JP5328414B2 - トップゲート型の電界効果型トランジスタ及びその製造方法並びにそれを備えた表示装置 - Google Patents
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- 230000005669 field effect Effects 0.000 title claims description 48
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 22
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 145
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 52
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 52
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 29
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 12
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 62
- 239000010408 film Substances 0.000 description 59
- 238000000034 method Methods 0.000 description 37
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 31
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 25
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 10
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 9
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 9
- 229910007541 Zn O Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 5
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 5
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 4
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 4
- 238000004549 pulsed laser deposition Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 238000000053 physical method Methods 0.000 description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 2
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NNWNNQTUZYVQRK-UHFFFAOYSA-N 5-bromo-1h-pyrrolo[2,3-c]pyridine-2-carboxylic acid Chemical compound BrC1=NC=C2NC(C(=O)O)=CC2=C1 NNWNNQTUZYVQRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002574 CR-39 Polymers 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N norbornene Chemical compound C1[C@@H]2CC[C@H]1C=C2 JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N 0.000 description 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002493 poly(chlorotrifluoroethylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920003050 poly-cycloolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003303 reheating Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 238000010532 solid phase synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- OFIYHXOOOISSDN-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegallium Chemical compound [Te]=[Ga] OFIYHXOOOISSDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 238000009681 x-ray fluorescence measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/7869—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film having a semiconductor body comprising an oxide semiconductor material, e.g. zinc oxide, copper aluminium oxide, cadmium stannate
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/26—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, elements provided for in two or more of the groups H01L29/16, H01L29/18, H01L29/20, H01L29/22, H01L29/24, e.g. alloys
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/49—Metal-insulator-semiconductor electrodes, e.g. gates of MOSFET
- H01L29/4908—Metal-insulator-semiconductor electrodes, e.g. gates of MOSFET for thin film semiconductor, e.g. gate of TFT
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Description
電界効果型トランジスタを構成する半導体チャネル層(活性層)の材料としては、シリコン半導体やその化合物が多く用いられている。一般的に、高速動作が必要な高周波増幅素子、集積回路等には単結晶シリコン、低速動作で十分な液晶駆動装置用には大面積形成が可能なアモルファスシリコンがそれぞれ用いられている。
前記活性層を介して導通可能なソース電極及びドレイン電極と、
前記活性層、前記ソース電極、及び前記ドレイン電極を覆う絶縁層と、
前記絶縁層を介して前記活性層に対向配置されたゲート電極と、
前記活性層と前記絶縁層との間に介在する酸化インジウムを含む層と、
を有することを特徴とするトップゲート型の電界効果型トランジスタ。
<2> 前記酸化インジウムが、前記活性層から析出されたものであることを特徴とする<1>に記載のトップゲート型の電界効果型トランジスタ。
<3> 前記酸化インジウムを含む層の厚みが、前記活性層の厚みに対して1/50以下であることを特徴とする<1>又は<2>に記載のトップゲート型の電界効果型トランジスタ。
<4> 前記酸化インジウムを含む層が、前記ソース電極及び前記ドレイン電極と接触し、かつ、オーミック接触を形成していることを特徴とする<1>〜<3>のいずれかに記載のトップゲート型の電界効果型トランジスタ。
<5> <1>〜<4>のいずれかに記載の電界効果型トランジスタを備えていることを特徴とする表示装置。
<6> 基板上にIn2−XGaXZnO4(0.6<X<0.8)からなる活性層を形成する工程と、
前記活性層を介して導通可能なソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、
前記活性層の表面に酸化インジウムを含む層を形成する工程と、
前記活性層、前記ソース電極、及び前記ドレイン電極を覆う絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層を介して前記活性層と対向するようにゲート電極を形成する工程と、
を含むことを特徴とするトップゲート型の電界効果型トランジスタの製造方法。
<7> 前記活性層を熱処理することにより該活性層の表層に前記酸化インジウムを析出させることを特徴とする<6>に記載のトップゲート型の電界効果型トランジスタの製造方法。
<8> 前記活性層を600〜1400℃で熱処理することを特徴とする<7>に記載のトップゲート型の電界効果型トランジスタの製造方法。
本実施形態に係る電界効果型トランジスタ22は、活性層12、ソース電極16A、ドレイン電極16B、絶縁層(ゲート絶縁膜)18、及びゲート電極20を有するトップゲート型であり、活性層12がIn2−XGaXZnO4(0.6<X<0.8)からなり、活性層12と絶縁層18との間に酸化インジウムを含む層14が介在している。
本発明に係る電界効果型トランジスタ22を形成するための基板(支持体)10としては、少なくとも電界効果型トランジスタ22を形成する面が絶縁性を有し、寸法安定性、耐溶剤性、加工性、耐熱性などを有するものを用いる。また、最終製品として、例えば有機ELディスプレイを製造する場合は、水分や酸素の透過を抑制し、また、基板10側から光を透過させて発光や表示を行う場合は、光透過性を有する基板を用いる。
基板10上にIn2−XGaXZnO4(0.6<X<0.8)からなる活性層12を形成する(図2(A))。
活性層12は、In、Ga、及びZnを含む酸化物半導体の多結晶焼結体をターゲットとして気相成膜法を用いて成膜することが好ましい。気相成膜法の中でも、スパッタリング法及びパルスレーザー蒸着法(PLD法)がより好ましく、量産性の観点から、スパッタリング法が特に好ましい。
なお、成膜したIGZO膜は、X線回折法により結晶状態を確認することができる。また、膜厚は、触針式表面形状測定により求めることができ、組成比は、XRF(蛍光X線分析)により求めることができる。
活性層12をパターン加工した後、熱処理(アニール)を行うことにより活性層12の表層に酸化インジウムを析出させる(図2(B))。
活性層12の熱処理は、基板10ごと熱処理チャンバー内に投入し、基板10表面の温度を活性層12の熱処理温度とみなして熱処理を行えばよい。
また、図4は、バルクIn2−XGaXZnO4(X=0.7)を成膜して熱処理(大気雰囲気下、1350℃で2時間)した後、表層部を研磨して除去した後、再度熱処理した後のそれぞれのX線回折による分析結果を示している。研磨後はIn2O3は存在しないが、その後の熱処理によってIn2−XGaXZnO4(X=0.7)膜の表層にIn2O3が析出していることがわかる。
なお、In2−XGaXZnO4(0.6<X<0.8)からなる活性層12の表層に酸化インジウムを析出させる場合、活性層の組成や熱処理条件によっては酸化インジウムのほかに、例えばInGaZn2O5が析出する場合がある。InGaZn2O5は、InGaZnO4よりも電子の伝導パスを担っていると考えられるInの比率が少ないため、In2O3だけが析出する場合に比べ、TFT特性(移動度)が低下するおそれがある。そのため、In2O3だけが析出し、InGaZn2O5は析出しないように活性層の組成や熱処理条件を選択することが好ましい。
活性層12の表面に酸化インジウムを含む層14を形成した後、ソース電極16Aとドレイン電極16Bを形成する(図2(C))。
まず、活性層12を形成した面にソース・ドレイン電極16A,16Bを形成するための導電膜を形成する。導電膜は、電極及び配線としての導電性を有し、エッチングによってパターン加工することができる金属により活性層12を覆うように形成する。具体的には、Al、Mo、Cr、Ta、Ti、Au、Ag等の金属、Al−Nd、APC等の合金、酸化錫、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化インジウム錫(ITO)、酸化亜鉛インジウム(IZO)等の金属酸化物導電膜、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリピロールなどの有機導電性化合物、またはこれらの混合物が挙げられる。
なお、工程の簡略化などの観点から、ソース・ドレイン電極16A,16B及びこれらの電極に接続する配線(データ配線など)を同時にパターン加工することが好ましい。
基板10上に、活性層12、ソース電極16A、及びドレイン電極16Bを覆うように絶縁層(ゲート絶縁膜)18を形成する(図2(D))。
ゲート絶縁膜18としては、SiO2、SiNx、SiON、Al2O3、Y2O3、Ta2O5、HfO2等の絶縁体、又はそれらの化合物を2種以上含む絶縁膜としてもよい。また、ポリイミドのような高分子絶縁体もゲート絶縁膜として用いることができる。
次いで、ゲート絶縁膜18を介して活性層12に対向配置されるようにゲート絶縁膜18上にゲート電極20を形成する(図2(E))。
ゲート電極20としては、例えば、Al、Mo、Cr、Ta、Ti、Au、またはAg等の金属、Al−Nd、APC等の合金、酸化錫、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化インジウム錫(ITO)、酸化亜鉛インジウム(IZO)等の金属酸化物導電膜、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリピロ−ルなどの有機導電性化合物、またはこれらの混合物を好適に挙げられる。
成膜後、フォトリソグラフィ法によって所定の形状にパターニングを行う。このとき、ゲート電極20及びゲート配線(不図示)を同時にパターニングすることが好ましい。
なお、電界効果型トランジスタを製造した後は、ゲート電極20及びゲート絶縁膜18上に層間絶縁膜を形成し、最終製品(表示装置、撮像装置など)に応じてさらに画素電極等を形成すればよい。例えば、有機ELディスプレイを製造する場合は、画素電極上に、例えば、有機エレクトロルミネッセンス層及びAl等により上部電極(共通電極)を順次形成した後、ガラス等で封止する。
図6(A)に示される電界効果型トランジスタ22Aの製造では、基板10上に成膜したIn2−XGaXZnO4(0.6<X<0.8)膜を熱処理して表層に酸化インジウムを析出させた後、活性層12Aにパターン加工する。他の工程については第1の実施形態と同様である。
本実施形態に係る電界効果型トランジスタ22Aもソース・ドレイン電極16A,16B間の活性層12Aと絶縁膜18との間に酸化インジウムを含む層14Aが介在しており、酸化インジウムを含む層14Aが存在しない場合に比べて移動度の向上を図ることができる。
本実施形態に係る電界効果型トランジスタ22Bもソース・ドレイン電極16A,16B間の活性層12Bと絶縁膜18との間に酸化インジウムを含む層14Bが介在しており、酸化インジウムを含む層14Bが存在しない場合比べて移動度の向上を図ることができる。
本実施形態に係る電界効果型トランジスタ22Cもソース・ドレイン電極16A,16B間の活性層12Cと絶縁膜18との間に酸化インジウムを含む層14Cが介在しており、酸化インジウムを含む層14Cが存在しない場合比べて移動度の向上を図ることができる。
石英基板上にIn2−XGaXZnO4のXが0.7となる膜をスパッタリング法により厚さ100nmで成膜した。成膜後、所定の温度でアニールを行った。
アニール後、XRF測定を行い、さらにX線回折を行った。続いて、XPS(X線光電子分光)にて深さ方向のIn濃度分布を測定した。
石英基板上にIn2−XGaXZnO4のXが0.6又は0.8となるようにそれぞれ組成を変化させた以外は、実施例と同様に、成膜、アニール、測定、及びトップゲート型薄膜トランジスタの作製を行った。
一方、比較例1〜4、7及び8では、活性層の表面に酸化インジウムの析出が認められず、移動度は5.2cm2/V.S以下で各実施例よりも小さかった。また、比較例5、6ではInGaZn2O5とともにIn2O3の析出も認められたが、In濃度は表面と界面で同程度であり、移動度は4.3cm2/V.S以下で各実施例よりも小さかった。
例えば、本発明に係る電界効果型トランジスタは、有機ELディスプレイ、液晶ディスプレイなどの表示装置のほか、X線イメージャなどの撮像装置にも適用することができる。
12 活性層
14 酸化インジウムを含む層
16A ソース電極
16B ドレイン電極
18 ゲート絶縁膜(絶縁層)
20 ゲート電極
22 電界効果型トランジスタ
Claims (8)
- In2−XGaXZnO4(0.6<X<0.8)からなる活性層と、
前記活性層を介して導通可能なソース電極及びドレイン電極と、
前記活性層、前記ソース電極、及び前記ドレイン電極を覆う絶縁層と、
前記絶縁層を介して前記活性層に対向配置されたゲート電極と、
前記活性層と前記絶縁層との間に介在する酸化インジウムを含む層と、
を有することを特徴とするトップゲート型の電界効果型トランジスタ。 - 前記酸化インジウムが、前記活性層から析出されたものであることを特徴とする請求項1に記載のトップゲート型の電界効果型トランジスタ。
- 前記酸化インジウムを含む層の厚みが、前記活性層の厚みに対して1/50以下であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のトップゲート型の電界効果型トランジスタ。
- 前記酸化インジウムを含む層が、前記ソース電極及び前記ドレイン電極と接触し、かつ、オーミック接触を形成していることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載のトップゲート型の電界効果型トランジスタ。
- 請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の電界効果型トランジスタを備えていることを特徴とする表示装置。
- 基板上にIn2−XGaXZnO4(0.6<X<0.8)からなる活性層を形成する工程と、
前記活性層を介して導通可能なソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、
前記活性層の表面に酸化インジウムを含む層を形成する工程と、
前記活性層、前記ソース電極、及び前記ドレイン電極を覆う絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層を介して前記活性層と対向するようにゲート電極を形成する工程と、
を含むことを特徴とするトップゲート型の電界効果型トランジスタの製造方法。 - 前記活性層を熱処理することにより該活性層の表層に前記酸化インジウムを析出させることを特徴とする請求項6に記載のトップゲート型の電界効果型トランジスタの製造方法。
- 前記活性層を600〜1400℃で熱処理することを特徴とする請求項7に記載のトップゲート型の電界効果型トランジスタの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009042712A JP5328414B2 (ja) | 2009-02-25 | 2009-02-25 | トップゲート型の電界効果型トランジスタ及びその製造方法並びにそれを備えた表示装置 |
KR1020090130859A KR101343677B1 (ko) | 2009-02-25 | 2009-12-24 | 탑 게이트형의 전계 효과형 트랜지스터 및 그 제조 방법 그리고 그것을 구비한 표시 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009042712A JP5328414B2 (ja) | 2009-02-25 | 2009-02-25 | トップゲート型の電界効果型トランジスタ及びその製造方法並びにそれを備えた表示装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010199307A JP2010199307A (ja) | 2010-09-09 |
JP5328414B2 true JP5328414B2 (ja) | 2013-10-30 |
Family
ID=42823733
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009042712A Active JP5328414B2 (ja) | 2009-02-25 | 2009-02-25 | トップゲート型の電界効果型トランジスタ及びその製造方法並びにそれを備えた表示装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5328414B2 (ja) |
KR (1) | KR101343677B1 (ja) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5504008B2 (ja) * | 2009-03-06 | 2014-05-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
KR101949670B1 (ko) | 2009-10-09 | 2019-02-19 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
WO2011074407A1 (en) | 2009-12-18 | 2011-06-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US8912537B2 (en) * | 2010-04-23 | 2014-12-16 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device, RFID tag using the same and display device |
WO2012002574A1 (ja) | 2010-07-02 | 2012-01-05 | 合同会社先端配線材料研究所 | 薄膜トランジスタ |
TWI621184B (zh) * | 2010-08-16 | 2018-04-11 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置之製造方法 |
US9443984B2 (en) * | 2010-12-28 | 2016-09-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP5636304B2 (ja) | 2011-02-08 | 2014-12-03 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 薄膜トランジスタ回路基板及びその製造方法 |
SG11201504734VA (en) | 2011-06-17 | 2015-07-30 | Semiconductor Energy Lab | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US8952377B2 (en) * | 2011-07-08 | 2015-02-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP5052693B1 (ja) * | 2011-08-12 | 2012-10-17 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜トランジスタ及びその製造方法、表示装置、イメージセンサー、x線センサー並びにx線デジタル撮影装置 |
JP6006572B2 (ja) | 2011-08-18 | 2016-10-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP6013676B2 (ja) * | 2011-11-11 | 2016-10-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置及び半導体装置の作製方法 |
KR101942980B1 (ko) | 2012-01-17 | 2019-01-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 반도체 디바이스 및 그 형성 방법 |
JP5972065B2 (ja) * | 2012-06-20 | 2016-08-17 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜トランジスタの製造方法 |
WO2014002920A1 (en) | 2012-06-29 | 2014-01-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP6033045B2 (ja) * | 2012-10-17 | 2016-11-30 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
KR20140056565A (ko) | 2012-10-29 | 2014-05-12 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치, 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 |
KR101638501B1 (ko) * | 2015-03-24 | 2016-07-11 | 한국과학기술연구원 | 수소이온농도 센서 및 그 제조방법 |
US10388738B2 (en) * | 2016-04-01 | 2019-08-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Composite oxide semiconductor and method for manufacturing the same |
KR102640164B1 (ko) | 2016-05-09 | 2024-02-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판 |
KR20230019215A (ko) * | 2016-05-19 | 2023-02-07 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 복합 산화물 반도체 및 트랜지스터 |
JP6800092B2 (ja) * | 2016-06-24 | 2020-12-16 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | トランジスタ及び表示装置 |
JP6268248B2 (ja) * | 2016-09-22 | 2018-01-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | トランジスタの作製方法 |
US20210280719A1 (en) * | 2019-06-04 | 2021-09-09 | Applied Materials, Inc. | High mobility semiconductor channel based thin-film transistors and manufacturing methods |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5138163B2 (ja) * | 2004-11-10 | 2013-02-06 | キヤノン株式会社 | 電界効果型トランジスタ |
JP5006598B2 (ja) * | 2005-09-16 | 2012-08-22 | キヤノン株式会社 | 電界効果型トランジスタ |
JP2007123700A (ja) | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Toppan Printing Co Ltd | 酸化物半導体のパターニング方法と薄膜トランジスタの製造方法 |
JP4904789B2 (ja) | 2005-11-30 | 2012-03-28 | 凸版印刷株式会社 | 薄膜トランジスタ |
US7576394B2 (en) * | 2006-02-02 | 2009-08-18 | Kochi Industrial Promotion Center | Thin film transistor including low resistance conductive thin films and manufacturing method thereof |
JP5127183B2 (ja) * | 2006-08-23 | 2013-01-23 | キヤノン株式会社 | アモルファス酸化物半導体膜を用いた薄膜トランジスタの製造方法 |
JP5244331B2 (ja) * | 2007-03-26 | 2013-07-24 | 出光興産株式会社 | 非晶質酸化物半導体薄膜、その製造方法、薄膜トランジスタの製造方法、電界効果型トランジスタ、発光装置、表示装置及びスパッタリングターゲット |
JP5339772B2 (ja) * | 2007-06-11 | 2013-11-13 | 富士フイルム株式会社 | 電子ディスプレイ |
-
2009
- 2009-02-25 JP JP2009042712A patent/JP5328414B2/ja active Active
- 2009-12-24 KR KR1020090130859A patent/KR101343677B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100097002A (ko) | 2010-09-02 |
KR101343677B1 (ko) | 2013-12-20 |
JP2010199307A (ja) | 2010-09-09 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130702 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |