JPH08252987A - スクリーンマスク - Google Patents
スクリーンマスクInfo
- Publication number
- JPH08252987A JPH08252987A JP5757895A JP5757895A JPH08252987A JP H08252987 A JPH08252987 A JP H08252987A JP 5757895 A JP5757895 A JP 5757895A JP 5757895 A JP5757895 A JP 5757895A JP H08252987 A JPH08252987 A JP H08252987A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mesh member
- paste
- screen mask
- mesh
- anode substrate
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- Pending
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- Screen Printers (AREA)
- Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】一回のスキージ操作でピンホールのない均一な
ペースト層を形成できるスクリーンマスクを提供する。 【構成】スクリーンマスク１は矩形の枠体２の下面に２
枚のメッシュ部材3,4 を張ってなる。被印刷面である陽
極基板１０２側の第１メッシュ部材３は、目が粗い。線
径50μｍ、開口267 μｍ、開口率70％である。スキージ
面側の第２メッシュ部材４は、目が細かい。線径30μ
ｍ、開口97μｍ、開口率58％である。ペーストを陽極基
板102 上に印刷する。陽極基板102 に接する第１メッシ
ュ部材３は目が荒いので、スキージされたペーストが回
り込みにくい陽極基板102 に対する接触点が少ない。メ
ッシュ部材が２重であり、スクリーンマスク１内に保持
できるペーストの量が多く、第１メッシュ部材３と陽極
基板102 との接触部分に十分な量のペーストを供給でき
るとができ、ワイヤーの目の跡が残りにくい。ピンホー
ルのない均一なペースト層を形成できる。
ペースト層を形成できるスクリーンマスクを提供する。 【構成】スクリーンマスク１は矩形の枠体２の下面に２
枚のメッシュ部材3,4 を張ってなる。被印刷面である陽
極基板１０２側の第１メッシュ部材３は、目が粗い。線
径50μｍ、開口267 μｍ、開口率70％である。スキージ
面側の第２メッシュ部材４は、目が細かい。線径30μ
ｍ、開口97μｍ、開口率58％である。ペーストを陽極基
板102 上に印刷する。陽極基板102 に接する第１メッシ
ュ部材３は目が荒いので、スキージされたペーストが回
り込みにくい陽極基板102 に対する接触点が少ない。メ
ッシュ部材が２重であり、スクリーンマスク１内に保持
できるペーストの量が多く、第１メッシュ部材３と陽極
基板102 との接触部分に十分な量のペーストを供給でき
るとができ、ワイヤーの目の跡が残りにくい。ピンホー
ルのない均一なペースト層を形成できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、スクリーン印刷に使用
されるスクリーンマスクに関する。
されるスクリーンマスクに関する。
【０００２】
【従来の技術】蛍光表示管の製造において、陽極基板上
に絶縁層を形成する工程がある。この工程では、一般に
スクリーンマスクを用いて絶縁性のペーストを所定のパ
ターンで陽極基板上に印刷していた。スクリーンマスク
は、図２に示すような１枚のメッシュ状部材１００を基
体としている。メッシュ部材１００の一方の側にペース
トを載せ、図２（ａ），（ｂ）に示すようにスキージ１
０１を用いてスキージングを行えば、ペースト１０３は
メッシュ部材１００を通過し、図２（ｃ）に示すように
陽極基板１０２の表面に移行する。
に絶縁層を形成する工程がある。この工程では、一般に
スクリーンマスクを用いて絶縁性のペーストを所定のパ
ターンで陽極基板上に印刷していた。スクリーンマスク
は、図２に示すような１枚のメッシュ状部材１００を基
体としている。メッシュ部材１００の一方の側にペース
トを載せ、図２（ａ），（ｂ）に示すようにスキージ１
０１を用いてスキージングを行えば、ペースト１０３は
メッシュ部材１００を通過し、図２（ｃ）に示すように
陽極基板１０２の表面に移行する。
【０００３】図示しないが、スクリーンマスクのメッシ
ュ状部材１００の上には乳剤層が設けられている。この
乳剤層に所定のパターンを介して露光した後に現像すれ
ば、乳剤層には同パターンの開口部が形成される。その
後、上述のようなスキージを行えば、ペーストは乳剤層
の開口部を経てメッシュ状部材１００を通るので、陽極
基板１０２の上には所定のパターンでペースト１０３が
印刷される。
ュ状部材１００の上には乳剤層が設けられている。この
乳剤層に所定のパターンを介して露光した後に現像すれ
ば、乳剤層には同パターンの開口部が形成される。その
後、上述のようなスキージを行えば、ペーストは乳剤層
の開口部を経てメッシュ状部材１００を通るので、陽極
基板１０２の上には所定のパターンでペースト１０３が
印刷される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のスクリーンマス
クを用いてペーストの印刷を行うと、図２（ｃ）に示す
ように被印刷面である陽極基板１０２の上に印刷された
ペースト１０３には、メッシュ状部材１００の目の跡が
ピンホール１０４となって残ってしまう。このため、絶
縁層として形成したにもかかわらず、この層の上下に設
けた配線等が絶縁すべき部分で導通してしまう等、必要
な絶縁性が確保できないという問題があった。
クを用いてペーストの印刷を行うと、図２（ｃ）に示す
ように被印刷面である陽極基板１０２の上に印刷された
ペースト１０３には、メッシュ状部材１００の目の跡が
ピンホール１０４となって残ってしまう。このため、絶
縁層として形成したにもかかわらず、この層の上下に設
けた配線等が絶縁すべき部分で導通してしまう等、必要
な絶縁性が確保できないという問題があった。
【０００５】上記のような問題点が発生する原因を、本
願発明者等は次のように考えた。まず前記ピンホール１
０４が生じるのは、メッシュ状部材１００を構成するワ
イヤーが被印刷面である陽極基板１０２に接触してしま
うため、スキージされてメッシュ状部材１００を通過し
たペースト１０３がワイヤーと陽極基板１０２との接触
部に回り込めないからである。次に、スクリーンマスク
の厚さの内部に保持できる量のペーストしか印刷に供さ
れないため、陽極基板１０２に転移するペースト１０３
の量が少なく、ワイヤーと陽極基板１０２との接触部に
はもともと十分な量のペーストが供給されていないから
である。
願発明者等は次のように考えた。まず前記ピンホール１
０４が生じるのは、メッシュ状部材１００を構成するワ
イヤーが被印刷面である陽極基板１０２に接触してしま
うため、スキージされてメッシュ状部材１００を通過し
たペースト１０３がワイヤーと陽極基板１０２との接触
部に回り込めないからである。次に、スクリーンマスク
の厚さの内部に保持できる量のペーストしか印刷に供さ
れないため、陽極基板１０２に転移するペースト１０３
の量が少なく、ワイヤーと陽極基板１０２との接触部に
はもともと十分な量のペーストが供給されていないから
である。
【０００６】本発明は、一回のスキージ操作でピンホー
ルのない均一なペースト層を形成できるスクリーンマス
クを提供することを目的としている。
ルのない均一なペースト層を形成できるスクリーンマス
クを提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載されたス
クリーンマスクは、スキージされたペーストを被印刷面
に移行させるスクリーンマスクにおいて、被印刷面に接
する第１のメッシュ部材と、前記第１のメッシュ部材の
上面に設けられた前記第１のメッシュ部材より目の細か
い第２のメッシュ部材とを有することを特徴としてい
る。
クリーンマスクは、スキージされたペーストを被印刷面
に移行させるスクリーンマスクにおいて、被印刷面に接
する第１のメッシュ部材と、前記第１のメッシュ部材の
上面に設けられた前記第１のメッシュ部材より目の細か
い第２のメッシュ部材とを有することを特徴としてい
る。
【０００８】請求項２に記載されたスクリーンマスク
は、請求項１記載のスクリーンマスクにおいて、前記第
１のメッシュ部材のバイアス角度と、前記第２のメッシ
ュ部材のバイアス角度が異なることを特徴としている。
は、請求項１記載のスクリーンマスクにおいて、前記第
１のメッシュ部材のバイアス角度と、前記第２のメッシ
ュ部材のバイアス角度が異なることを特徴としている。
【０００９】
【作用】被印刷面に接する第１のメッシュ部材は、スキ
ージ側の第２のメッシュ部材に比べて目が荒いので、被
印刷面に対する接触点の数が少ない。又メッシュ間の面
積が広いために押し出されるペーストの量が多くなる。
更にメッシュ部材が２重なので、スクリーンマスク内に
保持できるペースト量が多く、第１のメッシュ部材のワ
イヤーと被印刷面との接触部分にも流れ込むだけの十分
な量のペーストが供給される。
ージ側の第２のメッシュ部材に比べて目が荒いので、被
印刷面に対する接触点の数が少ない。又メッシュ間の面
積が広いために押し出されるペーストの量が多くなる。
更にメッシュ部材が２重なので、スクリーンマスク内に
保持できるペースト量が多く、第１のメッシュ部材のワ
イヤーと被印刷面との接触部分にも流れ込むだけの十分
な量のペーストが供給される。
【００１０】
【実施例】図１を参照して本発明の一実施例を説明す
る。本実施例のスクリーンマスク１は矩形の枠体２の下
面にメッシュ部材を張ったものである。メッシュ部材
は、２枚のメッシュ部材からなる。枠体２に対してメッ
シュの線材の角度をバイアス角度という。２枚のメッシ
ュ部材のバイアス角度は印刷性や開口率から考えて互い
に異なるようにした方がよいことが実験上わかった。
る。本実施例のスクリーンマスク１は矩形の枠体２の下
面にメッシュ部材を張ったものである。メッシュ部材
は、２枚のメッシュ部材からなる。枠体２に対してメッ
シュの線材の角度をバイアス角度という。２枚のメッシ
ュ部材のバイアス角度は印刷性や開口率から考えて互い
に異なるようにした方がよいことが実験上わかった。
【００１１】上面側の第２メッシュ部材４、即ちスキー
ジ面側のメッシュ部材は、メッシュの番手が大きく、目
が比較的細かい。例えば、線径３０μｍ、開口９７μ
ｍ、開口率５８％、２００＃のメッシュ部材をバイアス
角度３０°で枠体に張設して利用する。
ジ面側のメッシュ部材は、メッシュの番手が大きく、目
が比較的細かい。例えば、線径３０μｍ、開口９７μ
ｍ、開口率５８％、２００＃のメッシュ部材をバイアス
角度３０°で枠体に張設して利用する。
【００１２】下面側の第１メッシュ部材３、即ち被印刷
面である陽極基板１０２側のメッシュ部材は、メッシュ
の番手が小さく、目が比較的粗い。例えば、線径５０μ
ｍ、開口２６７μｍ、開口率７０％である８０＃のメッ
シュ部材をバイアス角度６０°で枠体に張設する。
面である陽極基板１０２側のメッシュ部材は、メッシュ
の番手が小さく、目が比較的粗い。例えば、線径５０μ
ｍ、開口２６７μｍ、開口率７０％である８０＃のメッ
シュ部材をバイアス角度６０°で枠体に張設する。
【００１３】図示しないが、各メッシュ部材３，４には
乳剤が塗布されており、所定パターンのマスクを介した
露光・現像の処理によって所望の開口部が形成できる。
乳剤が塗布されており、所定パターンのマスクを介した
露光・現像の処理によって所望の開口部が形成できる。
【００１４】本実施例のスクリーンマスク１を用いてペ
ーストを被印刷面である陽極基板１０２上に印刷すれ
ば、ピンホールのない均一なペースト層を形成できる。
これは、陽極基板１０２に接する第１メッシュ部材３
は、スキージ側の第２メッシュ部材４に比べて目が荒い
ので、陽極基板１０２に対する接触点の数が少なく、ス
キージされたペーストが回り込みにくい箇所が減るから
である。また、メッシュ部材が２重であり、特に下側の
第１メッシュ部材３の開口率が大きいので、スクリーン
マスク１内に保持できるペーストの量が従来よりも多
く、第１メッシュ部材３のワイヤーと陽極基板１０２の
被印刷面との接触部分にも十分な量のペーストを供給す
ることができ、ワイヤーの目の跡が残りにくいからであ
る。
ーストを被印刷面である陽極基板１０２上に印刷すれ
ば、ピンホールのない均一なペースト層を形成できる。
これは、陽極基板１０２に接する第１メッシュ部材３
は、スキージ側の第２メッシュ部材４に比べて目が荒い
ので、陽極基板１０２に対する接触点の数が少なく、ス
キージされたペーストが回り込みにくい箇所が減るから
である。また、メッシュ部材が２重であり、特に下側の
第１メッシュ部材３の開口率が大きいので、スクリーン
マスク１内に保持できるペーストの量が従来よりも多
く、第１メッシュ部材３のワイヤーと陽極基板１０２の
被印刷面との接触部分にも十分な量のペーストを供給す
ることができ、ワイヤーの目の跡が残りにくいからであ
る。
【００１５】また、本実施例のスクリーンマスク１によ
れば、スキージ側の第２メッシュ部材４の目が比較的細
かく、開口率が小さいので、露光・現像処理によって乳
剤に形成された所定パターンのマスクは強固に第２メッ
シュ部材４に付着している。従って、微細なパターンを
形成しても付着力が低下してメッシュ部材から剥がれた
りすることはない。従って、ペーストの印刷において微
細なパターンを忠実に再現できる。
れば、スキージ側の第２メッシュ部材４の目が比較的細
かく、開口率が小さいので、露光・現像処理によって乳
剤に形成された所定パターンのマスクは強固に第２メッ
シュ部材４に付着している。従って、微細なパターンを
形成しても付着力が低下してメッシュ部材から剥がれた
りすることはない。従って、ペーストの印刷において微
細なパターンを忠実に再現できる。
【００１６】例えば、蛍光表示管の陽極基板に設ける絶
縁膜には、絶縁膜の上面と下面にそれぞれ設けた各導電
性部材を導通させるためにスルーホールを形成する。前
記絶縁膜は絶縁性ペーストをスクリーンマスクでスキー
ジした後焼成することによって形成するので、スルーホ
ールを形成するためには微細な径のスポット状のパター
ンをメッシュ部材上に確実に残さなければならない。本
実施例のスクリーンマスク１を用いれば、設計に沿った
正確な位置に所定のスルーホールに対応したパターンを
十分な強度で確実に形成することができる。
縁膜には、絶縁膜の上面と下面にそれぞれ設けた各導電
性部材を導通させるためにスルーホールを形成する。前
記絶縁膜は絶縁性ペーストをスクリーンマスクでスキー
ジした後焼成することによって形成するので、スルーホ
ールを形成するためには微細な径のスポット状のパター
ンをメッシュ部材上に確実に残さなければならない。本
実施例のスクリーンマスク１を用いれば、設計に沿った
正確な位置に所定のスルーホールに対応したパターンを
十分な強度で確実に形成することができる。
【００１７】前記第１メッシュ部材３と第２メッシュ部
材４の他の例を次に挙げる。下面側の第１メッシュ部材
３としては、例えば、線径３５μｍ、開口１１９μｍ、
開口率６０％、バイアス角度６０°である１６５＃のメ
ッシュ部材が利用できる。
材４の他の例を次に挙げる。下面側の第１メッシュ部材
３としては、例えば、線径３５μｍ、開口１１９μｍ、
開口率６０％、バイアス角度６０°である１６５＃のメ
ッシュ部材が利用できる。
【００１８】上面側の第２メッシュ部材４、即ちスキー
ジ面側のメッシュ部材としては、例えば、線径１８μ
ｍ、開口６０μｍ、開口率５９％、バイアス角度３０°
である３２５＃のメッシュ部材が利用できる。
ジ面側のメッシュ部材としては、例えば、線径１８μ
ｍ、開口６０μｍ、開口率５９％、バイアス角度３０°
である３２５＃のメッシュ部材が利用できる。
【００１９】次に説明する第３及び第４実施例でも、前
記実施例１、２と同等の効果が得られた。第３実施例の
スクリーンマスクは、２００＃、線径３０μｍ、開口９
７μｍ、開口率５８％、バイアス角度３０°の上側メッ
シュ（第２メッシュ部材）と、８０＃、線径５０μｍ、
開口２６７μｍ、開口率７０％、バイアス角度６０°の
下側メッシュ（第１メッシュ部材）を有する。第４実施
例のスクリーンマスクは、２５０＃、線径２５μｍ、開
口７７μｍ、開口率５７％、バイアス角度３０°の上側
メッシュ（第２メッシュ部材）と、２００＃、線径３０
μｍ、開口９７μｍ、開口率５８％、バイアス角度６０
°の下側メッシュ（第１メッシュ部材）を有する。
記実施例１、２と同等の効果が得られた。第３実施例の
スクリーンマスクは、２００＃、線径３０μｍ、開口９
７μｍ、開口率５８％、バイアス角度３０°の上側メッ
シュ（第２メッシュ部材）と、８０＃、線径５０μｍ、
開口２６７μｍ、開口率７０％、バイアス角度６０°の
下側メッシュ（第１メッシュ部材）を有する。第４実施
例のスクリーンマスクは、２５０＃、線径２５μｍ、開
口７７μｍ、開口率５７％、バイアス角度３０°の上側
メッシュ（第２メッシュ部材）と、２００＃、線径３０
μｍ、開口９７μｍ、開口率５８％、バイアス角度６０
°の下側メッシュ（第１メッシュ部材）を有する。
【００２０】
【発明の効果】本発明のスクリーンマスクによれば、ス
キージ面側の目が細かく、被印刷面側の目が粗い２層の
メッシュ部材を用いたので、メッシュの目に起因するピ
ンホールを生じることなく一回のスキージで均一なペー
スト層を形成できる。このため、特に蛍光表示管の陽極
基板の絶縁層を形成するため、陽極基板に絶縁性ペース
トを印刷する工程において、従来ピンホールを解消する
ために２回のペーストを行っていたのが１回で済み、工
数が削減できた。
キージ面側の目が細かく、被印刷面側の目が粗い２層の
メッシュ部材を用いたので、メッシュの目に起因するピ
ンホールを生じることなく一回のスキージで均一なペー
スト層を形成できる。このため、特に蛍光表示管の陽極
基板の絶縁層を形成するため、陽極基板に絶縁性ペース
トを印刷する工程において、従来ピンホールを解消する
ために２回のペーストを行っていたのが１回で済み、工
数が削減できた。
【図１】（ａ）は第１実施例におけるスクリーンマスク
１の構成と使用方法を示す断面図、（ｂ）は（ａ）の部
分断面図である。
１の構成と使用方法を示す断面図、（ｂ）は（ａ）の部
分断面図である。
【図２】（ａ）は従来のスクリーンマスク１の拡大平面
図、（ｂ）は同断面図、（ｃ）は従来のスクリーンマス
ク１を用いて形成したペースト膜の断面図である。
図、（ｂ）は同断面図、（ｃ）は従来のスクリーンマス
ク１を用いて形成したペースト膜の断面図である。
１ スクリーンマスク ３ 第１メッシュ部材 ４ 第２メッシュ部材
Claims (2)
- 【請求項１】 スキージされたペーストを被印刷面に移
行させるスクリーンマスクにおいて、被印刷面に接する
第１のメッシュ部材と、前記第１のメッシュ部材の上面
に設けられた前記第１のメッシュ部材より目の細かい第
２のメッシュ部材とを有するスクリーンマスク。 - 【請求項２】 前記第１のメッシュ部材のバイアス角度
と、前記第２のメッシュ部材のバイアス角度が異なる請
求項１記載のスクリーンマスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5757895A JPH08252987A (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | スクリーンマスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5757895A JPH08252987A (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | スクリーンマスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08252987A true JPH08252987A (ja) | 1996-10-01 |
Family
ID=13059743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5757895A Pending JPH08252987A (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | スクリーンマスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08252987A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000051748A1 (de) * | 1999-02-27 | 2000-09-08 | Hubert Knor | Vorrichtung und verfahren zum aufbringen von klebermaterial auf flächige bauteile sowie dessen verwendung |
| JP2010110920A (ja) * | 2008-11-04 | 2010-05-20 | Bonmaaku:Kk | スクリーン印刷用メタルマスク及びその製造方法 |
-
1995
- 1995-03-16 JP JP5757895A patent/JPH08252987A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000051748A1 (de) * | 1999-02-27 | 2000-09-08 | Hubert Knor | Vorrichtung und verfahren zum aufbringen von klebermaterial auf flächige bauteile sowie dessen verwendung |
| JP2010110920A (ja) * | 2008-11-04 | 2010-05-20 | Bonmaaku:Kk | スクリーン印刷用メタルマスク及びその製造方法 |
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