JPH08258442A - 印刷用マスク及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被印刷物との密接性、インクの抜け性、及び
開孔部の寸法精度に優れ、しかも安価に製造することが
できる印刷用マスク及びその製造方法を、簡単な構造及
び方法によって提供すること。 【構成】 被印刷物に密接される印刷面１１と、スキー
ジが滑動されるスキージ面２１と、前記印刷面１１から
スキージ面２１にかけて貫通した所望のパターンの開孔
部３０とを有する印刷用マスク１００において、前記印
刷面１１の表層を樹脂層１０とし、前記スキージ面２１
の表層を金属層２０とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本各発明は、印刷用マスク及びそ
の製造方法に関し、詳しくは、被印刷物に密接される印
刷面と、スキージが滑動されるスキージ面と、前記印刷
面からスキージ面にかけて貫通した所望のパターンの開
孔部とを有する印刷用マスク、及びその製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば、プリント配線板の部品実装用の
パッドにはんだバンプを形成するために、プリント配線
板にはんだペーストを印刷する場合がある。この場合に
は、表裏に貫通した所望のパターンの開孔部を有する印
刷用マスクの一方の面を被印刷物であるプリント配線板
に密接させ、他方の面にはんだペーストを供給し、スキ
ージによって開孔部からはんだペーストを吐出させて、
プリント配線板の表面にはんだペーストを印刷する。

【０００３】ところで、このような印刷用マスクとして
は、従来より、ＳＵＳ板やニッケル板等の金属板からな
るものが使用されており、その製造方法としては、エッ
チングによって金属板に所望のパターンの開孔部を形成
する方法や、アディティブめっき法（電鋳法）によって
開孔部を有する金属板自体を形成する方法が一般的であ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
印刷用マスクは、金属板からなるものであり、被印刷物
に密接される側の面の表面が金属であるため、被印刷物
が、導体回路やソルダーレジスト等が表面に形成された
プリント配線板等の如く、表面に凹凸があるものである
場合には、被印刷物の表面の凹凸に追従できず、被印刷
物との密接性に劣るものであった。このように、被印刷
物との密接性が劣ると、にじみ等が生じて高精度の印刷
を行うことができない。

【０００５】なお、印刷用マスクとしては、金属板から
なるもの以外にも、例えば、金属ワイヤーを編み込んだ
金属メッシュの表面に樹脂シートを貼着し、この樹脂シ
ートに所望のパターンの開孔部を形成したものがある。
このような印刷用マスクによれば、樹脂シートの適当な
弾性により被印刷物の表面の凹凸に追従させることがで
き、被印刷物との密接性を確保することができる。とこ
ろが、このような金属メッシュを用いた印刷用マスクに
あっては、スキージ側の全面が金属メッシュであり、樹
脂の開孔部に対応する部分にも金属メッシュが存在する
ため、細密なパターンの印刷には適せず、また、特に、
はんだペースト等の高粘度のインクを印刷する場合に
は、開孔部に存在する金属メッシュによってインクの抜
け性が悪くなり、印刷されたインク量にばらつきが生じ
るため不適であった。

【０００６】一方、印刷用マスク自体の厚さは、開孔部
からのインクの良好な抜け性を得ようとすると、極力薄
くするのが望ましく、印刷用マスク自体の剛性を確保し
ようとすると、極力厚くするのが望ましい。これらを考
慮すると、１２０〜２１０μｍ程度の厚さが適当とされ
ている。しかしながら、このような厚さの印刷用マスク
を、エッチングやアディティブめっき法によって形成さ
れた金属板からなるものとすると、次のような問題があ
った。

【０００７】まず、エッチングによる場合には、金属板
の表面に所望のパターンのレジストを形成し、このレジ
ストから露出された部分をエッチングにより除去するこ
とによって、金属板に所望のパターンの開孔部を形成す
る。ここで、金属板は、前述したように１２０〜２１０
μｍ程度の厚いものであるため、片側からのエッチング
では、開孔部の十分な形状精度を得ることができず、通
常、金属板の両側からエッチングが施される。ところ
が、金属板の両側からエッチングを施すと、開孔部は、
例えば図５に示すように、中央部が突出した孔となり、
インクの抜け性に劣るものとなってしまう。よって、こ
の印刷用マスクによっては、印刷されたインク量にばら
つきが生じ易く、細密なパターンの高精度な印刷が困難
であった。特に、はんだペースト等の高粘度のインクを
印刷する場合には、前述した問題が顕著に生じていた。

【０００８】次に、アディティブめっき法による場合に
は、ベース基材の表面に開孔部の形状パターンのレジス
トを予め形成し、このレジストから露出されたベース基
材の表面にめっき層を形成し、このめっき層によって金
属板自体を形成する。このため、開孔部の内面の平滑性
は確保されるが、１２０〜２１０μｍ程度の厚さの金属
板をめっきによって得ようとすると、非常に長時間のめ
っき時間を必要とし、高価なものとなる。特に、印刷用
マスクは、種々の印刷パターンに応じて、多品種少量生
産されるものであり、アディティブめっき法による製造
は不経済である。また、めっきのレジストとしては、金
属板以上に厚いものとしなければならないため、レジス
トの寸法精度の向上を図ることが困難であり、このよう
なレジストによっては、細密なパターンの開孔部を形成
することができない。

【０００９】本各発明は、このような実状を鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、被印刷物と
の密接性、インクの抜け性、及び開孔部の寸法精度に優
れ、しかも安価に製造することができる印刷用マスク及
びその製造方法を、簡単な構造及び方法によって提供す
ることである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、本各発明の採った手段を、図面に使用する符号を
付して説明すると、まず、請求項１の発明は、「被印刷
物に密接される印刷面１１と、スキージが滑動されるス
キージ面２１と、前記印刷面１１からスキージ面２１に
かけて貫通した所望のパターンの開孔部３０とを有する
印刷用マスクにおいて、前記印刷面１１の表層を樹脂層
１０とし、前記スキージ面２１の表層を金属層２０とし
たことを特徴とする印刷用マスク１００」である。

【００１１】次に、請求項２の発明は、「被印刷物に密
接される印刷面１１と、スキージが滑動されるスキージ
面２１と、前記印刷面１１からスキージ面２１にかけて
貫通した所望のパターンの開孔部３０とを有し、前記印
刷面１１の表層を樹脂層１０とし、前記スキージ面２１
の表層を金属層２０とした印刷用マスク１００を製造す
る方法であって、以下の各工程を含むことを特徴とする
印刷用マスク１００の製造方法、 （１）所望のパターンの貫通孔３０ａを有する金属シー
ト２０ａの表面に、光分解性樹脂シート１０ａを貼着す
る工程； （２）前記光分解性樹脂シート１０ａを、前記金属シー
ト２０ａの貫通孔３０ａを通じて露光・現像して、光分
解性樹脂シート１０ａの前記貫通孔３０ａに対応する部
分を除去する工程」である。

【００１２】ここで、光分解性樹脂シート１０ａとは、
活性光線の照射により現像液に対して可溶性となる樹脂
シートであり、金属シート２０ａの貫通孔３０ａを通じ
て露光・現像することにより、貫通孔３０ａに対応する
部分を除去することができるものである。

【００１３】次に、請求項３の発明は、「離型シート４
０の両面に光分解性樹脂シート１０ａを介して金属シー
ト２０ａを貼着してなる積層板５０ａを形成した後に、
露光・現像を行うことを特徴とする請求項２記載の印刷
用マスク１００の製造方法」である。

【００１４】次に、請求項４の発明は、「被印刷物に密
接される印刷面１１と、スキージが滑動されるスキージ
面２１と、前記印刷面１１からスキージ面２１にかけて
貫通した所望のパターンの開孔部３０とを有し、前記印
刷面１１の表層を樹脂層１０とし、前記スキージ面２１
の表層を金属層２０とした印刷用マスク１００を製造す
る方法であって、以下の各工程を含むことを特徴とする
印刷用マスク１００の製造方法、 （１）金属シート２０ｂの表面に感光性樹脂シート１０
ｂを貼着する工程； （２）前記感光性樹脂シート１０ｂを露光・現像して、
前記金属シート２０ｂが露出する所望のパターンの開口
３０ｂを形成する工程； （３）金属シート２０ｂの前記開口３０ｂから露出する
部分をエッチングによって除去する工程」である。

【００１５】ここで、感光性樹脂シート１０ｂとして
は、前述の如き光分解性樹脂、或は、活性光線の照射に
より固化して現像液に対して不溶性となる光硬化性樹脂
により形成された樹脂シートが挙げられる。なお、感光
性樹脂として光分解性樹脂を採用する場合には、感光性
樹脂シート１０ｂの開口３０ｂを形成するために、露光
マスクとして、開口３０ｂに対応する部分を露光させる
ポジマスクを使用すればよく、光硬化性樹脂を採用する
場合には、露光マスクとして、開口３０ｂ以外に対応す
る部分を露光させるネガマスクを使用すればよい。

【００１６】次に、請求項５の発明は、「離型シート４
０の両面に金属シート２０ｂを介して感光性樹脂シート
１０ｂを貼着してなる積層板５０ｂを形成した後に、露
光・現像を行うことを特徴とする請求項４記載の印刷用
マスク１００の製造方法」である。

【００１７】次に、請求項６の発明は、「被印刷物に密
接される印刷面１１と、スキージが滑動されるスキージ
面２１と、前記印刷面１１からスキージ面２１にかけて
貫通した所望のパターンの開孔部３０とを有し、前記印
刷面１１の表層を樹脂層１０とし、前記スキージ面２１
の表層を金属層２０とした印刷用マスク１００を製造す
る方法であって、以下の各工程を含むことを特徴とする
印刷用マスク１００の製造方法、 （１）めっき可能なベース基材６０の表面に、感光性樹
脂シート７０を貼着する工程； （２）前記感光性樹脂シート７０を露光・現像して、前
記ベース基材６０の所望部分を被覆する被覆部７１を形
成する工程； （３）前記被覆部７１から露出するベース基材６０の表
面に、めっき層１０ｃを形成する工程； （４）前記被覆部７１を除くベース基材６０の表面に光
または熱硬化性樹脂１０ｃを充填し、硬化させる工程； （５）硬化された光または熱硬化性樹脂１０ｃを、前記
めっき層２０ｃと共に、前記ベース基材６０及び被覆部
７１から剥離する工程」である。

【００１８】ここで、めっき可能なベース基材６０とし
ては、無電解めっき用の触媒を含有する樹脂基材や、め
っき層２０ｃとの界面の密着性が劣るように鏡面加工さ
れた各種の金属基材等が挙げられる。

【００１９】最後に、請求項７の発明は、「前記被覆部
７１の表面を、めっき可能なものとし、前記光または熱
硬化性樹脂１０ｃを被覆部７１を除くベース基材６０の
表面に充填して硬化させた後、または前に、研磨によっ
て被覆部７１の上面に形成されためっき層２０ｃを除去
することを特徴とする請求項６記載の印刷用マスク１０
０の製造方法」である。

【００２０】ここで、被覆部７１の表面をめっき可能な
ものとする手段としては、感光性樹脂シート７０とし
て、無電解めっき用の触媒を含有するものを使用した
り、被覆部７１を形成した後に、被覆部７１の表面に無
電解めっき用の核付与を行う等が挙げられる。

【００２１】

【発明の作用】このように構成された本各発明に係る印
刷用マスク１００及びその製造方法は、次のように作用
する。

【００２２】まず、請求項１の発明に係る印刷用マスク
１００においては、被印刷物と密接した際に、印刷面１
１の樹脂層１０の適当な弾性により被印刷物の表面の凹
凸に追従し、被印刷物との密接性が十分に確保されるこ
とになる。なお、スキージ面２１は、金属層２０により
平滑性及び耐摩耗性が確保され、スキージの滑動に何等
の支障も来さない。

【００２３】また、この印刷用マスク１００は、従来の
如く全体が金属板からなるものではなく、樹脂と金属か
らなるものであるため、後述するような種々の方法によ
り製造することによって、開孔部３０のインクの抜け
性、及び開孔部３０の寸法精度を容易に確保し得、しか
も安価に製造し得ることになる。

【００２４】次に、請求項２の発明に係る印刷用マスク
１００の製造方法においては、金属シート２０ａの貫通
孔３０ａを通じての光分解性樹脂シート１０ａの露光・
現像によって、予め形成された金属シート２０ａの貫通
孔３０ａに準じた高精度の開孔部３０を形成し得ること
になる。ここで、開孔部３０は、金属シート２０ａの貫
通孔３０ａと、これに連通する光分解性樹脂シート１０
ａの露光・現像により除去された部分であるため、その
内面の平滑性は十分に確保されることになり、開孔部３
０のインクの抜けは良好となる。

【００２５】また、印刷用マスク１００は、金属シート
２０ａと光分解性樹脂シート１０ａとからなるものであ
るが、光分解性樹脂シート１０ａの厚さを十分に厚くす
れば、開孔部３０の主要部分が樹脂となり、インクの抜
け性のさらなる向上を図り得ることになる。

【００２６】さらに、開孔部３０を、スキージ面２１か
ら印刷面１１にかけて広がる形状とすると、インクの抜
け性がよくなるため、金属シート２０ａ側から広がる形
状の開孔部３０が形成されるように、光分解性樹脂シー
ト１０ａの露光・現像度合を調節するだけで、インクの
抜け性のさらなる向上を容易に図り得ることになる。

【００２７】ところで、金属シート２０ａに貫通孔３０
ａを予め形成するのであるが、印刷用マスク１００全体
の厚さは、金属シート２０ａと光分解性樹脂シート１０
ａとの厚さの和であるため、金属シート２０ａの厚さ
は、当然、印刷用マスク１００の厚さ（１２０〜２１０
μｍ程度が適当とされる）よりも薄い。よって、金属シ
ート２０ａの例えば片側からのエッチングによっても貫
通孔３０ａを形成することができ、このようにすれば、
貫通孔３０ａにおうてのインクの抜けは良好となる。ま
た、両側からのエッチングによって貫通孔３０ａを形成
したとしても、この貫通孔３０ａの中央部に生じる突起
は、金属シート２０ａ自体が薄いため、インクの抜け性
に何等関与しない程度のものであり、無視することがで
きる。さらに、十分に薄い金属シート２０ａであれば、
打ち抜きによっても、十分な寸法精度の貫通孔３０ａを
形成することができる。

【００２８】次に、請求項３の発明に係る印刷用マスク
１００の製造方法は、離型シート４０を介して二つの印
刷用マスク１００を、前述の請求項２の発明の如き製造
方法によって製造するようにしたものであり、これによ
り、生産性が向上される。

【００２９】また、印刷用マスク１００の製造の際に、
印刷用マスク１００自体に反りが生じる虞があるが、離
型シート４０を介して二つの印刷用マスク１００を重ね
ることにより、個々に生じる反りの応力が打ち消され、
反りの発生が防止されることになる。特に、二つの印刷
用マスク１００の開孔部３０の形状パターンが、離型シ
ート４０を挟んで対称パターンとなるようにすると、一
方の印刷用マスク１００に生じる反りの応力に対抗する
反りの応力が他方の印刷用マスク１００に生じ、反りの
発生を確実に防止し得る。

【００３０】次に、請求項４の発明に係る印刷用マスク
１００の製造方法においては、金属シート２０ｂにおけ
る感光性樹脂シート１０ｂの開口３０ｂから露出する部
分をエッチングにより除去することによって、感光性樹
脂シート１０ｂの開口３０ｂに準じた高精度の開孔部を
形成し得ることになる。ここで、開孔部３０は、感光性
樹脂シート１０ｂの開口３０ｂと、これに連通する金属
シート２０ｂのエッチングにより除去された部分である
ため、その内面の平滑性は十分に確保されることにな
り、開孔部３０のインクの抜けは良好となる。

【００３１】また、印刷用マスク１００は、金属シート
２０ｂと感光性樹脂シート１０ｂとからなるものである
が、感光性樹脂シート１０ｂの厚さを十分に厚くすれ
ば、開孔部３０の主要部分が樹脂となり、インクの抜け
性のさらなる向上を図り得ることになる。

【００３２】さらに、開孔部３０を、スキージ面２１か
ら印刷面１１にかけて広がる形状とすると、インクの抜
け性がよくなるため、印刷面１１側から狭まる形状の開
口３０ｂが形成されるように、感光性樹脂シート１０ｂ
の露光・現像度合を調節するだけで、インクの抜け性の
さらなる向上を容易に図り得ることになる。

【００３３】次に、請求項５の発明に係る印刷用マスク
１００の製造方法は、離型シート４０を介して二つの印
刷用マスク１００を、前述の請求項４の発明の如き製造
方法によって製造するようにしたものであり、生産性に
優れ、印刷用マスク１００の反りの発生が防止されると
いった前述の請求項３の発明と同様に作用する。

【００３４】次に、請求項６の発明に係る印刷用マスク
１００の製造方法においては、被覆部７１を除くベース
基材６０の表面にめっき層２０ｃを形成し、この上層に
光または熱硬化性樹脂１０ｃを充填し硬化させることに
よって、被覆部７１を除く部分に、めっき層２０ｃと硬
化された光または熱硬化性樹脂１０ｃとからなる印刷用
マスク１００が形成されるため、被覆部７１に準じた高
精度の開孔部３０が形成されることになる。ここで、開
孔部３０は、被覆部７１に対応する部分であり、その内
面は、被覆部７１の側面に準じた面となるため、十分な
平滑性が確保され、開孔部３０のインクの抜けは良好と
なる。

【００３５】また、印刷用マスク１００は、めっき層２
０ｃと光または熱硬化性樹脂１０ｃとからなるものであ
るが、光または熱硬化性樹脂１０ｃの厚さを十分に厚く
すれば、開孔部１０ｃの主要部分が樹脂となり、インク
の抜け性のさらなる向上を図り得ることになる。

【００３６】さらに、開孔部３０を、スキージ面２１か
ら印刷面１１にかけて広がる形状とすると、インクの抜
け性がよくなるため、感光性樹脂シート７０から形成さ
れる被覆部７１を、ベース基材６０に向かって狭まる形
状となるように、感光性樹脂シート７０の露光・現像度
合を調節するだけで、被覆部７１に対応して形成される
開孔部３０を、めっき層１０ｃから広がる形状のものと
することができ、インクの抜け性のさらなる向上を容易
に図り得ることになる。

【００３７】最後に、請求項７の発明に係る印刷用マス
ク１００の製造方法は、被覆部７１の表面をめっき可能
なものとしたため、ベース基材６０の表面ばかりでな
く、被覆部７１の側面及び上面にもめっき層２０ｃが形
成されるのであるが、光または熱硬化性樹脂１０ｃを充
填して硬化させた後に、または前に、被覆部７１の上面
のめっき層２０ｃを除去するため、めっき層２０ｃと硬
化された光または熱硬化性樹脂１０ｃとからなる印刷用
マスク１００をベース基板６０及び被覆部７１から剥離
する際に、何等の支障も来さず、また、開孔部３０は、
印刷面１１からスキージ面２１にかけて確実に貫通した
ものとなる。ここで、開孔部３０の内面全面にもめっき
層２０ｃが形成されることになるため、インクの抜けが
良好となり、例えばインクの抜け性を向上させるための
テフロン加工等が不要となる。また、はんだペースト等
の高粘度のインクを印刷する場合には、開孔部３０の内
面が摩耗され、インクに不用意にゴミ等が混入した場合
には、開孔部３０の内面が破損されるのであるが、めっ
き層２０ｃによって開孔部３０の内面が保護され、開孔
部３０の耐久性が向上されることになる。

【００３８】

【実施例】次に、本各発明に係る印刷用マスク１００及
びその製造方法の実施例を、図面に従って詳細に説明す
る。なお、請求項１の発明に係る印刷用マスク１００
は、請求項２〜７の発明に係る製造方法等の各種の製造
方法によって製造することができるものであり、本実施
例においては、請求項２〜７の発明に係る製造方法に基
づいて、以下に説明する。

【００３９】まず、図１に、請求項２、３の発明に係る
印刷用マスク１００の製造方法の一実施例を示し、これ
を説明する。なお、本実施例においては、請求項３の発
明の如く、後述するような離型シート４０を介する積層
板５０ａを形成して、二つの印刷用マスク１００を同時
に製造する例を示すが、請求項２の発明は、これに限ら
ない。

【００４０】最初に、サンドブラスト処理等によって片
面が粗化された３５μｍ厚のステンレス板（ＳＵＳ３０
４）等の金属シート１０ａに、所望のパターンの貫通孔
３０ａを予め形成しておく（ａ）。ここで、貫通孔３０
ａを形成する方法としては、打ち抜き、エッチング等、
手段を問わないが、打ち抜きによって形成する場合に
は、後述する光分解性樹脂シート１０ａが貼着される面
とは反対側の面から打ち抜くと、打ち抜きによって生じ
たバリが、光分解性樹脂シート１０ａ内に埋没されるこ
とになるので都合がよい。また、エッチングによって形
成する場合には、光分解性樹脂シート１０ａが貼着され
る側の面からの片面エッチングとすると、金属シート２
０ａの貫通孔３０ａが、スキージ面２１から印刷面１１
へと僅かに広がるものとなり、インクの抜けが良好とな
る。

【００４１】次いで、金属シート２０ａの粗化面側に、
４５μｍ厚の光分解性樹脂シート１０ａを３層重ねて貼
着し（ｂ）、両表面がアルマイト処理された５０μｍ厚
程度のアルミ箔等の離型シート４０の両面に、光分解性
樹脂シート１０ａ側が対向するように積層して、積層板
５０ａを形成する（ｃ）。ここで、金属シート２０ａの
粗化面側に光分解性樹脂シート１０ａを貼着するため、
金属シート２０ａと光分解性樹脂シート１０ａとは、堅
固に密着される。また、離型シート４０の両面には、ア
ルマイト処理が施されているため、後述する離型シート
４０からの光分解性樹脂シート１０ａの剥離は、円滑に
行われる。

【００４２】次いで、光分解性樹脂シート１０ａを、金
属シート２０ａの貫通孔３０ａを通じて露光・現像する
ことにより、貫通孔３０ａに対応する部分の光分解性樹
脂シート１０ａを除去する（ｄ）。この時、露光・現像
度合を調節することにより、光分解性樹脂シート１０ａ
の除去された部分が、金属シート２０ａ側からテーパー
角３度程度で広がるようにすると、印刷時におけるスキ
ージ面２１から印刷面１１へのインクの抜け性がより一
層向上される。

【００４３】最後に、離型シート４０から光分解性樹脂
シート１０ａを剥離すると、所望のパターンの開孔部３
０を有し、スキージ面２１に金属シート２０ａによる金
属層２０を備え、印刷面１１に光分解性樹脂シート１０
ａによる樹脂層１０を備えた１７０μｍ厚の印刷用マス
ク１００が形成される。なお、光分解性樹脂シート１０
ａを、熱硬化性のものとすると、離型シート４０から剥
離した後或は前に、熱処理により光分解性樹脂シート１
０ａを硬化させることによって、印刷用マスク１００自
体の剛性を確保することができる。

【００４４】次に、図２に、請求項４、５の発明に係る
印刷用マスク１００の製造方法の一実施例を示し、これ
を説明する。なお、本実施例においては、請求項５の発
明の如く、後述するような離型シート４０を介する積層
板５０ｂを形成して、二つの印刷用マスク１００を同時
に製造する例を示すが、請求項４の発明は、これに限ら
ない。

【００４５】最初に、４０μｍ厚のテフロンシート等の
離型シート４０の両面に、７０μｍ厚のステンレス板
（ＳＵＳ３０４）等の金属シート１０ｂを貼着する
（ａ）。ここで、離型シート４０と金属シート２０ｂと
の間に接着剤を介さず、適当な圧力にて加圧することに
よって適度な強度で貼着させると、後述する離型シート
４０からの金属シート２０ｂの剥離を円滑に行わうこと
ができる。

【００４６】次いで、各金属シート２０ｂの表面を、ベ
ルトサンダー等によって粗化し、各金属シート２０ｂの
表面に、４０μｍ厚の光硬化性樹脂からなる感光性樹脂
シート１０ｂを２層重ねに積層して、積層板５０ｂを形
成する（ｂ）。ここで、金属シート２０ｂの表面は、粗
化面となっているため、感光性樹脂シート１０ｂが堅固
に密着される。

【００４７】次いで、ネガマスクを介して光硬化性樹脂
からなる感光性樹脂シート１０ｂを露光・現像すること
により、所望のパターンの開口３０ｂを形成する
（ｃ）。この時、露光・現像度合を調節することによ
り、感光性樹脂シート１０ｂの開口３０ｂが、金属シー
ト２０ｂに向かってテーパー角３度程度で狭まるように
すると、印刷時におけるスキージ面２１から印刷面１１
へのインクの抜け性がより一層向上される。

【００４８】次いで、金属シート２０ｂにおける感光性
樹脂シート１０ｂの開口３０ｂから露出された部分を、
塩化鉄溶液等によりエッチングして、除去する（ｄ）。

【００４９】最後に、離型シート４０から金属シート２
０ｂを剥離すると、所望のパターンの開孔部３０を有
し、スキージ面２１に金属シート２０ｂによる金属層２
０を備え、印刷面１１に感光性樹脂シート１０ｂによる
樹脂層１０を備えた１５０μｍ厚の印刷用マスク１００
が形成される。なお、感光性樹脂シート１０ｂを、熱硬
化性のものとすると、感光性樹脂シート１０ｂに開口３
０ｂを形成する工程（ｃ）と、金属シート２０ｂをエッ
チングする工程（ｄ）との間で、熱処理により感光性樹
脂シート１０ｂを硬化させることにより、感光性樹脂シ
ート１０ｂ自体の剛性を確保することができる。

【００５０】次に、図３に、請求項６の発明に係る印刷
用マスク１００の製造方法の一実施例を示し、これを説
明する。

【００５１】最初に、ステンレス板等の剛性に優れたベ
ース金属６１の表面に、無電解めっき用の触媒を含有す
る樹脂シート６２を貼着してなるベース基材６０を予め
形成しておく（ａ）。これにより、このベース基材６０
は、表面に無電解めっき可能なものとなる。なお、ベー
ス基材６０としては、これに限らず、後述するめっき層
２０ｃと円滑に分離させることができるものであれば、
例えば表面を鏡面仕上げしたステンレス板等であっても
よい。

【００５２】次いで、ベース基材６０の表面に、２５μ
ｍ厚の光分解性或は光硬化性の感光性樹脂シート７０を
６層重ねて貼着し（ｂ）、露光・現像することにより、
ベース基材６０の所望部分、すなわち印刷用マスク１０
０の開孔部３０を形成する部分に、被覆部７１を形成す
る（ｃ）。この時、露光・現像度合を調節することによ
り、被覆部７１の側面がベース基材６０に向かってテー
パー角３度程度で狭まるようにすると、この被覆部７１
に対応して形成された開孔部３０が、スキージ面２１か
ら印刷面１１に向かって僅かに広がる形状となり、イン
クの抜け性を向上させることができる。なお、被覆部７
１の側面と開孔部３０の内面とが互いに逆テーパーとな
り係合されるが、後述する光または熱硬化性樹脂１０ｃ
をベース基材６０及び被覆部７１から剥離する際におい
て、テーパーが僅かであり、被覆部７１及び光または熱
硬化性樹脂１０ｃの各々自体に弾性があるため、剥離に
支障を来すことはない。また、このようにすると、印刷
用マスク１００の製造途中において、ベース基材６０か
ら印刷用マスク１００が不用意に脱落することを防止す
ることができ、都合がよい。

【００５３】次いで、被覆部７１から露出するベース基
材６０の表面に、無電解めっきによって、０．０５〜
１．００μｍ程度のニッケルめっきを施し、続いて、電
解めっきによって、１０〜８０μｍ程度のニッケルめっ
きを施して、ニッケルのめっき層２０ｃを形成する
（ｄ）。

【００５４】次いで、被覆部７１を除くベース基材６０
の表面（めっき層が形成された部分）に、液状の光また
は熱硬化性樹脂１０ｃを充填し、光または熱により硬化
させる（ｅ）。なお、光または熱硬化性樹脂１０ｃを、
主にシリカ等の無機フィラーを含有するものとすると、
光または熱硬化性樹脂１０ｃ自体の剛性を確保すること
ができる。

【００５５】最後に、硬化された光または熱硬化性樹脂
１０ｃを、めっき層２０ｃと共に、ベース基材６０及び
被覆部７１から剥離すると、所望のパターンの開孔部３
０を有し、スキージ面２１にめっき層２０ｃによる金属
層２０を備え、印刷面１１に光または熱硬化性樹脂１０
ｃによる樹脂層１０を備えた１５０μｍ厚の印刷用マス
ク１００が形成される。ここで、剥離の際には、光また
は熱硬化性樹脂１０ｃの硬化に伴う収縮によって、開孔
部３０が僅かに広がるため、開孔部３０の内面と被覆部
７１の側面との界面の密着度合が弱まり、剥離は円滑に
行われる。

【００５６】次に、図４に、請求項７の発明に係る印刷
用マスク１００の製造方法の一実施例を示し、これを説
明する。

【００５７】最初に、前述と同様に、ベース基材６０を
形成し（ａ）、このベース基材６０の表面に、感光性樹
脂シート７０を貼着し（ｂ）、露光・現像することによ
り、ベース基材６０の所望部分に、被覆部７１を形成す
る（ｃ）。ここで、感光性樹脂シート７０として、無電
解めっき用の触媒を含有するものを採用し、被覆部７１
の表面を、無電解めっき可能なものとする。なお、被覆
部７１の表面をめっき可能なものとする手段としては、
これに限らず、例えば、被覆部７１を形成した後に、被
覆部７１の表面に、無電解めっき用の核付与を施す等す
ればよい。

【００５８】次いで、被覆部７１から露出するベース基
材６０の表面、及び被覆部７１の表面（被覆部の側面及
び上面）に、無電解めっきによって、０．０５〜１．０
０μｍ程度のニッケルめっきを施し、続いて、電解めっ
きによって、１０〜８０μｍ程度のニッケルめっきを施
して、ニッケルのめっき層２０ｃを形成する（ｄ）。

【００５９】次いで、被覆部７１を除くベース基材６０
の表面に、液状の光または熱硬化性樹脂１０ｃを充填
し、光または熱により硬化させ（ｅ）、その後に、被覆
部７１の上面のめっき層２０ｃを研磨により除去して、
被覆部７１の上面を露出させる。なお、本実施例におい
ては、光または熱硬化性樹脂１０ｃを充填して硬化させ
た後に、被覆部７１の上面のめっき層２０ｃを除去した
が、これに限らず、めっき層２０ｃを形成する工程
（ｄ）と、光または熱硬化性樹脂１０ｃを充填して硬化
させる工程（ｅ）との間にて、被覆部７１の上面のめっ
き層２０ｃを除去してもよい。

【００６０】最後に、硬化させた光または熱硬化性樹脂
１０ｃを、めっき層２０ｃと共に、ベース基材６０及び
被覆部７１から剥離すると、所望のパターンの開孔部３
０を有し、スキージ面２１及び開孔部３０の内面にめっ
き層２０ｃによる金属層２０を備え、印刷面１１に光ま
たは熱硬化性樹脂１０ｃによる樹脂層１０を備えた印刷
用マスク１００が形成される。

【００６１】

【発明の効果】以上詳細に説明したような本各発明に係
る印刷用マスク及びその製造方法によれば、被印刷物と
の密接性、インクの抜け性、及び開孔部の寸法精度に優
れ、しかも安価に製造することができる印刷用マスク及
びその製造方法を、簡単な構造及び方法によって提供す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項２、３の発明に係る印刷用マスクの製造
方法の一実施例を示す断面部分正面図である。

【図２】請求項４、５の発明に係る印刷用マスクの製造
方法の一実施例を示す断面部分正面図である。

【図３】請求項６の発明に係る印刷用マスクの製造方法
の一実施例を示す断面部分正面図である。

【図４】請求項７の発明に係る印刷用マスクの製造方法
の一実施例を示す断面部分正面図である。

【図５】従来の印刷用マスクを示す断面部分正面図であ
る。

【符号の説明】

１０ 樹脂層 １０ａ 光分解性樹脂シート １０ｂ 感光性樹脂シート １０ｃ 光または熱硬化性樹脂 １１ 印刷面 ２０ 金属層 ２０ａ 金属シート ２０ｂ 金属シート ２０ｃ めっき層 ２１ スキージ面 ３０ 開孔部 ３０ａ 貫通孔 ３０ｂ 開口 ４０ 離型シート ５０ａ 積層板 ５０ｂ 積層板 ６０ ベース基材 ６１ ベース金属 ６２ 樹脂シート ７０ 感光性樹脂シート ７１ 被覆部 １００ 印刷用マスク

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被印刷物に密接される印刷面と、スキージ
   が滑動されるスキージ面と、前記印刷面からスキージ面
   にかけて貫通した所望のパターンの開孔部とを有する印
   刷用マスクにおいて、 前記印刷面の表層を樹脂層とし、前記スキージ面の表層
   を金属層としたことを特徴とする印刷用マスク。
2. 【請求項２】被印刷物に密接される印刷面と、スキージ
   が滑動されるスキージ面と、前記印刷面からスキージ面
   にかけて貫通した所望のパターンの開孔部とを有し、前
   記印刷面の表層を樹脂層とし、前記スキージ面の表層を
   金属層とした印刷用マスクを製造する方法であって、以
   下の各工程を含むことを特徴とする印刷用マスクの製造
   方法、 （１）所望のパターンの貫通孔を有する金属シートの表
   面に、光分解性樹脂シートを貼着する工程； （２）前記光分解性樹脂シートを、前記金属シートの貫
   通孔を通じて露光・現像して、光分解性樹脂シートの前
   記貫通孔に対応する部分を除去する工程。
3. 【請求項３】離型シートの両面に光分解性樹脂シートを
   介して金属シートを貼着してなる積層板を形成した後
   に、露光・現像を行うことを特徴とする請求項２記載の
   印刷用マスクの製造方法。
4. 【請求項４】被印刷物に密接される印刷面と、スキージ
   が滑動されるスキージ面と、前記印刷面からスキージ面
   にかけて貫通した所望のパターンの開孔部とを有し、前
   記印刷面の表層を樹脂層とし、前記スキージ面の表層を
   金属層とした印刷用マスクを製造する方法であって、以
   下の各工程を含むことを特徴とする印刷用マスクの製造
   方法、 （１）金属シートの表面に感光性樹脂シートを貼着する
   工程； （２）前記感光性樹脂シートを露光・現像して、前記金
   属シートが露出する所望のパターンの開口を形成する工
   程； （３）金属シートの前記開口から露出する部分をエッチ
   ングによって除去する工程。
5. 【請求項５】離型シートの両面に金属シートを介して感
   光性樹脂シートを貼着してなる積層板を形成した後に、
   露光・現像を行うことを特徴とする請求項４記載の印刷
   用マスクの製造方法。
6. 【請求項６】被印刷物に密接される印刷面と、スキージ
   が滑動されるスキージ面と、前記印刷面からスキージ面
   にかけて貫通した所望のパターンの開孔部とを有し、前
   記印刷面の表層を樹脂層とし、前記スキージ面の表層を
   金属層とした印刷用マスクを製造する方法であって、以
   下の各工程を含むことを特徴とする印刷用マスクの製造
   方法、 （１）めっき可能なベース基材の表面に、感光性樹脂シ
   ートを貼着する工程； （２）前記感光性樹脂シートを露光・現像して、前記ベ
   ース基材の表面の所望部分を被覆する被覆部を形成する
   工程； （３）前記被覆部から露出するベース基材の表面に、め
   っき層を形成する工程； （４）前記被覆部を除くベース基材の表面に光または熱
   硬化性樹脂を充填し、硬化させる工程； （５）硬化された光または熱硬化性樹脂を、前記めっき
   層と共に、前記ベース基材及び被覆部から剥離する工
   程。
7. 【請求項７】前記被覆部の表面を、めっき可能なものと
   し、前記光または熱硬化性樹脂を被覆部を除くベース基
   材の表面に充填して硬化させた後、または前に、研磨に
   よって被覆部の上面に形成されためっき層を除去するこ
   とを特徴とする請求項６記載の印刷用マスクの製造方
   法。