JP5255545B2 - ソルダーレジストの形成方法 - Google Patents
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Description
(1)回路基板の表面にソルダーレジストの膜を1回で形成する工程、少なくとも段差部に相当する領域を露光する工程、アルカリ水溶液処理によって非露光部のソルダーレジストを薄膜化する工程をこの順に含むことを特徴とするソルダーレジストの形成方法、
(2)回路基板の表面にソルダーレジストの膜を1回で形成する工程、段差部に相当する領域および最終的にソルダーレジストが除去される領域以外の部分を露光する工程、アルカリ水溶液処理によって非露光部のソルダーレジストを薄膜化する工程をこの順に含むことを特徴とするソルダーレジストの形成方法、
(3)アルカリ水溶液処理によって非露光部のソルダーレジストを薄膜化する工程の後に、さらに、最終的にソルダーレジストが除去される領域以外の部分を露光する工程、現像によって非露光部のソルダーレジストを除去する工程をこの順に含む上記(1)または(2)に記載のソルダーレジストの形成方法によって、上記課題を解決できることを見いだした。
このときの露光領域は、図16の露光領域も広い。続いて、導体配線2がむきだしになるまでアルカリ水溶液処理によって非露光部のソルダーレジストの膜3を薄膜化することで、段差部として凹み部7を有するソルダーレジストが形成できる(図19)。なお、図16および図18ではフォトマスク4を介しているが、直接描画方式でもかまわない。
銅張積層板(面積170mm×255mm、銅箔厚18μm、基材厚み0.6mm)にエッチングレジストを使用してサブトラクティブ法にて、80μmのラインアンドスペースを有する回路基板を作製した。次に、ソルダーレジスト(タムラ化研株式会社製、商品名:DSR−330S32−21)の主剤と硬化剤を混合したのち、上記回路基板上にアプリケーターを用いて塗工し、70℃、30分の乾燥を実施した。これによりドライ膜厚35μmのソルダーレジストの膜を形成した。
銅張積層板(面積170mm×255mm、銅箔厚18μm、基材厚み0.6mm)にエッチングレジストを使用してサブトラクティブ法にて、80μmのラインアンドスペースを有する回路基板を作製した。次に、ソルダーレジスト(タムラ化研株式会社製、商品名:DSR−330S32−21)の主剤と硬化剤を混合したのち、上記回路基板上にアプリケーターを用いて塗工し、70℃、30分の乾燥を実施した。これによりドライ膜厚35μmのソルダーレジストの膜を形成した。
銅張積層板(面積170mm×255mm、銅箔厚18μm、基材厚み0.6mm)にエッチングレジストを使用してサブトラクティブ法にて、80μmのラインアンドスペースを有する回路基板を作製した。次に、ソルダーレジスト(タムラ化研株式会社製、商品名:DSR−330S32−21)の主剤と硬化剤を混合したのち、上記回路基板上にアプリケーターを用いて塗工し、70℃、30分の乾燥を実施した。これによりドライ膜厚35μmのソルダーレジストの膜を形成した。
銅張積層板(面積170mm×255mm、銅箔厚18μm、基材厚み0.6mm)にエッチングレジストを使用してサブトラクティブ法にて、80μmのラインアンドスペースを有する回路基板を作製した。次に、ソルダーレジスト(タムラ化研株式会社製、商品名:DSR−330S32−21)の主剤と硬化剤を混合したのち、上記回路基板上にアプリケーターを用いて塗工し、70℃、30分の乾燥を実施した。これによりドライ膜厚28μmのソルダーレジストの膜を形成した。
2 導体配線
3 ソルダーレジストの膜
4 フォトマスク
5 活性光線
6 突起部
7 凹み部
Claims (4)
- 回路基板の表面にソルダーレジストの膜を1回で形成する工程、少なくとも段差部に相当する領域を露光する工程、アルカリ水溶液処理によって非露光部のソルダーレジストを薄膜化する工程をこの順に含むことを特徴とするソルダーレジストの形成方法。
- 回路基板の表面にソルダーレジストの膜を1回で形成する工程、段差部に相当する領域および最終的にソルダーレジストが除去される領域以外の部分を露光する工程、アルカリ水溶液処理によって非露光部のソルダーレジストを薄膜化する工程をこの順に含むことを特徴とするソルダーレジストの形成方法。
- アルカリ水溶液処理によって非露光部のソルダーレジストを薄膜化する工程の後に、さらに、最終的にソルダーレジストが除去される領域以外の部分を露光する工程、現像によって非露光部のソルダーレジストを除去する工程をこの順に含む請求項1または2に記載のソルダーレジストの形成方法。
- 上記アルカリ水溶液が、アルカリ金属炭酸塩、アルカリ金属リン酸塩、アルカリ金属水酸化物、アルカリ金属ケイ酸塩から選ばれる無機アルカリ性化合物のうち少なくともいずれか1種を含み、該無機アルカリ性化合物の含有量が5〜20質量%である請求項1または2に記載のソルダーレジストの形成方法。
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