試料を試料台2の測定試料
載置領域2aに載置し、分光測色計3による測色値の位
置依存特性が測定され、その結果がEEPROM67に
格納される(#110)。
【0110】これは、図8を用いて説明したように、測
定試料載置領域2aの小領域ごとに、予め設定された位
置(図8では中心)で測色値の測定を行う。そして、得
られた測色値がM(X,Y)とし、既知の測色値がWとす
ると、 K(X,Y)=W/M(X,Y) で得られる補正係数K(X,Y)をEEPROM67に格
納する。この動作は、例えば測色装置1の製造時や定期
的なメンテナンス時に行うようにする。
【0111】次いで、測定試料14上の複数の測定箇所
の色が測定され、その結果がRAM68に一時的に格納
される(#120)。
【0112】続いて、EEPROM67に格納されてい
る補正係数K(X,Y)を求めた位置と色測定箇所とが一
致しないときは、補正係数K(X,Y)を補間して得られ
る補正係数を用いて、色測定結果が補正される(#13
0)。この補正は、例えば補間した得られた補正係数を
K、色測定結果をCとすると、 R=C×K によって行われる。そして、この補正結果Rが、操作表
示部12のLCDに表示される(#140)。
【0113】この形態によれば、分光測色計3と測定試
料14との距離に応じた補正係数として、既知試料の測
色値を用いるようにしているので、上記実施形態の距離
センサ16が不要となり、部品点数を削減して装置の構
成を簡素化することができる。
【0114】なお、既知試料としては、分光反射率が既
知の試料に限られず、濃度やCIEの三刺激値が既知の
試料を用いてもよい。
【0115】(2)上記実施形態および上記変形形態
(1)では、補正係数Kを求めた位置と色測定箇所とが
一致しないときは、距離Hまたは補正係数K(X,Y)を
補間して得られる値を補正データとして色測定結果を補
正しているが、これに限られず、小領域ごとに求めた距
離または補正係数を代表値とし、小領域内の色測定箇所
の補正は、この代表値を用いて行うようにしてもよい。
この場合には、補正演算を簡易な構成で容易に行うこと
ができる。
【0116】(3)上記実施形態では、距離センサ16
として光電変換素子161,162を2個並べたものを
用いているが、これに限られず、3個以上並べたものを
用いてもよい。また、非接触の距離センサ16に代え
て、接触式で距離を測定するようにしてもよい。
【0117】また、距離センサ16として、1次元PS
D(Position Sensitive light Detector)を使用しても
よい。図13(a)は1次元PSDの動作原理を説明す
るための図、(b)は1次元PSDによる距離測定を説
明するための図である。
【0118】図13(a)において、1次元PSD80
は、I層(真性半導体)基板81の表面および裏面にP
層82およびN層83が形成されてなり、N層83に共
通電極(アース)84が接続され、P層82の両端に第
1電極85および第2電極86が接続されている。そし
て、1次元PSD80のP層82にスポット状の光87
が入射すると、第1電極85および第2電極86から電
流が流出する。
【0119】第1電極85および第2電極86間の距離
をLとし、第1電極85から流出する電流をI1とし、
第2電極86から流出する電流をI2として、第1電極
85から光87の入射位置までの距離をXとすると、 I1=(I1+I2)・(L−X)/L I2=(I1+I2)・X/L であるので、 X=L・I2/(I1+I2) となる。従って、第1、第2電極85,86から流出す
る電流I1,I2を検出することにより、スポット状の
光87の入射位置Xを求めることができる。
【0120】そこで、図2に示す分光測色計3の測定用
開口13の近傍に、図13(b)に示す赤外LED9
1、投光用レンズ92、集光用レンズ93を配設し、1
次元PSD80の一方の電極側の端面が集光用レンズ9
3の中心に対向するように配置する。このような構成に
おいて、測定試料の試料面が位置S1に位置してレンズ
92,93の中心と試料面との距離がH1のときは一方
の電極側の端面から距離X1の位置に入射し、測定試料
の試料面が位置S2に位置してレンズ92,93の中心
と試料面との距離がH2のときは一方の電極側の端面か
ら距離X2の位置に入射することとなる。
【0121】従って、投光用レンズ92と集光用レンズ
93の光軸間距離をDとし、集光用レンズ93の中心と
1次元PSD80の受光面との間の距離をfとすると、
レンズ92,93の中心から測定試料の試料面までの距
離Hは、 H=D・f/X によって求められる。
【0122】このように、1次元PSD80を用いる形
態によれば、別途光源が必要となるが、位置分解能や応
答特性に優れているという効果が得られる。
【0123】(4)上記実施形態では、補正を行うため
の距離や補正係数などの補正データを分光測色計3内の
EEPROM67に格納しているが、これに限られず、
例えば図10に示す外部装置71としてパーソナルコン
ピュータを接続し、そのパーソナルコンピュータの記録
媒体、例えばハードディスクやフロッピー(登録商標)
ディスクに格納しておき、必要に応じて入出力IC70
を介して補正データを取り込んで補正を行うようにして
もよい。
【0124】(5)上記実施形態では、図1に示すよう
に、測色装置1は平板状の試料台2を備えたものとして
いるが、これに限られない。図14は円柱状の試料台を
備えた測色装置を示す図で、(a)は正面図、(b)は
側面図であり、図1と同一機能を果たすものには同一符
号を付している。なお、図14(b)では試料台2、分
光測色計3、計器支持部7および測定試料14のみを示
し、その他の部材の図示を省略している。
【0125】この測色装置1aの計器支持部7は、その
両端が一対の支柱101,101に固定支持され、分光
測色計3をX軸方向に移動可能に支持する。試料台2は
円柱形状で、支柱101,101に固定された回転支持
部102,102によって、X軸方向に平行に配設され
た軸2d周りに回転可能に支持されている。そして、測
定試料14は試料台2の周面に巻き付けられるようにな
っている。
【0126】このように、X軸方向に1次元的に移動可
能な分光測色計3と、X軸方向に平行な軸周りに回転可
能な試料台2とを備えることで、上記実施形態と同様
に、測定試料14に対して2次元的に走査することがで
きる。
【0127】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
よれば、測定手段を試料台に対して相対移動させたとき
の当該試料台上における複数の走査位置ごとに求めら
れ、測定試料の反射特性を補正するための複数の補正デ
ータを、それぞれ走査位置の情報に対応づけて記憶手段
に格納しておき、測定手段を試料台に対して非接触状態
を保ちながら相対移動させて当該試料台に載置された測
定試料上の複数の測定箇所の反射特性を非接触で測定さ
せ、記憶手段に格納されている複数の補正データを用い
て上記測定試料の各測定箇所における反射特性を補正す
るようにしたので、複数の測定箇所の反射特性を、高速
に、かつ精度良く得ることができる。
【0128】また、請求項2の発明によれば、複数の走
査位置は、試料台のうちで測定手段により測定可能な範
囲が分割されてなる複数の小領域ごとにそれぞれ設定さ
れているとしたので、複数の補正データは、測定試料の
全領域に対して偏ることなく得ることができ、これによ
って補正データを用いた補正が精度良く行うことができ
る。
【0129】また、請求項3の発明によれば、測定試料
を試料台に載置したときに小領域に含まれる測定箇所に
おける反射特性の補正を、当該小領域の補正データをそ
のまま用いて行うようにしているので、補正演算を簡素
な構成で容易に行うことができる。
【0130】また、請求項4の発明によれば、測定試料
の複数の測定箇所における反射特性の補正を、測定箇所
と走査位置との位置関係に応じて複数の補正データを補
間して得られる補間データを用いて行うようにしている
ので、測定箇所が走査位置に一致していない場合でも、
補正を精度良く行うことができる。
【0131】また、請求項5の発明によれば、補正デー
タは、走査位置における測定手段と測定試料との距離に
応じたデータであるとしたので、測定手段と測定試料と
の間の距離の変動による影響を適正に補正することがで
きる。
【0132】また、請求項6の発明によれば、複数の走
査位置における測定手段と測定試料との間の距離を測定
し、測定された距離に応じた補正データを走査位置に対
応づけて記憶手段に格納するようにしたので、測定試料
の厚さが異なったり、走査手段の経時変化により走査位
置と測定試料との間の距離が変化した場合でも、適正な
補正データを記憶手段に格納することができる。
【0133】また、請求項7の発明によれば、記憶手段
に格納されている補正データは、測定試料として反射特
性が既知の試料を測定したときの測定結果に基づくもの
であるとしたので、測定手段と測定試料との間の距離の
変動による影響を簡易な構成で容易に補正することがで
きる。
【0134】また、請求項8の発明によれば、測定試料
として反射特性が既知の試料を測定したときの測定結果
に基づき補正データを作成し、作成された補正データを
走査位置に対応づけて記憶手段に格納するようにしたの
で、測定手段と測定試料との間の距離を測定するのに比
べて、補正データを簡易な構成で容易に求めることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明に係る反射特性測定装置の一実
施形態としての走査機構付き測色装置の平面図、(b)
は同測色装置の側面図である。
【図2】分光測色計の断面図である。
【図3】分光測色計の平面図である。
【図4】制限枠の正面図である。
【図5】マスク板の正面図である。
【図6】検出部を示す図で、(a)は側面図、(b)は
正面図である。
【図7】距離センサの正面図である。
【図8】(a)は距離の測定箇所を示す図、(b)は距
離測定結果の一例を示す図である。
【図9】試料台上の白色校正部およびゼロ校正部を示す
断面図である。
【図10】走査機構付き測色装置の電気的構成を示すブ
ロック図である。
【図11】本測色装置による測色動作の手順を示すフロ
ーチャートである。
【図12】変形形態における測色動作の手順を示すフロ
ーチャートである。
【図13】(a)は1次元PSDの動作原理を説明する
ための図、(b)は1次元PSDによる距離測定を説明
するための図である。
【図14】円柱状の試料台を備えた測色装置を示す図
で、(a)は正面図、(b)は側面図である。
【図15】(a)は測定試料の試料面の位置が変動した
ときの受光範囲を説明する図、(b)は測色部と測定試
料との距離の基準値に対する変動量に対して反射率が比
例している状態を示す図である。
【符号の説明】
3 分光測色計(測定手段) 6 Y軸パルスモータ(走査手段) 10 X軸パルスモータ(走査手段) 14 測定試料 16 距離センサ(距離測定手段) 60 処理部 65 CPU(測定制御手段、補正演算手段、記憶制御
手段、補正作成手段) 67 EEPROM(記憶手段)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平田 猛 大阪市中央区安土町二丁目3番13号 大阪 国際ビル ミノルタ株式会社内 (72)発明者 石川 典夫 大阪市中央区安土町二丁目3番13号 大阪 国際ビル ミノルタ株式会社内 Fターム(参考) 2G020 AA04 DA12 DA22 DA23 DA31 DA34 DA35 DA36 DA43 2G059 EE02 EE13 FF01 HH01 HH02 JJ02 JJ05 JJ14 KK04 MM10 MM14 NN10 PP04

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 試料台に載置された測定試料の反射特性
    を非接触で測定する測定手段と、 この測定手段を上記試料台に対して非接触状態を保ちな
    がら相対移動させる走査手段と、 上記測定手段を上記試料台に対して相対移動させて、上
    記測定手段により当該試料台に載置された測定試料上の
    複数の測定箇所の反射特性を測定させる測定制御手段
    と、 上記測定手段を上記試料台に対して相対移動させたとき
    の当該試料台上における複数の走査位置ごとに求めら
    れ、上記測定試料の反射特性を補正するための複数の補
    正データが、それぞれ上記走査位置の情報に対応づけて
    格納されている記憶手段と、 この記憶手段に格納されている複数の補正データを用い
    て上記測定試料の各測定箇所における反射特性を補正す
    る補正演算手段とを備えたことを特徴とする反射特性測
    定装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の反射特性測定装置におい
    て、上記記憶手段に格納されている上記複数の走査位置
    は、上記試料台のうちで上記測定手段により測定可能な
    範囲が分割されてなる複数の小領域ごとにそれぞれ設定
    されていることを特徴とする反射特性測定装置。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の反射特性測定装置におい
    て、上記補正演算手段は、測定試料を上記試料台に載置
    したときに上記小領域に含まれる測定箇所における反射
    特性の補正を、当該小領域の補正データをそのまま用い
    て行うことを特徴とする反射特性測定装置。
  4. 【請求項4】 請求項2記載の反射特性測定装置におい
    て、上記補正演算手段は、上記測定試料の複数の測定箇
    所における反射特性の補正を、上記測定箇所と上記走査
    位置との位置関係に応じて上記複数の補正データを補間
    して得られる補間データを用いて行うことを特徴とする
    反射特性測定装置。
  5. 【請求項5】 請求項1乃至4のいずれかに記載の反射
    特性測定装置において、上記記憶手段に格納されている
    上記補正データは、上記走査位置における上記測定手段
    と上記測定試料との距離に応じたデータであることを特
    徴とする反射特性測定装置。
  6. 【請求項6】 請求項5記載の反射特性測定装置におい
    て、さらに、上記複数の走査位置における上記測定手段
    と上記測定試料との間の距離を測定する距離測定手段
    と、この距離測定手段により測定された距離に応じた補
    正データを上記走査位置に対応づけて上記記憶手段に格
    納する記憶制御手段とを備えたことを特徴とする反射特
    性測定装置。
  7. 【請求項7】 請求項1乃至4のいずれかに記載の反射
    特性測定装置において、上記記憶手段に格納されている
    上記補正データは、上記測定試料として反射特性が既知
    の試料を測定したときの測定結果に基づくものであるこ
    とを特徴とする反射特性測定装置。
  8. 【請求項8】 請求項7記載の反射特性測定装置におい
    て、さらに、上記測定試料として反射特性が既知の試料
    を測定したときの測定結果に基づき補正データを作成す
    る補正作成手段と、作成された補正データを上記走査位
    置に対応づけて上記記憶手段に格納する記憶制御手段と
    を備えたことを特徴とする反射特性測定装置。
JP2000070638A 2000-03-14 2000-03-14 反射特性測定装置 Pending JP2001264173A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000070638A JP2001264173A (ja) 2000-03-14 2000-03-14 反射特性測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000070638A JP2001264173A (ja) 2000-03-14 2000-03-14 反射特性測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001264173A true JP2001264173A (ja) 2001-09-26

Family

ID=18589345

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000070638A Pending JP2001264173A (ja) 2000-03-14 2000-03-14 反射特性測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001264173A (ja)

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006220666A (ja) * 2006-05-08 2006-08-24 Fujitsu Ltd 撮影装置
JP2006284596A (ja) * 2006-05-08 2006-10-19 Fujitsu Ltd 撮影装置
JP2007057529A (ja) * 2005-08-24 2007-03-08 Xerox Corp 分光測光計のターゲット距離変動補償
EP1936945A1 (de) * 2006-12-21 2008-06-25 Gretag-Macbeth AG Abtastvorrichtung mit elektronischer Abstandsregelung und ohne Abstandsmessfühler
JP2009271060A (ja) * 2008-04-08 2009-11-19 Dainichiseika Color & Chem Mfg Co Ltd 着色物品の外観評価方法
US7633051B2 (en) 2006-12-18 2009-12-15 X-Rite Europe Gmbh Spectral photoelectric measurement transformer
JP2010210456A (ja) * 2009-03-11 2010-09-24 Ricoh Co Ltd 光学特性測定装置、分光測色装置及び画像形成装置
US7821639B2 (en) 2006-12-21 2010-10-26 X-Rite Europe Gmbh Color measuring head and scanner device equipped therewith
JP2010276600A (ja) * 2009-04-30 2010-12-09 Canon Inc 分光測色装置、およびそれを用いた画像形成装置
JP2010276599A (ja) * 2009-04-30 2010-12-09 Canon Inc 分光測色装置およびそれを用いた画像形成装置
US7973935B2 (en) 2007-11-06 2011-07-05 Konica Minolta Sensing, Inc. Reflection characteristic measuring apparatus for sheet specimen and method of calibrating reflection characteristic measuring apparatus for sheet specimen
US8109594B2 (en) 2007-04-13 2012-02-07 Seiko Epson Corporation Unit for measuring color and recording apparatus
JP2013096784A (ja) * 2011-10-31 2013-05-20 Toppan Printing Co Ltd 表面特性測定装置及びコンピュータプログラム
JP2014077796A (ja) * 2009-04-30 2014-05-01 Canon Inc 分光測色装置およびそれを用いた画像形成装置
JP2015135336A (ja) * 2015-02-17 2015-07-27 横河電機株式会社 分光特性測定装置、分光特性測定方法、面状測定対象物品質監視装置
JP2015141113A (ja) * 2014-01-29 2015-08-03 キヤノン株式会社 光学検知装置及びそれを備える画像形成装置
US9488468B2 (en) 2012-10-12 2016-11-08 Yokogawa Electric Corporation Displacement sensor, spectral characteristic measuring apparatus, color measuring apparatus, planar measured object quality monitoring apparatus, displacement measuring method, spectral characteristic measuring method, and color measuring method
JP2017036937A (ja) * 2015-08-07 2017-02-16 コニカミノルタ株式会社 測色装置、測色システム、および測色方法
US9804025B2 (en) 2015-03-12 2017-10-31 Seiko Epson Corporation Spectrometry device and image forming apparatus
JP2018136141A (ja) * 2017-02-20 2018-08-30 株式会社トプコン 測定装置、測定装置の制御方法及び測定装置の制御プログラム
JP2020071084A (ja) * 2018-10-30 2020-05-07 コニカミノルタ株式会社 光学特性測定装置

Cited By (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007057529A (ja) * 2005-08-24 2007-03-08 Xerox Corp 分光測光計のターゲット距離変動補償
JP2006284596A (ja) * 2006-05-08 2006-10-19 Fujitsu Ltd 撮影装置
JP2006220666A (ja) * 2006-05-08 2006-08-24 Fujitsu Ltd 撮影装置
US7633051B2 (en) 2006-12-18 2009-12-15 X-Rite Europe Gmbh Spectral photoelectric measurement transformer
EP1936945A1 (de) * 2006-12-21 2008-06-25 Gretag-Macbeth AG Abtastvorrichtung mit elektronischer Abstandsregelung und ohne Abstandsmessfühler
US7755773B2 (en) 2006-12-21 2010-07-13 X-Rite Europe Gmbh Scanner device
US7821639B2 (en) 2006-12-21 2010-10-26 X-Rite Europe Gmbh Color measuring head and scanner device equipped therewith
US8109594B2 (en) 2007-04-13 2012-02-07 Seiko Epson Corporation Unit for measuring color and recording apparatus
US8130371B2 (en) 2007-11-06 2012-03-06 Konica Minolta Sensing, Inc. Method of calibrating reflection characteristic measuring apparatus for sheet specimen
US7973935B2 (en) 2007-11-06 2011-07-05 Konica Minolta Sensing, Inc. Reflection characteristic measuring apparatus for sheet specimen and method of calibrating reflection characteristic measuring apparatus for sheet specimen
JP2009271060A (ja) * 2008-04-08 2009-11-19 Dainichiseika Color & Chem Mfg Co Ltd 着色物品の外観評価方法
JP2010210456A (ja) * 2009-03-11 2010-09-24 Ricoh Co Ltd 光学特性測定装置、分光測色装置及び画像形成装置
US8184289B2 (en) 2009-04-30 2012-05-22 Canon Kabushiki Kaisha Spectral colorimetric apparatus and color image forming apparatus using the same
EP2246676A3 (en) * 2009-04-30 2017-12-20 Canon Kabushiki Kaisha Spectral colorimetric apparatus
JP2010276600A (ja) * 2009-04-30 2010-12-09 Canon Inc 分光測色装置、およびそれを用いた画像形成装置
JP2010276599A (ja) * 2009-04-30 2010-12-09 Canon Inc 分光測色装置およびそれを用いた画像形成装置
US8462406B2 (en) 2009-04-30 2013-06-11 Canon Kabushiki Kaisha Spectral colorimetric apparatus and image forming apparatus using the same
US8705154B2 (en) 2009-04-30 2014-04-22 Canon Kabushiki Kaisha Spectral colorimetric apparatus and image forming apparatus using the same
JP2014077796A (ja) * 2009-04-30 2014-05-01 Canon Inc 分光測色装置およびそれを用いた画像形成装置
JP2013096784A (ja) * 2011-10-31 2013-05-20 Toppan Printing Co Ltd 表面特性測定装置及びコンピュータプログラム
US9488468B2 (en) 2012-10-12 2016-11-08 Yokogawa Electric Corporation Displacement sensor, spectral characteristic measuring apparatus, color measuring apparatus, planar measured object quality monitoring apparatus, displacement measuring method, spectral characteristic measuring method, and color measuring method
US9605949B2 (en) 2012-10-12 2017-03-28 Yokogawa Electric Corporation Displacement sensor, spectral characteristic measuring apparatus, color measuring apparatus, planar measured object quality monitoring apparatus, displacement measuring method, spectral characteristic measuring method, and color measuring method
JP2015141113A (ja) * 2014-01-29 2015-08-03 キヤノン株式会社 光学検知装置及びそれを備える画像形成装置
JP2015135336A (ja) * 2015-02-17 2015-07-27 横河電機株式会社 分光特性測定装置、分光特性測定方法、面状測定対象物品質監視装置
US9804025B2 (en) 2015-03-12 2017-10-31 Seiko Epson Corporation Spectrometry device and image forming apparatus
JP2017036937A (ja) * 2015-08-07 2017-02-16 コニカミノルタ株式会社 測色装置、測色システム、および測色方法
JP2018136141A (ja) * 2017-02-20 2018-08-30 株式会社トプコン 測定装置、測定装置の制御方法及び測定装置の制御プログラム
JP7013131B2 (ja) 2017-02-20 2022-01-31 株式会社トプコン 測定装置、測定装置の制御方法及び測定装置の制御プログラム
JP2020071084A (ja) * 2018-10-30 2020-05-07 コニカミノルタ株式会社 光学特性測定装置
JP7163720B2 (ja) 2018-10-30 2022-11-01 コニカミノルタ株式会社 光学特性測定装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2001264173A (ja) 反射特性測定装置
KR101161881B1 (ko) 투명 기판의 결함 검출 검사장치
JP4135603B2 (ja) 2次元分光装置及び膜厚測定装置
US20190003889A1 (en) Measurement device, electronic apparatus, and measurement method
JP6622646B2 (ja) 透明体の欠陥検出方法及び装置
US10094780B2 (en) Imaging apparatus and method
JPH0315124B2 (ja)
US20200191723A1 (en) Defect detecting device and defect detecting method
US20020126279A1 (en) Miniaturized talbot spectrometer
US4652738A (en) Edge detecting device in optical measuring instrument
JP2008139062A (ja) 分光測定装置よび分光測定方法
JP3790961B2 (ja) 表面形状測定装置
JP3742801B2 (ja) 膜厚取得方法
JP2008292210A (ja) 光学式測定装置
CN101320218B (zh) 三扫描式硅片调焦调平测量装置、系统以及方法
JP2013197147A (ja) 検査装置、露光装置及び検査方法
JP7206576B2 (ja) 測定方法及び装置
CN216955721U (zh) 一种大动态范围光谱透射率测量装置
JPWO2012157190A1 (ja) 反射特性測定装置用光学系および反射特性測定装置
JPH05288688A (ja) 異物検査方法、および異物検査装置
JP2000121438A (ja) カラー画像測定装置
JPS6264904A (ja) 形状測定装置
JPH0444940B2 (ja)
US20020079436A1 (en) Method for optical detection of an illuminated specimen in a plurality of detection channels
JP2001045242A (ja) 一体型位置検出装置を備えている撮像装置

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20050615