JP5545320B2 - 露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
本願は、2006年5月10日に出願された特願2006−131280号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置EXを示す概略構成図である。図1において、露光装置EXは、マスクMを保持して移動可能なマスクステージ1と、基板Pを保持して移動可能な基板ステージ2と、マスクMのパターンを露光光ELで照明する照明系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターンの像を基板P上に投影する投影光学系PLと、露光装置EX全体の動作を制御する制御装置3とを備えている。なお、ここでいう基板は、例えばシリコンウエハのような半導体ウエハ等の基材上に感光材(フォトレジスト)を塗布したものを含み、感光膜とは別に保護膜(トップコート膜)などの各種の膜を塗布したものも含む。マスクは基板上に縮小投影されるデバイスパターンが形成されたレチクルを含む。マスクは、ガラス板等の透明板部材と、クロム等の遮光膜を用いて透明板部材上に形成された所定のパターンとを含む。この透過型マスクは、遮光膜でパターンが形成されるバイナリーマスクに限られず、例えばハーフトーン型、あるいは空間周波数変調型などの位相シフトマスクも含む。また、本実施形態においては、マスクとして透過型のマスクを用いるが、反射型のマスクを用いてもよい。
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。本実施形態の特徴的な部分は、第1支持機構80が、トラップ部材60を移動する駆動装置を含む点にある。
次に、第4実施形態について説明する。図14は、第4実施形態に係る露光装置EXの一部を示す拡大図である。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。また、本実施形態においては、トラップ部材が設けられていない。
次に、第5実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の主要構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。第5実施形態は、上述の第4実施形態の変形例であって、第5実施形態の特徴的な部分は、液体回収部材140の第2液体回収口141の近傍に、トラップ部材160を配置した点にある。
次に、第6実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の主要構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。第6実施形態は、上述の第1実施形態の変形例であって、第6実施形態の特徴的な部分は、基板Pの表面に向かって気体を吹き出す気体吹出口が、第2液体回収口41が設けられた液体回収部材40とは別の部材に設けられている点にある。
次に、第7実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の主要構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第8実施形態について説明する。本実施形態においては、ノズル部材20の変形例について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の主要構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。また第8実施形態においては、ノズル部材以外の構成は、第1実施形態と同様であるが、第2〜第7実施形態に第8実施形態のノズル部材を適用できることは言うまでもない。
Claims (26)
- 基板に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
前記露光光を射出する光学部材を含む投影光学系と、
前記基板の表面と対向するように配置された第1液体回収口と、前記光学部材の側面とギャップを介して配置される内周面と、前記ギャップに液体を供給する液体供給口と、を有し、前記基板の表面との間に液浸空間が形成される第1部材と、
前記露光光の光路空間に対して前記第1液体回収口の外側に設けられ、前記第1部材と相対的に移動可能であり、前記基板の表面に存在する液体をトラップする第2部材と、を備え、
前記第2部材と前記基板との距離が、前記第1部材と前記基板との距離よりも小さく、
前記第2部材が、毛管作用によって前記液体を引き込む露光装置。 - 前記第2部材の近傍に配置され、前記第2部材でトラップされた液体を回収する第2液体回収口をさらに備える請求項1記載の露光装置。
- 前記第2部材は、前記第1液体回収口で回収しきれずに前記基板上に存在する滴状の液体をトラップする請求項1又は2記載の露光装置。
- 前記第1部材は、前記基板の表面と対向するように、且つ前記露光光の光路空間を囲むように設けられた平坦部を有し、
前記第1液体回収口は、前記露光光の光路空間に対して前記平坦部の外側に配置され、
前記第2部材と前記基板との距離が、前記平坦部と前記基板との距離よりも小さい請求項1〜3のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記基板を所定方向に移動しながら前記基板の走査露光が実行され、
前記第1液体回収口は、前記露光光の光路空間に対して少なくとも前記所定方向に延在する延在領域の外側に配置されている請求項1〜4のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記第1液体回収口は、前記所定方向に関して、前記延在領域の両側に配置されている請求項5記載の露光装置。
- 前記第2部材は、前記露光光の光路空間を囲むように配置されている請求項1〜6のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第2部材は、可撓性部材を含む請求項1〜7のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第2部材は、複数の板状部材を含む請求項1〜8のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記複数の板状部材の少なくとも一部は、前記露光光の光路空間に対して放射状に配置されている請求項9記載の露光装置。
- 前記第2部材を、可動に支持する支持装置をさらに備えた請求項1〜10のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記支持装置は、前記投影光学系の下方に配置された前記基板と前記第2部材との距離が、前記基板と前記第1部材との距離よりも小さくなるように、前記第2部材を配置可能であり、かつ前記第2部材を前記第1部材よりも上方に退避可能である請求項11記載の露光装置。
- 基板に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
前記露光光を射出する光学部材を含む投影光学系と、
前記基板の表面と対向するように配置された第1液体回収口を有し、前記基板の表面との間に液浸空間が形成される第1部材と、
前記露光光の光路空間に対して前記第1液体回収口の外側に設けられ、前記基板の表面に存在する液体をトラップする第2部材と、
前記第2部材を可動に支持する支持装置と、を備え、
前記支持装置は、前記投影光学系の下方に配置された前記基板と前記第2部材との距離が、前記基板と前記第1部材との距離よりも小さくなるように、前記第2部材を配置可能であり、かつ前記第2部材を前記第1部材よりも上方に退避可能である露光装置。 - メンテナンス作業時に、前記支持装置によって、前記第2部材を前記第1部材よりも上方に退避させる請求項13記載の露光装置。
- 前記支持装置は、弾性体を含む請求項11〜14のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記弾性体は内部空間を有し、
前記支持装置は、前記内部空間の気体の圧力を調整することによって、前記第2部材と前記基板の表面との距離を調整する請求項15記載の露光装置。 - 前記支持装置は、前記第1部材から機械的に分離して、前記第2部材を支持する請求項11〜16のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記支持装置は、前記第2部材を移動する駆動装置を含む請求項11〜17のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第2部材と前記基板の表面との距離を検出する検出装置と、
前記検出装置の検出結果に基づいて、前記駆動装置を制御する制御装置とをさらに備えた請求項18記載の露光装置。 - 前記第2部材でトラップされた液体を回収するための第2液体回収口をさらに備えた請求項1〜19のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記露光光の光路空間に対して前記第2部材の外側に設けられ、前記基板の表面に向かって気体を吹き出し可能な気体吹出口をさらに備えた請求項1〜20のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1部材は、前記露光光が通過する開口を有する請求項1〜21のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1部材は、前記光学部材と前記開口との間の空間に前記液体を供給する液体供給口を有する請求項22記載の露光装置。
- 前記液体供給口から気体を吸引することによって前記光学部材の端面を乾燥する請求項23記載の露光装置。
- 前記液体供給口から気体を供給することによって前記光学部材の端面を乾燥する請求項23記載の露光装置。
- 請求項1〜請求項25のいずれか一項記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
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