JP2828879B2 - レーザ加工機 - Google Patents
レーザ加工機Info
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- lens barrel
- laser beam
- welding
- prism
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0604—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams
- B23K26/0608—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams in the same heat affected zone [HAZ]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ加工機に関し、
特に高品質の溶接加工等の可能なレーザ加工機に関す
る。
特に高品質の溶接加工等の可能なレーザ加工機に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】レーザ溶接において、小スポットに集束
させたレーザビームを溶接線に沿って移動させると、溶
融金属幅が狭く、かつ深くなり、溶接金属内にガス成分
を閉じ込めたポロシティも発生する。
させたレーザビームを溶接線に沿って移動させると、溶
融金属幅が狭く、かつ深くなり、溶接金属内にガス成分
を閉じ込めたポロシティも発生する。
【０００３】そこで、レーザ肉盛溶接においては、所要
の溶接面積を得、同時に品質改善を図るため、レーザビ
ームを溶接線方向と直交する方向に振動させる技術が知
られている。
の溶接面積を得、同時に品質改善を図るため、レーザビ
ームを溶接線方向と直交する方向に振動させる技術が知
られている。
【０００４】さらに、レーザビームの光軸に対して、偏
心して配置した集光レンズを回転させることにより、ビ
ームスポットを円周状に移動させ、所要幅を有する溶接
部を得るレーザ溶接機が提案されている（たとえば、特
開平３−２８５７８５号公報）。
心して配置した集光レンズを回転させることにより、ビ
ームスポットを円周状に移動させ、所要幅を有する溶接
部を得るレーザ溶接機が提案されている（たとえば、特
開平３−２８５７８５号公報）。
【０００５】また、重ね合わせ溶接において、集光レン
ズを３角プリズムと合体させてビーム集光機能と共に偏
向機能を持たせ、この合体構造を回転させることによっ
てレーザビームスポットを回転させ、環状の溶接部を得
るレーザ溶接機も提案されている（たとえば、特開平３
−２４３２９２号公報）。
ズを３角プリズムと合体させてビーム集光機能と共に偏
向機能を持たせ、この合体構造を回転させることによっ
てレーザビームスポットを回転させ、環状の溶接部を得
るレーザ溶接機も提案されている（たとえば、特開平３
−２４３２９２号公報）。
【０００６】ところで、近年、レーザ加工においてレー
ザビームを光ファイバで伝送する技術が進歩してきてい
る。レーザビームを光ファイバで伝送すれば、意図せざ
るレーザ照射による加熱事故等を防止することができ、
レーザビームの取り扱いも容易となる。
ザビームを光ファイバで伝送する技術が進歩してきてい
る。レーザビームを光ファイバで伝送すれば、意図せざ
るレーザ照射による加熱事故等を防止することができ、
レーザビームの取り扱いも容易となる。
【０００７】また、溶接において、２個の物品を１個所
で溶接すると、加熱、冷却機の熱変形により加工対象物
に歪が生じる。複数点でスポット溶接した後に溶接線に
沿って連続溶接すれば熱歪は減少するが、これをレーザ
加工において行なおうとすると、操作が複雑となる。
で溶接すると、加熱、冷却機の熱変形により加工対象物
に歪が生じる。複数点でスポット溶接した後に溶接線に
沿って連続溶接すれば熱歪は減少するが、これをレーザ
加工において行なおうとすると、操作が複雑となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
レーザ加工技術は進歩を続けているが、未だ解決されて
いない問題点もあり、さらなる進歩が望まれている。
レーザ加工技術は進歩を続けているが、未だ解決されて
いない問題点もあり、さらなる進歩が望まれている。
【０００９】本発明の目的は、低歪で品質のよいレーザ
溶接等が可能なレーザ加工機を提供することである。
溶接等が可能なレーザ加工機を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のレーザ加工機
は、固定された上部鏡筒と、前記上部鏡筒に結合され、
レーザ光を伝送し、上部鏡筒内に出射する光伝送系と、
前記上部鏡筒に対して回転可能に保持され、変換可能で
ある下部鏡筒と、前記下部鏡筒に保持され、光伝送系か
ら出散されるレーザビームを分割するビーム分割部と、
前記下部鏡筒に保持され、ビーム分割部から出射される
複数のレーザビームを異なる位置に集光させる集光レン
ズ部と、前記下部鏡筒を回転させてレーザビームの集光
点を回転させる回転駆動機構とを有する。
は、固定された上部鏡筒と、前記上部鏡筒に結合され、
レーザ光を伝送し、上部鏡筒内に出射する光伝送系と、
前記上部鏡筒に対して回転可能に保持され、変換可能で
ある下部鏡筒と、前記下部鏡筒に保持され、光伝送系か
ら出散されるレーザビームを分割するビーム分割部と、
前記下部鏡筒に保持され、ビーム分割部から出射される
複数のレーザビームを異なる位置に集光させる集光レン
ズ部と、前記下部鏡筒を回転させてレーザビームの集光
点を回転させる回転駆動機構とを有する。
【００１１】
【作用】レーザビームを分割して複数のレーザビームと
し、これらを回転させることにより、同時に２点におけ
るレーザ加工が可能となる。下部鏡筒を交換可能とする
ことにより、１台の加工機を用いて種々の加工が可能と
なる。
し、これらを回転させることにより、同時に２点におけ
るレーザ加工が可能となる。下部鏡筒を交換可能とする
ことにより、１台の加工機を用いて種々の加工が可能と
なる。
【００１２】レーザ溶接においては、レーザ溶接開始時
に同時に２点において溶接を行なうことにより、加工対
象物に生じる歪を低減し、低歪のレーザ溶接を可能とす
る。
に同時に２点において溶接を行なうことにより、加工対
象物に生じる歪を低減し、低歪のレーザ溶接を可能とす
る。
【００１３】
【実施例】図１は、本発明の一実施例によるレーザ溶接
機の構成を概略的に示す。レーザ発振機から発射された
レーザビームは、ファイバ中を転送され、ファイバ先端
１から図中下方に出射する。
機の構成を概略的に示す。レーザ発振機から発射された
レーザビームは、ファイバ中を転送され、ファイバ先端
１から図中下方に出射する。
【００１４】ファイバ先端１から発散して出射されたレ
ーザ光は、コリメートレンズ２によってコリメートさ
れ、平行光束となる。この平行光束は、直進して屋根形
プリズム３に入射する。屋根形プリズム３は、図中上側
に左右に傾いた対称的入射面を有する。
ーザ光は、コリメートレンズ２によってコリメートさ
れ、平行光束となる。この平行光束は、直進して屋根形
プリズム３に入射する。屋根形プリズム３は、図中上側
に左右に傾いた対称的入射面を有する。
【００１５】屋根形プリズム３は、図中左半分に入射し
たレーザビームは右下方に偏向し、右半分に入射したレ
ーザビームは左下方に偏向する。このように、屋根形プ
リズム３は、入射するレーザビームを２つのビームに分
割する役割を果たす。
たレーザビームは右下方に偏向し、右半分に入射したレ
ーザビームは左下方に偏向する。このように、屋根形プ
リズム３は、入射するレーザビームを２つのビームに分
割する役割を果たす。
【００１６】なお、１本の平行光束を２本のビームに分
割する場合を説明したが、３つ以上のビームに分割する
ことも可能である。また、屋根形プリズムでレーザビー
ムを分割する場合を説明したが、ハーフミラー等の構成
によってレーザビームを分割することも可能である。
割する場合を説明したが、３つ以上のビームに分割する
ことも可能である。また、屋根形プリズムでレーザビー
ムを分割する場合を説明したが、ハーフミラー等の構成
によってレーザビームを分割することも可能である。
【００１７】プリズム３で分割された複数のレーザビー
ムは、集光レンズ４によって集光され、異なる点にスポ
ット状に集光される。集光点の位置は、プリズム３の与
える偏向（屈折）角度、プリズム３と集光レンズ４との
間の距離、集光レンズ４の集光距離等によって定まる。
ムは、集光レンズ４によって集光され、異なる点にスポ
ット状に集光される。集光点の位置は、プリズム３の与
える偏向（屈折）角度、プリズム３と集光レンズ４との
間の距離、集光レンズ４の集光距離等によって定まる。
【００１８】なお、屋根型プリズム３および集光レンズ
４は、下部鏡筒６に保持されており、下部鏡筒６はベア
リング８によって上部鏡筒５に対して回転可能に保持さ
れたプーリ１１に螺子止めされている。
４は、下部鏡筒６に保持されており、下部鏡筒６はベア
リング８によって上部鏡筒５に対して回転可能に保持さ
れたプーリ１１に螺子止めされている。
【００１９】プリズム３および集光レンズ４を収容した
下部鏡筒６を交換することにより、所望のビーム分割特
性、集光特性を得ることができる。なお、コリメートレ
ンズ２およびファイバ先端１は、上部鏡筒５に固定され
ている。ファイバ先端１、コリメートレンズ２、プリズ
ム３、集光レンズ４は、機械加工精度内で光軸上に配置
されている。
下部鏡筒６を交換することにより、所望のビーム分割特
性、集光特性を得ることができる。なお、コリメートレ
ンズ２およびファイバ先端１は、上部鏡筒５に固定され
ている。ファイバ先端１、コリメートレンズ２、プリズ
ム３、集光レンズ４は、機械加工精度内で光軸上に配置
されている。
【００２０】図中、左方には、上部鏡筒５が固定さてい
る固定構造物が配置され、その内部にモータ９が設置さ
れている。モータ９の回転軸は、図中下方に延び、プー
リ１０と結合している。プーリ１０とプーリ１１は、高
さ方向が一致して配置され、その周囲にベルト１２が結
合されている。
る固定構造物が配置され、その内部にモータ９が設置さ
れている。モータ９の回転軸は、図中下方に延び、プー
リ１０と結合している。プーリ１０とプーリ１１は、高
さ方向が一致して配置され、その周囲にベルト１２が結
合されている。
【００２１】プーリ１０の径は、プーリ１１の径よりも
小さく、モータ９の回転にしたがってベルト１２を駆動
し、減速した回転をプーリ１１に与える。プーリ１１が
ベアリング８にガイドされて回転されると、プーリ１１
に結合した下部鏡筒６が回転し、プリズム３および集光
レンズ４が回転する。
小さく、モータ９の回転にしたがってベルト１２を駆動
し、減速した回転をプーリ１１に与える。プーリ１１が
ベアリング８にガイドされて回転されると、プーリ１１
に結合した下部鏡筒６が回転し、プリズム３および集光
レンズ４が回転する。
【００２２】この下部鏡筒６の回転に伴ってプリズム３
で分割されたレーザビームは、それぞれ円運動を行な
う。プリズム３が光軸に関して対称的な屋根形プリズム
であれば、２つのビームスポットは同一円周上を回転す
る。
で分割されたレーザビームは、それぞれ円運動を行な
う。プリズム３が光軸に関して対称的な屋根形プリズム
であれば、２つのビームスポットは同一円周上を回転す
る。
【００２３】図２は、以上説明したレーザ加工機から光
学系を抽出し、レーザビームとの関連を示す。ファイバ
先端１は、ファイバのコアに相当し、その端部からレー
ザビームを発散して出射する。ファイバ先端１の径は、
たとえば約１ｍｍである。
学系を抽出し、レーザビームとの関連を示す。ファイバ
先端１は、ファイバのコアに相当し、その端部からレー
ザビームを発散して出射する。ファイバ先端１の径は、
たとえば約１ｍｍである。
【００２４】ファイバ先端１から発散するレーザビーム
を受けるコリメートレンズ２は、発散するレーザビーム
を平行光束に変換する。コリメートレンズ２の焦点ｆ１
は、ほぼコリメートレンズ２とファイバ先端１との間の
距離に相当する。
を受けるコリメートレンズ２は、発散するレーザビーム
を平行光束に変換する。コリメートレンズ２の焦点ｆ１
は、ほぼコリメートレンズ２とファイバ先端１との間の
距離に相当する。
【００２５】屋根形プリズム３の２つの入射面は、入射
するレーザ平行光束に対して角度θ傾いた対称的な面法
線を有する。プリズム３の出射面は平面であり、プリズ
ム３から出射するレーザビームは、元の方向からδ傾い
た偏向角度を有する。プリズム３から出射した平行レー
ザビームは、集光レンズ４に入射し、集光されて２つの
スポットに集まる。
するレーザ平行光束に対して角度θ傾いた対称的な面法
線を有する。プリズム３の出射面は平面であり、プリズ
ム３から出射するレーザビームは、元の方向からδ傾い
た偏向角度を有する。プリズム３から出射した平行レー
ザビームは、集光レンズ４に入射し、集光されて２つの
スポットに集まる。
【００２６】プリズム３の屈折率をｎ、集光レンズ４の
焦点距離をｆ２とすると、集光スポット径φＤおよび集
光スポット間の間隔ｄは、 φＤ＝φ１ｍｍ×（ｆ２／ｆ１） ｄ＝２×ｆ２×ｔａｎδ となる。ただし、δ（＜または≒）（ｎ−１）θであ
る。
焦点距離をｆ２とすると、集光スポット径φＤおよび集
光スポット間の間隔ｄは、 φＤ＝φ１ｍｍ×（ｆ２／ｆ１） ｄ＝２×ｆ２×ｔａｎδ となる。ただし、δ（＜または≒）（ｎ−１）θであ
る。
【００２７】すなわち、ファイバ径に対する集光スポッ
ト径はレンズ２、４の焦点距離の比によって定まり、集
光スポット間の距離ｄは、プリズム３による偏向角度お
よび集光レンズ４の焦点距離によって定まる。
ト径はレンズ２、４の焦点距離の比によって定まり、集
光スポット間の距離ｄは、プリズム３による偏向角度お
よび集光レンズ４の焦点距離によって定まる。
【００２８】図１の構成において、下部鏡筒６を交換可
能としたことにより、複数の下部鏡筒を準備しておき、
適宜所望のφＤおよびｄを有する下部鏡筒を交換するこ
とができる。
能としたことにより、複数の下部鏡筒を準備しておき、
適宜所望のφＤおよびｄを有する下部鏡筒を交換するこ
とができる。
【００２９】図３は、図１に示すレーザ溶接機を用い、
突き合わせ溶接を行なう場合の操作を概略的に示す。加
工対象物１３と１４が突き合わせて配置されている。破
線ｃ１は、２本の集光レーザビーム共通の軌跡である。
突き合わせ溶接を行なう場合の操作を概略的に示す。加
工対象物１３と１４が突き合わせて配置されている。破
線ｃ１は、２本の集光レーザビーム共通の軌跡である。
【００３０】図１の構成において、下部鏡筒６を回転さ
せると、集光されるレーザビームスポットは破線ｃ１の
円周上を回転する。２つの点Ｓ１、Ｓ２で溶接が実行さ
れると、加工対象物１３、１４は２つの点で溶融部が形
成され、２つの点Ｓ１、Ｓ２の回転軌跡により、大口径
スポット径でのレーザビーム溶接が実現できる。
せると、集光されるレーザビームスポットは破線ｃ１の
円周上を回転する。２つの点Ｓ１、Ｓ２で溶接が実行さ
れると、加工対象物１３、１４は２つの点で溶融部が形
成され、２つの点Ｓ１、Ｓ２の回転軌跡により、大口径
スポット径でのレーザビーム溶接が実現できる。
【００３１】溶接によって生じる加熱、冷却の熱変形に
おいても、溶接開始点が２点で開始しているため、加工
対象物１３、１４に生じる熱変形は減少される。このた
め、熱歪の少ない溶接が可能となる。
おいても、溶接開始点が２点で開始しているため、加工
対象物１３、１４に生じる熱変形は減少される。このた
め、熱歪の少ない溶接が可能となる。
【００３２】溶接開始後、レーザビームを軌跡ｃ１上で
回転させつつ、加工対象物１３、１４を溶接線に沿って
移動させると、所要の溶接幅を有する突き合わせ溶接が
実行される。
回転させつつ、加工対象物１３、１４を溶接線に沿って
移動させると、所要の溶接幅を有する突き合わせ溶接が
実行される。
【００３３】図４は、本発明の他の実施例によるガスア
シスト・レーザ加工機の構成を部分的に示す。本実施例
においては、レーザビーム出射部分において、プリズム
３および集光レンズ４を保持する下部鏡筒６の周囲を、
アシストガス取入口１５を有するハウジング１６が取り
囲んでいる。
シスト・レーザ加工機の構成を部分的に示す。本実施例
においては、レーザビーム出射部分において、プリズム
３および集光レンズ４を保持する下部鏡筒６の周囲を、
アシストガス取入口１５を有するハウジング１６が取り
囲んでいる。
【００３４】アシストガス取入口１５から導入されたア
シストガスは、ハウジング１６によって案内され、下部
噴出口１７から下方に噴出する。下部噴出口１７の開口
部分は、図中上部に示したプリズム３、集光レンズ４を
介して集光されるレーザビームと接触しないように設計
される。アシストガスとしては、切断用には酸素や溶媒
用には不活性ガス等が用いられる。
シストガスは、ハウジング１６によって案内され、下部
噴出口１７から下方に噴出する。下部噴出口１７の開口
部分は、図中上部に示したプリズム３、集光レンズ４を
介して集光されるレーザビームと接触しないように設計
される。アシストガスとしては、切断用には酸素や溶媒
用には不活性ガス等が用いられる。
【００３５】本発明者らは、上述のファイバ出射光学系
を用い、集光スポット径φＤ＝６００μｍ、集光スポッ
ト間隔ｄ＝１ｍｍとなるレンズ・プリズム系を選択し、
厚さ０．８ｍｍのＳＵＳ３０４板の重ね合わせ溶接およ
び突き合わせ溶接を実験し、それぞれ良好な溶接部を得
ることができた。
を用い、集光スポット径φＤ＝６００μｍ、集光スポッ
ト間隔ｄ＝１ｍｍとなるレンズ・プリズム系を選択し、
厚さ０．８ｍｍのＳＵＳ３０４板の重ね合わせ溶接およ
び突き合わせ溶接を実験し、それぞれ良好な溶接部を得
ることができた。
【００３６】ここで、１スポットのレーザ集光径をデフ
ォーカスして溶接した場合、また、１スポットのレーザ
集光径を偏向角度をつけて回転させながらウィービング
溶接した場合と、上述の２スポットレーザ集光径を回転
させながら溶接した場合とを比較した。
ォーカスして溶接した場合、また、１スポットのレーザ
集光径を偏向角度をつけて回転させながらウィービング
溶接した場合と、上述の２スポットレーザ集光径を回転
させながら溶接した場合とを比較した。
【００３７】ギャップ間隔の大きいサンプルを対象物と
すると、上述の実施例にしたがって２本のレーザビーム
に分岐し、集光したレーザビームスポットをサンプルの
各々に対して同時にレーザ照射しながらウイービング溶
接する方が、１スポットのレーザ集光径を用いる場合よ
りも良好な溶接結果を与えることが判った。これは、分
岐されたレーザビームが互いに余熱効果を与え合うこと
等によるものと考えられる。
すると、上述の実施例にしたがって２本のレーザビーム
に分岐し、集光したレーザビームスポットをサンプルの
各々に対して同時にレーザ照射しながらウイービング溶
接する方が、１スポットのレーザ集光径を用いる場合よ
りも良好な溶接結果を与えることが判った。これは、分
岐されたレーザビームが互いに余熱効果を与え合うこと
等によるものと考えられる。
【００３８】なお、レーザ加工により溶接を行なう場合
を説明したが、同様の構成を用い、レーザ切断を行なう
ことも可能である。このような場合においても、レーザ
ビームを分割し、複数の点に照射することにより、加熱
点が分散し、加工対象物に与える熱歪み等を減少するこ
とが可能と考えられる。また、複数本に分割したレーザ
ビームは回転させる他、往復運動させたり、停止させた
りしてもよい。
を説明したが、同様の構成を用い、レーザ切断を行なう
ことも可能である。このような場合においても、レーザ
ビームを分割し、複数の点に照射することにより、加熱
点が分散し、加工対象物に与える熱歪み等を減少するこ
とが可能と考えられる。また、複数本に分割したレーザ
ビームは回転させる他、往復運動させたり、停止させた
りしてもよい。
【００３９】以上実施例に沿って本発明を説明したが、
本発明はこれらに制限されるものではない。たとえば、
種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者
に自明であろう。
本発明はこれらに制限されるものではない。たとえば、
種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者
に自明であろう。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
２本以上に分岐したレーザビームを同時に用いてレーザ
加工を行なうことにより、従来のレーザ加工よりも高速
かつ低歪で品質の良いレーザ加工を行なうことが可能と
なる。
２本以上に分岐したレーザビームを同時に用いてレーザ
加工を行なうことにより、従来のレーザ加工よりも高速
かつ低歪で品質の良いレーザ加工を行なうことが可能と
なる。
【図１】本発明の実施例によるレーザ溶接機の構成を概
略的に示す断面図である。
略的に示す断面図である。
【図２】図１のレーザ溶接機における光学系を抽出して
示す概略断面図である。
示す概略断面図である。
【図３】図１のレーザ溶接機を用い、突き合わせ溶接を
行なう場合の手順を説明するための概念図である。
行なう場合の手順を説明するための概念図である。
【図４】本発明の他の実施例によるガスアシストレーザ
加工機の構成を示す概略部分断面図である。
加工機の構成を示す概略部分断面図である。
１ ファイバ先端 ２ コリメートレンズ ３ プリズム ４ 集光レンズ ５ 上部鏡筒 ６ 下部鏡筒 ８ ベアリング ９ モータ １０、１１ プーリ １２ ベルト １３、１４ 加工対象物 １５ アシストガス取入口 １６ ハウジング １７ 下部噴出口 ｃ１ レーザビーム軌跡 Ｓ１、Ｓ２ レーザビームスポット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B23K 26/00 - 26/08
Claims (2)
- 【請求項１】 固定された上部鏡筒と、 前記上部鏡筒に結合され、レーザ光を伝送し、上部鏡筒
内に出射する光伝送系と、 前記上部鏡筒に対して回転可能に保持され、変換可能で
ある下部鏡筒と、 前記下部鏡筒に保持され、光伝送系から出散されるレー
ザビームを分割するビーム分割部と、 前記下部鏡筒に保持され、ビーム分割部から出射される
複数のレーザビームを異なる位置に集光させる集光レン
ズ部と、 前記下部鏡筒を回転させてレーザビームの集光点を回転
させる回転駆動機構とを有するレーザ加工機。 - 【請求項２】 さらに、前記下部鏡筒の周囲を取り囲
み、レーザ光出射開口とガス取入口とを有するハウジン
グを有する請求項１記載のレーザ加工機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5214430A JP2828879B2 (ja) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | レーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5214430A JP2828879B2 (ja) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | レーザ加工機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0760470A JPH0760470A (ja) | 1995-03-07 |
| JP2828879B2 true JP2828879B2 (ja) | 1998-11-25 |
Family
ID=16655659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5214430A Expired - Lifetime JP2828879B2 (ja) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | レーザ加工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2828879B2 (ja) |
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