JP5572303B2

JP5572303B2 - スクリーン印刷用メタルマスク及びその製造方法

Info

Publication number: JP5572303B2
Application number: JP2008283330A
Authority: JP
Inventors: 長史重田; 尚茂木; 信二堀田; 秀樹仁科; 政一相沢
Original assignee: Bon Mark Co Ltd
Current assignee: Bon Mark Co Ltd
Priority date: 2008-11-04
Filing date: 2008-11-04
Publication date: 2014-08-13
Anticipated expiration: 2028-11-04
Also published as: JP2010110920A

Description

この発明は、スクリーン印刷用メタルマスク及びその製造方法に関するものである。

従来、例えば各種の電子部品等の実装のために、実装基板上にハンダペースト、導体ペースト、封止用接着剤リブ等からなる印刷材料を塗布形成するに際し、高精度なパターン印刷を可能にさせるスクリーン印刷が採用されている。特に高精度なパターン印刷が望まれる場合には、スクリーン印刷用の版材として、スクリーン印刷版が用いられる。

スクリーン印刷版は、伸縮性のあるメッシュ（紗）に、印刷材料の滲み出しを防止する材料、例えば乳剤を被覆し、印刷すべきパターン状の開口部のみが開口されてなるものである。このスクリーン印刷版用のメッシュには、ナイロンやテトロンなどの合成繊維メッシュおよびステンレスメッシュが用いられている。これらの中でも、精密印刷用途としてステンレスメッシュが主として用いられているが、印刷材料を高く印刷する際には、メッシュの線径を大きくする為にメッシュの線径に影響されて印刷時における印刷材料の直線性が悪く、パターン形状がギザギザとなってしまい、印刷材料を真直ぐに引けないという問題があった。

特開２００７−３０７７１７号公報

従来のスクリーン印刷版では、封止用接着剤リブ等からなる印刷材料の印刷高さが厚くなるように印刷するには、紗の線径の太い物を使用して印刷高さを確保するようにしているが、紗の線径の太い物を使用した場合、印刷直進性が劣るため所望の印刷形状が得られないという問題点があった。また、一般に、紗の線径の細い細線では印刷はできるが、接着剤リブ等の印刷材料の印刷高さを近年要求される場合には印刷が困難であった。

この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、印刷材料の印刷高さを厚くし、近年要求されている所望の印刷高さが確保でき、しかも所望の直線性が得られるように改良したスクリーン印刷用メタルマスク及びその製造方法に関するものである。

この発明に係るスクリーン印刷用メタルマスクにおいては、スキージ面側から被印刷面側に貫通する印刷パターン開口部が形成されたものにおいて、メタルマスクのスキージ面側となる上層部を構成し、印刷パターン開口部が形成される対応部位のみに１層目ブリッジ又はメッシュが形成された上下両面が平坦面からなる第１層目の金属メッキと、第１層目の金属メッキに一体的に形成され、メタルマスクの被印刷面側となる下層部を構成し、印刷パターン開口部が形成される対応部位のみに１層目ブリッジ又はメッシュの１／２以下の間隔に間引かれかつ１層目ブリッジ又はメッシュに対してその直下に重なるように２層目ブリッジ又はメッシュが形成された上下両面が平坦面からなる第２層目の金属メッキとを備えたものである。

また、メタルマスクのスキージ面側となる上層部を構成し、印刷パターン開口部が形成される対応部位に１層目ブリッジ又はメッシュが形成された第１層目の金属メッキと、第１層目の金属メッキに一体的に形成され、メタルマスクの被印刷面側となる下層部を構成し、印刷パターン開口部が形成される対応部位に１層目ブリッジ又はメッシュの１／２以下の間隔に間引かれた２層目ブリッジ又はメッシュが形成された第２層目の金属メッキと、第２層目の金属メッキに一体的に形成され、印刷パターン開口部の被印刷面側の周辺部のみに帯状凸部を形成するための第３層目の金属メッキとを備えたものである。

また、メタルマスクのスキージ面側となる上層部を構成し、印刷パターン開口部が形成される対応部位のみに１層目ブリッジ又はメッシュが形成された上下両面が平坦面からなる第１層目の金属メッキと、第１層目の金属メッキに一体的に形成され、メタルマスクの被印刷面側となる下層部を構成し、印刷パターン開口部が形成される対応部位のみに１層目ブリッジ又はメッシュと互い違いにずらして１層目ブリッジ又はメッシュの隣接相互間の中間位置に配置され、かつ１層目ブリッジ又はメッシュに対して千鳥状に配置された２層目ブリッジ又はメッシュが形成された上下両面が平坦面からなる第２層目の金属メッキとを備えたものである。

また、メタルマスクのスキージ面側となる上層部を構成し、印刷パターン開口部が形成される対応部位に１層目ブリッジ又はメッシュが形成された第１層目の金属メッキと、第１層目の金属メッキに一体的に形成され、メタルマスクの被印刷面側となる下層部を構成し、印刷パターン開口部が形成される対応部位に１層目ブリッジ又はメッシュと互い違いにずらして千鳥状に配置された２層目ブリッジ又はメッシュが形成された第２層目の金属メッキと、第２層目の金属メッキに一体的に形成され、印刷パターン開口部の被印刷面側の周辺部のみに帯状凸部を形成するための第３層目の金属メッキとを備えたものである。

また、第１層目の金属メッキのスキージ面側に、スクリーン印刷時に印刷材料の受け入れ窓口となって、第１層目の印刷パターン開口部へ印刷材料を導入するための導入用開口部を有する最上層の金属メッキを更に備えたものである。

また、この発明に係るスクリーン印刷用メタルマスクの製造方法においては、導電性母材を準備する工程と、導電性母材上に、スキージ面側の印刷パターン開口部と該開口部に１層目ブリッジ又はメッシュとを与えるための第１レジストを形成する工程と、導電性母材上に、第１レジストが形成された領域を除いて、メタルマスクのスキージ面側となる上層部を構成し、印刷パターン開口部が形成される対応部位に１層目ブリッジ又はメッシュが形成された第１層目の金属メッキを形成する工程と、第１層目の金属メッキ及び第１レジストの上に、被印刷面側の印刷パターン開口部と該開口部に１層目ブリッジ又はメッシュの１／２以下の間隔に間引かれた２層目ブリッジ又はメッシュとを与えるための第２レジストを形成する工程と、１層目の金属メッキ上に、第２レジストが形成された領域を除いて、メタルマスクの被印刷面側となる下層部を構成し、印刷パターン開口部が形成される対応部位に１層目ブリッジ又はメッシュの１／２以下の間隔に間引かれた２層目ブリッジ又はメッシュが形成された第２層目の金属メッキを形成する工程と、第１レジスト及び第２レジストを除去してから、導電性母材から第１層目の金属メッキ及び第２層目の金属メッキを一体的に剥離する工程とを備えたものである。

また、導電性母材を準備する工程と、導電性母材上に、スキージ面側の印刷パターン開口部と該開口部に１層目ブリッジ又はメッシュとを与えるための第１レジストを形成する工程と、導電性母材上に、第１レジストが形成された領域を除いて、メタルマスクのスキージ面側となる上層部を構成し、印刷パターン開口部が形成される対応部位に１層目ブリッジ又はメッシュが形成された第１層目の金属メッキを形成する工程と、第１層目の金属メッキ及び第１レジストの被印刷面側に導電性皮膜を形成する工程と、第１層目の金属メッキ及び第１レジストの上に、被印刷面側の印刷パターン開口部と該開口部に１層目ブリッジ又はメッシュと互い違いにずらして千鳥状に配置される２層目ブリッジ又はメッシュを与えるための第２レジストを形成する工程と、第１層目の金属メッキ上に、第２レジストが形成された領域を除いて、メタルマスクの被印刷面側となる下層部を構成し、印刷パターン開口部が形成される対応部位に１層目ブリッジ又はメッシュと互い違いにずらして配置された２層目ブリッジ又はメッシュが形成された第２層目の金属メッキを形成する工程と、第１レジスト及び第２レジストを除去してから、導電性母材から第１層目の金属メッキ及び第２層目の金属メッキを一体的に剥離する工程とを備えたものである。

また、２層目の金属メッキ及び第２レジストの上に、第３レジストが形成された領域を除いて、第３層目の金属メッキを形成する工程と、第１レジスト、第２レジスト及び第３レジストを除去してから、導電性母材から第１層目の金属メッキ、第２層目の金属メッキ及び第３層目の金属メッキを一体的に剥離する工程を更に備えたものである。

また、第１層目の金属メッキのスキージ面側に、スクリーン印刷時に印刷材料の受け入れ窓口となって、第１層目の印刷パターン開口部へ印刷材料を導入するための導入用開口部を有する最上層の金属メッキを形成する工程を更に備えたものである。この工程は第１層目のレジストの形成前でも良く、導電性母材から金属メッキを一体的に剥離してからでも良い。

この発明によれば、スクリーン印刷時、印刷材料が印刷パターン開口部のブリッジ又はメッシュを多層化することによりメッシュ部を通過する際にせん断作用により通過し易くなり、その一方でメタルマスクを被印刷面から剥がす際にも、せん断作用により抜け性が良くなり、結果的に印刷材料の印刷高さを厚くすることができ、しかも所望の直線性が得られるという効果がある。

実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷用メタルマスクの要部構造を示す拡大断面図である。

この発明によるスクリーン印刷用メタルマスク１は、例えば電子部品を保護あるいは封止するための電子部品保護カバー接着用の接着剤リブ等からなる印刷材料を形成するための印刷パターン開口部２が形成されている。そして、このスクリーン印刷用メタルマスク１は、例えば総厚さを約２３０μｍの板厚にして、スクリーン印刷した際に、印刷材料の印刷高さが約１５０μｍとなるように開口部内の多層ブリッジ又はメッシュの容積を設計している。
このスクリーン印刷用メタルマスク１の第１層目（スキージ側）３は、例えば板厚が１００μｍ、印刷パターン開口部２の上層部に間欠的に架けられる１層目ブリッジ又はメッシュ３１の各幅が５０μｍとなるように第１層目の金属メッキ３により形成されている。この第１層目の金属メッキ３としては、Ｎｉ又はＮｉ合金を用いる。特にＮｉ−Ｃｏ合金はＣｏを入れることにより、靭性が高くなり、ブリッジ又はメッシュが破損しにくいという効果がある。次に、スクリーン印刷用メタルマスク１の第２層目（被印刷面側）４は、例えば板厚が１００μｍで第１層目３の上に形成されるが、印刷パターン開口部２の下層部に間欠的に架けられる２層目ブリッジ又はメッシュ４１は１層目ブリッジ又はメッシュ３１の１／２に間引かれており、２層目ブリッジ又はメッシュ４１は幅が５０μｍで１層目ブリッジ又はメッシュ３１に対して一つ置きにその直下に重なるように第２層目の金属メッキ４により形成されている。この第２層目の金属メッキ４としては、Ｎｉ又はＮｉ合金を用いる。更に、スクリーン印刷用メタルマスク１の第３層目（被印刷面側）５は、例えば板厚が３０μｍで第２層目４の上に形成されるが、印刷パターン開口部２の周辺部のみに帯状となるように第３層目の金属メッキ５により形成されている。ここで、印刷パターン開口部２の周辺部のみに第３層目となる帯状の凸部５を形成することにより、帯状の凸部５の内側に空間部５１が形成されるので、触れて欲しくない実装基板又はウエハ上に配置されている電子部品や電子回路と干渉しなくなるという効果がある。この第３層目の金属メッキ５としては、Ｎｉ又はＮｉ合金を用いる。

この発明によるスクリーン印刷用メタルマスク１の製造方法は、導電性母材（ＳＵＳ等）を準備し、導電性母材上に、印刷パターン開口部２と該開口部の上層部に間欠的に架けられる１層目ブリッジ又はメッシュ３１を与えるための第１レジストを形成する工程と、導電性母材上に第１レジストが形成された領域を除いて、例えば板厚が１００μｍ、印刷パターン開口部２に架けられる１層目ブリッジ又はメッシュ３１の幅が５０μｍとなる第１層目の金属メッキ３を形成する工程と、第１層目の金属メッキ３及び第１レジストの上に印刷パターン開口部２とその開口部の下層部に第１層目ブリッジ又はメッシュ３１の１／２に間引かれた２層目ブリッジ又はメッシュ４１を与えるための第２レジストを形成する工程と、第１層目の金属メッキ３上に第２レジストが形成された領域を除いて、例えば板厚が１００μｍで第１層目３の上に形成されるが、印刷パターン開口部２の下層部に間欠的に架けられる２層目ブリッジ又はメッシュ４１は１層目ブリッジ又はメッシュ３１の１／２に間引かれており、２層目ブリッジ又はメッシュ４１は幅が５０μｍで１層目ブリッジ又はメッシュ３１に対して一つ置きにその直下に重なるように第２層目の金属メッキ４を形成する工程と、第２層目の金属メッキ４及び第２レジストの上に印刷パターン開口部２と開口部の周辺部のみに帯状の凸部５を与えるための第３レジストを形成する工程と、第２層目の金属メッキ４上に第３レジストが形成された領域を除いて、例えば板厚が３０μｍで第２層目４の上に形成されるが、印刷パターン開口部２の周辺部のみに帯状となる第３層目の金属メッキ５を形成する工程と、第１レジスト、第２レジスト及び第３レジストを一緒に除去してから、導電性母材から第１層目の金属メッキ３、第２層目の金属メッキ４及び第３層目の金属メッキ５を一体的に剥離する工程とからなる。また、第１レジスト、第２レジスト及び第３レジストは、一緒に除去しないで各層の金属メッキ形成工程の後に別々に削除しても良い。また、ブリッジ又はメッシュの層数は印刷材料の高さ、印刷材料の特性によりブリッジ又はメッシュの層の厚さを変えて３層以上構造でも良い。なお、これらメタルマスクの製造方法は、従来とほぼ同様の方法により多層構造のメタルマスクとして製造することができる。

上記製造方法により完成されたこの発明のスクリーン印刷用メタルマスク１を用いることにより、液状のＵＶ樹脂（接着剤）等からなる印刷材料をスクリーン印刷で塗布すると、印刷パターン開口部２及びその１層目ブリッジ又はメッシュ３１と２層目ブリッジ又はメッシュ４１からなるメッシュ部を通過する際、印刷材料自体が持つせん断作用を有効に生かすことができ、その結果として印刷材料の印刷高さを要求される高さに自由に確保することができる。つまり、スクリーン印刷時は、印刷材料が印刷パターン開口部２及びその１層目ブリッジ又はメッシュ３１と２層目ブリッジ又はメッシュ４１からなるメッシュ部を通過し易くなり、その一方でメタルマスク１を被印刷面から剥がす際には、印刷材料自体が持つせん断作用によりメタルマスク１の抜け性が良くなり、結果的に印刷材料の印刷高さを厚くすることができ、しかも所望の直線性が得られるものである。また、印刷パターン開口部２の開口率をコントロールすることにより、印刷材料の印刷高さを自由に設計することができるという大きな効果が得られる。

実施の形態１では、スクリーン印刷用メタルマスク１の第３層目（被印刷面側）５を形成しているが、実装基板上に配置される電子部品との干渉の問題等が発生しなければ、第３層目の金属メッキ５は形成しなくてもよい。また、１層目ブリッジ又はメッシュ３１と２層目ブリッジ又はメッシュ４１は、ブリッジ又はメッシュ部を有するメッシュ構造としてもよい。また、印刷パターン開口部２内のブリッジ又はメッシュは２層構造のもので説明したが、３層構造以上のものとしても良い。この場合、下層となるブリッジ又はメッシュの数は上位層の１／２以下の数になるように配列する。

実施の形態２．
図２はこの発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷用メタルマスクの要部構造を示す拡大断面図である。

上記実施の形態１では、スクリーン印刷用メタルマスク１の第１層目（スキージ側）３の印刷パターン開口部２の上層部に架けられる１層目ブリッジ又はメッシュ３１と、スクリーン印刷用メタルマスク１の第２層目（被印刷面側）４の印刷パターン開口部２の下層部に架けられる２層目ブリッジ又はメッシュ４１とが、１層目ブリッジ又はメッシュ３１に対して一つ置きにその直下に間引きして設けられているのに対し、この実施の形態２においては、図２に示すように、スクリーン印刷用メタルマスク１の第１層目３の印刷パターン開口部２の上層部に架けられる１層目ブリッジ又はメッシュ３２と、スクリーン印刷用メタルマスク１の第２層目４の印刷パターン開口部２の下層部に架けられる２層目ブリッジ又はメッシュ４２とを、互い違いにずらして千鳥状に配置したものである。これにより、液状のＵＶ樹脂（接着剤）等の印刷材料をスクリーン印刷で塗布すると、印刷パターン開口部２及びその１層目ブリッジ又はメッシュ３２と２層目ブリッジ又はメッシュ４２からなる千鳥状のメッシュ部を通過する際、印刷材料自体が持つせん断作用を有効に生かすことができ、その結果として印刷材料の印刷高さを要求される高さに自由に確保することができる。つまり、スクリーン印刷時は、印刷材料が印刷パターン開口部２及びその千鳥状のブリッジ又はメッシュ部を通過し易くなり、その一方でメタルマスク１を被印刷面から剥がす際には、印刷材料自体が持つせん断作用によりメタルマスク１の抜け性が良くなり、結果的に印刷材料の印刷高さを厚くすることができ、しかも所望の直線性が得られるものである。また、千鳥状のブリッジ又はメッシュ部は、せん断効果が大きいので、高粘度・高チクソ性の印刷材料の場合でも抜け性がアップするという効果がある。また、印刷パターン開口部２の開口率をコントロールすることにより、印刷材料の印刷高さを自由に設計することができるという大きな効果が得られる。

この実施の形態２によるスクリーン印刷用メタルマスク１の製造方法では、スクリーン印刷用メタルマスク１の第１層目３の印刷パターン開口部２の上層部に架けられる１層目ブリッジ又はメッシュ３２と、スクリーン印刷用メタルマスク１の第２層目４の印刷パターン開口部２の下層部に架けられる２層目ブリッジ又はメッシュ４２とを、互い違いにずらして千鳥状に配置するために、第１層目の金属メッキ３を形成し、第１レジスト及び第１層目の金属メッキ３の被印刷面側に導電性皮膜を形成する工程を追加する。
実施の形態２では、スクリーン印刷用メタルマスク１の第３層目（被印刷面側）５を形成しているが、実装基板上に配置される電子部品との干渉の問題等が発生しなければ、第３層目の金属メッキ５は形成しなくてもよい。また、１層目ブリッジ又はメッシュ３１と２層目ブリッジ又はメッシュ４１は、ブリッジ又はメッシュ部を有するメッシュ構造としてもよい。また、印刷パターン開口部２内のブリッジ又はメッシュは２層構造のもので説明したが、３層構造以上のものとしても良い。この場合、下層となるブリッジ又はメッシュは上位層と略１／２位置がずれた位置に配列する。

実施の形態３．
図３はこの発明の実施の形態３におけるスクリーン印刷用メタルマスクの要部構造を示す拡大断面図である。

上記実施の形態１では、３層構造のスクリーン印刷用メタルマスク１について説明したが、この実施の形態３においては、図３に示すように、３層構造のスクリーン印刷用メタルマスクの第１層目３の上側（スキージ側）に、スクリーン印刷時に液状のＵＶ樹脂（接着剤）等からなる印刷材料の受け入れ窓口となって、第１層目３の印刷パターン開口部２へ印刷材料を導入するための導入用開口部６を有する最上層の表面層の金属メッキ７が更に追加して設けられた４層構造のスクリーン印刷用メタルマスク１である。ここで、最上層の表面層の金属メッキ７に形成される導入用開口部６は、第１層目３の印刷パターン開口部２と同一位置に形成されるものである。これにより、液状のＵＶ樹脂（接着剤）等の印刷材料が表面層の金属メッキ７の導入用開口部６に受け入れられて、第１層目３の印刷パターン開口部２に円滑に導入されることになるので、印刷材料の印刷高さを確保することができる。

実施の形態４．
図４はこの発明の実施の形態４におけるスクリーン印刷用メタルマスクの要部構造を示す拡大断面図である。

上記実施の形態２では、３層構造のスクリーン印刷用メタルマスク１について説明したが、この実施の形態４においては、図４に示すように、３層構造のスクリーン印刷用メタルマスクの第１層目３の上側（スキージ側）に、スクリーン印刷時に液状のＵＶ樹脂（接着剤）等からなる印刷材料の受け入れ窓口となって、第１層目３の印刷パターン開口部２へ印刷材料を導入するための導入用開口部６を有する最上層の表面層７が更に追加して設けられた４層構造のスクリーン印刷用メタルマスク１である。ここで、最上層の表面層７に形成される導入用開口部６は、第１層目３の印刷パターン開口部２と同一位置に形成されるものである。これにより、液状のＵＶ樹脂（接着剤）等の印刷材料が表面層７の導入用開口部６に受け入れられて、第１層目３の印刷パターン開口部２に円滑に導入されることになるので、印刷材料の印刷高さを確保することができる。

この発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷用メタルマスクの要部構造を示す拡大断面図である。この発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷用メタルマスクの要部構造を示す拡大断面図である。この発明の実施の形態３におけるスクリーン印刷用メタルマスクの要部構造を示す拡大断面図である。この発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷用メタルマスクの要部構造を示す拡大断面図である。

符号の説明

１スクリーン印刷用メタルマスク
２印刷パターン開口部
３第１層目の金属メッキ
３１、３２１層目ブリッジ又はメッシュ
４第２層目の金属メッキ
４１、４２２層目ブリッジ又はメッシュ
５第３層目の金属メッキ（帯状の凸部）
５１空間部
６導入用開口部
７最上層の表面層の金属メッキ

Claims

スキージ面側から被印刷面側に貫通する印刷パターン開口部が形成されたスクリーン印刷用メタルマスクにおいて、
前記メタルマスクのスキージ面側となる上層部を構成し、前記印刷パターン開口部が形成される対応部位のみに１層目ブリッジ又はメッシュが形成された上下両面が平坦面からなる第１層目の金属メッキと、
前記第１層目の金属メッキに一体的に形成され、前記メタルマスクの被印刷面側となる下層部を構成し、前記印刷パターン開口部が形成される対応部位のみに前記１層目ブリッジ又はメッシュの１／２以下の間隔に間引かれかつ前記１層目ブリッジ又はメッシュに対してその直下に重なるように２層目ブリッジ又はメッシュが形成された上下両面が平坦面からなる第２層目の金属メッキと、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスク。
スキージ面側から被印刷面側に貫通する印刷パターン開口部が形成されたスクリーン印刷用メタルマスクにおいて、
前記メタルマスクのスキージ面側となる上層部を構成し、前記印刷パターン開口部が形成される対応部位に１層目ブリッジ又はメッシュが形成された第１層目の金属メッキと、
前記第１層目の金属メッキに一体的に形成され、前記メタルマスクの被印刷面側となる下層部を構成し、前記印刷パターン開口部が形成される対応部位に前記１層目ブリッジ又はメッシュの１／２以下の間隔に間引かれた２層目ブリッジ又はメッシュが形成された第２層目の金属メッキと、
前記第２層目の金属メッキに一体的に形成され、前記印刷パターン開口部の被印刷面側の周辺部のみに帯状凸部を形成するための第３層目の金属メッキと、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスク。
メタルマスクの印刷パターン開口部内のブリッジ又はメッシュが３層構造以上であり、下層となるブリッジ又はメッシュ数は上位層の１／２以下の数になるように配列する構造
であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のスクリーン印刷用メタルマスク。
スキージ面側から被印刷面側に貫通する印刷パターン開口部が形成されたスクリーン印刷用メタルマスクにおいて、
前記メタルマスクのスキージ面側となる上層部を構成し、前記印刷パターン開口部が形成される対応部位のみに１層目ブリッジ又はメッシュが形成された上下両面が平坦面からなる第１層目の金属メッキと、
前記第１層目の金属メッキに一体的に形成され、前記メタルマスクの被印刷面側となる下層部を構成し、前記印刷パターン開口部が形成される対応部位のみに前記１層目ブリッジ又はメッシュと互い違いにずらして前記１層目ブリッジ又はメッシュの隣接相互間の中間位置に配置され、かつ前記１層目ブリッジ又はメッシュに対して千鳥状に配置された２層目ブリッジ又はメッシュが形成された上下両面が平坦面からなる第２層目の金属メッキと、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスク。
スキージ面側から被印刷面側に貫通する印刷パターン開口部が形成されたスクリーン印刷用メタルマスクにおいて、
前記メタルマスクのスキージ面側となる上層部を構成し、前記印刷パターン開口部が形成される対応部位に１層目ブリッジ又はメッシュが形成された第１層目の金属メッキと、
前記第１層目の金属メッキに一体的に形成され、前記メタルマスクの被印刷面側となる下層部を構成し、前記印刷パターン開口部が形成される対応部位に前記１層目ブリッジ又はメッシュと互い違いにずらして千鳥状に配置された２層目ブリッジ又はメッシュが形成された第２層目の金属メッキと、
前記第２層目の金属メッキに一体的に形成され、前記印刷パターン開口部の被印刷面側の周辺部のみに帯状凸部を形成するための第３層目の金属メッキと、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスク。
メタルマスクの印刷パターン開口部内のブリッジ又はメッシュが３層構造以上であり、下層となるブリッジ又はメッシュは上位層と１／２位置がずれた位置に配置する構造であることを特徴とする請求項４又は請求項５記載のスクリーン印刷用メタルマスク。
第１層目の金属メッキのスキージ面側に、スクリーン印刷時に印刷材料の受け入れ窓口となって、第１層目の印刷パターン開口部へ印刷材料を導入するための導入用開口部を有する最上層の金属メッキを更に備えたことを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載のスクリーン印刷用メタルマスク。
導電性母材を準備する工程と、
前記導電性母材上に、スキージ面側の印刷パターン開口部と該開口部に１層目ブリッジ又はメッシュとを与えるための第１レジストを形成する工程と、
前記導電性母材上に、第１レジストが形成された領域を除いて、メタルマスクの前記スキージ面側となる上層部を構成し、前記印刷パターン開口部が形成される対応部位に１層目ブリッジ又はメッシュが形成された第１層目の金属メッキを形成する工程と、
前記第１層目の金属メッキ及び第１レジストの上に、被印刷面側の印刷パターン開口部と該開口部に前記１層目ブリッジ又はメッシュの１／２以下の間隔に間引かれた２層目ブリッジ又はメッシュとを与えるための第２レジストを形成する工程と、
前記１層目の金属メッキ上に、第２レジストが形成された領域を除いて、メタルマスクの被印刷面側となる下層部を構成し、前記印刷パターン開口部が形成される対応部位に前記１層目ブリッジ又はメッシュの１／２以下の間隔に間引かれた２層目ブリッジ又はメッシュが形成された第２層目の金属メッキを形成する工程と、
前記第１レジスト及び第２レジストを除去してから、前記導電性母材から第１層目の金属メッキ及び第２層目の金属メッキを一体的に剥離する工程と、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスクの製造方法。
導電性母材を準備する工程と、
前記導電性母材上に、スキージ面側の印刷パターン開口部と該開口部に１層目ブリッジ又はメッシュとを与えるための第１レジストを形成する工程と、
前記導電性母材上に、第１レジストが形成された領域を除いて、メタルマスクの前記スキージ面側となる上層部を構成し、前記印刷パターン開口部が形成される対応部位に１層目ブリッジ又はメッシュが形成された第１層目の金属メッキを形成する工程と、
前記第１層目の金属メッキ及び第１レジストの上に、被印刷面側の印刷パターン開口部と該開口部に前記１層目ブリッジ又はメッシュの１／２以下の間隔に間引かれた２層目ブリッジ又はメッシュとを与えるための第２レジストを形成する工程と、
前記１層目の金属メッキ上に、第２レジストが形成された領域を除いて、メタルマスクの被印刷面側となる下層部を構成し、前記印刷パターン開口部が形成される対応部位に前記１層目ブリッジ又はメッシュの１／２以下の間隔に間引かれた２層目ブリッジ又はメッシュが形成された第２層目の金属メッキを形成する工程と、
前記第２層目の金属メッキ及び第２レジストの上に、被印刷面側の印刷パターン開口部と該開口部の周辺部のみに帯状の凸部を与えるための第３レジストを形成する工程と、
前記２層目の金属メッキ上に、第３レジストが形成された領域を除いて、第３層目の金属メッキを形成する工程と、
前記第１レジスト、第２レジスト及び第３レジストを除去してから、前記導電性母材から第１層目の金属メッキ、第２層目の金属メッキ及び第３層目の金属メッキを一体的に剥離する工程と、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスクの製造方法。
導電性母材を準備する工程と、
前記導電性母材上に、スキージ面側の印刷パターン開口部と該開口部に１層目ブリッジ又はメッシュとを与えるための第１レジストを形成する工程と、
前記導電性母材上に、第１レジストが形成された領域を除いて、メタルマスクの前記スキージ面側となる上層部を構成し、前記印刷パターン開口部が形成される対応部位に１層目ブリッジ又はメッシュが形成された第１層目の金属メッキを形成する工程と、
前記第１層目の金属メッキ及び第１レジストの被印刷面側に導電性皮膜を形成する工程と、
前記第１層目の金属メッキ及び第１レジストの上に、被印刷面側の印刷パターン開口部と該開口部に前記１層目ブリッジ又はメッシュと互い違いにずらして千鳥状に配置される２層目ブリッジ又はメッシュを与えるための第２レジストを形成する工程と、
前記１層目の金属メッキ上に、第２レジストが形成された領域を除いて、メタルマスクの被印刷面側となる下層部を構成し、前記印刷パターン開口部が形成される対応部位に１層目ブリッジ又はメッシュと互い違いにずらして配置された２層目ブリッジ又はメッシュが形成された第２層目の金属メッキを形成する工程と、
前記第１レジスト及び第２レジストを除去してから、前記導電性母材から第１層目の金属メッキ及び第２層目の金属メッキを一体的に剥離する工程と、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスクの製造方法。
導電性母材を準備する工程と、
前記導電性母材上に、スキージ面側の印刷パターン開口部と該開口部に１層目ブリッジ又はメッシュとを与えるための第１レジストを形成する工程と、
前記導電性母材上に、第１レジストが形成された領域を除いて、メタルマスクの前記スキージ面側となる上層部を構成し、前記印刷パターン開口部が形成される対応部位に１層目ブリッジ又はメッシュが形成された第１層目の金属メッキを形成する工程と、
前記第１層目の金属メッキ及び第１レジストの被印刷面側に導電性皮膜を形成する工程と、
前記第１層目の金属メッキ及び第１レジストの上に、被印刷面側の印刷パターン開口部と該開口部に前記１層目ブリッジ又はメッシュと互い違いにずらして千鳥状に配置される２層目ブリッジ又はメッシュを与えるための第２レジストを形成する工程と、
前記１層目の金属メッキ上に、第２レジストが形成された領域を除いて、メタルマスクの被印刷面側となる下層部を構成し、前記印刷パターン開口部が形成される対応部位に１層目ブリッジ又はメッシュと互い違いにずらして配置された２層目ブリッジ又はメッシュが形成された第２層目の金属メッキを形成する工程と、
前記第２層目の金属メッキ及び第２レジストの上に、被印刷面側の印刷パターン開口部と該開口部の周辺部のみに帯状の凸部を与えるための第３レジストを形成する工程と、
前記２層目の金属メッキ上に、第３レジストが形成された領域を除いて、第３層目の金属メッキを形成する工程と、
前記第１レジスト、第２レジスト及び第３レジストを除去してから、前記導電性母材から第１層目の金属メッキ、第２層目の金属メッキ及び第３層目の金属メッキを一体的に剥離する工程と、
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスクの製造方法。
第１層目の金属メッキのスキージ面側に、スクリーン印刷時に印刷材料の受け入れ窓口となって、第１層目の印刷パターン開口部へ印刷材料を導入するための導入用開口部を有する最上層の金属メッキを形成する工程を更に備えたことを特徴とする請求項８〜請求項１１のいずれかに記載のスクリーン印刷用メタルマスクの製造方法。