JP6282466B2 - スクリーン印刷用メタルマスク及びその製造方法 - Google Patents
スクリーン印刷用メタルマスク及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6282466B2 JP6282466B2 JP2013273512A JP2013273512A JP6282466B2 JP 6282466 B2 JP6282466 B2 JP 6282466B2 JP 2013273512 A JP2013273512 A JP 2013273512A JP 2013273512 A JP2013273512 A JP 2013273512A JP 6282466 B2 JP6282466 B2 JP 6282466B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- pattern
- adjustment
- metal mask
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 126
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 126
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 title claims description 54
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 38
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 claims description 106
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 95
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 78
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 35
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 11
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 52
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 20
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 17
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 11
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 8
- QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ni] Chemical compound [Co].[Ni] QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 6
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 6
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 3
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000006071 cream Substances 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
- Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
Description
本発明の目的は、メタルマスクを製造する際の加工不良発生率を低下して、メタルマスクの製造コストを削減することができるスクリーン印刷用メタルマスクの製造方法を提供することにある。
パターン開口1の開口形状よりも僅かに大きく設定されている。詳しくは、調整開口3の開口形状は、パターン開口1の開口形状よりも相似的に大きく形成されている。これにより、図1に示すように、調整開口3の開口内面と、パターン開口1の開口周縁壁との間に段落ち部8が形成される。調整開口3の開口形状は、パターン開口1と調整開口3との中心を一致するように形成したとき、段落ち部8の幅寸法w1が、1μm以上15μm以下に設定することが好ましい。段落ち部8の幅寸法w1が、1μm未満であると段落ち部8がほとんど形成されず、後述するメタルマスクの製造時における第1パターンフィルム22と第2パターンフィルム32との相対位置のずれの許容値が小さくなるため、製造時の寸法精度を高度に管理する必要があるからである。また、15μmを超えると印刷時に段落ち部8に印刷ペーストが付着するおそれがあり、印刷ペーストが段落ち部8に付着した場合には、無駄に消費される印刷ペーストの量が増加するからである。より好ましくは、2μm以上12μm以下に設定するとよい。本実施形態では、段落ち部8の幅寸法w1は10μmに設定した。また、パターン開口1は、長辺の寸法が0.25mmで短辺の寸法が0.05mmに形成されており、その上下の形成ピッチの寸法は0.10mmで、左右の形成ピッチは0.30mmに設定した。
3 調整開口
5 マスク版
6 スキージ版
8 段落ち部
9 調整リブ
20 電鋳母型
21 第1フォトレジスト層
22 第1パターンフィルム
23 第1レジスト体
24 第1電鋳層
31 第2フォトレジスト層
32 第2パターンフィルム
33 第2レジスト体
34 第2電鋳層
41 液状フォトレジスト
43 第3レジスト体
45 ダミー開口
46 ダミーパターンフィルム
47 ダミーレジスト体
49 調整開口周縁部
Claims (5)
- 一群のパターン開口(1)を備えたマスク版(5)と、パターン開口(1)に対応する一群の調整開口(3)を備えたスキージ版(6)とを備えており、両版(5・6)のそれぞれが、金属材で形成されているスクリーン印刷用メタルマスクであって、
調整開口(3)には、対向する開口内面同士を繋ぐ調整リブ(9)が形成されており、
調整開口(3)の開口形状が、パターン開口(1)の開口形状よりも僅かに大きく形成されていることを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスク。 - 調整開口(3)の開口形状が、パターン開口(1)の開口形状よりも相似的に大きく形成されて、調整開口(3)の開口内面と、パターン開口(1)の開口周縁壁との間に段落ち部(8)が形成されている請求項1に記載のスクリーン印刷用メタルマスク。
- 段落ち部(8)の幅寸法(w1)が、1μm以上15μm以下に設定されている請求項2に記載のスクリーン印刷用メタルマスク。
- 調整リブ(9)が直線状に形成された第1リブ(9a)と第2リブ(9b)とで構成されており、第1リブ(9a)と第2リブ(9b)とが互いに交差する状態で配置されている請求項1から3のいずれかひとつに記載のスクリーン印刷用メタルマスク。
- 一群のパターン開口(1)を備えたマスク版(5)と、パターン開口(1)に対応する一群の調整開口(3)を備えたスキージ版(6)とを備えており、両版(5・6)のそれぞれが、金属材で形成されており、調整開口(3)の開口形状が、パターン開口(1)の開口形状よりも相似的に大きく形成され、調整開口(3)の開口内面と、パターン開口(1)の開口周縁壁との間に段落ち部(8)が形成されているスクリーン印刷用メタルマスクの製造方法であって、
メタルマスクは、第1電鋳層(24)を形成する1次電鋳工程と、第2電鋳層(34)を形成する2次電鋳工程と、剥離工程とを経て形成されており、
1次電鋳工程は、平板状の電鋳母型(20)の上面に第1フォトレジスト層(21)を形成し、調整開口(3)に対応する透光孔を有する第1パターンフィルム(22)を、第1フォトレジスト層(21)の上面に載置したのち第1フォトレジスト層(21)を露光して、調整開口(3)の開口形状に対応する第1レジスト体(23)を形成する工程と、
電鋳母型(20)上の第1レジスト体(23)で覆われていない表面に、一群の調整開口(3)が形成されるスキージ版(6)となる第1電鋳層(24)を電鋳法により形成する工程とを含み、
2次電鋳工程は、第1電鋳層(24)および第1レジスト体(23)の上面に第2フォトレジスト層(31)を形成し、パターン開口(1)に対応する透光孔を有する第2パターンフィルム(32)を、第2フォトレジスト層(31)の上面に載置したのち第2フォトレジスト層(31)を露光して、パターン開口(1)の開口形状に対応する第2レジスト体(33)を形成する工程と、
第1電鋳層(24)および第1レジスト体(23)上の第2レジスト体(33)で覆われていない表面に、一群のパターン開口(1)が形成されるマスク版(5)となる第2電鋳層(34)を電鋳法により形成する工程とを含み、
剥離工程は、電鋳母型(20)から第1および第2電鋳層(24・34)を剥離する工程を含むことを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスクの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013273512A JP6282466B2 (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | スクリーン印刷用メタルマスク及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013273512A JP6282466B2 (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | スクリーン印刷用メタルマスク及びその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018008777A Division JP6758333B2 (ja) | 2018-01-23 | 2018-01-23 | スクリーン印刷用メタルマスク |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015127126A JP2015127126A (ja) | 2015-07-09 |
JP6282466B2 true JP6282466B2 (ja) | 2018-02-21 |
Family
ID=53837361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013273512A Active JP6282466B2 (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | スクリーン印刷用メタルマスク及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6282466B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6918541B2 (ja) * | 2017-03-27 | 2021-08-11 | 太陽誘電株式会社 | スクリーン印刷版の製造方法 |
JP7386514B2 (ja) * | 2019-10-23 | 2023-11-27 | 株式会社ボンマーク | スクリーン印刷版 |
CN114043798A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-02-15 | 昆山良品丝印器材有限公司 | 一种丝印网版的加工工艺 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53129406U (ja) * | 1977-03-11 | 1978-10-14 | ||
JPS5589657U (ja) * | 1978-12-13 | 1980-06-20 | ||
GB2189903A (en) * | 1986-04-01 | 1987-11-04 | Plessey Co Plc | An etch technique for metal mask definition |
JP2005119112A (ja) * | 2003-10-16 | 2005-05-12 | Kyushu Hitachi Maxell Ltd | スクリーン印刷用メタルマスク |
JP5572303B2 (ja) * | 2008-11-04 | 2014-08-13 | 株式会社ボンマーク | スクリーン印刷用メタルマスク及びその製造方法 |
-
2013
- 2013-12-27 JP JP2013273512A patent/JP6282466B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015127126A (ja) | 2015-07-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4677363B2 (ja) | 蒸着マスクおよびその製造方法 | |
JP2010242141A (ja) | 蒸着マスク及びその製造方法 | |
JP6282466B2 (ja) | スクリーン印刷用メタルマスク及びその製造方法 | |
JP4475496B2 (ja) | 有機el素子用の蒸着マスクとその製造方法 | |
JP2015131426A (ja) | スクリーン印刷版の製造方法 | |
JP2023143968A (ja) | 配列用マスク | |
JP2009182068A (ja) | 配列用マスク及びその製造方法 | |
JP5178501B2 (ja) | 認識マークを備えたメタルマスク及びその製造方法 | |
JP7098782B2 (ja) | メタルマスク | |
JP6758333B2 (ja) | スクリーン印刷用メタルマスク | |
JP6193073B2 (ja) | メタルマスクの製造方法 | |
JP6553229B2 (ja) | スクリーン印刷用メタルマスク | |
JP6764457B2 (ja) | スクリーン印刷用メタルマスク | |
JP2018099897A (ja) | スクリーン印刷用メタルマスク | |
JP7149859B2 (ja) | メタルマスクの製造方法 | |
JP6758108B2 (ja) | 導電性ピラーの配列用マスクおよびその製造方法 | |
JP4808954B2 (ja) | 印刷用メタルマスク版の製造方法と印刷用メタルマスク版 | |
JP6869319B2 (ja) | 半田ボールの配列用マスク、およびその製造方法 | |
JP2021184483A (ja) | メタルマスク | |
JP5905756B2 (ja) | 配列用マスク及び半田バンプの形成方法 | |
JP2015131427A (ja) | スクリーン印刷版 | |
JP6456229B2 (ja) | 半田ボールの吸着用マスク、およびその製造方法 | |
JP7449339B2 (ja) | 位置決め用の治具 | |
JP2012019236A (ja) | 配列用マスク | |
JP6695678B2 (ja) | グラビアオフセット印刷用凹版およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160916 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170628 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170705 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170829 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171227 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180124 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6282466 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |