JP5659558B2 - 超接合半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
2、22 p型シリコン半導体層
2a、26 p型領域
3 酸化膜マスク
4 第3トレンチ
5 n型シリコン半導体層
5a、5c、27 n型領域
5b n型シリコン半導体薄層
6、28 並列pn層
7 第1トレンチ
8 第2トレンチ
9 ゲート酸化膜
10 ゲート電極
11 p型チャネル領域
12 n+ソース領域
13 p+コンタクト領域
14 トレンチゲート
24 レジストパターン
25 イオン注入層
Claims (7)
- 高不純物濃度の第1導電型半導体基板上に、
第1導電型半導体領域と第2導電型半導体領域とを主面に垂直方向には列状で、平行方向には交互に隣接する並列pn層をエピタキシャル成長により形成し、
該並列pn層の前記第1導電型半導体領域内の表層に所定の深さの第1トレンチを形成した後、
該第1トレンチの内面にゲート絶縁膜を介してゲート電極を埋め込む工程を有する超接合半導体装置の製造方法において、
前記第1トレンチの内面に第1導電型薄層を形成し、該第1導電型薄層の内面をトレンチゲート用第2トレンチとし、該第2トレンチの内面に前記ゲート絶縁膜を介してゲート電極を埋め込む工程と、
前記第1導電型薄層および前記第2導電型半導体領域に、前記並列pn層の表面から前記第2トレンチの深さよりも浅い深さで且つ前記ゲート絶縁膜に接するように第2導電型チャネル領域を形成する工程と、
前記第2導電型チャネル領域の表面層に第2導電型コンタクト領域を形成する工程と、
を有することを特徴とする超接合半導体装置の製造方法。 - 前記並列pn層を、同一pn層パターンの複数回の繰り返しエピタキシャル成長による多段エピタキシャル法により形成することを特徴とする請求項1記載の超接合半導体装置の製造方法。
- 前記pn層は、
高不純物濃度の第1導電型半導体基板上に所要の厚さの第2導電型エピタキシャル層を形成後、表面から前記第1導電型半導体基板に達する深さの第1導電型半導体領域形成用第3トレンチを複数形成する工程と、
該第3トレンチに第1導電型エピタキシャル層を埋め込む工程と、
前記第1導電型エピタキシャル層に機械的研磨を行う工程と、を有し、
前記機械的研磨後に前記第1導電型エピタキシャル層を所定の高さにエッチングを行って前記第1トレンチを形成する工程を有することを特徴とする請求項1記載の超接合半導体
装置の製造方法。 - 高不純物濃度の第1導電型半導体基板上に所要の厚さの第2導電型エピタキシャル層を形成する工程と、
前記第2導電型エピタキシャル層の表面から前記第1導電型半導体基板に達する深さの第3トレンチを複数形成する工程と、
前記第3トレンチの底部から第1導電型エピタキシャル層を選択的にエピタキシャル成長させ、該エピタキシャル成長を所定の高さでストップさせることにより所定の深さの第1トレンチを形成する工程と、
前記第1トレンチの内面に第1導電型薄層を形成する工程と、
該第1導電型薄層の内面をトレンチゲート用第2トレンチとし、該第2トレンチの内面に前記ゲート絶縁膜を介してゲート電極を埋め込む工程と、
を有することを特徴とする超接合半導体装置の製造方法。 - 前記第3トレンチ形成用絶縁膜マスクと前記第1トレンチ形成用絶縁膜マスクが同一の絶縁膜マスクを用いることを特徴とする請求項3または4に記載の超接合半導体装置の製造方法。
- 前記第2トレンチの幅は、前記並列pn層の第1導電型半導体領域の幅以下とすることを特徴とする請求項2記載の超接合半導体装置の製造方法。
- 超接合半導体装置が超接合MOSFETであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の超接合半導体装置の製造方法。
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