JP5370330B2 - 半導体素子搭載用基板の製造方法 - Google Patents
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Description
最初に、図1(1)に示すように後の工程でめっき層10を形成することとなる金属板20の表面に、めっき層10の必要な高さよりも高くなる厚さの下層となるレジスト層30を形成する。このレジスト層30は、i線またはh線またはg線により感光するレジスト層30である。下層となるレジスト層30の厚さをこのようにしておくことにより、断面が逆台形形状で必要となる高さのめっき層10を確実に形成することができる。
この処理により下層のレジスト層31は、断面が逆台形形状の開口部となる。なお、逆台形形状とは、底辺(金属板20に接する側)より上辺の長さの方が長い台形形状を意味する。
現像工程では、図2(1)に示すように、最初に上層のレジスト層40から開口部を有するレジスト層41が形成され、下層のレジスト層30に現像液80が接触する。そして、図2(2)に示すように現像液80が流動して、レジスト層30は下方に向かって除去されるとともに、現像液80は横方向にも流動する。そして、図2(3)に示すように現像液80は渦状の流動となって、レジスト層30を断面が円弧となるように除去する。そして、図2(4)に示すようにレジスト層30は金属板20を露出させ、現像液80は横方向のレジスト層30を除去する。その結果、図2(5)に示すように断面形状が逆台形の開口部となったレジスト層31が形成されることとなる。
これで、金属板20の表面側には、感光波長の異なる2層のレジスト層30,40が形成され、裏面側には、表面側の下層と同じレジスト層30が形成される。
この時、表面側は、405nmのバンドパスフィルター60によってh線照射71による露光を行うこととなり、下層のレジスト層30は、未露光の状態である。裏面側は、混線70による露光により全面が硬化したレジスト層31となる。
そして、形成した断面が逆台形形状のめっき層10の斜辺と金属板との角度は、75〜80度であった。
形成した断面が逆台形形状のめっき層10の斜辺と金属板20との角度は、65〜78度であった。
20 金属板
30 金属板にラミネートされた下層となるレジスト層
31 レジスト層30が現像により所定のパターンに形成されたレジスト層
40 レジスト層30の上に形成された上層となるレジスト層
41 レジスト層40が現像により所定のパターンに形成されたレジスト層
50 マスク
60 バンドパスフィルター
70 紫外光
71 バンドパスフィルターを通った特定の波長の紫外光
80 現像液
Claims (4)
- 金属板の表面に感光波長の異なるレジストにより下層と上層からなる2層のレジスト層を形成する工程と、
前記下層のレジスト層は未露光の状態で前記上層のレジスト層を所定のパターンで露光する工程と、
前記上層のレジスト層に所定のパターンで開口部を形成し、その開口部から未露光の前記下層のレジスト層を、前記上層のレジスト層のパターンで開口部を形成して前記金属板表面を部分的に露出させる現像工程と、
前記下層のレジスト層を露光して硬化させる工程と、
前記下層のレジスト層から露出している前記金属板表面に所定のめっきを形成する工程と、
前記下層と上層からなる2層のレジスト層を全て剥離する工程を順次経ることを特徴とする半導体素子搭載用基板の製造方法。 - 請求項1の現像工程において、
前記下層のレジスト層は、前記上層のレジスト層の前記開口部から現像が進むことにより前記金属板表面が部分的に露出されて開口部が形成され、この開口部の断面が逆台形形状に形成されるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子搭載用基板の製造方法。 - 前記下層のレジスト層は、後の工程で形成される前記めっきの高さよりも厚い層であることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の半導体素子搭載用基板の製造方法。
- 光源と所定のパターンが形成されたマスクとの間に、フィルターを通して必要な波長の光で前記上層のレジスト層を露光することを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の半導体素子搭載用基板の製造方法。
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