JP6763607B2 - リードフレーム及びその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 32
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 189
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 60
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 60
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 54
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 29
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 7
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 5
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010040844 Skin exfoliation Diseases 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49517—Additional leads
- H01L23/4952—Additional leads the additional leads being a bump or a wire
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- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
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- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49579—Lead-frames or other flat leads characterised by the materials of the lead frames or layers thereon
- H01L23/49582—Metallic layers on lead frames
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4821—Flat leads, e.g. lead frames with or without insulating supports
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4821—Flat leads, e.g. lead frames with or without insulating supports
- H01L21/4825—Connection or disconnection of other leads to or from flat leads, e.g. wires, bumps, other flat leads
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4821—Flat leads, e.g. lead frames with or without insulating supports
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- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
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- H01L23/49517—Additional leads
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
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- H01L2224/056—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
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- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/05599—Material
- H01L2224/056—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/05638—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/05655—Nickel [Ni] as principal constituent
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/05599—Material
- H01L2224/056—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/05663—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than 1550°C
- H01L2224/05664—Palladium [Pd] as principal constituent
Description
前記インナーリード、前記タイバー及び前記アウターリードの表面上にめっき層が連続して設けられ、
前記インナーリードの前記表面のエッジと前記インナーリードの表面上の前記めっき層のエッジとの間には、前記インナーリードが露出した第1の非めっき領域が設けられ、
前記タイバーの前記インナーリード側のエッジと前記タイバーの表面上の前記めっき層の前記インナーリード側のエッジとの間には、前記タイバーが露出した第2の非めっき領域が設けられている。
次に、本発明のリードフレームの製造方法の実施例について説明する。なお、以下の各実施例の製造の各工程において実施される、薬液洗浄や水洗浄等を含む前処理・後処理等は、周知の処理であるので便宜上説明を省略する。
まず、リードフレームの基材となる金属板として、厚さ0.15mmの銅材を用いた。半導体素子が搭載される金属板の表及び裏面にレジスト層を形成し、所定のリードフレーム形状を形成するためのパターンが描画されたガラスマスクを用いて露光・現像を行い、レジストマスクを形成した。
まず、リードフレームの基材となる金属板として厚さ0.15mmの銅材を用いた。半導体素子が搭載される金属板の表及び裏面にレジスト層を形成し、所定のリードフレーム形状を形成するためのパターンが描画されたガラスマスクを用いて露光・現像を行いレジストマスクを形成した。
従来のめっき工程でめっき層を形成するとインナーリード側面にめっき層が形成される。そのため形成されためっき層を除去する工程が更に必要であり、インナーリードの側面が露出するよう、インナーリードの形状に倣って表裏面を覆うレジストマスクを形成し、めっき工程を行うと、インナーリードの側面にめっき層が形成されてしまうため、めっき剥離処理工程を経てインナーリード側面のめっき層を剥離し、次にレジストマスクを溶解除去することになる。
11 インナーリード
11e、12e エッジ
12 タイバー
13 アウターリード
14、14a〜14c 非めっき領域
20 めっき層
21 インナーリード先端めっき層
22、22a〜22c 連続めっき層
30 リードフレーム
40、43 レジスト
41、44 開口
42 エッチング用マスク
45、46 めっき用マスク
50 めっき液
Claims (11)
- 連続して延びるインナーリードとアウターリードとを含む複数のリードと、該複数のリードの前記インナーリードと前記アウターリードとの連結点にて交わるように延びるタイバーとを有するリードフレームであって、
前記インナーリード、前記タイバー及び前記アウターリードの表面上にめっき層が連続して設けられ、
前記インナーリードの前記表面のエッジと前記インナーリードの表面上の前記めっき層のエッジとの間には、前記インナーリードが露出した第1の非めっき領域が設けられ、
前記タイバーの前記インナーリード側のエッジと前記タイバーの表面上の前記めっき層の前記インナーリード側のエッジとの間には、前記タイバーが露出した第2の非めっき領域が設けられたリードフレーム。 - 前記めっき層及び前記第1及び第2の非めっき領域が表裏両面に設けられた請求項1に記載のリードフレーム。
- 前記インナーリードの側面及び前記タイバーの前記インナーリード側の側面には前記めっき層が形成されていない請求項1又は2に記載のリードフレーム。
- 前記アウターリードの表面、裏面、側面の総ての面には前記めっき層が連続して設けられた請求項1乃至3のいずれか一項に記載のリードフレーム。
- 前記インナーリードの先端部には前記めっき層が設けられず、前記第1の非めっき領域と連続する第3の非めっき領域が設けられた請求項2乃至4のいずれか一項に記載のリードフレーム。
- 前記第3の非めっき領域の片面上の所定領域に、前記めっき層と連続しない第2のめっき層が設けられた請求項5に記載のリードフレーム。
- 金属板をエッチング加工し、連続して延びるインナーリード及びアウターリードを含む複数のリードと、該複数のリードの前記インナーリードと前記アウターリードとの連結点で交わるように延びるタイバーとを形成するエッチング工程と、
前記インナーリードの両側エッジの所定領域及び前記タイバーの前記インナーリード側のエッジの所定領域を覆うめっきマスクを用いて、前記インナーリードの両側エッジ及び前記タイバーの前記インナーリード側のエッジの前記所定領域に非めっき領域を形成しつつ、前記インナーリード、前記タイバー及び前記アウターリードにめっき層を形成するめっき工程と、
前記めっきマスクを除去するめっきマスク除去工程と、を有するリードフレームの製造方法。 - 前記めっきマスクは表裏両面に形成され、表裏両面に前記非めっき領域が形成される請求項7に記載のリードフレームの製造方法。
- 前記めっきマスクは、前記インナーリードの側面及び前記タイバーの前記インナーリード側の側面を両面から覆う閉じた空間を形成し、前記インナーリードの側面及び前記タイバーの前記インナーリード側の側面に前記めっき層を形成させない請求項8に記載のリードフレームの製造方法。
- 前記めっきマスクは、前記インナーリードの所定の先端領域も覆い、前記インナーリードの前記所定の先端領域に前記非めっき領域と連続する第2の非めっき領域を形成する請求項8又は9に記載のリードフレームの製造方法。
- 前記めっきマスクの前記インナーリードの前記所定の先端領域内に開口を設け、前記第2の非めっき領域内に第2のめっき層を形成する請求項10に記載のリードフレームの製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017003247A JP6763607B2 (ja) | 2017-01-12 | 2017-01-12 | リードフレーム及びその製造方法 |
US15/848,550 US10181436B2 (en) | 2017-01-12 | 2017-12-20 | Lead frame and method of manufacturing the same |
MYPI2018000012A MY196071A (en) | 2017-01-12 | 2018-01-03 | Lead Frame and Method of Manufacturing the Same |
CN201810010459.8A CN108305863B (zh) | 2017-01-12 | 2018-01-05 | 引线框架及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017003247A JP6763607B2 (ja) | 2017-01-12 | 2017-01-12 | リードフレーム及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018113351A JP2018113351A (ja) | 2018-07-19 |
JP6763607B2 true JP6763607B2 (ja) | 2020-09-30 |
Family
ID=62783420
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017003247A Active JP6763607B2 (ja) | 2017-01-12 | 2017-01-12 | リードフレーム及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10181436B2 (ja) |
JP (1) | JP6763607B2 (ja) |
CN (1) | CN108305863B (ja) |
MY (1) | MY196071A (ja) |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5816339B2 (ja) * | 1975-04-04 | 1983-03-30 | 日本電気株式会社 | ハンドウタイソウチ |
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JPH0247056U (ja) * | 1988-09-26 | 1990-03-30 | ||
JPH02172265A (ja) * | 1988-12-23 | 1990-07-03 | Mitsubishi Electric Corp | 樹脂封止型半導体装置 |
MY107849A (en) * | 1991-09-09 | 1996-06-29 | Hitachi Cable | Composite lead frame and method for manufacturing the same. |
JP3594724B2 (ja) * | 1995-09-29 | 2004-12-02 | 大日本印刷株式会社 | リードフレームの部分貴金属めっき方法 |
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-
2017
- 2017-01-12 JP JP2017003247A patent/JP6763607B2/ja active Active
- 2017-12-20 US US15/848,550 patent/US10181436B2/en active Active
-
2018
- 2018-01-03 MY MYPI2018000012A patent/MY196071A/en unknown
- 2018-01-05 CN CN201810010459.8A patent/CN108305863B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN108305863B (zh) | 2021-03-30 |
CN108305863A (zh) | 2018-07-20 |
US20180197810A1 (en) | 2018-07-12 |
US10181436B2 (en) | 2019-01-15 |
JP2018113351A (ja) | 2018-07-19 |
MY196071A (en) | 2023-03-13 |
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