JP2008246738A - スクリーン印刷用マスクおよびスクリーン印刷用マスクの作製方法 - Google Patents
スクリーン印刷用マスクおよびスクリーン印刷用マスクの作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008246738A JP2008246738A JP2007088614A JP2007088614A JP2008246738A JP 2008246738 A JP2008246738 A JP 2008246738A JP 2007088614 A JP2007088614 A JP 2007088614A JP 2007088614 A JP2007088614 A JP 2007088614A JP 2008246738 A JP2008246738 A JP 2008246738A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin layer
- screen printing
- printing mask
- opening
- resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
- Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
Abstract
【解決手段】金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部の内壁に第1樹脂層が形成されており、かつ該スクリーン印刷用マスクの被印刷基板接触面の非開口部に第1樹脂層および第2樹脂層が積層して形成されているスクリーン印刷用マスクと、第1樹脂層を電着することで形成する工程、第2樹脂層をラミネートによって形成する工程、第2樹脂層除去液をスキージ面から供給して開口部の第2樹脂層を除去する工程を含むスクリーン印刷用マスクの作製方法。
【選択図】図1
Description
樹脂粒子の合成
攪拌機、温度計、還流冷却管を備えた4ツ口フラスコ内に、IP1620(商品名、出光興産株式会社製)720質量部、ドデシルメタクリレート475.2質量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート4.8質量部を入れ窒素置換した後、80℃に加熱し、2,2′−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)4.8質量部を添加した。温度を80℃のままに保ち、7時間反応させた。次に、65℃に温度を下げ、IP1620(商品名、出光興産株式会社製)240質量部、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート5.7質量部、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセ−7−エン0.06質量部を添加し、温度を65℃のままに保ち、3時間反応させ、濃度33.5質量%の分散剤溶液を得た。
厚さ80μmのステンレス板(SUS304)にYAGレーザーで多数の開口部(円形、直径200μm)を形成し、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクを作製した。次に、市販のネガ型ドライフィルムフォトレジスト(商品名:サンフォートAQ2575、旭化成エレクトロニクス株式会社製)を、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクのスキージ面に、ラミネーターを用いて、80℃、0.1MPaの圧力で貼り付け、ドライフィルムフォトレジスト層とポリエチレンテレフタレート層とからなる保護シートを形成した。次いで、図5に示す構造を有する電着装置を用いて、バイアス電圧30Vの条件で、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部の内壁および被印刷基板接触面に、上記で作製した高絶縁性媒体中に分散した樹脂粒子を電着した。次いで、IP1620(商品名、出光興産株式会社製)を冷風で乾燥させた後、80℃、3分の加熱条件で樹脂粒子をフィルム化して定着させ、第1樹脂層を形成した。第1樹脂層の厚みを測定したところ、0.1μmであった。次に、保護シートとして使用したネガ型ドライフィルムフォトレジストのポリエチレンテレフタレート層を手で剥がしたのち、1質量%の炭酸ナトリウム水溶液(30℃)を用いて、スプレー圧0.1MPaの条件下、ドライフィルムフォトレジスト層を溶出除去した。続いて、水洗後、水分を冷風で除去し、180℃、2時間の条件下にさらして、第1樹脂層を加熱硬化させた。
表1に示す成分よりなる塗布液をマスキング層(厚み25μm、材質ポリエステル)に塗布し、乾燥することで、厚み3μmの第2樹脂層を作製した。次に、上記で作製した第1樹脂層が形成された金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの被印刷基板接触面に、第2樹脂層とマスキング層を、ラミネーターを用いて100℃、0.1MPaの条件にて熱圧着した。
第1樹脂層の厚み、バイアス電圧、第2樹脂層の厚みを表2のように変えた以外は、実施例1と同様にして、実施例2〜10のスクリーン印刷用マスクを作製した。実施例2〜10のスクリーン印刷用マスクにおいて、第2樹脂層の開口部を光学顕微鏡で観察したところ、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部との位置ずれは無かった。また、図17で示したdを表2に示した。
金属材料からなるスクリーン印刷用マスクへの第2樹脂層の形成
厚さ80μmのステンレス板(SUS304)にYAGレーザーで多数の開口部(円形、直径200μm)を形成し、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクを作製した。表1に示す成分からなる塗布液をマスキング層(厚み25μm、材質ポリエステル)に塗布し、乾燥することで、厚み3μmの第2樹脂層を作製した。金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの被印刷基板接触面に、第2樹脂層とマスキング層を、ラミネーターを用いて100℃、0.1MPaの条件にて熱圧着した。
上記で作製した第2樹脂層を形成してある金属材料からなるスクリーン印刷用マスクのスキージ面に、市販のネガ型ドライフィルムフォトレジスト(商品名:サンフォートAQ2575、旭化成エレクトロニクス株式会社製)を、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクのスキージ面に、ラミネーターを用いて、80℃、0.1MPaの圧力で貼り付け、ドライフィルムフォトレジスト層とポリエチレンテレフタレート層とからなる保護シートを形成した。次いで、図5に示す構造を有する電着装置を用いて、スクリーン印刷用マスクの開口部の内壁および被印刷基板接触面上の第2樹脂層上に、実施例1で作製した高絶縁性媒体中に分散した樹脂粒子をバイアス電圧30Vの条件で電着した。次いで、IP1620(商品名、出光興産株式会社製)を冷風で乾燥させた後、80℃、3分の条件で樹脂粒子をフィルム化させて、第1樹脂層を形成した。第1樹脂層の厚みを測定したところ、0.1μmであった。次に、保護シートとして使用したネガ型ドライフィルムフォトレジストのポリエチレンテレフタレート層を手で剥がした後、1質量%の炭酸ナトリウム水溶液(30℃)にてスプレー圧0.1MPaの条件下、ドライフィルムフォトレジスト層を溶出除去した。続いて、水洗後、水分を冷風で除去し、180℃、2時間の条件下にさらして、第1樹脂層を加熱硬化させた。これにより、図2に例示した金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部の内壁に第1樹脂層が形成してあり、かつこのスクリーン印刷用マスクの被基板接触面の非開口部に第2樹脂層と第1樹脂層がこの順に積層して形成されているスクリーン印刷用マスクを作製した。図18に示したdを測定したところ、0μmであった。
第1樹脂層の厚み、バイアス電圧、第2樹脂層の厚みを表3のように変えた以外は、実施例11と同様にして、実施例12〜20のスクリーン印刷用マスクを作製した。実施例12〜20のスクリーン印刷用マスクにおいて、第2樹脂層の開口部を光学顕微鏡で観察したところ、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部との位置ずれは無かった。また、図18で示したdを表3に示した。
実施例1〜20のスクリーン印刷用マスクを利用して、スキージによって、ペースト材料としてクリーム半田を使用し、プリント配線板へ繰り返しスクリーン印刷した。実施例2〜8および実施例12〜18のスクリーン印刷用マスクでは、200回の繰り返しであってもクリーム半田の抜け不良が発生せず、良好な形状の半田端子パターンの形成ができた。実施例1、9、10、11、19、20のスクリーン印刷用マスクでは、100回繰り返しまでは良好であったが、101〜120回目の間で、一部ペースト材料の抜け不良および滲みが発生し始めた。
厚さ80μmのステンレス板(SUS304)にYAGレーザーで多数の開口部(円形、直径200μm)を形成し、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクを作製した。次に、ラミネーターを用いて、市販のネガ型ドライフィルムフォトレジスト(商品名:サンフォートAQ2575、旭化成エレクトロニクス株式会社製)を、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクのスキージ面に、ラミネーターを用いて、80℃、0.1MPaの圧力で貼り付け、ドライフィルムフォトレジスト層とポリエチレンテレフタレート層とからなる保護シートを形成した。次いで、図5に示す構造を有する電着装置を用いて、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部の内壁および被印刷基板接触面に、上記で作製した高絶縁性媒体中に分散した樹脂粒子を電着した。次いで、IP1620(商品名、出光興産株式会社製)を冷風で乾燥させた後、80℃3分の条件で樹脂粒子をフィルム化させた。フィルム状となった第1樹脂層の厚みを測定したところ、4μmであった。次に、ネガ型ドライフィルムフォトレジストのポリエチレンテレフタレート層を手で剥がしたのち、1質量部の炭酸ナトリウム水溶液(30℃)にてスプレー圧0.1MPaの条件下、ドライフィルムフォトレジスト層を溶出除去した。続いて、水洗後、水分を冷風で除去し、180℃、2時間の条件下にさらし、第1樹脂層を加熱硬化させた。これにより、開口部および被印刷基板接触面に第1樹脂層が形成されているが、被印刷基板接触面に第2樹脂層は形成されていない比較例1のスクリーン印刷用マスクが得られた。
表2に示す成分からなる塗布液をマスキング層(厚み25μm、材質ポリエステル)に塗布し、乾燥することで、厚み10μmの第2樹脂層を作製した。次に、厚さ80μmのステンレス板(SUS304)にYAGレーザーで多数の開口部(円形、直径200μm)を形成し、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクを作製した。次に、被印刷基板接触面に、第2樹脂層をラミネーターを用いて熱圧着した。次いで、1質量%の炭酸ナトリウム水溶液(30℃)の第2樹脂層除去液を用いて、スクリーン印刷用マスクのスキージ面側よりシャワースプレーを当てて、開口部の第2樹脂層を溶解除去した。水洗後、水洗水を冷風にて乾燥させた後、マスキング層を除去した。続いて、吸引密着機構を有する焼付用高圧水銀灯光源装置(ユニレックURM300、ウシオ電機株式会社製)を用いて、500秒間紫外線を照射した。さらに、120℃のオーブン中で30分間加熱し、第2樹脂層の硬化処理を施した。第2樹脂層の開口部を光学顕微鏡で観察したところ、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部との位置ずれは無かった。第2樹脂層の開口部と金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部の大きさは同一であった。これにより、被印刷基板接触面に第2樹脂層が形成されているが、開口部および被印刷基板接触面に第1樹脂層が形成されていない比較例2のスクリーン印刷用マスクを作製した。
2 第1樹脂層
3 スキージ面
4 被印刷基板接触面
5 開口部
6 第2樹脂層
7 保護シート
9 樹脂層の突起
10 隔壁
11 埋まり
12 電極
13 樹脂粒子
14 マスキング層
Claims (4)
- 金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部の内壁に第1樹脂層が形成されており、かつ該スクリーン印刷用マスクの被印刷基板接触面の非開口部に第1樹脂層および第2樹脂層が積層して形成されていることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
- 第1樹脂層の厚みが0.2〜10μmであり、かつ第2樹脂層の厚みが5〜200μmである請求項1記載のスクリーン印刷用マスク。
- 少なくとも開口部および被印刷基板接触面に樹脂層を有する金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの作製方法であって、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクに高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を電着することにより、開口部の内壁および被印刷基板接触面に第1樹脂層を形成する工程、被印刷基板接触面の第1樹脂層上に第2樹脂層をラミネートによって形成する工程、スキージ面から第2樹脂層除去液を供給して開口部の第2樹脂層を除去する工程を含むことを特徴とするスクリーン印刷用マスクの作製方法。
- 少なくとも開口部および被基板接触面に樹脂層を有する金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの作製方法であって、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの被印刷基板接触面に第2樹脂層をラミネートによって形成する工程、スキージ面から第2樹脂層除去液を供給して開口部の第2樹脂層を除去する工程、高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を電着することにより、開口部の内壁および被印刷基板接触面の第2樹脂層上に第1樹脂層を形成する工程を含むことを特徴とするスクリーン印刷用マスクの作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007088614A JP5255224B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | スクリーン印刷用マスクおよびスクリーン印刷用マスクの作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007088614A JP5255224B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | スクリーン印刷用マスクおよびスクリーン印刷用マスクの作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008246738A true JP2008246738A (ja) | 2008-10-16 |
JP5255224B2 JP5255224B2 (ja) | 2013-08-07 |
Family
ID=39972283
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007088614A Expired - Fee Related JP5255224B2 (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | スクリーン印刷用マスクおよびスクリーン印刷用マスクの作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5255224B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010110920A (ja) * | 2008-11-04 | 2010-05-20 | Bonmaaku:Kk | スクリーン印刷用メタルマスク及びその製造方法 |
JP2017007167A (ja) * | 2015-06-19 | 2017-01-12 | 日本電気株式会社 | 印刷マスクおよびその製造方法 |
JP2020072223A (ja) * | 2018-11-02 | 2020-05-07 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | プリント配線板 |
US10894267B2 (en) | 2012-01-12 | 2021-01-19 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Vapor deposition mask with metal plate |
CN116039224A (zh) * | 2022-11-04 | 2023-05-02 | 苏州蓝昇精密制版科技有限公司 | 一种网版制备方法及网版 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08258442A (ja) * | 1995-03-22 | 1996-10-08 | Ibiden Co Ltd | 印刷用マスク及びその製造方法 |
JPH09315026A (ja) * | 1996-05-23 | 1997-12-09 | Rohm Co Ltd | メタルマスク及びその製造方法 |
JPH11138738A (ja) * | 1997-06-03 | 1999-05-25 | Reitec Kk | 印刷版の製造方法 |
JP2002192850A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-10 | Bonmaaku:Kk | 印刷用メタルマスク |
JP2004009340A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-01-15 | T & K:Kk | メタルマスクおよびその製造方法 |
JP2004358830A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Canon Inc | スクリーン印刷版及びその製造方法 |
-
2007
- 2007-03-29 JP JP2007088614A patent/JP5255224B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08258442A (ja) * | 1995-03-22 | 1996-10-08 | Ibiden Co Ltd | 印刷用マスク及びその製造方法 |
JPH09315026A (ja) * | 1996-05-23 | 1997-12-09 | Rohm Co Ltd | メタルマスク及びその製造方法 |
JPH11138738A (ja) * | 1997-06-03 | 1999-05-25 | Reitec Kk | 印刷版の製造方法 |
JP2002192850A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-10 | Bonmaaku:Kk | 印刷用メタルマスク |
JP2004009340A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-01-15 | T & K:Kk | メタルマスクおよびその製造方法 |
JP2004358830A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Canon Inc | スクリーン印刷版及びその製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010110920A (ja) * | 2008-11-04 | 2010-05-20 | Bonmaaku:Kk | スクリーン印刷用メタルマスク及びその製造方法 |
US10894267B2 (en) | 2012-01-12 | 2021-01-19 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Vapor deposition mask with metal plate |
US11511301B2 (en) | 2012-01-12 | 2022-11-29 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Vapor deposition mask with metal plate |
JP2017007167A (ja) * | 2015-06-19 | 2017-01-12 | 日本電気株式会社 | 印刷マスクおよびその製造方法 |
JP2020072223A (ja) * | 2018-11-02 | 2020-05-07 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | プリント配線板 |
CN116039224A (zh) * | 2022-11-04 | 2023-05-02 | 苏州蓝昇精密制版科技有限公司 | 一种网版制备方法及网版 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5255224B2 (ja) | 2013-08-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5084723B2 (ja) | 樹脂付きスクリーン印刷用マスクの製造方法および樹脂付きスクリーン印刷用マスク | |
US9060452B2 (en) | Method for manufacturing insulated conductive pattern and laminate | |
JP5255224B2 (ja) | スクリーン印刷用マスクおよびスクリーン印刷用マスクの作製方法 | |
KR20100090670A (ko) | 도전성 패턴 및 이의 제조방법 | |
JP2013161871A (ja) | 印刷装置及びそれを用いた太陽電池セルの製造方法 | |
JP4825785B2 (ja) | 段差付きスクリーン印刷用マスクの作製方法 | |
CN1607466A (zh) | 图案的形成 | |
JP2009241301A (ja) | スクリーン印刷用マスク | |
JP2009107208A (ja) | スクリーン印刷用マスク及びスクリーン印刷用マスクの作製方法 | |
JP2009295677A (ja) | 金属パターンの作製方法 | |
JP5113401B2 (ja) | エマルジョン粒子およびそれを用いたスクリーン印刷用マスクの作製方法 | |
JP2009045867A (ja) | スクリーン印刷版の版面処理剤 | |
KR101299556B1 (ko) | 스크린 인쇄를 위한 금속제판 제조방법 | |
JP2005057118A (ja) | 印刷配線板の製造方法 | |
JP2008155554A (ja) | スクリーン印刷用マスクの作製方法 | |
CN101349866A (zh) | 正型感光成像组合物、其制备方法及其应用 | |
JP2010180346A (ja) | エマルジョン粒子及びそれを用いたスクリーン印刷用マスクの作製方法 | |
JP5639465B2 (ja) | 金属パターンの作製方法 | |
JP2010212516A (ja) | 樹脂付きスクリーン印刷マスク作製用架橋性組成物 | |
JP5151610B2 (ja) | スペーサー付カラーフィルタ基板の製造方法 | |
JP2022025407A (ja) | レジストパターンの形成方法 | |
KR20130072576A (ko) | 스크린 인쇄용 에칭 레지스트 조성물 | |
TW202340303A (zh) | 感光性樹脂組成物 | |
JP5161841B2 (ja) | 樹脂付きスクリーン印刷用マスクの作製方法 | |
JP2022057027A (ja) | レジストパターンの形成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090911 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120319 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120605 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120806 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130410 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130419 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5255224 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160426 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |