JP4720002B2 - スクリーン印刷版及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はスクリーン印刷版の製造方法に係り、詳しくは、特には、均一な膜厚の印刷膜を形成し得る構成とされたスクリーン印刷版を容易に製造し得る方法とに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、電子部品の製造時、例えば、チップ部品の内部電極を形成する場合などにおいては、導電ペーストのスクリーン印刷によって所望形状の印刷図形、つまり、内部電極などと対応した形状を有する印刷パターンを形成するのが一般的となっている。そして、この際にあっては、図5及び図6で示すような構成とされたスクリーン印刷版21を使用することが行われる。
【0003】
すなわち、スクリーン印刷版21は、交差しあうメッシュ線部22を介して区分された複数のメッシュ開口部23が縦横方向に沿って形成されたメッシュ部分24と、このメッシュ部分24を取り囲んで配設された基盤部分25とを備えている。そして、メッシュ開口部23が形成されたメッシュ部分24の裏面側、つまり、被印刷体との対面側には印刷図形と対応した形状を有する凹部26が設けられており、メッシュ部分24の厚みと凹部26の深さとを合算した厚みは基盤部分25の厚みと合致している。
【0004】
このスクリーン印刷版21を用いたペースト印刷にあっては、図7で示すように、メッシュ部分24の裏面側に設けられた凹部26が被印刷体、例えば、セラミックグリーンシートなどである被印刷体27と対面するようにしてスクリーン印刷版21を設置することが行われる。そして、メッシュ部分24上に導電ペースト28を載せた後、この導電ペースト28をスキージ29によってメッシュ部分24へと押し付けるようにしながらスキージ29を移動させる。すると、導電ペースト28はメッシュ部分24のメッシュ開口部23を通って凹部26内へと押し出されることになり、押し出された導電ペースト28が付着する結果として被印刷体27の表面上には導電ペースト28からなる所望形状の印刷図形が形成される。
【0005】
ところで、このようにして形成される印刷図形に対しては、電気的特性上の必要性から導電ペースト28の塗布厚み、つまり、印刷図形における膜厚の均一性が要求される。しかしながら、スクリーン印刷版21を用いて行われるペースト印刷では、図8で示すように、スキージ29で導電ペースト28を押し付けるのに伴ってメッシュ部分24が被印刷体27側へと向かってへこむことが起こるため、導電ペースト28の塗布厚みを均一化できず、形成された印刷図形の膜厚が不均一になってしまう。
【0006】
そのため、このような不都合が発生することを防止し得るよう構成されたスクリーン印刷版が、特開平6−328873号公報で提案されている。すなわち、図9及び図10で示すように、このスクリーン印刷版31は、メッシュ部分24におけるメッシュ開口部23の各々を区分しているメッシュ線部22同士が交差しあう箇所に支柱32が配置されたものであり、その他の構成はスクリーン印刷版21と同じである。なお、スクリーン印刷版31の構成を示す図9及び図10においては、図5及び図6で示したスクリーン印刷版21と同一である部品、部分に同一符号を付しており、ここでの説明は省略する。
【0007】
このスクリーン印刷版31であれば、メッシュ線部22同士の交差箇所に配置された支柱32が凹部26内に突出しており、これら支柱32のそれぞれが被印刷体27の表面と当接する。そこで、メッシュ部分24は支柱32を介したうえで被印刷体27によって支持されることになり、凹部26の深さは確保される。従って、スキージ29でもって導電ペースト28をメッシュ部分24へと押し付けたとしても、メッシュ部分24がへこんで変形することは起こらず、導電ペースト28の塗布厚みが均一化される結果として印刷図形の膜厚も均一化される。
【0008】
さらに、これらのスクリーン印刷版21,31は、以下のような手順に従って製造されるのが一般的である。すなわち、支柱32の有無に拘わらず、スクリーン印刷版21,31を製造するに際しては、フォトリソグラフィー技術が利用されることとなり、まず最初には、図11(a)で示すように、メッシュ開口部23の各々と対応した形状を有する第1のレジスト(絶縁体)パターン41それぞれを、メッシュ開口部23の各々と対応した位置ごとに配置されるようにしたうえで導電性基台42の表面上に形成する。
【0009】
つぎに、第1のレジストパターン41が形成された導電性基台42上に第1の金属膜43を電解めっきによって形成した後、第1のレジストパターン41を除去すると、図11(b)で示すような構成が得られる。なお、この際における第1の金属膜43に生じているレジストパターン除去後の孔41aはメッシュ開口部23と対応する一方、これらの孔41aを区分している金属膜部分はメッシュ線部22と対応していることになり、第1の金属膜43によってはメッシュ部分24が構成される。
【0010】
引き続き、図11(c)で示すように、印刷図形と対応した形状を有する第2のレジストパターン44を、第1の金属膜43上に形成する。そして、第2のレジストパターン44が形成された第1の金属膜43上に第2の金属膜45を電解めっきによって形成した後、第2のレジストパターン44を除去すると、図11(d)で示すような構成が得られる。なお、第2の金属膜45に生じているレジストパターン除去後の孔44aは凹部26と対応することになり、積層された第1及び第2の金属膜43,45によっては基盤部分25が構成される。その後、第1の金属膜43及び第2の金属膜45を積層されたままで一括的に導電性基台42の表面から剥離すると、スクリーン印刷版21が製造されたことになる。
【0011】
また、支柱32を具備してなるスクリーン印刷版31の場合には、図示省略しているが、支柱32の各々と対応した形状を有する支柱形成用開口部を予め第2のレジストパターン44に形成しておいたうえで第2の金属膜45を形成することが行われる。そして、このようにした場合においては、支柱形成用開口部それぞれの内部を埋めるようにして形成された第2の金属膜45がそのまま支柱32となり、第2のレジストパターン44に対して形成される開口部それぞれの位置を適宜に定めておくことによって支柱32はメッシュ線部22同士の交差箇所に配置される。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これらスクリーン印刷版21,31を製造するに際しては、つぎのような不都合が生じることになっていた。すなわち、スクリーン印刷版31においては、交差箇所に支柱32が配置されるメッシュ線部22の線幅が細ければ、図12及び図13で示すように、支柱32がメッシュ線部22から位置ずれしてメッシュ開口部23の一部を埋めてしまったり、支柱32が細くなり過ぎて形成されなかったりすることがある。
【0013】
また、従来の製造方法では、支柱32の有無に拘わらず、スクリーン印刷版21,31が備えるメッシュ部分24を形成するのに際し、個々のメッシュ開口部23に対応する第1のレジストパターン41を導電性基板42上に形成しておいた後、電解メッキによってメッシュ線部22となる第1の金属膜43を形成することが行われる。しかしながら、必要とする印刷図形の個数が多い場合や、より微細なメッシュ開口部23が必要となる場合には、非常に数多くの微細なレジストパターン41を安定的に形成しなければならないため、大変に煩わしい手間を要してしまう。
【0014】
さらに、第1のレジストパターン41が正常に形成されていない事態が生じた場合には、メッシュ開口部23が存在しなくなってしまうため、導電ペースト28が凹部26へと押し出されず、所望形状の印刷図形が形成され得ないことになる。すなわち、従来構成とされたスクリーン印刷版21,31を製造する際においては、メッシュ開口部23に対応する第1のレジストパターン41を導電性基板42上に安定して形成するのが大変に困難であり、このことがスクリーン印刷版21,31の製造時における歩留まり悪化の原因となっている。
【0015】
本発明はこれらの不都合に鑑みて創案されたものであって、ペースト印刷時におけるメッシュ部分の変形が発生せず、印刷図形の膜厚を均一化することが可能なスクリーン印刷版と、このようなスクリーン印刷版を極めて容易に製造し得る製造方法との提供を目的としている。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に係るスクリーン印刷版は、交差しあうメッシュ線部により区分されたメッシュ開口部が形成されているメッシュ部分と、このメッシュ部分を取り囲んで配設された基盤部分とを備えており、メッシュ部分の被印刷体側には凹部が設けられているスクリーン印刷版の製造方法であって、
複数のメッシュ開口部となるべき部分を結んで複数の直線形状を有する第1のレジストパターンを基台上に形成する工程と、第1のレジストパターンが形成された基台上に第1の金属膜をめっき形成する工程と、第1のレジストパターンを除去する工程と、第1のレジストパターンとは交差する複数の直線形状、及び、これらの直線形状を囲んだ外縁形状を有する第2のレジストパターンを第1の金属膜上に形成する工程と、第2のレジストパターンが形成された第1の金属膜上に第2の金属膜をめっき形成する工程と、第2のレジストパターンを除去する工程と、第1及び第2の金属膜を一括して基台上から剥離する工程とを含んでいることを特徴とするスクリーン印刷版の製造方法。
【0017】
このスクリーン印刷版では、メッシュ部分の厚みと凹部の深さとを合算した厚みと、メッシュ線部同士が交差しあう箇所の厚みとの双方ともが、基盤部分の厚みと合致していることが好ましい。そこで、スクリーン印刷版を設置した場合には、メッシュ線部同士の交差箇所そのものが凹部内に突出し、かつ、これら交差箇所の各々が被印刷体と当接することになる。そのため、メッシュ部分はメッシュ線部同士の交差箇所でもって支持されていることになり、このメッシュ部分の被印刷体側に設けられた凹部の深さは確実に確保される。従って、スキージでもって導電ペーストをメッシュ部分へと押し付けても、メッシュ部分がへこんで変形することは起こり得ず、印刷図形の膜厚は均一化される。
【0019】
本発明の請求項2に係るスクリーン印刷版の製造方法は請求項1に記載した方法であって、基台が導電性を有しており、金属膜の各々が電解めっきによって形成されることを特徴としている。
【0020】
これらの製造方法を採用している際には、個々のメッシュ開口部に対応したレジストパターンをわざわざ形成しておく必要がなくなるので、印刷図形の個数が多い場合や、より微細なメッシュ開口部が必要な場合であっても、より安定的にメッシュ開口部を形成することが可能となる。また、メッシュ線部同士の交差箇所に支柱をわざわざ形成する必要もないので、位置ずれした支柱がメッシュ開口部の一部を埋めてしまったり、支柱が細くなり過ぎて形成されなかったりすることは起こり得ず、請求項1に記載したスクリーン印刷版を極めて容易に製造し得るという利点が確保される。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は本実施の形態に係る製造方法によるスクリーン印刷版をそのスキージ摺動側から見た構成を示す外観斜視図、図2はスクリーン印刷版をその被印刷体側から見た構成を示す外観斜視図であり、図3(a)〜(c)の各々はスクリーン印刷版の構成を示す断面図である。また、図4は本実施の形態に係るスクリーン印刷版の製造手順を示す工程断面図であり、これらの図における符号1はスクリーン印刷版である。なお、図3(a)〜(c)のそれぞれは、図2中に付記している切断線A,B,Cの各々によって切断された断面構成を示している。
【0022】
本実施の形態に係るスクリーン印刷版1は、ニッケルを主成分とする金属材料を用いて作製されたものであり、十文字状となって互いに交差しあうメッシュ線部2を介して区分されたうえで厚み方向に沿って貫通する複数のメッシュ開口部3が縦横方向に沿って形成されたメッシュ部分4と、このメッシュ部分4を取り囲んで配設された基盤部分5とを備えている。そして、メッシュ開口部3が形成されたメッシュ部分4の裏面側、つまり、被印刷体との対面側には凹部6が設けられており、この凹部6内には、互いに交差しあったメッシュ線部2同士の交差箇所が突出している
【0023】
また、この際におけるメッシュ部分4(メッシュ線部2)の厚みXは例えば3μm以上、メッシュ線部2の幅は例えば5μm以上である一方、凹部6の深さYは例えば3μm以上であり、必然的に基盤部分5の厚みは例えば6μm以上であることになっている。そこで、このスクリーン印刷版1においては、メッシュ部分4の厚みXと凹部6の深さYとを合算した厚みが基盤部分5の厚みと合致しており、かつ、メッシュ線部2同士が交差しあう箇所の厚みも基盤部分5の厚みと合致している。なお、メッシュ部分4(メッシュ線部2)の厚みXは3〜50μm程度、メッシュ線部2の幅は5〜100μm程度であることが好ましく、凹部6の深さYは1〜100μm程度であることが好ましい。
【0024】
すなわち、本実施の形態に係るスクリーン印刷版1では、メッシュ部分4の厚みXと凹部6の深さYとを合算した厚み(X+Y)と、メッシュ線部2同士が交差しあう箇所の厚み(X+X)との双方ともが、基盤部分5の厚みと合致している。そこで、図示省略しているが、ペースト印刷に際してスクリーン印刷版1を被印刷体27上に設置した場合には、互いに積層されたメッシュ線部2同士の交差箇所そのものが凹部6内に突出しており、これら交差箇所の各々が被印刷体27と当接することになる。そのため、このスクリーン印刷版1が備えているメッシュ部分4はメッシュ線部2同士の交差箇所を介したうえで被印刷体27によって支持されており、このメッシュ部分4の被印刷体27側に設けられた凹部6の深さYは確実に確保される。
【0025】
従って、従来と同様、メッシュ部分24上に導電ペースト28を載せたうえ、この導電ペースト28をスキージ29によってメッシュ部分24へと押し付けるようにしながらスキージ29を移動させても、スクリーン印刷版1の備えているメッシュ部分4がへこんで変形することは起こり得ない。そして、導電ペースト28はメッシュ部分4のメッシュ開口部3を通ったうえで凹部6内へと押し出されることになり、押し出された導電ペースト28が付着する結果として被印刷体27の表面上には、膜厚の均一化された所望形状の印刷図形が形成される。
【0026】
つぎに、本実施の形態に係るスクリーン印刷版1を製造する方法を、図4に基づいて説明する。すなわち、スクリーン印刷版1の製造に際してはフォトリソグラフィー技術が利用されることとなり、まず、図4(a)で示すように、一方向に沿った複数のメッシュ開口部3となる直線形状を有する第1のレジストパターン、つまり、スクリーン印刷版1における一方向のメッシュ開口部3となるべき部分同士を結ぶような直線形状とされた第1のレジストパターン11の複数本を導電性基台42の表面上に並列形成する。なお、これらのレジストパターン11が有する幅は、メッシュ開口部3それぞれの幅と合致させられている。
【0027】
引き続いては、スルファミン酸ニッケル浴を使用したエレクトロフォーミング(電鋳法)により、第1のレジストパターン11が形成された導電性基台42上に第1の金属膜12を電界めっきでもって形成した後、第1のレジストパターン11を除去する。すると、図4(b)で示すように、第1層目である第1の金属膜12には、メッシュ開口部分3となるレジストパターン除去後の孔11aが形成されていることになり、これらの孔11a同士を区分している金属膜部分のそれぞれは第1層目のメッシュ線部2となる。なお、この金属膜12によっては、メッシュ部分4が構成される。
【0028】
その後、図4(c)で示すように、第1のレジストパターン11とは十文字状に交差する一方向に沿って複数のメッシュ開口部3を結ぶ複数の直線形状を有するとともに、これらの直線形状を囲んだ外縁形状、つまり、所望の印刷パターンと対応した外縁形状を有する第2のレジストパターン13を第1の金属膜12上に形成する。さらに、上記したエレクトロフォーミングを採用することにより、第2のレジストパターン13が形成された第1の金属膜12上に第2層目である第2の金属膜14を電界めっきで形成する。引き続き、第2のレジストパターン13を除去すると、図4(d)で示すような構成が得られる。
【0029】
なお、この際、第2の金属膜14に生じたレジストパターン除去後の孔13aは凹部6となり、かつ、第1の金属膜12上に積層して形成された第2の金属膜14は第2層目のメッシュ線部2及び基盤部分5を構成している。そこで、第1の金属膜12及び第2の金属膜14を積層されあったままで導電性基台42の表面から一括的に剥離すると、スクリーン印刷版1が製造される。ところで、本実施の形態では、スクリーン印刷版1を用いることによって被印刷体27上に導電ペースト27を塗布するとしているが、導電ペースト27に限定されることはなく、抵抗性ペーストなどのような他のペーストを塗布する際にスクリーン印刷版1を使用してもよいことは勿論である。
【0030】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るスクリーン印刷版であれば、メッシュ部分の厚みと凹部の深さとを合算した厚みと、メッシュ線部の交差箇所の厚みとの双方共が、基盤部分の厚みと合致している。そこで、メッシュ部分はメッシュ線部同士の交差箇所で支持されていることになり、ペースト印刷時におけるメッシュ部分に対してスキージでもって導電ペーストを押し付けたとしてても、メッシュ部分がへこんで変形することは起こり得ず、膜厚が均一化された印刷図形を確実に形成することが可能となる。従って、チップ部品の内部電極などのように、膜厚の均一性が電気的特性に大きな影響を及ぼすものであっても、極めて容易に製造できるという効果が得られる。
【0031】
本発明に係るスクリーン印刷版の製造方法を採用している場合には、メッシュ開口部の各々に対応したレジストパターンを形成する必要がなくなるので、メッシュ開口部の形成不良が著しく減少することになり、より安定的にメッシュ開口部及びメッシュ部分を形成することが可能となる。また、メッシュ線部の交差箇所に支柱を形成することを行わないので、支柱の形成に伴う不都合が生じることもなくなり、スクリーン印刷版の製造時における歩留まりが大きく改善されるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態に係る製造方法によるスクリーン印刷版をそのスキージ摺動側から見た構成を示す外観斜視図である。
【図2】本実施の形態に係るス製造方法によるクリーン印刷版をその被印刷体側から見た構成を示す外観斜視図である。
【図3】本実施の形態に係る製造方法によるスクリーン印刷版の構成を示す断面図である。
【図4】本実施の形態に係るスクリーン印刷版の製造手順を示す工程断面図である。
【図5】従来の形態に係るスクリーン印刷版をそのスキージ摺動側から見た構成を示す外観斜視図である。
【図6】従来の形態に係るスクリーン印刷版の構成を示す断面図である。
【図7】従来の形態に係るスクリーン印刷版を使用したペースト印刷時の状態を示す説明図である。
【図8】従来の形態に係るスクリーン印刷版を使用したペースト印刷時の問題点を示す説明図である。
【図9】従来の形態に係るスクリーン印刷版の変形例をそのスキージ摺動側から見た構成を示す外観斜視図である。
【図10】従来の形態に係るスクリーン印刷版の変形例の構成を示す断面図である。
【図11】従来の形態に係るスクリーン印刷版の製造手順を示す工程断面図である。
【図12】従来の形態に係るスクリーン印刷版の変形例を製造する際の問題点を示す外観斜視図である。
【図13】従来の形態に係るスクリーン印刷版の変形例を製造する際の問題点を示す断面図である。
【符号の説明】
1 スクリーン印刷版
2 メッシュ線部
3 メッシュ開口部
4 メッシュ部分
5 基盤部分
6 凹部
11 第1のレジストパターン
12 第1の金属膜
13 第2のレジストパターン
14 第2の金属膜
27 被印刷体
42 導電性基台(基台)
X メッシュ部分(メッシュ線部)の厚み
Y 凹部の深さ
Claims (2)
- 交差しあうメッシュ線部によって区分されたメッシュ開口部が形成されているメッシュ部分と、このメッシュ部分を取り囲んで配設された基盤部分とを備えており、メッシュ部分の被印刷体側には凹部が設けられているスクリーン印刷版の製造方法であって、
複数のメッシュ開口部となるべき部分を結んで複数の直線形状を有する第1のレジストパターンを基台上に形成する工程と、第1のレジストパターンが形成された基台上に第1の金属膜をめっき形成する工程と、第1のレジストパターンを除去する工程と、第1のレジストパターンとは交差する複数の直線形状、及び、これらの直線形状を囲んだ外縁形状を有する第2のレジストパターンを第1の金属膜上に形成する工程と、第2のレジストパターンが形成された第1の金属膜上に第2の金属膜をめっき形成する工程と、第2のレジストパターンを除去する工程と、第1及び第2の金属膜を一括して基台上から剥離する工程とを含んでいることを特徴とするスクリーン印刷版の製造方法。 - 基台は導電性を有しており、かつ、金属膜の各々は電解めっきによって形成されていることを特徴とする請求項1に記載したスクリーン印刷版の製造方法。
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