JP4113906B2 - メッシュ一体型のメタルマスクの製造方法 - Google Patents
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Description
3 マスク基板
4 版枠
5 メッシュ
10 電鋳母型
11 パターンレジスト膜
12 捨て電着用開口部
14 捨て電着金属
17 エッチングレジスト膜
19 液状レジスト
Claims (2)
- 電鋳母型(10)の表面に、開口密度の高い領域(A)と開口密度の低い領域(B)とを併有するメタルマスクの電着金属(6)部分に相当する開孔(9)および前記領域(A)への電着量を調節するための捨て電着用開口部(12)を備えたパターンレジスト膜(11)を形成する工程と、
電鋳母型(10)のパターンレジスト膜(11)で覆われていない表面に、マスク基板(3)に相当する電着金属(6)と、マスク厚調整用の捨て電着金属(14)とを電着形成し、捨て電着金属(14)は連続して形成する工程と、
連続して形成された捨て電着金属(14)を剥離除去する工程と、
電着金属(6)およびパターンレジスト膜(11)の表面上に、導電性を有するメッシュ(5)を密着重合する工程と、
メッキによりメッシュ(5)と電着金属(6)を一体接合する工程と、
電鋳母型(10)から電着金属(6)をメッシュ(5)ごと剥離する工程とからなることを特徴とするメッシュ一体型のメタルマスクの製造方法。 - 電鋳母型(10)の表面に、開口密度の高い領域(A)と開口密度の低い領域(B)とを併有するメタルマスクの電着金属(6)部分に相当する開孔(9)および前記領域(A)への電着量を調節するための捨て電着用開口部(12)を備えたパターンレジスト膜(11)を形成する工程と、
電鋳母型(10)のパターンレジスト膜(11)で覆われていない表面に、マスク基板(3)に相当する電着金属(6)と、マスク厚調整用の捨て電着金属(14)とを電着形成し、捨て電着金属(14)は連続して形成する工程と、
連続して形成された捨て電着金属(14)を剥離除去する工程と、
捨て電着金属(14)の除去部分に、液状レジスト(19)をパターンレジスト膜(11)と同じ高さにまで埋めて硬化させる工程と、
電着金属(6)、パターンレジスト膜(11)および硬化された液状レジスト(19)の表面上に、導電性を有するメッシュ(5)を密着重合する工程と、
メッキによりメッシュ(5)と電着金属(6)を一体接合する工程と、
電鋳母型(10)から電着金属(6)をメッシュ(5)ごと剥離する工程とからなることを特徴とするメッシュ一体型のメタルマスクの製造方法。
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JP2007184148A JP4113906B2 (ja) | 2007-07-13 | 2007-07-13 | メッシュ一体型のメタルマスクの製造方法 |
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CN111319346A (zh) * | 2018-12-14 | 2020-06-23 | 天津环鑫科技发展有限公司 | 一种gpp芯片套印丝网印刷网版及其工艺方法 |
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- 2007-07-13 JP JP2007184148A patent/JP4113906B2/ja not_active Expired - Lifetime
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