JP6553229B2 - スクリーン印刷用メタルマスク - Google Patents
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Description
パターン開口1の開口形状よりも僅かに大きく設定されている。詳しくは、調整開口3の開口形状は、パターン開口1の開口形状よりも相似的に大きく形成されている。これにより、図1に示すように、調整開口3の開口内面と、パターン開口1の開口周縁壁との間に段落ち部8が形成される。調整開口3の開口形状は、パターン開口1と調整開口3との中心を一致するように形成したとき、段落ち部8の幅寸法w1が、1μm以上15μm以下に設定することが好ましい。段落ち部8の幅寸法w1が、1μm未満であると段落ち部8がほとんど形成されず、後述するメタルマスクの製造時における第1パターンフィルム22と第2パターンフィルム32との相対位置のずれの許容値が小さくなるため、製造時の寸法精度を高度に管理する必要があるからである。また、15μmを超えると印刷時に段落ち部8に印刷ペーストが付着するおそれがあり、印刷ペーストが段落ち部8に付着した場合には、無駄に消費される印刷ペーストの量が増加するからである。より好ましくは、2μm以上12μm以下に設定するとよい。本実施形態では、段落ち部8の幅寸法w1は10μmに設定した。また、パターン開口1は、長辺の寸法が0.25mmで短辺の寸法が0.05mmに形成されており、その上下の形成ピッチの寸法は0.10mmで、左右の形成ピッチは0.30mmに設定した。
3 調整開口
5 マスク版
6 スキージ版
8 段落ち部
9 調整リブ
20 電鋳母型
21 第1フォトレジスト層
22 第1パターンフィルム
23 第1レジスト体
24 第1電鋳層
31 第2フォトレジスト層
32 第2パターンフィルム
33 第2レジスト体
34 第2電鋳層
41 液状フォトレジスト
43 第3レジスト体
45 ダミー開口
46 ダミーパターンフィルム
47 ダミーレジスト体
49 調整開口周縁部
Claims (5)
- 一群のパターン開口(1)およびカットマーク開口(2)を備えたマスク版(5)と、両開口(1・2)のそれぞれに対応する一群の調整開口(3)およびカットマーク調整開口(12)を備えたスキージ版(6)とを備えているスクリーン印刷用メタルマスクであって、
前記カットマーク調整開口(12)には、開口内面同士を繋ぐ調整リブ(15)が形成されており、
前記カットマーク調整開口(12)の開口形状は、前記カットマーク開口(2)の開口形状よりも大きく形成されており、
前記カットマーク開口(2)に切欠き(11)が形成されていることを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスク。 - 前記カットマーク調整開口(12)の開口形状は、前記カットマーク開口(2)の開口形状よりも相似的に大きく形成され、前記カットマーク調整開口(12)の開口内面と、前記カットマーク開口(2)の開口周縁壁との間に段落ち部(13)が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷用メタルマスク。
- 前記段落ち部(13)の幅寸法w3は、1μm以上15μm以下に設定されていることを特徴とする請求項2に記載のスクリーン印刷用メタルマスク。
- 前記調整リブ(15)の形成基端部とカットマーク調整開口(12)の開口内面との接続部分は丸められて形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のスクリーン印刷用メタルマスク。
- 前記切欠き(11)が前記カットマーク調整開口(12)に形成され、前記切欠き(11)と前記カットマーク調整開口(12)とを緩やかに接続するように接続辺部(14)が形成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のスクリーン印刷用メタルマスク。
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