JPH02172265A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents
樹脂封止型半導体装置Info
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- JPH02172265A JPH02172265A JP63327122A JP32712288A JPH02172265A JP H02172265 A JPH02172265 A JP H02172265A JP 63327122 A JP63327122 A JP 63327122A JP 32712288 A JP32712288 A JP 32712288A JP H02172265 A JPH02172265 A JP H02172265A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 34
- 239000011347 resin Substances 0.000 title abstract description 18
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title abstract description 18
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 17
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 239000010931 gold Substances 0.000 abstract description 9
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000004332 silver Substances 0.000 abstract description 8
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 abstract description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 4
- 239000000725 suspension Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 241000277269 Oncorhynchus masou Species 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
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- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
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- H01L2224/484—Connecting portions
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- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、樹脂封止型半導体装置に関するものである
。
。
第3図は従来の樹脂封止型半導体装置用リードフレーム
の平面図、第4図は第3図のリードフレームを用いて樹
脂封止成形された半導体装置の側面断面図を示す。図に
おいて、1はリードフレーム、laはリードフレームを
固定する枠、2は半導体素子9が搭載されるアイランド
、3は半導体素子9とリードフレーム1を接続するため
のインナーリード、4はインナーリード3の先端表面と
アイランド2の表面とに施された銀又は金等による内部
部分メッキ(斜線の範囲)、5は外部端子と電気的接続
をとるためのアウターリード、6はアイランド2を枠1
aに固定するための吊りリード、7は樹脂封止型半導体
装置を製造するために必要な封止樹脂12の流れ止めと
なるタイバー 8はアイランドエツジ部、9は半導体素
子、ioは半導体素子9とアイランド2を固着するため
の接着材、11は半導体素子9とインナーリード3を接
続するためのワイヤー 12は半導体素子を保護するた
めの封止面11M 、13はアウターリード5上に施さ
れた外装メッキ部である。
の平面図、第4図は第3図のリードフレームを用いて樹
脂封止成形された半導体装置の側面断面図を示す。図に
おいて、1はリードフレーム、laはリードフレームを
固定する枠、2は半導体素子9が搭載されるアイランド
、3は半導体素子9とリードフレーム1を接続するため
のインナーリード、4はインナーリード3の先端表面と
アイランド2の表面とに施された銀又は金等による内部
部分メッキ(斜線の範囲)、5は外部端子と電気的接続
をとるためのアウターリード、6はアイランド2を枠1
aに固定するための吊りリード、7は樹脂封止型半導体
装置を製造するために必要な封止樹脂12の流れ止めと
なるタイバー 8はアイランドエツジ部、9は半導体素
子、ioは半導体素子9とアイランド2を固着するため
の接着材、11は半導体素子9とインナーリード3を接
続するためのワイヤー 12は半導体素子を保護するた
めの封止面11M 、13はアウターリード5上に施さ
れた外装メッキ部である。
次に動作について説明する。第1図のリードフレームを
用いて′@造された第2図に示す樹脂封止型半導体装置
は、外装メッキ部13を施したアウタIJ−ド5により
外部機器との間で電気的フンタクトをとり、半導体装置
としての機能を果す。又外部環境に対しては封止樹脂I
2により保護されている。
用いて′@造された第2図に示す樹脂封止型半導体装置
は、外装メッキ部13を施したアウタIJ−ド5により
外部機器との間で電気的フンタクトをとり、半導体装置
としての機能を果す。又外部環境に対しては封止樹脂I
2により保護されている。
従来の樹脂封止型半導体装置は、以上のように半導体装
置用リードフレームlのアイランドエツジ部8に銀又は
金等による内部部分メッキ4か施されているため、封止
樹脂12とアイランドエツジ部8の化学的接着力が弱く
なる。特に小型及び薄形を要求される表面実装型パッケ
ージにおいては、実装時に印加される熱応力によりアイ
ランドエツジ部8から封止樹脂クラックが発生する問題
点があった。
置用リードフレームlのアイランドエツジ部8に銀又は
金等による内部部分メッキ4か施されているため、封止
樹脂12とアイランドエツジ部8の化学的接着力が弱く
なる。特に小型及び薄形を要求される表面実装型パッケ
ージにおいては、実装時に印加される熱応力によりアイ
ランドエツジ部8から封止樹脂クラックが発生する問題
点があった。
この発明は上記のような問題点な解消するためになされ
たもので、半導体素子を載置するアイランドのエツジ部
と封止樹脂との化学的接着力を強1ヒするとともに、実
装時に印加される熱応力により発生するアイランドエツ
ジ部よりの封止樹脂クランクを防止することができる樹
脂封止型半導体装置を得ることを目的とする。
たもので、半導体素子を載置するアイランドのエツジ部
と封止樹脂との化学的接着力を強1ヒするとともに、実
装時に印加される熱応力により発生するアイランドエツ
ジ部よりの封止樹脂クランクを防止することができる樹
脂封止型半導体装置を得ることを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
この発明に係る樹脂封止型半導体装置は、半導体素子を
リードフレームのアイランド部に搭載し樹脂封止成形さ
れるものにおいて、前記アイランド部表面に施されるメ
ッキ範囲をアイランドエツジ部より内側に限定したもの
である。
リードフレームのアイランド部に搭載し樹脂封止成形さ
れるものにおいて、前記アイランド部表面に施されるメ
ッキ範囲をアイランドエツジ部より内側に限定したもの
である。
この発明における樹脂封止型半導体装置に用いられ、る
リードフレームについて、アイランド部表面に施される
銀又は金メッキ範囲をアイランドエツジ部内側に限定し
たことにより、封止樹脂とアイランドエツジ部の化学的
接着力を強化し、実装時に印加される熱応力によりアイ
ランドエツジ部より発生するクランクを防止する。
リードフレームについて、アイランド部表面に施される
銀又は金メッキ範囲をアイランドエツジ部内側に限定し
たことにより、封止樹脂とアイランドエツジ部の化学的
接着力を強化し、実装時に印加される熱応力によりアイ
ランドエツジ部より発生するクランクを防止する。
第1図は本発明の一実施例による樹脂封止型半導体装置
に使用されるリードフレームの平面図、第2図は第1図
のリードフレームを用いた樹脂封止型半導体装置の側面
断面図である。図において、l ハIJ −1’フレー
ム、laはリードフレームを固定する枠、2はアイラン
ド、3はインナーリード、5はアウターリード、6は吊
りリード、7はタイバー 8はアイランドエツジ部、9
は半導体素子、lOは接着材、11はワイヤー 12は
封止樹脂、13は外装メッキ、和は金、銀等による内部
部分メッキであり、本実施例における内部部分メッキ荀
はアイランドエツジ部8より0.5jll+内側に限定
して施されている。
に使用されるリードフレームの平面図、第2図は第1図
のリードフレームを用いた樹脂封止型半導体装置の側面
断面図である。図において、l ハIJ −1’フレー
ム、laはリードフレームを固定する枠、2はアイラン
ド、3はインナーリード、5はアウターリード、6は吊
りリード、7はタイバー 8はアイランドエツジ部、9
は半導体素子、lOは接着材、11はワイヤー 12は
封止樹脂、13は外装メッキ、和は金、銀等による内部
部分メッキであり、本実施例における内部部分メッキ荀
はアイランドエツジ部8より0.5jll+内側に限定
して施されている。
ここで、表面実装型パッケージとして代表的な80Fに
ついて内部部分メッキ仕様以外は同一の仕様で調造され
た、従来及び本実施例の樹脂封止形半導体装置について
の評価結果を表1に示す。
ついて内部部分メッキ仕様以外は同一の仕様で調造され
た、従来及び本実施例の樹脂封止形半導体装置について
の評価結果を表1に示す。
評価としては85℃85%RHの環境に72時間放置を
行なった後、260℃の半田槽に30秒全体浸漬を行な
った後のアイランドエツジより封止樹脂のクランクの発
生率を調査した0 表1より明らかなように、アイランド部メッキ範囲をア
イランドエツジ部より内側に限定することにより、実装
時に印加される熱応力により発生するアイランドエツジ
部よりの封止樹脂クランクを防止することが可能である
。
行なった後、260℃の半田槽に30秒全体浸漬を行な
った後のアイランドエツジより封止樹脂のクランクの発
生率を調査した0 表1より明らかなように、アイランド部メッキ範囲をア
イランドエツジ部より内側に限定することにより、実装
時に印加される熱応力により発生するアイランドエツジ
部よりの封止樹脂クランクを防止することが可能である
。
表1
なお、上記実施例では、アイランドエツジ部より0.5
111j 内側に限定して内部部分メッキ40(銀又
は金)を施した場合を示したが、封止樹脂クランク発生
の端緒がすべてアイランドエツジ部であることより、ア
イランド部表面に施される銀又は金メッキ範囲ごアイラ
ンドエツジ部より内側に限定すればよく、メッキ部形状
、寸法に係わりなく同様の効果を奏する。
111j 内側に限定して内部部分メッキ40(銀又
は金)を施した場合を示したが、封止樹脂クランク発生
の端緒がすべてアイランドエツジ部であることより、ア
イランド部表面に施される銀又は金メッキ範囲ごアイラ
ンドエツジ部より内側に限定すればよく、メッキ部形状
、寸法に係わりなく同様の効果を奏する。
以上のようにこの発明によれば、樹脂封止型半導体装置
をアイランド部表面に施される銀又は金等によるメッキ
範囲をアイランドエツジ部より内側にしたリードフレー
ムを使用して構成したので、実装時に印加される熱応力
によりアイランドエツジ部より発生する封止樹脂クラン
クの発生を防止する効果がある。
をアイランド部表面に施される銀又は金等によるメッキ
範囲をアイランドエツジ部より内側にしたリードフレー
ムを使用して構成したので、実装時に印加される熱応力
によりアイランドエツジ部より発生する封止樹脂クラン
クの発生を防止する効果がある。
第1図はこの発明の一実施例による樹脂封止型半導体装
置用リードフレームの平面図、第2図はこの発明の一実
施例による樹脂封止型半導体装置の側面断面図、第3肉
は従来の樹脂封止型半導体装置用リードフレームの平面
図、第4図は従来の樹脂封止型半導体装置の側面断面図
である。 図において、■はリードフレーム、Iaはリードフレー
ム枠、2はアイランド、3はインナーリード、5はアウ
ターリード、6は吊りリード、7はタイバー 8はアイ
ランドエツジ部、9は半導体素子、lOは接着材、11
はワイヤー 辻は封止樹脂、13は外装メンキ、和は内
ilA部分メッキである。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 誰 第3図
置用リードフレームの平面図、第2図はこの発明の一実
施例による樹脂封止型半導体装置の側面断面図、第3肉
は従来の樹脂封止型半導体装置用リードフレームの平面
図、第4図は従来の樹脂封止型半導体装置の側面断面図
である。 図において、■はリードフレーム、Iaはリードフレー
ム枠、2はアイランド、3はインナーリード、5はアウ
ターリード、6は吊りリード、7はタイバー 8はアイ
ランドエツジ部、9は半導体素子、lOは接着材、11
はワイヤー 辻は封止樹脂、13は外装メンキ、和は内
ilA部分メッキである。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 誰 第3図
Claims (1)
- 半導体素子をリードフレームのアイランド部に搭載し
て樹脂封止成形されるものにおいて、前記アイランド部
表面に施されるメッキ範囲をアイランドエッジ部より内
側に限定したことを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63327122A JPH02172265A (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 樹脂封止型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63327122A JPH02172265A (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 樹脂封止型半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02172265A true JPH02172265A (ja) | 1990-07-03 |
Family
ID=18195553
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63327122A Pending JPH02172265A (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 樹脂封止型半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02172265A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100501879B1 (ko) * | 2000-06-12 | 2005-07-18 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체패키지용 섭스트레이트 및 그 제조 방법 |
CN108305863A (zh) * | 2017-01-12 | 2018-07-20 | 友立股份有限公司 | 引线框架及其制造方法 |
-
1988
- 1988-12-23 JP JP63327122A patent/JPH02172265A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100501879B1 (ko) * | 2000-06-12 | 2005-07-18 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체패키지용 섭스트레이트 및 그 제조 방법 |
CN108305863A (zh) * | 2017-01-12 | 2018-07-20 | 友立股份有限公司 | 引线框架及其制造方法 |
CN108305863B (zh) * | 2017-01-12 | 2021-03-30 | 大口电材株式会社 | 引线框架及其制造方法 |
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