JP3391970B2 - 液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、エキシマレーザを
用いた溝加工や穴開け加工等によって樹脂製天板を製作
する液体噴射記録ヘッドの製造方法に関するものであ
る。
用いた溝加工や穴開け加工等によって樹脂製天板を製作
する液体噴射記録ヘッドの製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】記録液（インク）を、微細な吐出口（オ
リフィス）から飛翔液滴として吐出して被記録媒体（記
録紙等）に記録（印刷）を行なう液体噴射記録ヘッド
は、複数の電気熱変換素子とそのリード電極を有する基
板（ヒーターボード）を有し、該基板上に液流路（ノズ
ル）や共通液室を形成する樹脂製のノズル層（液流路形
成層）を積層したうえで、記録液の供給管を備えたガラ
ス製の天板を重ねたものが一般的であるが、最近では、
ガラス製の天板を省略し、液流路および共通液室に加え
て記録液の供給管等を一体的に設けた樹脂製の天板部材
（以下、「樹脂製天板」という）を射出成形等によって
製作し、これを、弾性部材によって基板に押圧し一体化
した液体噴射記録ヘッドが開発されている。このような
液体噴射記録ヘッドは、組立部品点数が大幅に低減さ
れ、かつ組立工程も極めて簡略化されるため、液体噴射
記録装置の低コストに大きく貢献するものとして期待さ
れている。
リフィス）から飛翔液滴として吐出して被記録媒体（記
録紙等）に記録（印刷）を行なう液体噴射記録ヘッド
は、複数の電気熱変換素子とそのリード電極を有する基
板（ヒーターボード）を有し、該基板上に液流路（ノズ
ル）や共通液室を形成する樹脂製のノズル層（液流路形
成層）を積層したうえで、記録液の供給管を備えたガラ
ス製の天板を重ねたものが一般的であるが、最近では、
ガラス製の天板を省略し、液流路および共通液室に加え
て記録液の供給管等を一体的に設けた樹脂製の天板部材
（以下、「樹脂製天板」という）を射出成形等によって
製作し、これを、弾性部材によって基板に押圧し一体化
した液体噴射記録ヘッドが開発されている。このような
液体噴射記録ヘッドは、組立部品点数が大幅に低減さ
れ、かつ組立工程も極めて簡略化されるため、液体噴射
記録装置の低コストに大きく貢献するものとして期待さ
れている。
【０００３】図３は樹脂製天板を用いた液体噴射記録ヘ
ッドＥ0 の主要部を、樹脂製天板の一部分を破断した状
態で示すもので、これは、複数の電気熱変換素子１００
１ａを有する基板１００１と、各電気熱変換素子１００
１ａ上に位置する液流路１００２ａとこれに連通する共
通液室１００２ｂを備えた樹脂製天板１００２を有し、
樹脂製天板１００２には、各液流路１００２ａに連通す
る吐出口（オリフィス）１００２ｃを有するオリフィス
プレート部１００２ｄと、共通液室１００２ｂに開口す
る記録液供給口１００２ｅを有する筒状突出部１００２
ｆが一体的に設けられている。
ッドＥ0 の主要部を、樹脂製天板の一部分を破断した状
態で示すもので、これは、複数の電気熱変換素子１００
１ａを有する基板１００１と、各電気熱変換素子１００
１ａ上に位置する液流路１００２ａとこれに連通する共
通液室１００２ｂを備えた樹脂製天板１００２を有し、
樹脂製天板１００２には、各液流路１００２ａに連通す
る吐出口（オリフィス）１００２ｃを有するオリフィス
プレート部１００２ｄと、共通液室１００２ｂに開口す
る記録液供給口１００２ｅを有する筒状突出部１００２
ｆが一体的に設けられている。
【０００４】このように液流路１００２ａや共通液室１
００２ｂを有する本体部分に加えてオリフィスプレート
部１００２ｄと筒状突出部１００２ｆを有する樹脂製天
板１００２を射出成形等によって一体的に形成し、各液
流路１００２ａが基板１００１の電気熱変換素子１００
１ａ上に位置するように位置決めしたうえで、図示しな
い弾性部材によって樹脂製天板１００２を基板１００１
に押圧し、これと一体的に結合させる。基板１００１
は、各電気熱変換素子１００１ａに電気信号を発生する
駆動回路を搭載した配線基板１００３とともに、ベース
プレート１００４上にビス止め等公知の方法で固着され
る。
００２ｂを有する本体部分に加えてオリフィスプレート
部１００２ｄと筒状突出部１００２ｆを有する樹脂製天
板１００２を射出成形等によって一体的に形成し、各液
流路１００２ａが基板１００１の電気熱変換素子１００
１ａ上に位置するように位置決めしたうえで、図示しな
い弾性部材によって樹脂製天板１００２を基板１００１
に押圧し、これと一体的に結合させる。基板１００１
は、各電気熱変換素子１００１ａに電気信号を発生する
駆動回路を搭載した配線基板１００３とともに、ベース
プレート１００４上にビス止め等公知の方法で固着され
る。
【０００５】また、液流路１００２ａを設ける前の本体
部分とオリフィス１００２ｃを設ける前のオリフィスプ
レート部１００２ｄ等からなるブランクを射出成形等に
よって一体成形したうえで、エキシマレーザを用いて樹
脂製天板１００２の本体部分の各液流路１００２ａを溝
加工し、同様にエキシマレーザを用いてオリフィスプレ
ート部１００２ｄに各オリフィス１００２ｃを穴開け加
工することによって樹脂製天板１００２を製作する方法
も開発されている。
部分とオリフィス１００２ｃを設ける前のオリフィスプ
レート部１００２ｄ等からなるブランクを射出成形等に
よって一体成形したうえで、エキシマレーザを用いて樹
脂製天板１００２の本体部分の各液流路１００２ａを溝
加工し、同様にエキシマレーザを用いてオリフィスプレ
ート部１００２ｄに各オリフィス１００２ｃを穴開け加
工することによって樹脂製天板１００２を製作する方法
も開発されている。
【０００６】このように、射出成形とレーザ加工を組み
合わせれば、樹脂製天板を安価に製造することができる
ため、液体噴射記録ヘッドの低コスト化を一層促進でき
る。なお、射出成形によって得られたブランクにエキシ
マレーザを照射して溝加工や穴加工を施すためのレーザ
加工装置は、一般的に、液体噴射記録ヘッドの液流路や
オリフィスの開口パターンを有するマスクと、エキシマ
レーザによって前記開口パターンをブランクに投影する
投影光学系を備えている。
合わせれば、樹脂製天板を安価に製造することができる
ため、液体噴射記録ヘッドの低コスト化を一層促進でき
る。なお、射出成形によって得られたブランクにエキシ
マレーザを照射して溝加工や穴加工を施すためのレーザ
加工装置は、一般的に、液体噴射記録ヘッドの液流路や
オリフィスの開口パターンを有するマスクと、エキシマ
レーザによって前記開口パターンをブランクに投影する
投影光学系を備えている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、エキシマレーザによってマスクの開口
パターンをブランクに投影する投影光学系のレンズ面は
局部的に高エネルギーのエキシマレーザに曝されるた
め、短時間で面精度や物性等が劣化し、レンズ全体の光
学特性が損われる。このためにレンズの交換頻度が多
く、複雑な交換作業のために多くの人手と時間を必要と
し、その結果、メンテナンスのコストが上昇するうえ
に、レンズ交換作業中はレーザ加工が中断されるためス
ループットが著しく低下するという未解決の課題があ
る。
の技術によれば、エキシマレーザによってマスクの開口
パターンをブランクに投影する投影光学系のレンズ面は
局部的に高エネルギーのエキシマレーザに曝されるた
め、短時間で面精度や物性等が劣化し、レンズ全体の光
学特性が損われる。このためにレンズの交換頻度が多
く、複雑な交換作業のために多くの人手と時間を必要と
し、その結果、メンテナンスのコストが上昇するうえ
に、レンズ交換作業中はレーザ加工が中断されるためス
ループットが著しく低下するという未解決の課題があ
る。
【０００８】本発明は、上記従来の技術の有する未解決
の課題に鑑みてなされたものであり、エキシマレーザを
用いたレーザ加工装置によって樹脂製天板等の液流路や
オリフィスを形成する工程において、前記レーザ加工装
置のレンズを長寿命化してメンテナンスのコストを大幅
に低減できる液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供する
ことを目的とするものである。
の課題に鑑みてなされたものであり、エキシマレーザを
用いたレーザ加工装置によって樹脂製天板等の液流路や
オリフィスを形成する工程において、前記レーザ加工装
置のレンズを長寿命化してメンテナンスのコストを大幅
に低減できる液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供する
ことを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法は、エキシ
マレーザによってマスクの開口パターンを投影光学系の
レンズを用いてブランクに投影することにより加工を行
う液体噴射記録ヘッドの製造方法であって、前記投影光
学系のレンズをエキシマレーザの露光中に連続的又は間
欠的に光軸のまわりに回転させることを特徴とする。
め、本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法は、エキシ
マレーザによってマスクの開口パターンを投影光学系の
レンズを用いてブランクに投影することにより加工を行
う液体噴射記録ヘッドの製造方法であって、前記投影光
学系のレンズをエキシマレーザの露光中に連続的又は間
欠的に光軸のまわりに回転させることを特徴とする。
【００１０】また、エキシマレーザによってマスクの開
口パターンを投影光学系のレンズを用いてブランクに投
影することにより加工を行う液体噴射記録ヘッドの製造
方法であって、前記投影光学系のレンズを、１個又は複
数個のブランクの加工を行う加工サイクル毎に光軸のま
わりに回転させることを特徴とする。
口パターンを投影光学系のレンズを用いてブランクに投
影することにより加工を行う液体噴射記録ヘッドの製造
方法であって、前記投影光学系のレンズを、１個又は複
数個のブランクの加工を行う加工サイクル毎に光軸のま
わりに回転させることを特徴とする。
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【作用】樹脂等によって製作したブランクにエキシマレ
ーザを照射して液流路等を加工する。エキシマレーザの
光路に配設された投影光学系のレンズは、高エネルギー
のエキシマレーザによって急速に損傷するため、レンズ
を交換する回数が多くてメンテナンスの高コスト化やス
ループットの低下を招く。
ーザを照射して液流路等を加工する。エキシマレーザの
光路に配設された投影光学系のレンズは、高エネルギー
のエキシマレーザによって急速に損傷するため、レンズ
を交換する回数が多くてメンテナンスの高コスト化やス
ループットの低下を招く。
【００１４】そこで、エキシマレーザの露光中に連続的
又は間欠的に、あるいはブランクの加工サイクルごとに
レンズを光軸のまわりに回転させてエキシマレーザに曝
されるレンズ面を移動させる。
又は間欠的に、あるいはブランクの加工サイクルごとに
レンズを光軸のまわりに回転させてエキシマレーザに曝
されるレンズ面を移動させる。
【００１５】このようにしてレンズを長寿命化すること
で、レーザ加工装置のメンテナンスのコストを軽減し、
レンズ交換によるスループットの低下を防ぐことができ
る。その結果、液体噴射記録ヘッドの製造コストの低減
に大きく貢献できる。
で、レーザ加工装置のメンテナンスのコストを軽減し、
レンズ交換によるスループットの低下を防ぐことができ
る。その結果、液体噴射記録ヘッドの製造コストの低減
に大きく貢献できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００１７】図１は、一実施例による液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法を説明するもので、まず、液体噴射記録ヘ
ッドの共通液室となる凹所を有する樹脂製の粗成形品で
あるブランク１０を公知の射出成形等によって一体成形
し、これに、エキシマレーザを用いた溝加工によって液
流路２ａを形成し、さらに、エキシマレーザを用いた穴
加工によってオリフィス２ｂを形成する。このようにし
て得られた液流路形成層である樹脂製天板２を、表面１
ａに電気熱変換素子１ｂを有する基板１に位置合わせし
て接合する。
ドの製造方法を説明するもので、まず、液体噴射記録ヘ
ッドの共通液室となる凹所を有する樹脂製の粗成形品で
あるブランク１０を公知の射出成形等によって一体成形
し、これに、エキシマレーザを用いた溝加工によって液
流路２ａを形成し、さらに、エキシマレーザを用いた穴
加工によってオリフィス２ｂを形成する。このようにし
て得られた液流路形成層である樹脂製天板２を、表面１
ａに電気熱変換素子１ｂを有する基板１に位置合わせし
て接合する。
【００１８】このような溝加工および穴加工に用いるレ
ーザ加工装置は、図２に示すように、エキシマレーザＬ
を発生する光源１０１と、溝加工用または穴加工用の開
口パターンを有するマスク１０２と、前記開口パターン
をブランク１０に投影するための投影光学系１０３と、
エキシマレーザＬの光軸のまわりに投影光学系１０３を
回転させる回転駆動装置１０４と、これを制御するコン
トローラ１０５を備えている。
ーザ加工装置は、図２に示すように、エキシマレーザＬ
を発生する光源１０１と、溝加工用または穴加工用の開
口パターンを有するマスク１０２と、前記開口パターン
をブランク１０に投影するための投影光学系１０３と、
エキシマレーザＬの光軸のまわりに投影光学系１０３を
回転させる回転駆動装置１０４と、これを制御するコン
トローラ１０５を備えている。
【００１９】ブランク１０は、図示しない移動ステージ
によってエキシマレーザＬの光軸（Ｘ軸）に垂直な平面
（ＹＺ平面）内で位置決めされる。マスク１０２を透過
したエキシマレーザＬは投影光学系１０３のレンズの表
面を局部的に損傷するため、短時間でレンズの面精度や
物性等が損われてレンズ全体の光学特性が劣化し、レン
ズを交換する回数が多くなる。そこで、エキシマレーザ
Ｌの露光中に連続的または間欠的に回転駆動装置１０４
を駆動して投影光学系１０３を回転させるかあるいは、
１個または複数個のブランク１０の溝加工または穴加工
を行なう加工サイクルごとに投影光学系１０３を回転さ
せることで、レンズ面の局部的な損傷を防ぐ。
によってエキシマレーザＬの光軸（Ｘ軸）に垂直な平面
（ＹＺ平面）内で位置決めされる。マスク１０２を透過
したエキシマレーザＬは投影光学系１０３のレンズの表
面を局部的に損傷するため、短時間でレンズの面精度や
物性等が損われてレンズ全体の光学特性が劣化し、レン
ズを交換する回数が多くなる。そこで、エキシマレーザ
Ｌの露光中に連続的または間欠的に回転駆動装置１０４
を駆動して投影光学系１０３を回転させるかあるいは、
１個または複数個のブランク１０の溝加工または穴加工
を行なう加工サイクルごとに投影光学系１０３を回転さ
せることで、レンズ面の局部的な損傷を防ぐ。
【００２０】このようにして、投影光学系１０３のレン
ズの光学特性が短時間で劣化するのを防ぎ、投影光学系
１０３のレンズの交換頻度を低減する。
ズの光学特性が短時間で劣化するのを防ぎ、投影光学系
１０３のレンズの交換頻度を低減する。
【００２１】本実施例はこのように、液体噴射記録ヘッ
ドの樹脂製天板の溝加工や穴加工を行なうレーザ加工装
置の投影光学系のレンズを長寿命化してレンズの交換頻
度を低減し、これによって、投影光学系のメンテナンス
のコストを向上させるとともにレーザ加工装置のスルー
プットを大きく改善することができる。その結果、液体
噴射記録ヘッドの製造コストを大幅に低減できる。
ドの樹脂製天板の溝加工や穴加工を行なうレーザ加工装
置の投影光学系のレンズを長寿命化してレンズの交換頻
度を低減し、これによって、投影光学系のメンテナンス
のコストを向上させるとともにレーザ加工装置のスルー
プットを大きく改善することができる。その結果、液体
噴射記録ヘッドの製造コストを大幅に低減できる。
【００２２】本発明は、特に液体噴射記録方式の中で熱
エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記録を行な
う、いわゆるインクジェット記録方式の記録ヘッド、記
録装置において、優れた効果をもたらすものである。
エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記録を行な
う、いわゆるインクジェット記録方式の記録ヘッド、記
録装置において、優れた効果をもたらすものである。
【００２３】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方
式はいわゆるオンデマンド型、コンティニュアス型のい
ずれにも適用可能である。
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方
式はいわゆるオンデマンド型、コンティニュアス型のい
ずれにも適用可能である。
【００２４】この記録方式を簡単に説明すると、記録液
（インク）が保持されているシートや液流路に対応して
配置されている吐出エネルギー発生素子である電気熱変
換体に駆動回路より吐出信号を供給する、つまり、記録
情報に対応して記録液（インク）に核沸騰現象を越え、
膜沸騰現象を生じるような急速な温度上昇を与えるため
の少なくとも一つの駆動信号を印加することによって、
熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜
沸騰を生じさせる。このように記録液（インク）から電
気熱変換体に付与する駆動信号に一対一に対応した気泡
を形成できるため、特にオンデマンド型の記録法には有
効である。この気泡の成長、収縮により吐出口を介して
記録液（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を
形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適
切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優
れた記録液（インク）の吐出が達成でき、より好まし
い。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４
４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に
記載されているようなものが適している。なお、上記熱
作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３
１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さ
らに優れた記録を行なうことができる。
（インク）が保持されているシートや液流路に対応して
配置されている吐出エネルギー発生素子である電気熱変
換体に駆動回路より吐出信号を供給する、つまり、記録
情報に対応して記録液（インク）に核沸騰現象を越え、
膜沸騰現象を生じるような急速な温度上昇を与えるため
の少なくとも一つの駆動信号を印加することによって、
熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜
沸騰を生じさせる。このように記録液（インク）から電
気熱変換体に付与する駆動信号に一対一に対応した気泡
を形成できるため、特にオンデマンド型の記録法には有
効である。この気泡の成長、収縮により吐出口を介して
記録液（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を
形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適
切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優
れた記録液（インク）の吐出が達成でき、より好まし
い。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４
４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に
記載されているようなものが適している。なお、上記熱
作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３
１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さ
らに優れた記録を行なうことができる。
【００２５】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されているように、熱
作用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものにも
本発明は有効である。
書に開示されているような吐出口、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されているように、熱
作用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものにも
本発明は有効である。
【００２６】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
を有するものにおいても本発明は有効である。
通するスリットを電気熱変換体の吐出口とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
を有するものにおいても本発明は有効である。
【００２７】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録可能である被記録媒体の
最大幅に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッド
がある。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開
示されているような記録ヘッドを複数組み合わせること
によってフルライン構成にしたものや、一体的に形成さ
れた一個のフルライン記録ヘッドであってもよい。
ッドとしては、記録装置が記録可能である被記録媒体の
最大幅に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッド
がある。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開
示されているような記録ヘッドを複数組み合わせること
によってフルライン構成にしたものや、一体的に形成さ
れた一個のフルライン記録ヘッドであってもよい。
【００２８】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。
【００２９】また、記録ヘッドに対する回復手段や予備
的な補助手段を付加することは、記録装置を一層安定に
することができるので好ましいものである。これらを具
体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての、キャッピング
手段、クリーニング手段、加圧または吸引手段、電気熱
変換体あるいはこれとは別の加熱素子、あるいはこれら
の組み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を
行なう予備吐出モード手段を付加することも安定した記
録を行なうために有効である。
的な補助手段を付加することは、記録装置を一層安定に
することができるので好ましいものである。これらを具
体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての、キャッピング
手段、クリーニング手段、加圧または吸引手段、電気熱
変換体あるいはこれとは別の加熱素子、あるいはこれら
の組み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を
行なう予備吐出モード手段を付加することも安定した記
録を行なうために有効である。
【００３０】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせ
で構成したものかのいずれでもよいが、異なる色の複色
カラーまたは、混色によるフルカラーの少なくとも一つ
を備えた装置にも本発明は極めて有効である。
色等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせ
で構成したものかのいずれでもよいが、異なる色の複色
カラーまたは、混色によるフルカラーの少なくとも一つ
を備えた装置にも本発明は極めて有効である。
【００３１】本発明において、上述した各インクにたい
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。
【００３２】さらに加えて、インクジェット記録装置の
形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の画像出
力端末として用いられるものの他、リーダ等と組み合わ
せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシミ
リ装置の形態を採るものであってもよい。
形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の画像出
力端末として用いられるものの他、リーダ等と組み合わ
せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシミ
リ装置の形態を採るものであってもよい。
【００３３】以上説明した本発明の実施例においては、
インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で
固化するインクであって、室温で軟化もしくは液体とな
るもの、あるいは、インクジェットにおいて一般的に行
なわれている温度調整の温度範囲である３０℃以上７０
℃以下の温度範囲で軟化もしくは液体となるものでもよ
い。すなわち、使用記録信号付与時にインクが液状をな
すものであればよい。加えて、積極的に熱エネルギーに
よる昇温をインクの固形状態から液体状態への態変化の
エネルギーとして使用せしめることで防止するか、また
は、インクの蒸発防止を目的として放置状態で固化する
インクを用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの
記録信号に応じた付与によってインクが液化してインク
液状として吐出するものや記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギーによ
って初めて液化する性質のインク使用も本発明には適用
可能である。このような場合インクは、特開昭５４−５
６８４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報
に記載されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に
液状または固形物として保持された状態で、電気熱変換
体に対して対向するような形態としてもよい。本発明に
おいては、上述した各インクに対して最も有効なもの
は、上述した膜沸騰方式を実行するものである。
インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で
固化するインクであって、室温で軟化もしくは液体とな
るもの、あるいは、インクジェットにおいて一般的に行
なわれている温度調整の温度範囲である３０℃以上７０
℃以下の温度範囲で軟化もしくは液体となるものでもよ
い。すなわち、使用記録信号付与時にインクが液状をな
すものであればよい。加えて、積極的に熱エネルギーに
よる昇温をインクの固形状態から液体状態への態変化の
エネルギーとして使用せしめることで防止するか、また
は、インクの蒸発防止を目的として放置状態で固化する
インクを用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの
記録信号に応じた付与によってインクが液化してインク
液状として吐出するものや記録媒体に到達する時点では
すでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギーによ
って初めて液化する性質のインク使用も本発明には適用
可能である。このような場合インクは、特開昭５４−５
６８４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報
に記載されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に
液状または固形物として保持された状態で、電気熱変換
体に対して対向するような形態としてもよい。本発明に
おいては、上述した各インクに対して最も有効なもの
は、上述した膜沸騰方式を実行するものである。
【００３４】
【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載するような効果を奏する。
で、次に記載するような効果を奏する。
【００３５】エキシマレーザを用いた加工によって樹脂
製天板等の液流路やオリフィスを形成する工程におい
て、レーザ加工装置のレンズを長寿命化してメンテナン
スのコストを軽減し、かつスループットを向上させるこ
とができる。これによって液体噴射記録ヘッドの製造コ
ストの低減に大きく貢献できる。
製天板等の液流路やオリフィスを形成する工程におい
て、レーザ加工装置のレンズを長寿命化してメンテナン
スのコストを軽減し、かつスループットを向上させるこ
とができる。これによって液体噴射記録ヘッドの製造コ
ストの低減に大きく貢献できる。
【図１】一実施例による液体噴射記録ヘッドの製造方法
を説明する図である。
を説明する図である。
【図２】本実施例に用いるレーザ加工装置を説明する図
である。
である。
【図３】液体噴射記録ヘッドの構造を示す一部破断斜視
図である。
図である。
１ 基板
１ａ 電気熱変換素子
２ 樹脂製天板
２ａ 液流路
２ｂ オリフィス
１０ ブランク
１０１ 光源
１０２ マスク
１０３ 投影光学系
１０４ 回転駆動装置
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平１−294047（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−124197（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−211623（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B41J 2/16
B23K 26/00
Claims (2)
- 【請求項１】 エキシマレーザによってマスクの開口パ
ターンを投影光学系のレンズを用いてブランクに投影す
ることにより加工を行う液体噴射記録ヘッドの製造方法
であって、 前記投影光学系のレンズを エキシマレーザの露光中に連
続的又は間欠的に光軸のまわりに回転させることを特徴
とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 エキシマレーザによってマスクの開口パ
ターンを投影光学系のレンズを用いてブランクに投影す
ることにより加工を行う液体噴射記録ヘッドの製造方法
であって、 前記投影光学系のレンズを、１個又は複数個のブランク
の加工を行う 加工サイクル毎に光軸のまわりに回転させ
ることを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02986496A JP3391970B2 (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
| US08/785,964 US6019589A (en) | 1996-01-24 | 1997-01-22 | Laser processing apparatus and method for manufacturing a liquid jet recording head by use of such laser processing apparatus |
| EP97101036A EP0786305B1 (en) | 1996-01-24 | 1997-01-23 | Laser processing apparatus and method for manufacturing a liquid jet recording head by use of such laser processing apparatus |
| DE69722045T DE69722045T2 (de) | 1996-01-24 | 1997-01-23 | Laserbearbeitungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes mittels einer solchen Laserbearbeitungsvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02986496A JP3391970B2 (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family
ID=12287850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02986496A Expired - Fee Related JP3391970B2 (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
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| EP (1) | EP0786305B1 (ja) |
| JP (1) | JP3391970B2 (ja) |
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| EP1386196A1 (en) * | 2001-05-08 | 2004-02-04 | Spectra Physics Lasers, Inc. | Algorithm for enhancing the lifetime of critical components in a laser system |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS5936879B2 (ja) * | 1977-10-14 | 1984-09-06 | キヤノン株式会社 | 熱転写記録用媒体 |
| US4330787A (en) * | 1978-10-31 | 1982-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording device |
| US4345262A (en) * | 1979-02-19 | 1982-08-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording method |
| US4463359A (en) * | 1979-04-02 | 1984-07-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Droplet generating method and apparatus thereof |
| US4313124A (en) * | 1979-05-18 | 1982-01-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording process and liquid jet recording head |
| US4558333A (en) * | 1981-07-09 | 1985-12-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording head |
| JPS59123670A (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-17 | Canon Inc | インクジエツトヘツド |
| JPS59138461A (ja) * | 1983-01-28 | 1984-08-08 | Canon Inc | 液体噴射記録装置 |
| JPS6071260A (ja) * | 1983-09-28 | 1985-04-23 | Erumu:Kk | 記録装置 |
| US4842782A (en) * | 1986-10-14 | 1989-06-27 | Allergan, Inc. | Manufacture of ophthalmic lenses by excimer laser |
| ATE200251T1 (de) * | 1991-10-22 | 2001-04-15 | Canon Kk | Verfahren zum herstellen eines tintenstrahlaufzeichnungskopfes |
| ATE162469T1 (de) * | 1991-10-31 | 1998-02-15 | Canon Kk | Tintenstrahlkopf und sein herstellungsverfahren |
| DE4202487A1 (de) * | 1992-01-27 | 1993-07-29 | Optec Ges Fuer Optische Techni | Vorrichtung zum schneiden mittels laserstrahlung |
| US5378137A (en) * | 1993-05-10 | 1995-01-03 | Hewlett-Packard Company | Mask design for forming tapered inkjet nozzles |
| JP2828879B2 (ja) * | 1993-08-30 | 1998-11-25 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ加工機 |
-
1996
- 1996-01-24 JP JP02986496A patent/JP3391970B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-01-22 US US08/785,964 patent/US6019589A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-01-23 DE DE69722045T patent/DE69722045T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-01-23 EP EP97101036A patent/EP0786305B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09201977A (ja) | 1997-08-05 |
| DE69722045D1 (de) | 2003-06-26 |
| EP0786305B1 (en) | 2003-05-21 |
| EP0786305A1 (en) | 1997-07-30 |
| US6019589A (en) | 2000-02-01 |
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