JP6758333B2 - スクリーン印刷用メタルマスク - Google Patents
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Description
本発明の目的は、メタルマスクを製造する際の加工不良発生率を低下して、メタルマスクの製造コストを削減することができるスクリーン印刷用メタルマスクの製造方法を提供することにある。
パターン開口1の開口形状よりも僅かに大きく設定されている。詳しくは、調整開口3の開口形状は、パターン開口1の開口形状よりも相似的に大きく形成されている。これにより、図1に示すように、調整開口3の開口内面と、パターン開口1の開口周縁壁との間に段落ち部8が形成される。調整開口3の開口形状は、パターン開口1と調整開口3との中心を一致するように形成したとき、段落ち部8の幅寸法w1が、1μm以上15μm以下に設定することが好ましい。段落ち部8の幅寸法w1が、1μm未満であると段落ち部8がほとんど形成されず、後述するメタルマスクの製造時における第1パターンフィルム22と第2パターンフィルム32との相対位置のずれの許容値が小さくなるため、製造時の寸法精度を高度に管理する必要があるからである。また、15μmを超えると印刷時に段落ち部8に印刷ペーストが付着するおそれがあり、印刷ペーストが段落ち部8に付着した場合には、無駄に消費される印刷ペーストの量が増加するからである。より好ましくは、2μm以上12μm以下に設定するとよい。本実施形態では、段落ち部8の幅寸法w1は10μmに設定した。また、パターン開口1は、長辺の寸法が0.25mmで短辺の寸法が0.05mmに形成されており、その上下の形成ピッチの寸法は0.10mmで、左右の形成ピッチは0.30mmに設定した。
3 調整開口
5 マスク版
6 スキージ版
8 段落ち部
9 調整リブ
20 電鋳母型
21 第1フォトレジスト層
22 第1パターンフィルム
23 第1レジスト体
24 第1電鋳層
31 第2フォトレジスト層
32 第2パターンフィルム
33 第2レジスト体
34 第2電鋳層
41 液状フォトレジスト
43 第3レジスト体
45 ダミー開口
46 ダミーパターンフィルム
47 ダミーレジスト体
49 調整開口周縁部
Claims (3)
- 一群のパターン開口(1)を備えたマスク版(5)と、前記パターン開口(1)に対応する一群の調整開口(3)を備えたスキージ版(6)とを備え、両版(5・6)のそれぞれがめっき形成されているスクリーン印刷用メタルマスクであって、
前記パターン開口(1)の開口形状は、隅部が丸められた形状に形成され、前記調整開口(3)の開口形状は、隅部が丸められた形状に形成され、前記パターン開口(1)の開口形状よりも相似的に大きく形成されており、
前記調整開口(3)には、開口内面同士を繋ぐ調整リブ(9)が形成され、前記調整リブ(9)の形成基端部と前記調整開口(3)の開口内面との接続部分は丸められて形成されており、
前記スキージ版(6)のスキージ面(7)が母型の剥離面であることを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスク。 - 前記調整リブ(9)は、隣接する前記調整リブ(9)どうしの延設方向が異なるように形成されていることを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷用メタルマスク。
- 隣接する前記調整リブ(9)は、互いに逆向きに傾斜する状態で形成され、傾斜する前記調整リブ(9)の前記パターン開口(1)の長辺方向に対する角度は、20度以上70度以下に設定されていることを特徴とする請求項1または2に記載のスクリーン印刷用メタルマスク。
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