JP4808954B2 - 印刷用メタルマスク版の製造方法と印刷用メタルマスク版 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態を図面に基づき説明する。図1に、本発明の対象とする印刷用メタルマスク版の使用態様例を、図2に、該メタルマスク版の外観斜視図を示す。図1および図2に示すように、印刷用メタルマスク版1は、平板状の基板2にインキ・ペースト吐出し用の開孔3と、一次実装部品(実装部品)の逃げ用の凹部5とを備えている。図1および図2において符号6は、逃げ用の凹部5の上方を塞ぐように、基板2と不離一体的に接合された天板を示す。凹部5を有する部分の厚み寸法は、基板2の厚み寸法よりも若干大きくなっている。なお、ここで言う「インキ・ペースト」とは、はんだペースト、クリームはんだ、液状はんだ、導電性インキ等を含む概念である。
図5に、本発明の第2実施形態に係る印刷用メタルマスク版を示す。この印刷用メタルマスク版1は、平板状の基板2にインキ・ペースト吐出し用の開孔3と、一次実装部品の逃げ用の凹部5とを備えている。図5に示すように、各凹部5は、その内周面が基板2と、該基板2に埋設状に形成された下地層30とで区画されており、その上方部分は、基板2の上面と面一状に形成された天板6で区画されている。すなわち、凹部5の上方は、天板6で塞がれている。開孔3および凹部5の内周面は、ストレート状に形成されている。ここでは、凹部5の深さ寸法が、開孔3のそれよりも大きく設定されている点が着目される。なお、ここで言う「インキ・ペースト」とは、はんだペースト、クリームはんだ、液状はんだ、導電性インキ等を含む概念である。
図9に、本発明の第3実施形態に係る印刷用メタルマスク版を示す。この印刷用メタルマスク版1は、平板状の基板2にインキ・ペースト吐出し用の開孔3と、一次実装部品の逃げ用の凹部5とを備えている。図9に示すように、基板2は、スキージ面となる上側の第1層45と、印刷対象物(プリント配線板7:図1参照)との接触面となる下側の第2層46とからなる二層構造を呈している。各凹部5は、その内周面が第2層46で区画されており、その上方部分は、第1層45で区画されている。開孔3および凹部5の内周面は、ストレート状に形成されている。ここでは、凹部5の深さ寸法が、開孔3のそれよりも、第1層45の厚み寸法ぶんだけ小さくなっている点が着目される。なお、ここで言う「インキ・ペースト」とは、はんだペースト、クリームはんだ、液状はんだ、導電性インキ等を含む概念である。
2 基板
3 開孔
5 実装部品の逃げ用の凹部
6 天板
13 電鋳母型
19a レジスト体
20 一次電着層
25a レジスト体
25b レジスト体
26 二次電着層
35a レジスト体
35b レジスト体
36 二次電着層
40a レジスト体
40b レジスト体
41 三次電着層
45 第1層
46 第2層
50a レジスト体
51 一次電着層
55a レジスト体
56二次電着層
Claims (3)
- 基板(2)に、所望の印刷パターンにパターニングされた開孔(3)と、実装部品逃げ用の凹部(5)とを有する印刷用メタルマスク版の製造方法において、
平板状の電鋳母型(13)の所定位置に、前記凹部(5)の形成箇所に対応するレジスト体(19a)を形成する工程と、
電鋳母型(13)上のレジスト体(19a)で覆われていない表面に、電鋳により前記凹部(5)の上方を塞ぐ天板(6)となる一次電着層(20)を電鋳により形成する工程と、
一次電着層(20)上に凹部(5)の凹みパターンに対応するレジスト体(25a)を形成するとともに、電鋳母型(13)上に開孔(3)の開孔パターンに対応するレジスト体(25b)を形成する工程と、
電鋳母型(13)および一次電着層(20)上のレジスト体(25a・25b)で覆われていない表面に、電鋳により基板(2)となる二次電着層(26)を形成する工程と、
電鋳母型(13)から一次および二次電着層(20・26)を剥離する工程とを含むことを特徴とする印刷用メタルマスク版の製造方法。 - 基板(2)に、所望の印刷パターンにパターニングされた開孔(3)と、実装部品逃げ用の凹部(5)とを有する印刷用メタルマスク版の製造方法において、
平板状の電鋳母型(13)の所定位置に、前記凹部(5)の形成箇所に対応するレジスト体(19a)を形成する工程と、
電鋳母型(13)上のレジスト体(19a)で覆われていない表面に、電鋳により前記凹部(5)の上方を塞ぐ天板(6)となる一次電着層(20)を電鋳により形成する工程と、
一次電着層(20)上に凹部(5)の凹みパターンに対応するレジスト体(35a)を形成するとともに、一次電着層(20)の無い電鋳母型(13)の全面を覆うレジスト体(35b)を形成する工程と、
レジスト体(35a・35b)の無い一次電着層(20)の表面に、電鋳により所定の高さ寸法を有する二次電着層(36)を形成する工程と、
レジスト体(35a・35b)を除去したのち、一次電着層(20)上に凹部(5)の凹みパターンに対応するレジスト体(40a)を形成するとともに、電鋳母型(13)上に開孔(3)の開孔パターンに対応するレジスト体(40b)を形成する工程と、
電鋳母型(13)上のレジスト体(40a・40b)で覆われていない表面、および二次電着層(36)の表面に、電鋳により基板(2)となる三次電着層(41)を形成する工程と、
電鋳母型(13)から一次、二次および三次電着層(20・36・41)を剥離する工程とを含むことを特徴とする印刷用メタルマスク版の製造方法。 - 基板(2)に、所望の印刷パターンにパターニングされた開孔(3)と、実装部品逃げ用の凹部(5)とを有する印刷用メタルマスク版であって、
スキージ面側が平面で、被印刷物面側に突出する段差があり、
この段差は、凹部(5)を有する部分の厚み寸法を基板(2)の厚み寸法よりも大きくすることで形成しており、
実装部品逃げ用の凹部(5)の深さ寸法が開孔(3)の深さ寸法と同寸法あるいはそれよりも大きく設定されていることを特徴とする印刷用メタルマスク版。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004353390A JP4808954B2 (ja) | 2004-12-06 | 2004-12-06 | 印刷用メタルマスク版の製造方法と印刷用メタルマスク版 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004353390A JP4808954B2 (ja) | 2004-12-06 | 2004-12-06 | 印刷用メタルマスク版の製造方法と印刷用メタルマスク版 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006159579A JP2006159579A (ja) | 2006-06-22 |
JP4808954B2 true JP4808954B2 (ja) | 2011-11-02 |
Family
ID=36662108
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004353390A Active JP4808954B2 (ja) | 2004-12-06 | 2004-12-06 | 印刷用メタルマスク版の製造方法と印刷用メタルマスク版 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4808954B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010247500A (ja) * | 2009-04-20 | 2010-11-04 | Sonocom Co Ltd | マスク及びマスクの製造方法 |
KR101775375B1 (ko) * | 2011-03-29 | 2017-09-06 | 삼성전자주식회사 | 반도체 발광소자 제조방법 및 이에 이용되는 페이스트 도포용 마스크 |
CN103203955B (zh) * | 2012-01-16 | 2017-02-08 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 一种台阶模板的混合制作工艺 |
CN114193911B (zh) * | 2021-12-14 | 2022-12-20 | 江苏盛矽电子科技有限公司 | 一种粘接性强的网版及其制作工艺 |
CN115802633B (zh) * | 2022-11-28 | 2023-12-26 | 福莱盈电子股份有限公司 | 线路板的电镀均匀性方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51118059U (ja) * | 1975-03-19 | 1976-09-25 | ||
JPH05208571A (ja) * | 1992-01-31 | 1993-08-20 | Fujitsu Isotec Ltd | 多重積層メタルマスク |
JP2604572Y2 (ja) * | 1992-11-20 | 2000-05-22 | 日本ケミコン株式会社 | 半田付着防止機能付き半田マスク |
JP2000141934A (ja) * | 1998-11-10 | 2000-05-23 | Noritake Co Ltd | 厚膜印刷用スクリーン版 |
-
2004
- 2004-12-06 JP JP2004353390A patent/JP4808954B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006159579A (ja) | 2006-06-22 |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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