WO2013042241A1 - 光起電力装置の製造方法 - Google Patents
光起電力装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- WO2013042241A1 WO2013042241A1 PCT/JP2011/071628 JP2011071628W WO2013042241A1 WO 2013042241 A1 WO2013042241 A1 WO 2013042241A1 JP 2011071628 W JP2011071628 W JP 2011071628W WO 2013042241 A1 WO2013042241 A1 WO 2013042241A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- electrode
- opening
- thickness
- photovoltaic device
- width
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 37
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 2
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- YVXDRFYHWWPSOA-BQYQJAHWSA-N 1-methyl-4-[(e)-2-phenylethenyl]pyridin-1-ium Chemical compound C1=C[N+](C)=CC=C1\C=C\C1=CC=CC=C1 YVXDRFYHWWPSOA-BQYQJAHWSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000012461 cellulose resin Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 125000000664 diazo group Chemical group [N-]=[N+]=[*] 0.000 description 1
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000009974 thixotropic effect Effects 0.000 description 1
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
- B41F15/00—Screen printers
- B41F15/14—Details
- B41F15/34—Screens, Frames; Holders therefor
- B41F15/36—Screens, Frames; Holders therefor flat
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Definitions
- the present invention relates to a method for manufacturing a photovoltaic device.
- fingers are provided on the front surface or the back surface for current collection.
- an electrode structure in which a plurality of electrode wires are stacked to increase the thickness of the electrode stepwise in one direction (see Patent Document 1).
- an electrode having a taper shape in the thickness and width directions by changing the discharge speed and the relative speed between the nozzle and the substrate Has been disclosed (see Patent Document 2).
- the structure which collects electric current from the finger 10 to the bus bar 12, and finally takes out electric power outside the apparatus is employ
- the current flowing through the finger 10 decreases as the distance from the bus bar 12 increases, there is a configuration in which the finger 10 becomes thinner as the distance from the bus bar 12 increases.
- One aspect of the present invention is a method of manufacturing a photovoltaic device having an electrode on the front surface or the back surface, and has an opening that matches the shape of the electrode and has a thickness that varies depending on the width of the opening. This is a method for manufacturing a photovoltaic device, in which electrodes are printed using plate making.
- a photovoltaic device having good photoelectric conversion characteristics can be provided.
- electrodes are formed using a screen printing method.
- the screen printing method is a kind of stencil printing.
- a plate making 20 and a squeegee 22 are used.
- the ink 24 containing the conductive material is placed on the plate making 20 where only the portion to be transferred is opened, and the ink 24 is ejected through the opening of the plate making 20 by sliding the squeegee 22 and transferred onto the object 200.
- An electrode is formed on the object 200 by solidifying the transferred ink 24 by heating or the like.
- a screen plate or a metal mask plate can be used as the plate making 20, a screen plate or a metal mask plate.
- a generally used screen plate has a mesh 20a and a frame 20b as shown in the enlarged sectional view of FIG.
- the mesh 20a is a woven fabric or the like that transmits ink, and is stretched on the frame 20b.
- a region of the mesh 20a where the ink is not desired to be applied is masked with a mask material 20c so that the ink can pass only through the opening 20d that is not masked.
- the opening 20d forms an opening pattern corresponding to the shape of the electrode to be formed.
- the material, wire diameter, number of meshes, opening, opening rate, etc. of the mesh 20a are selected according to the width, thickness, etc. of the electrode to be formed.
- the material of the mesh 20a is, for example, a resin fiber such as polyester or a metal wire such as stainless steel.
- the wire diameter of the mesh 20a is selected according to the thickness of the electrode to be formed, and it is preferable to increase the wire diameter as the electrode becomes thicker.
- the number of meshes of the mesh 20a is selected according to the strength of the mesh 20a and the definition of the electrode to be formed.
- the opening of the mesh 20a is selected according to the particle size of the conductive particles contained in the ink 24, and is generally preferably at least twice the particle size.
- the opening rate of the mesh 20a is selected according to the thickness and the width of the electrode to be formed.
- the material of the mesh 20a, the wire diameter, the number of meshes, the opening, the opening rate, and the like are selected depending on the material of the ink 24 and the application conditions.
- a photosensitive emulsion is generally used for the mask material 20c.
- the emulsion is selected according to the material, resolution, exposure sensitivity and the like.
- a diazo or stilbazolium material is used for the emulsion.
- a metal foil can be used for the emulsion.
- the squeegee 22 is made of a material suitable for spreading the ink 24 on the plate making 20.
- the squeegee 22 is preferably composed of an elastic body having solvent resistance.
- urethane rubber or the like is suitable.
- the ink 24 is a fluid fluid in the form of a paste.
- an ink 24 in which a binder resin and conductive particles are mixed in a solvent can be used.
- the ink 24 include a heat curing type that is solidified by heating at 200 ° C. or less, an ultraviolet curing type that is solidified by ultraviolet irradiation, and a baking type that is solidified by heating at about 400 ° C. to 1000 ° C.
- the solvent for example, an organic solvent such as alcohol, glycol ether, or hydrocarbon is used.
- binder resin for example, a cellulose resin, an epoxy resin, an acrylic resin, a urethane resin, a silicone resin, or the like is used.
- conductive particles for example, a material containing silver (Ag), copper (Cu), nickel (Ni), or the like is used.
- FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
- the thickness of the mask material 20c around the opening 20d becomes smaller as the width W of the opening 20d becomes narrower in accordance with the width of the electrode.
- the thickness D is reduced.
- the width of the electrode gradually narrows along the longitudinal direction from the bus bar. Accordingly, the width W of the opening 20d of the plate making 20 is also narrowed accordingly, and the thickness D of the mask material 20c. Is also thinned along the longitudinal direction.
- the thickness D thinner in the region where the width W of the opening 20d is 60 ⁇ m or less than in the region where the width W is larger than 60 ⁇ m.
- the preferable range of the thickness D varies depending on the characteristics of the mesh 20a and the ink 24, but is preferably 10 ⁇ m or more and 30 ⁇ m or less.
- the thickness D is about 20 ⁇ m when the width W of the opening 20d is 60 ⁇ m or more, and the thickness D is about 15 ⁇ m when the width W is 40 ⁇ m.
- the thickness D of the mask material 20c may be adjusted according to the characteristics of the ink 24 used.
- the thickness D of the mask material 20c is preferably decreased as the viscosity of the ink 24 is increased, and is increased as the thixotropic ratio (Index) of the ink 24 is increased.
- the thickness D of the mask material 20c may be continuously changed in a taper shape as shown in FIG. 4, or may be changed in a step shape as shown in FIG.
- the positive photosensitive emulsion is uniformly coated on the mesh 20a, the exposure is performed while the peripheral exposure depth is continuously deepened as the width W of the opening 20d is narrowed, and the photosensitive emulsion is developed.
- the mask material 20c can be continuously changed into a tapered shape.
- the thickness D of the mask material 20c can be discontinuously changed stepwise by applying a photosensitive emulsion, patterning by exposure and development, and repeating these steps while shifting the pattern of the exposed portion. .
- the thickness D of the mask material 20c around the opening 20d may be made partially the same.
- the thickness D of the mask material 20c is constant in the portion where the width W is equal to or larger than a certain size, and the portion where the width W is equal to or smaller than the certain size.
- the thickness D of the mask material 20c may be reduced according to the width W.
- FIG. 6 shows the structure of the finger 30 formed using the plate making 20 in the present embodiment.
- the width w decreases along the longitudinal direction X, and the thickness d of the finger 30 decreases.
- the thickness D of the mask material 20c is constant regardless of the width W of the opening 20d as in the conventional case, when the width W of the opening 20d becomes narrow, the ink 24 is uniformly transmitted by the mesh 20a and the mask material 20c.
- unevenness is likely to occur in the thickness of the electrode, particularly at the tip. When unevenness occurs in the thickness of the electrode in this way, current collection is not as designed, and the characteristics of the photovoltaic device may be degraded.
- the thickness D of the mask material 20c is reduced as the width W of the opening 20d is reduced, so that the ink 24 is uniformly transmitted even in the region where the width W of the opening 20d is narrow. It becomes easy to do, the applicability
- the fill factor FF can be improved by applying to the finger or the like on the surface of the photovoltaic device.
- the application amount of the ink 24 is reduced by reducing the thickness d without reducing the width w near the end of the finger compared to the vicinity of the end. Can do. At this time, the cross-sectional area of the finger is small near the end. In addition, this makes it possible to obtain the same effect as when the width w is tapered without causing an unintended increase in electrode resistance.
- the same effect can be obtained by using a plate having a different thickness according to the width of the opening.
- the electrode may be formed on the photoelectric conversion part of the photovoltaic device, and is not limited to the finger or the bus bar.
- the applied photovoltaic device is not particularly limited, and can be applied to, for example, a crystal type or a thin film type.
Abstract
光起電力装置の電極の細線部における厚さの凹凸を抑制することができる。表面又は裏面に電極を備えた光起電力装置の製造方法であって、メッシュ２０ａ上に電極の形状に合わせた開口部２０ｄを有するマスク材２０ｃを備え、開口部２０ｄの幅に応じてマスク材２０ｃの厚さが異なる製版２０を用いて電極を製版印刷する。
Description
本発明は、光起電力装置の製造方法に関する。
太陽光等を利用して発電を行う光起電力装置において、集電を行うために表面又は裏面にフィンガーが設けられる。
電流を効率良く輸送するために、複数段の電極線を重ねて、電極の厚さを一方向に向かって段階的に厚くする電極構造が開示されている（特許文献１参照）。また、電極材料をノズルから吐出させて基板上に線状の電極を描画する際に、吐出速度、ノズルと基板との相対速度を変化させることによって、厚さ及び幅方向にテーパ形状を有する電極を形成する技術が開示されている（特許文献２参照）
ところで、図７に示すように、一般的な光起電力装置１００では、フィンガー１０からバスバー１２に集電を行い、最終的に装置外部へ電力を取り出す構成が採用される。このとき、バスバー１２から離れるにつれてフィンガー１０を流れる電流は小さくなるので、バスバー１２から離れるほどフィンガー１０を細くしたテーパ形状とする構成がある。
ところが、電極の形成に際し一般的によく使用されるスクリーン印刷法を用いると、このような形状のフィンガーを形成することは困難である。
本発明の１つの態様は、表面又は裏面に電極を備えた光起電力装置の製造方法であって、電極の形状に合わせた開口部を有すると共に、開口部の幅に応じて異なる厚みを有する製版を用いて電極を印刷する、光起電力装置の製造方法である。
本発明によれば、良好な光電変換特性を有する光起電力装置を提供することができる。
本発明の実施の形態における光起電力装置の製造方法では、スクリーン印刷法を用いて電極を形成する。スクリーン印刷法は、孔版印刷の一種である。スクリーン印刷法では、図１の断面図に示すように、製版２０及びスキージ２２が用いられる。
転写したい部分のみ開口された製版２０上に導電性物質を含むインク２４を載せ、スキージ２２を摺動させることによって製版２０の開口を通してインク２４を吐出させて対象物２００上に転写する。転写されたインク２４を加熱等により固化させることにより対象物２００上に電極が形成される。
製版２０としては、スクリーン版またはメタルマスク版を用いることができる。一般的に用いられるスクリーン版は、図２の拡大断面図に示すように、メッシュ２０ａ及び枠２０ｂを有する。メッシュ２０ａは、インクを透過する織物等であり、枠２０ｂに張られる。メッシュ２０ａにおいてインクを塗布したくない領域をマスク材２０ｃでマスキングし、マスキングされていない開口部２０ｄのみインクが透過可能とする。開口部２０ｄは、形成される電極の形状に対応する開口パターンを構成する。
メッシュ２０ａの材質、線径、メッシュ数、オープニング、オープニング率等は、形成される電極の幅、厚さ等に応じて選定される。メッシュ２０ａの材料は、例えば、ポリエステル等の樹脂繊維やステンレス等の金属線とされる。メッシュ２０ａの線径は、形成される電極の厚さ等に応じて選定され、電極が厚くなるにつれて線径を大きくすることが好適である。メッシュ２０ａのメッシュ数は、メッシュ２０ａの強度や形成される電極の精細度に応じて選定される。メッシュ２０ａのオープニングは、インク２４に含まれる導電性粒子の粒径に応じて選定され、一般的に粒径の２倍以上とすることが好適である。メッシュ２０ａのオープニング率は、形成される電極の厚さやだれ幅などに応じて選定される。また、その他インク２４の材質や塗布条件等によってもメッシュ２０ａの材質、線径、メッシュ数、オープニング、オープニング率等が選定される。
マスク材２０ｃには、一般的に感光性の乳剤が使用される。乳剤は、材質、解像度、露光感度等に応じて選定される。乳剤は、例えば、ジアゾ系やスチルバゾリウム系の材料が用いられる。また、乳剤以外に金属箔を用いることもできる。
スキージ２２は、製版２０上にインク２４を塗り広げるために適した材料で構成される。スキージ２２は、耐溶剤性のある弾性体で構成することが好適である。例えば、ウレタンゴム等が好適である。
インク２４は、流動性のあるペースト状の流体物である。スクリーン印刷法により電極を形成する場合、溶剤にバインダ樹脂と導電性の粒子とを混合したインク２４を用いることができる。インク２４には、２００℃以下の加熱により固化する加熱硬化タイプ、紫外線照射により固化する紫外線硬化タイプ、４００℃～１０００℃程度の加熱で固化する焼成タイプ等が挙げられる。溶剤は、例えば、アルコール系、グリコールエーテル系、炭化水素系等の有機溶剤等が用いられる。バインダ樹脂は、例えば、セルロース系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、シリコーン系樹脂等が用いられる。導電性の粒子は、例えば、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）等を含む材料が用いられる。
製版２０のマスク材２０ｃは、図３（ａ）の平面図に示すように、電極の形状に合わせた開口パターンに加工される。図３（ｂ）は、図３（ａ）のラインＡ－Ａに沿った断面図である。本実施の形態における製版２０では、図３（ｂ）の断面図に示すように、電極の幅に合わせて開口部２０ｄの幅Ｗが狭くなるほど、開口部２０ｄの周辺部のマスク材２０ｃの厚さＤが薄くされる。例えば、光起電力装置のフィンガーの場合、バスバーから長手方向に沿って徐々に電極の幅が狭くなるので、それに合わせて製版２０の開口２０ｄの幅Ｗも狭くされ、マスク材２０ｃの厚さＤも長手方向に沿って薄くされる。
特に、開口部２０ｄの幅Ｗが６０μｍ以下の領域において幅Ｗが６０μｍより大きい領域よりも厚さＤを薄くすることが好適である。好適な厚さＤの範囲は、メッシュ２０ａやインク２４の特性等によって変化するが、１０μｍ以上３０μｍ以下とすることが好適である。例えば、開口部２０ｄの幅Ｗが６０μｍ以上の範囲では厚さＤを２０μｍ程度とし、幅Ｗが４０μｍでは厚さＤを１５μｍ程度とすることが好適である。
また、マスク材２０ｃの厚さＤは、使用されるインク２４の特性に応じて調整してもよい。マスク材２０ｃの厚さＤは、インク２４の粘度が高くなるにつれて薄くし、インク２４のチクソ比（Thixotropic Index）が高くなるにつれて厚くすることが好適である。また、マスク材２０ｃの厚さＤは、インク２４に含まれる導電性粒子のサイズが大きくなるにつれて薄くすることが好適である。
マスク材２０ｃの厚さＤは、図４に示すように、連続的にテーパ状に変化させてもよいし、図５に示すように、階段状に変化させてもよい。例えば、ポジ型感光性乳剤をメッシュ２０ａ上に均一に塗布し、開口部２０ｄの幅Ｗが狭くなるほどその周辺の露光深度を連続的に深くさせつつ露光を行い、感光性乳剤を現像することによってマスク材２０ｃを連続的にテーパ状に変化させることができる。また、感光性乳剤を塗布し、露光及び現像によりパターニングを行い、露光部分のパターンをずらしながらこれらの工程を繰り返すことによってマスク材２０ｃの厚さＤを不連続に階段状に変化させることができる。このように開口部２０ｄの幅Ｗが狭くなっても、開口部２０ｄの周辺部のマスク材２０ｃの厚さＤを部分的に同じにしても良い。
また、開口部２０ｄの幅Ｗが狭くなっても、幅Ｗが一定の大きさ以上である部分では、マスク材２０ｃの厚さＤを一定とし、幅Ｗが一定の大きさ以下である部分では、マスク材２０ｃの厚さＤを幅Ｗに応じて薄くするようにしても良い。
図６に、本実施の形態における製版２０を用いて形成したフィンガー３０の構造を示す。フィンガー３０は、バスバー３２から離れるに従って長手方向Ｘに沿って幅ｗが狭くなり、フィンガー３０の厚さｄは薄くなる。従来のように開口部２０ｄの幅Ｗに依らずマスク材２０ｃの厚さＤが一定の場合、開口部２０ｄの幅Ｗが狭くなると、メッシュ２０ａとマスク材２０ｃとによってインク２４が均一に透過し難くなり、図８に示されるように特に先端部において電極の厚みに凹凸を生じ易くなる。このように電極の厚みに凹凸が生じると、電流収集が設計通りとならず、光起電力装置の特性を低下させるおそれがある。一方、本実施の形態のように、開口部２０ｄの幅Ｗが狭くなるにつれてマスク材２０ｃの厚さＤを薄くすることによって、開口部２０ｄの幅Ｗが狭い領域においてもインク２４が均一に透過し易くなり、フィンガー３０の塗布性が向上し、厚さｄの凹凸を抑制することができる。
また、このように電極の厚さｄの凹凸を低減することによって、電極のさらなる細線化を図ることができる。したがって、光起電力装置の表面のフィンガー等に適用することによって、曲線因子ＦＦを向上させることができる。
また、光起電力装置の裏面においては、フィンガーの端部付近の幅ｗを端部付近以外に比較して狭くすることなく、厚さｄを薄くすることによって、インク２４の塗布量を減らすことができる。このとき、フィンガーの断面積は、端部付近で小さくなっている。また、これにより、意図しない電極の抵抗の増加を招くことなく、幅ｗをテーパ形状としたのと同様の効果を得ることができる。
また、製版２０としてメタルマスク版を用いる場合にも、開口部の幅に応じて厚みが異なる版を用いることで、同様の効果を得ることができる。
なお、電極は、光起電力装置の光電変換部上に形成されるものであればよく、フィンガーやバスバーに限定されるものではない。また、適用される光起電力装置は特に限定されるものではなく、例えば結晶型や薄膜型に適用することができる。
１０ フィンガー、１２ バスバー、２０ 製版、２０ａ メッシュ、２０ｂ 枠、２０ｃ マスク材、２０ｄ 開口部、２２ スキージ、２４ インク、３０ フィンガー、３２ バスバー、１００ 光起電力装置、２００ 対象物。
Claims (6)
- 表面又は裏面に電極を備えた光起電力装置の製造方法であって、
前記電極の形状に合わせた開口部を有すると共に、前記開口部の幅に応じて異なる厚みを有する製版を用いて前記電極を印刷する、光起電力装置の製造方法。 - 請求項１に記載の光起電力装置の製造方法であって、
前記製版はメッシュと、前記メッシュ上に前記電極の形状に合わせた開口部を有するマスク材を備え、前記開口部の幅に応じて前記マスク材の厚さが異なる、光起電力装置の製造方法。 - 請求項２に記載の光起電力装置の製造方法であって、
前記開口部は、前記電極の長手方向に沿って幅が変化し、
前記マスク材の厚さは、前記長手方向に沿って厚さが変化する、光起電力装置の製造方法。 - 請求項２又は３に記載の光起電力装置の製造方法であって、
前記マスク材の厚さは、前記開口部の幅が狭くなるにつれて段階的に薄くされている、光起電力装置の製造方法。 - 請求項２又は３に記載の光起電力装置の製造方法であって、
前記マスク材の厚さは、前記開口部の幅が狭くなるにつれて連続的に薄くされている、光起電力装置の製造方法。 - 請求項２～５のいずれか一項に記載の光起電力装置の製造方法であって、
前記マスク材の厚さは、５μｍ以上３０μｍ以下である、光起電力装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2011/071628 WO2013042241A1 (ja) | 2011-09-22 | 2011-09-22 | 光起電力装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2011/071628 WO2013042241A1 (ja) | 2011-09-22 | 2011-09-22 | 光起電力装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2013042241A1 true WO2013042241A1 (ja) | 2013-03-28 |
Family
ID=47914050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2011/071628 WO2013042241A1 (ja) | 2011-09-22 | 2011-09-22 | 光起電力装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| WO (1) | WO2013042241A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2012115006A1 (ja) * | 2011-02-21 | 2014-07-07 | シャープ株式会社 | スクリーンおよび太陽電池の製造方法 |
| WO2017168474A1 (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 太陽電池セル、太陽電池モジュール、太陽電池セルの製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06283736A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-07 | Sharp Corp | 太陽電池 |
| JP2005150540A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Sharp Corp | 受光面電極形成用スクリーンおよびそれを用いる太陽電池セルの製造方法、並びに、その製造方法で製造された太陽電池セル |
| JP2009151069A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 段差付きスクリーン印刷用マスクの作製方法 |
| JP3168227U (ja) * | 2010-03-29 | 2011-06-02 | 新日光能源科技股▼分▲有限公司 | 太陽電池の電極構造 |
-
2011
- 2011-09-22 WO PCT/JP2011/071628 patent/WO2013042241A1/ja active Application Filing
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06283736A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-07 | Sharp Corp | 太陽電池 |
| JP2005150540A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-09 | Sharp Corp | 受光面電極形成用スクリーンおよびそれを用いる太陽電池セルの製造方法、並びに、その製造方法で製造された太陽電池セル |
| JP2009151069A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 段差付きスクリーン印刷用マスクの作製方法 |
| JP3168227U (ja) * | 2010-03-29 | 2011-06-02 | 新日光能源科技股▼分▲有限公司 | 太陽電池の電極構造 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2012115006A1 (ja) * | 2011-02-21 | 2014-07-07 | シャープ株式会社 | スクリーンおよび太陽電池の製造方法 |
| WO2017168474A1 (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 太陽電池セル、太陽電池モジュール、太陽電池セルの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2826027C (en) | Patterned flexible transparent conductive sheet and manufacturing method thereof | |
| JP5308782B2 (ja) | 周波数選択型の電磁波シールド材の製造方法、及びそれを用いた電磁波吸収体 | |
| CN102741945B (zh) | 导电膜及其制造方法 | |
| US10470301B2 (en) | Method for manufacturing conductive pattern and conductive pattern formed substrate | |
| JP5606908B2 (ja) | 微細伝導性構造体を表面に製造する方法 | |
| TWI475702B (zh) | A panel, a panel manufacturing method, a solar cell module, a printing apparatus, and a printing method | |
| JP2007044974A (ja) | 電極線の形成方法および該電極線を備えた電極板 | |
| JP2015523235A (ja) | 高精細導電パターンを製造するためのインク組成物 | |
| JP2010541208A (ja) | 太陽電池表側のメタライズのための電気鋳造されたステンシル | |
| JP6146575B2 (ja) | 太陽電池及び太陽電池の製造方法 | |
| JP6004907B2 (ja) | 配線基板およびタッチパネルセンサシート | |
| CN106061218A (zh) | 电磁屏蔽膜及电磁屏蔽窗的制作方法 | |
| WO2007083606A1 (ja) | 印刷用マスクおよびこれを用いた太陽電池の製造方法 | |
| WO2013042241A1 (ja) | 光起電力装置の製造方法 | |
| KR20130022170A (ko) | 터치패널 및 그 제조방법 | |
| JP6667531B2 (ja) | 電子物品および電子物品の製造方法 | |
| JP2009302432A (ja) | 導電性部材の製造方法 | |
| US9718267B2 (en) | Screen printing apparatus including support bars, and methods of using same | |
| WO2012100951A1 (de) | Druckschablone zum aufbringen eines druckmusters auf ein substrat und verfahren zum herstellen einer druckschablone | |
| JP2010221467A (ja) | スクリーンマスク、印刷方法、および配線基板の製造方法 | |
| JP6037135B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
| KR20200080101A (ko) | 도금을 이용한 함몰형 메탈 메쉬 투명 전극 및 그 제조 방법 | |
| JP2005166914A (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
| JP2010161127A (ja) | 配線基板及び配線基板の製造方法 | |
| KR20190016278A (ko) | Ipl 소결시 패턴 크기 의존성을 극복할 수 있는 전극 패턴의 형성 방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 11872636 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
| NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
| 122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 11872636 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
| NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: JP |