JP5379337B1 - クロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、クロスポイント型メモリセルアレイを構成するメモリセルの構造と特性について説明する。
図2に、クロスポイント型メモリセルアレイに用いられるメモリセル51の断面構成図を示す。
メモリセル51の動作について図5を用いて説明する。図5は、図2の構造を持つメモリセル51に対し、下部配線71よりも上部配線70が高い電圧となる極性を正として電圧を印加した場合の電圧と電流との関係を実測した特性図である。
次に、クロスポイント型メモリセルアレイのアレイ等価回路について説明する。
クロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置について説明するための準備として、擬似メモリセルについて説明する。当該擬似メモリセルは、例えば固定抵抗素子を用いて構成され、クロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置が有する基準電圧発生回路に利用される。当該擬似メモリセルの断面構成図を図7に示す。
図10は、実施の形態におけるクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置に設けられる読み出し回路の回路構成図である。当該読み出し回路は、メモリセルの読み出し電圧を、電流制御素子29のしきい値に連動して高速に上昇させる。図10において、前記と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。なお、この基準電圧発生回路6における基準メモリセル3の電流制御素子29は、メモリセルアレイ1内のメモリセル51の電流制御素子29と同一の製造プロセスにて形成されている。
基準電圧発生回路6に用いる基準メモリセル3に内蔵される抵抗素子として、メモリセル51に含まれる抵抗変化素子と同じ構造の抵抗変化素子を用いても構わない。その場合、基準メモリセル3に内蔵される前記抵抗変化素子を所定の抵抗値(例えばメモリセル51が高抵抗値に設定された場合とほぼ同等な状態)に設定するため、書き込み回路が設けられる。そのような書き込み回路を備えた基準電圧発生回路の構成を図11に示す。
上述した実施の形態においては、基準電圧発生回路6が1つの基準メモリセル3で構成される場合を説明した。しかし、基準電圧発生回路6を構成する基準メモリセル3は、図13に示すように、複数の基準メモリセル3_1、・・・、3_gを並列接続して構成されてもよい。また、個々の基準メモリセル3_1、・・・、3_gに含まれる抵抗素子2は、固定抵抗素子137であってもよく、また抵抗変化素子80であってもよい。こうすることによって、個々の基準メモリセルの特性ばらつきを平均化することが可能となる。
基準電圧発生回路82は、図14に示すように、Nチャネルトランジスタ63及び固定抵抗素子79を削除した構成でも構わない。その場合、Nチャネルトランジスタ63を削除しない場合にノードCBLrefに生じる、Nチャネルトランジスタ63のしきい値電圧Vtの電圧降下を補償するために、電圧調整回路5の出力電圧を低下させてもよい。
メモリセルアレイが多層構造の場合、各メタル層の製造工程における高温加熱の影響(下層メモリセル程、それより上層のメタル層数が多いため、熱影響を受ける回数が多くなる)によって、各層の電流制御素子29の特性が異なる場合がある。
次に、実施の形態に係るクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置のシステム構成例とその動作について図16及び図17を用いて説明する。当該クロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置は、図10で説明した読み出し回路を用いて構成される。
次に、図18に電流制御素子のしきい値に連動したプリチャージ電圧発生回路の構成の一例を示す。
次に、読み出し時の判定基準電圧VREFJを選択的に切り換える判定電圧切り換え回路を図19に示す。
2 抵抗素子
3 基準メモリセル
4、79、137 固定抵抗素子
5 電圧調整回路
6 基準電圧発生回路
7、86、219 差動アンプ回路
8 帰還型ビット線電圧クランプ回路
9 センスアンプ回路
10、80 抵抗変化素子
11 上部電極(第3電極)
12 第2の抵抗変化層
13 第1の抵抗変化層
14 下部電極
15 抵抗層
21 上部電極(第2電極)
22 電流制御層
23 下部電極(第1電極)
24 ワード線
25 ビット線
26、27、28 ビア
29 電流制御素子
30 選択メモリセル
40、41、63 Nチャネルトランジスタ
42、45 Pチャネルトランジスタ
43、44 スイッチ素子
46 差動検知回路
47 カラムデコーダ
48 ロウデコーダ/ドライバ
51、51a メモリセル(選択メモリセル)
52、52a、52b ワード線
53、53a、53b、53c ビット線
60〜62、65〜68、75〜77 スイッチ素子
69、49、82 基準電圧発生回路
70 上部配線
71 下部配線
74 プリチャージ用基準電圧発生回路
78 電流源
81 基準メモリセル用書き込み回路
83、183 平滑容量
84、85 インバータ
138、138a 擬似メモリセル
201 メモリ主要部
204 ブロック
206 カラムデコーダ及びプリチャージ回路
207 データ入力回路
208 データラッチ回路
210 書き込み回路
212 電圧クランプ/センスアンプ回路
213 データ出力回路
214 アドレス入力回路
215 制御回路
216 LR化用電源
217 HR化用電源
218 書き込み用電源回路
220 データラッチ回路
400 電圧システム
404 センシング回路
408 バイアス回路
410 抵抗
420 センシング装置
430 選択ダイオード
440 抵抗変化素子
450 差動増幅器
460 抵抗
470 参照ダイオード
480 参照抵抗素子
500 電源装置
503 第2の回路
508 基準電圧
509 第3の回路
510 第1の回路
511 主回路
513 電圧降下素子
Claims (16)
- 異なる電圧が印加されることで低抵抗状態および高抵抗状態の少なくとも2つの状態に可逆的に変化する抵抗変化素子と前記抵抗変化素子に直列に接続された非線形の電流電圧特性を有する電流制御素子とを有する複数のメモリセルの各々が、複数のビット線と複数のワード線との各交点に配置されるクロスポイント型メモリセルアレイと、
前記電流制御素子と同一の製造プロセスにて形成された電流制御素子を用いて構成される基準回路への電流印加にて基準電圧を発生する基準電圧発生回路と、
前記基準電圧発生回路で発生した前記基準電圧を電流増幅する差動アンプ回路と、
前記複数のビット線から選択される1つの選択ビット線の電圧が、前記差動アンプ回路の出力電圧を基準として定められる電圧に達するまで、前記選択ビット線に第1の電流を印加する帰還型ビット線電圧クランプ回路と、
前記選択ビット線に接続された複数のメモリセルから選択される1つの選択メモリセルにおける前記抵抗変化素子が前記低抵抗状態及び前記高抵抗状態の何れにあるかを、前記第1の電流の印加後に前記選択メモリセルに流れる電流量によって判断するセンスアンプ回路と、
を備え、
前記帰還型ビット線電圧クランプ回路は、
ソース端子が前記差動アンプ回路の出力に接続され、ゲート端子が前記選択ビット線に接続された第1のトランジスタと、
前記第1のトランジスタのドレイン端子の電圧に応じて、前記選択ビット線へ電流を供給しかつ供給停止する第2のトランジスタと、
を有するクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置。 - 前記帰還型ビット線電圧クランプ回路は、
クランプ用の第1のNチャネルトランジスタのソース端子が電気的に選択メモリセルに接続され、
第2のNチャネルトランジスタのゲート端子が電気的に前記選択メモリセルに接続され、
前記第1のNチャネルトランジスタのゲート端子が前記第2のNチャネルトランジスタのドレイン端子に接続され、
前記第2のNチャネルトランジスタのドレイン端子が第1のPチャネルトランジスタのドレイン端子に接続され、
前記第1のPチャネルトランジスタのソース端子が電源端子に接続され、
前記第2のNチャネルトランジスタのソース端子が前記差動アンプ回路の出力端子に接続され、前記第1のNチャネルトランジスタのドレイン端子がスイッチ素子の第1の端子に接続され、
前記スイッチ素子の第2の端子が電源端子に接続されて構成され、
前記スイッチ素子は、与えられる制御信号に従って、前記スイッチ素子の前記第1の端子と前記第2の端子との間の導通及び非導通を切り換える機能を有する、
請求項1に記載のクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置。 - 前記センスアンプ回路は、
一定電流を発生する定電流素子の出力端子に前記第1のNチャネルトランジスタのドレイン端子が接続され、
2つの入力電圧の比較結果に従った信号を出力する差動検知アンプを有し、前記差動検知アンプの第1の入力端子に判定基準電圧を接続し、前記差動検知アンプの第2の入力端子に前記第1のNチャネルトランジスタのドレイン端子を接続して構成される、
請求項2に記載のクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置。 - 前記定電流素子は、ソース端子とウェル端子とが電源電圧に接続され、ドレイン端子を出力端子とするPチャネルトランジスタによって構成される、
請求項3に記載のクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置。 - 前記基準電圧発生回路は、前記電流制御素子と同一の電流制御素子と予め抵抗値が定められ抵抗変化しない固定抵抗素子とが直列に接続された擬似メモリセルと、前記基準電圧を調整する電圧調整回路と、が直列に接続されて構成される、
請求項1に記載のクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置。 - 前記基準電圧発生回路の前記固定抵抗素子の抵抗値は、前記抵抗変化素子の低抵抗状態にほぼ等しい、
請求項5に記載のクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置。 - 前記基準電圧発生回路の前記固定抵抗素子の抵抗値は、前記抵抗変化素子の高抵抗状態にほぼ等しい、
請求項5に記載のクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置。 - 前記基準電圧発生回路は、前記電流制御素子と同一の電流制御素子と前記抵抗変化素子と同一の抵抗変化素子とが直列に接続された基準メモリセルと、前記基準電圧を調整する電圧調整回路と、が直列に接続されて構成される、
請求項1に記載のクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置。 - さらに、前記基準メモリセルを構成する前記抵抗変化素子の抵抗状態を書き込み設定する基準メモリセル用書き込み回路を備える、
請求項8に記載のクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置。 - 前記基準メモリセル用書き込み回路を備えた前記基準電圧発生回路は、
前記基準メモリセルの第1の端子が第1のスイッチ素子の第1の端子に接続され、
前記基準メモリセルの第2の端子が第2のスイッチ素子の第1の端子に接続され、
前記第1のスイッチ素子の第2の端子が前記基準メモリセル用書き込み回路の第1の端子に接続され、
前記第2のスイッチ素子の第2の端子が前記基準メモリセル用書き込み回路の第2の端子に接続され、
前記第2のスイッチ素子の第3の端子がグランドに接続され、
前記第3のスイッチ素子の第1の端子が前記電圧調整回路に接続され、
前記第3のスイッチ素子の第2の端子が前記第1のスイッチ素子の第1の端子に接続されて構成され、
前記第1のスイッチ素子は、与えられる制御信号に従って、前記第1のスイッチ素子の前記第1の端子と前記第2の端子との間の導通及び非導通を切り換え、
前記第2のスイッチ素子は、与えられる制御信号に従って、前記第2のスイッチ素子の前記第1の端子を前記第2の端子及び前記第3の端子のいずれか一方に選択的に接続し、
前記第3のスイッチ素子は、与えられる制御信号に従って、前記第3のスイッチ素子の前記第1の端子と前記第2の端子との間の導通及び非導通を切り換え、
前記基準メモリセル用書き込み回路は、前記基準メモリセル用書き込み回路の前記第1の端子と前記第2の端子との間に、前記基準メモリセルの書き込みを行うための電圧を発生する、
請求項9に記載のクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置。 - 前記基準メモリセル内の前記抵抗変化素子の抵抗状態を第1の抵抗状態に設定するために、前記第1のスイッチ素子及び前記第2のスイッチ素子を前記基準メモリセル用書き込み回路に接続し、前記第3のスイッチ素子をオフ状態として、所定時間の間、前記基準メモリセルの前記第1の端子に第1の電圧を印加するとともに、前記基準メモリセルの前記第2の端子に前記第1の電圧よりも低い第2の電圧を印加する、
請求項10に記載のクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置。 - 前記基準メモリセル内の前記抵抗変化素子の抵抗状態を、前記第1の抵抗状態とは異なる第2の抵抗状態に設定するために、前記第1のスイッチ素子及び前記第2のスイッチ素子を前記基準メモリセル用書き込み回路に接続し、前記第3のスイッチ素子をオフ状態として、所定時間の間、前記基準メモリセルの前記第1の端子に第3の電圧を印加するとともに、前記基準メモリセルの前記第2の端子に前記第3の電圧よりも高い第4の電圧を印加する、
請求項11に記載のクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置。 - 前記基準電圧発生回路の出力にNチャネルトランジスタのドレイン又はソースの一方の端子とゲート端子とが接続され、ドレイン又はソースの他方の端子が前記差動アンプ回路の入力端子に接続されている、
請求項1に記載のクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置。 - 前記基準電圧発生回路内において、複数の前記擬似メモリセル又は複数の前記基準メモリセルが並列接続されている、
請求項5又は8に記載のクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置。 - 前記クロスポイント型メモリセルアレイの前記ワード線が伸びる第1の方向及び前記ビット線が伸びる第2の方向に対して共に直交する第3の方向にさらに1以上のクロスポイント型メモリセルが積層され、
前記基準電圧発生回路は、各層の前記クロスポイント型メモリセルアレイに対応して設けられた複数の前記擬似メモリセル又は複数の前記基準メモリセルを有している、
請求項5又は8に記載のクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置。 - 前記基準電圧発生回路は、複数の前記擬似メモリセル又は複数の前記基準メモリセルから、前記選択メモリセルが位置する前記クロスポイント型メモリセルアレイに対応する擬似メモリセル又は基準メモリセルを選択する選択回路を有し、
選択された擬似メモリセル又は基準メモリセルのみに電流を印加して前記基準電圧を発生する、
請求項15に記載のクロスポイント型抵抗変化不揮発性記憶装置。
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