JP4825785B2 - 段差付きスクリーン印刷用マスクの作製方法 - Google Patents
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Description
(1)厚みの異なる開口部を有する段差付きスクリーン印刷用マスクの作製方法において、スクリーン印刷用マスクのプリント面に光架橋性樹脂層をラミネートする工程、開口部の光架橋性樹脂層をセルフアライメントで除去する工程、パターン露光及び現像を行って厚み増加領域以外の光架橋性樹脂層の除去を行う工程を含む段差付きスクリーン印刷用マスクの作製方法を見いだした。
(3)開口部の光架橋性樹脂層をセルフアライメントで除去する工程が、開口部以外の光架橋性樹脂層の上に更に光架橋性樹脂層開口用電着樹脂層を形成した後に、プリント面側から光架橋性樹脂層除去液を供給して開口部の光架橋性樹脂層を除去する工程である上記(1)記載の段差付きスクリーン印刷用マスクの作製方法、
(4)開口部の光架橋性樹脂層をセルフアライメントで除去する工程が、開口部の光架橋性樹脂層を薄膜化させた後に光架橋性樹脂層除去液を供給して開口部の光架橋性樹脂層を除去する工程である上記(1)記載の段差付きスクリーン印刷用マスクの作製方法を見いだした。
板厚80μmのステンレス板(SUS304)に、YAGレーザを用いて、厚み増加領域においては開口径300μmの円形開口部を複数個形成し、厚み増加領域以外においては開口径100μmの円形開口部を複数個形成し、スクリーン印刷用マスクとしてレーザ法によるメタルマスクを作製した。このメタルマスクにラミネータを用いて、表1に示す成分よりなる光架橋性樹脂層(膜厚30μm)及び25μmのマスキング層(支持体フィルム、材質:ポリエステル)で形成された樹脂フィルムをメタルマスクのプリント面に熱圧着し、光架橋性樹脂層及びマスキング層(支持体フィルム)を形成した。
スクリーン印刷用マスクとして、実施例1と同様にしてレーザ法によるメタルマスクを作製した。このメタルマスクにラミネータを用いて、表1に示す成分よりなる光架橋性樹脂層(膜厚30μm)及び25μmのマスキング層(支持体フィルム、材質:ポリエステル)で形成された樹脂フィルムをメタルマスクのプリント面に熱圧着し、光架橋性樹脂層及びマスキング層(支持体フィルム)を形成した。
スクリーン印刷用マスクとして、実施例1と同様にしてレーザ法によるメタルマスクを作製した。このメタルマスクにラミネータを用いて、表1に示す成分よりなる光架橋性樹脂層(膜厚35μm)及び25μmのマスキング層(支持体フィルム、材質:ポリエステル)で形成された樹脂フィルムをメタルマスクのプリント面に熱圧着し、光架橋性樹脂層及びマスキング層(支持体フィルム)を形成した。また、メタルマスクのスキージ面に光架橋性樹脂層(膜厚5μm)及び25μmのマスキング層(支持体フィルム、材質:ポリエステル)で形成された樹脂フィルムを熱圧着した。
実施例1で作製した段差付きスクリーン印刷用マスクをスクリーン印刷用マスクとして用い、新たに表1に示す成分よりなる光架橋性樹脂層(膜厚20μm)及び25μmのマスキング層(支持体フィルム、材質:ポリエステル)で形成された樹脂フィルムをプリント面に熱圧着し、光架橋性樹脂層及びマスキング層(支持体フィルム)を形成した。
スクリーン印刷用マスクとして、実施例1と同様にしてレーザ法によるメタルマスクを作製した。このメタルマスクにラミネータを用いて、表1に示す成分よりなる光架橋性樹脂層(膜厚30μm)及び25μmのマスキング層(支持体フィルム、材質:ポリエステル)で形成された樹脂フィルムをメタルマスクのプリント面に熱圧着し、光架橋性樹脂層及びマスキング層(支持体フィルム)を形成した。
1’ 実施例4で使用したスクリーン印刷用マスク
2 開口部
3 光架橋性樹脂層
4 硬化光架橋性樹脂層
4’ 実施例4で形成した硬化光架橋性樹脂層
5 被印刷基板
7 スキージ
8 ペースト材
10 フォトマスク
18 スクリーン印刷用マスクの開口部の重心位置
19 スクリーン印刷用マスクの開口部のエッジ部
20 露光処理
28 光架橋性樹脂層の開口部の重心位置
29 光架橋性樹脂層の開口部のエッジ部
31 マスキング層
33 光架橋性樹脂層開口用電着樹脂層
41 遮光板
43 テーパー
100 厚み増加領域
101 追加厚み増加領域
Claims (4)
- 厚みの異なる開口部を有する段差付きスクリーン印刷用マスクの作製方法において、スクリーン印刷用マスクのプリント面に光架橋性樹脂層をラミネートする工程、開口部の光架橋性樹脂層をセルフアライメントで除去する工程、パターン露光及び現像を行って厚み増加領域以外の光架橋性樹脂層の除去を行う工程を含むことを特徴とする段差付きスクリーン印刷用マスクの作製方法。
- 開口部の光架橋性樹脂層をセルフアライメントで除去する工程が、スキージ面から光架橋性樹脂層除去液を供給して開口部の光架橋性樹脂層を除去する工程である請求項1記載の段差付きスクリーン印刷用マスクの作製方法。
- 開口部の光架橋性樹脂層をセルフアライメントで除去する工程が、開口部以外の光架橋性樹脂層の上に更に光架橋性樹脂層開口用電着樹脂層を形成した後に、プリント面側から光架橋性樹脂層除去液を供給して開口部の光架橋性樹脂層を除去する工程である請求項1記載の段差付きスクリーン印刷用マスクの作製方法。
- 開口部の光架橋性樹脂層をセルフアライメントで除去する工程が、開口部の光架橋性樹脂層を薄膜化させた後に光架橋性樹脂層除去液を供給して開口部の光架橋性樹脂層を除去する工程である請求項1記載の段差付きスクリーン印刷用マスクの作製方法。
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