JP5041511B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
特許文献1発明の半導体装置は、回路領域と、第1のガードリングと、第2のガードリングと、第1の金属膜パターンと、第2の金属膜パターンと、第1の金属線と、第2の金属線とを具備している。
ここで、回路領域は、半導体基板に形成されたトランジスタを含む。
また、第1のガードリングは、回路領域の周囲を取り囲んで形成されたイオン拡散領域によって形成されている。
さらに、第2のガードリングは、所定の間隔をあけて第1のガードリングの周囲を取り囲んで形成された高濃度のイオン拡散領域によって形成されている。
また、第1の金属膜パターンは、絶縁膜を介して第1のガードリングに対向して形成されて第1のガードリングとの間が複数の層間配線で接続されている。
さらに、第2の金属膜パターンは、絶縁膜を介して第2のガードリングに対向して形成されて第2のガードリングとの間が複数の層間配線で接続されている。
また、第1の金属線は、第1の金属膜パターンを基準電位が与えられる外部端子に接続している。
さらに、第2の金属線は、第2の金属膜パターンを外部端子に接続している。
特許文献2発明の半導体装置は、半導体基板と、第1導電型の第1拡散層と、第2導電型の第2拡散層とを備えている。
ここで、半導体基板は、素子形成領域を含み、半導体基板内の素子形成領域の周囲に形成され、第1電源端子に接続されている。
また、第1導電型の第1拡散層は、素子形成領域をシールドし、第1拡散層の内部に形成されている。
さらに、第2導電型の第2拡散層は、第2電源端子に接続されている。
なお、特許文献2発明の半導体装置は、第1拡散層と前記第2拡散層とが逆バイアスされてコンデンサを形成している。
従来技術においては、ガードリングは専用電源を必要としており、半導体装置においてはこれを引き込む為にパッドが1つ必要となる。その他、回路においては配線の引き回しが必要となる。
その結果、半導体装置の設計制約および製作コストがいずれも増加してしまう。
この場合、ガードリングの専用パッドを形成する事は、大規模LSIにおいてはチップ面積の増大を伴う為に好ましくない。
また、デジタル電源またはアナログ電源にガードリングのパッドを接続したとしても、デジタル電源に接続されればガードリングがノイズ源になり、反対にアナログ電源に接続されればノイズ伝播経路になり、いずれの場合も悪影響を及ぼす。
この場合も、ガードリングに電源がどのように接続されても、特許文献1発明と同じ問題が生じる。
ここで、回路(302)は、半導体基板(201)に形成されている。
また、ガードリング(303)は、回路(302)の周囲を囲うように半導体基板(201)に形成されている。
さらに、コンタクト(306)は、ガードリング(303)上に形成されて、ガードリング(303)と前記電源線(304)とを接続する。
ここで、ガードリング(303)は、第1導電型の半導体基板(201)とは逆の導電性を持つ第2導電型の半導体である。
また、回路(302)は、ノイズ源(231)との位置関係が固定されている。
さらに、コンタクト(306)は、回路(302)を挟んでノイズ源(232)の反対側に位置する。
抵抗素子(305)は、半導体基板(201)に形成されている。コンタクト(306)と、電源線(304)とは、抵抗素子(305)を介して接続されている。
ここで、回路(302)は、半導体基板(201)に形成されている。
また、ガードリング(303)は、回路(302)の周囲を囲うように半導体基板(201)に形成されている。
また、電源線(304)は、回路(302)及びガードリング(303)に共通して接続されている。
さらに、コンタクト(306)は、ガードリング(303)に形成されている。
また、抵抗素子(305)は、コンタクト(306)と電源線(304)とを接続する。
ここで、ガードリング(303)は、第1導電型の半導体基板(201)とは逆の導電性を持つ第2導電型の半導体である。
図5は、本実施形態例における半導体チップ200の全体図を示す。半導体チップ200は、半導体基板201と、アナログ回路部211と、アナログ回路部用電源回路212と、アナログ回路部用電源端子213と、デジタル回路部221と、デジタル回路部用電源回路222と、デジタル回路部用電源端子223とを具備する。
本実施形態例においては、実際にはデジタル回路部221の特定の部分がノイズを発生させるわけではないが、簡単の為に、ノイズ源231及びノイズ232を定義する。すなわち、デジタル回路部221はアナログ回路部211にとってのノイズ232を発生させるノイズ源231を具備している、と表現する。
図6の半導体基板201は、図5の半導体基板201の一部である。したがって、ノイズ232がアナログ回路部211に向かって来る方向も確定している。
ただし、本実施形態例の全体において半導体の導電性と電源の極性を逆にしても一向に構わない。すなわち、半導体基板201がN型半導体で、ガードリング303がPウェルで、アナログ回路用電源304がグラウンドである場合も、本実施形態例は同様に動作する。
また、アナログ回路用電源304は、アナログ回路302とガードリング303の両方に接続されている。ここで、ガードリング303とアナログ回路用電源304とは、コンタクト306を介して接続されている。なお、アナログ回路用電源304は、もう一方で、アナログ回路部用電源回路212に接続されている。
したがって、ガードリング303と半導体基板201の接合部分は、逆バイアスの電圧が印加されて接合容量315として動作する。これは、半導体の導電性と電源の極性とがそれぞれ逆である場合でも同様である。
図6において、ガードリング303上におけるコンタクト306は、アナログ回路302を挟んでノイズ232の侵入経路から出来るだけ距離を取るように配置されている。
ガードリング303がフローティング状態の時、半導体基板201の電位が変化した場合に、半導体基板201から電荷がガードリング303に注入される。すると、ガードリング303の電位が降下してしまい、アナログ回路部211の動作に不具合を生じさせる恐れがある。
しかし、本実施形態例では、ガードリング303とアナログ回路用電源304とがNウェル抵抗305aを介して接続されている。この為、ガードリング303に注入された電荷は、Nウェル抵抗305aを介してアナログ回路用電源304に逃がされる。
図7は、本発明の第2実施形態例の概念図である。第2の実施形態例は、第1の実施形態例に抵抗素子305を加えたものに等しい。すなわち、本実施形態例におけるアナログ回路部211は、半導体基板201と、アナログ回路302と、ガードリング303と、アナログ回路用電源線304に加えて、抵抗素子305を具備している。なお、概念図である図7では、ガードリング303と抵抗素子305とを接続するコンタクト306は図示されていない。
本実施形態例における抵抗素子305は、図8のように半導体基板201上に形成されたNウェル抵抗305aまたはポリシリコン抵抗305bであっても良いし、図9のように引き回された配線抵抗305cであっても良い。
抵抗素子305は、アナログ回路302と同様に、ガードリング303の内側に形成されている。
ここで、Nウェル抵抗305aの抵抗値は高いことが望ましい(具体的には数十〜100kΩ)
本実施例では、第1の実施形態例からさらにNウェル抵抗305aが追加されており、その等価回路は図12のとおりである。
アナログ回路302に侵入しようとするノイズ232から見ると、半導体基板201とガードリング303とのNP接合における接合容量315と、Nウェル抵抗305aとが、ハイパスフィルタを成している。すなわち、Nウェル抵抗305aが追加された事により、ノイズ232の低周波成分からアナログ回路302がより一層保護されている。
ガードリング303がフローティング状態の時、半導体基板201の電位が変化した場合に、半導体基板201から電荷がガードリング303に注入される。すると、ガードリング303の電位が降下してしまい、アナログ回路部211の動作に不具合を生じさせる恐れがある。
しかし、本実施形態例では、ガードリング303とアナログ回路用電源304とがNウェル抵抗305aを介して接続されている。この為、ガードリング303に注入された電荷は、Nウェル抵抗305aを介してアナログ回路用電源304に逃がされる。
この時、電源配線の抵抗が例えば数Ω乃至数十Ω程度であれば、Nウェル抵抗305aの抵抗値は数十kΩ以上である事が望ましい。
ここで、フローティング状態のガードリング303から数十kΩの抵抗素子305を介してノイズ電荷314がアナログ回路用電源304に逃がされる事は、本実施形態例のみならず、次に説明する第3の実施形態例においても有効である。
図13および図14は、本発明の第3の実施形態例を示す。第3の実施形態例は、第2の実施形態例のガードリング303に裏打ち配線308を追加したものに等しい。したがって、本実施形態例におけるアナログ回路部211は、半導体基板201と、アナログ回路302と、ガードリング303と、アナログ回路用電源線304と、抵抗素子305とを具備し、さらに裏打ち配線308を具備している。ただし、図13および図14には、ガードリング303と裏打ち配線308とを接続する複数のコンタクト306は図示されていない。
ガードリング3032吸収されたノイズ232は、抵抗素子305によって減衰される。
102 ガードリング(Nウェル)
103 ガードリング(P+拡散層)
104 裏打ち配線
105 ガードリング用独立電源
106 ガードリング用独立グラウンド
107 Pウェル
108 N+拡散層
109 STI(静電誘導トランジスタ)
110 P型半導体基板
200 半導体チップ
201 P型半導体基板
211 アナログ回路部
212 アナログ回路部用電源回路
213 アナログ回路部用電源端子
221 デジタル回路部
222 デジタル回路部用電源回路
223 デジタル回路部用電源端子
231 ノイズ源
232 ノイズ
302 アナログ回路
303 ガードリング(Nウェル)
304 アナログ回路用電源線
305 抵抗素子
305a 抵抗素子(Nウェル)
305b 抵抗素子(ポリシリコン抵抗)
305c 抵抗素子(引き回された細い配線)
306 コンタクト
308 裏打ち配線
309 STI(静電誘導トランジスタ)
310 Pウェル
311 金属配線
312 Nウェル
313 N+拡散層
314 ノイズによって注入された電荷
315 接合容量
316 Nウェル抵抗
Claims (16)
- 第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板に形成された回路と、
前記回路の周囲を囲うように前記半導体基板に形成されたガードリングと、
前記回路及び前記ガードリングに共通して電力を供給する電源線と、
前記ガードリング上に形成されて、前記ガードリングと前記電源線とを接続するコンタクトと、
前記半導体基板に形成された抵抗素子と
を具備し、
前記ガードリングは、前記第1導電型の半導体基板とは逆の導電性を持つ第2導電型の半導体であり、
前記コンタクトは、前記回路を挟んでノイズ源の反対側に位置し、
前記コンタクトと前記電源線とは、前記抵抗素子を介して接続される
半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1導電型の半導体はP型半導体であり、
前記第2導電型の半導体はN型半導体であり、
前記電源線には正の電圧が印加されている
半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1導電型の半導体はN型半導体であり、
前記第2導電型の半導体はP型半導体であり、
前記電源線は接地されている
半導体装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置において、
前記抵抗素子は、前記ガードリングの内側に形成されたポリシリコン抵抗である
半導体装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置において、
前記抵抗素子は、前記ガードリングの内側に形成されたNウェルである
半導体装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置において、
前記抵抗素子は、前記半導体基板に形成された配線であって、
前記配線は、前記コンタクトと前記電源線とをガードリング内側の空き面積を引き回された配線で接続する
半導体装置。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の半導体装置と、
前記半導体装置に電力を供給するアナログ回路部用電源回路と、
前記半導体基板に形成されて、前記半導体装置に向けて前記ノイズを発生させるノイズ源を具備するデジタル回路部と、
前記デジタル回路部に電力を供給するデジタル回路部用電源回路と
を具備する、半導体チップ。 - 第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板に形成された回路と、
前記回路の周囲を囲うように前記半導体基板に形成されたガードリングと、
前記回路及び前記ガードリングに共通して接続された電源線と、
前記ガードリングと前記電源線とを接続するコンタクトと、
前記コンタクトと前記電源線とを接続する抵抗素子と
を具備し、
前記ガードリングは、前記第1導電型の半導体基板とは逆の導電性を持つ第2導電型の半導体である
半導体装置。 - 請求項8記載の半導体装置において、
前記第1導電型の半導体はP型半導体であり、
前記第2導電型の半導体はN型半導体であり、
前記電源線には正の電圧が印加されている
半導体装置。 - 請求項8記載の半導体装置において、
前記第1導電型の半導体はN型半導体であり、
前記第2導電型の半導体はP型半導体であり、
前記電源線は接地されている
半導体装置。 - 請求項8乃至10のいずれかに記載の半導体装置は、
前記ガードリング上に形成された裏打ち配線
をさらに具備する、半導体装置。 - 請求項8乃至11のいずれかに記載の半導体装置において、
前記抵抗素子は、前記ガードリングの内側に形成されたポリシリコン抵抗である
半導体装置。 - 請求項8乃至11のいずれかに記載の半導体装置において、
前記抵抗素子は、前記ガードリングの内側に形成されたNウェルである
半導体装置。 - 請求項8乃至11のいずれかに記載の半導体装置において、
前記抵抗素子は、前記ガードリングの内側に形成された配線であって、
前記配線は、前記コンタクトから前記電源線までをガードリング内側の空き面積を引き回された配線で接続する
半導体装置。 - 請求項8乃至14のいずれかに記載の半導体装置と、
前記アナログ回路部に電力を供給するアナログ回路部用電源回路と、
前記半導体基板に形成されて、前記アナログ回路部に向けて前記ノイズを発生させるノイズ源を具備するデジタル回路部と、
前記デジタル回路部に電力を供給するデジタル回路部用電源回路と
を具備する、半導体チップ。 - (a)半導体基板に形成された回路を、前記半導体基板を伝播して前記回路に接近するノイズから保護することと、
(b)前記回路の周囲を囲むように前記半導体基板に形成されたガードリングが、前記ノイズによって前記半導体基板中を移動する電荷を吸収することと、
(c)前記ガードリングに吸収された前記ノイズの電荷が、前記回路を給電する電源線に向かって抵抗成分を含む経路を通ることと、
(d)前記ガードリングと前記電源線とを接続する前記抵抗成分を含む経路が、前記経路の中を移動する前記ノイズの電力を減少させること、
(e)前記経路内を通過することで電力が減少した前記ノイズを、前記電源線が吸収することと、
(f)前記ガードリングと、前記電源線との間に接続された、前記抵抗成分とは別の抵抗素子が、前記ノイズを減衰することと
を具備する、ノイズからの半導体回路保護方法。
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