JP5184775B2 - 光加工装置 - Google Patents
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即ち、集光光学系が、第1及び第2のコリメートレンズと、光束変換光学素子と、透明な平行平板と、押さえ手段とを有する。
「第2のコリメートレンズ」は、第1のコリメートレンズと同軸で、第1のコリメートレンズを透過した光束を集光させる。
「光束変換光学素子」は、第1のコリメートレンズと「微小な光放射部」との間に配置されて、光放射部からの発散性のレーザ光束を「第1、第2のコリメートレンズの光軸を囲繞する光束」とするものである。
そして、平行平板の態位の揺動調整により「リング状の集光部における光エネルギの不均一が調整可能」である。
従って、第1のコリメートレンズは、微小な光放射部との位置関係においては「微小な光放射部が、物体側焦点となる光学位置(光束変換光学素子の介在を考慮した焦点位置)に位置する」ように配置される。
なお、第1、第2のコリメータレンズは球面レンズでもよいが、一方または両方の面が非球面形状であるレンズであることが好ましい。
また、第1、第2のコリメートレンズの間隔を変化させると、結像面に入射する集光光束の「照射角の大きさ」を調整することができる。「照射角」については後述する。
光束変換光学素子は「光軸の回わりの回転変位および/または光軸に直交する方向への直交変位」が可能であることが好ましい。
先ず、図1を参照して、基本的な概念や用語を説明する。
また、独立したN個の半導体レーザLD1〜LDNに代えて、半導体レーザアレイ(例えば、上記波長:970nm帯の高出力の発光部がアレイ配列したもの)を好適に用いることができる。
この例では、光ファイバFが「導光路」であり、光ファイバFの射出端FOが「微小な光放射部」である。
このように第2のコリメートレンズCL2を第1のコリメートレンズCL1に近づけると、図1(c)に示すように、集光点間隔:DPは、図1(a)の場合と同じであるが、
第2のコリメートレンズCL2により集光する「2光束の照射角:β」は、図1(a)の場合よりも小さくなっている。図1(c)において、照射角は小さいため、符号:βは図示されていない。照射角:βは第2のコリメートレンズCL2の作用で集光する光束の、光束外周部が光軸に対してなす角である。
従って、光束変換光学素子FTおよび/または第2のコリメートレンズCL2の変位を独立に組合せることにより、集光点間隔:DPおよび/または照射角:βの大きさを任意に調整することができる。
レンズLNは樹脂レンズであって、図3(a)に示すように鏡筒400の「受け部」に落とし込まれ、レンズ周辺の平面状部分と鏡筒400の受け部の底面部とが密接して溶着面(図1における結像面IP)401となる。
図3(b)における符号P11〜P14は「溶着部(溶着スポット)」を示している。即ち、レンズLNは4つの溶着部P11〜P14において鏡筒400に光溶着される。レンズLNは勿論、レーザ光波長の光を透過させるが、鏡筒400は「レーザ光を吸収する樹脂」で構成されている。このような「加工用のレーザ光を吸収する樹脂」は、黒色等の有色樹脂や「黒色等に着色された樹脂」であることができるが、加工用のレーザ光を吸収しやすい色の塗料を「レーザ光の波長の光を透過させる樹脂の表面に塗布した構成」としてもよい。
図5(a)に示す光束変換光学素子FT7は、光軸方向の片側に円錐面が形成された形状である。容易に理解されるように、このような光束変換光学素子FT7を用いれば、集光光学系の結像面に集光するパターンは、図5(b)に示すような「円形のリング状」のパターンPTである。この場合、図1に即して説明した「集光点間隔:DP」は、パターンPTの直径である。
h=α×r ただし r=√(X2+Y2) (1)
(X、Yは光軸に直交する平面の、光軸を原点とする2次元直交座標)
で表すことができる。傾斜:αは、傾斜角をθとして「α=tanθ」である。リング状に形成され集光部における収差を抑えるために、円錐断面の頂角(180−2θ)は120度〜240度の範囲が好ましい。
h=(r2/R)/[1+√{1−(1+k)(r/R)2}
+A1・r+A2・r2+・・An・rn・・ (2)
で現されるような断面形状において、曲率半径:R、コーニック定数:k、非球面係数:Anを調整することにより実現できる。
しかしながら、上記変位調整に高い精度を必要とする場合、高精度の変位調整を実現するのに「高分解能のステージ」等が必要になり、光学ユニットが高価になる。
図8(a)、(b)に示す光加工装置は、集光光学系として、図6に示した構成のものを用いている。また、光束変換光学素子FT7は、図5に即して説明した円錐面を光入射側に有するものである。符号CL1およびCL2は第1および第2のコリメートレンズ、符号900は透明な平行平板を示す。光束変換光学素子FT7、第1および第2のコリメートレンズCL1、CL2は、第1のケーシングC1内に配設されており、第2のコリメートレンズCL2、光束変換光学素子FT7、平行平板900は、図示されない変位手段により上記各種の変位を行い得るようになっている。
h=α×r ただし r=√(x2+Y2)
で表され、傾斜:αは「−0.30≦α≦−0.29」の範囲にある。
FT7、FT8 光束変換光学素子
CL1 第1のコリメートレンズ
CL2 第2のコリメートレンズ
IP 結像面
PT リング状の集光パターン
Claims (4)
- 微小な光放射部から発散性のレーザ光束を放射し、集光光学系により、所望の被加工面上にリング状に集光させて、樹脂製の鏡筒と樹脂製のレンズを光溶接する光加工装置であって、
上記集光光学系は、微小な光放射部からの発散性のレーザ光束を、実質的な平行光束とし得るように配置される第1のコリメートレンズと、
この第1のコリメートレンズと同軸で、上記第1のコリメートレンズを透過した光束を集光させる第2のコリメートレンズと、
上記第1のコリメートレンズと上記微小な光放射部との間に配置されて、上記光放射部からの発散性のレーザ光束を上記第1、第2のコリメートレンズの光軸を囲繞する光束とする光束変換光学素子と、
微小な光放射部と光束変換光学素子との間に配置され、光軸を含み互いに直交する3軸のうちの2軸の回りに揺動可能に設けられた透明な平行平板と、
樹脂製の鏡筒に対して樹脂製のレンズを押圧して固定するとともに、溶着光としての集束光束を溶着部へ向けて導光する導光機能を有する押さえ手段を有し、
上記光束変換光学素子は、120度〜240度の範囲の頂角を有する円錐面、もしくは光軸対称で、光軸を含む断面形状が曲線をなす面を、物体側および/または像側に有する透明体であり、
上記光束変換光学素子および第2のコリメートレンズのうち少なくとも一方が、上記第1のコリメートレンズに対して、上記光軸の方向に変位可能とされ、
上記平行平板の態位の揺動調整により、リング状の集光部における光エネルギの不均一を調整可能としたことを特徴とする光加工装置。 - 請求項1記載の光加工装置において、
微小な光放射部が導光路の端部であって、レーザ光源から上記導光路により導光した加工用光を上記端部から放射することを特徴とする光加工装置。 - 請求項2記載の光加工装置において、
微小な光放射部がLDの発光部であることを特徴とする光加工装置。 - 請求項1〜3の任意の1に記載の光加工装置において、
微小な光放射部が、コリメートレンズの光軸方向および/または光軸直交方向に位置調整可能であることを特徴とする光加工装置。
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