JP4996602B2 - 硬質膜被覆された物体およびその製造方法 - Google Patents
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Description
Ti−Al−N材料系の特定の範囲で摩耗保護層を製造することは、WO03/085152A2によりすでに公知である。この場合、67%までのAlN含有率でNaCl構造を有する単相のTiAlN層を製造することが可能である。これらの層はPVDにより作成され、0.412nm〜0.424nmの格子定数afccを有する(R.Cremer、M.Witthaut、A.von Richthofen、D.Neuschuetz、Fresenius J.Anal.Chem.361(1998)、第642〜645頁)。このような立方晶のTiAlN層は、比較的高い硬度および耐摩耗性を有している。しかし67%を超えるAlN含有率では、立方晶および六方晶のTiAlNからなる混合物が生じ、かつ75%を超えるAlN割合では、それより軟質で、かつ耐摩耗性ではない六方晶のウルツ鉱構造が生じるのみである。
本発明は、少なくとも1のTi1-xAlxN硬質皮膜を有する単層または多層の層構造により硬質膜被覆された物体において、実質的に改善された耐摩耗性および耐酸化性を達成するという課題に基づいている。
以下では実施例に基づいて、本発明を詳細に説明する。
WC/Co超硬合金スローアウェイチップ上に、本発明による熱によるCVD法によってTi1-xAlxN層を析出させる。このために、75mmの内径を有するホットウォールCVD反応器中で、AlCl3 20ml/分、TiCl4 3.5ml/分、H2 1400ml/分、アルゴン400ml/分からなる気体混合物を、温度800℃および圧力1kPaで導通した。
Si3N4切断用セラミックからなるスローアウェイチップ上にまず、厚さ1μmの窒化チタン層を、公知の標準的なCVD法により950℃で施与する。その後、本発明によるCVD法により例1に記載した気体混合物を使用して、圧力1kPaおよび温度850℃で灰黒色の層が析出する。
Claims (10)
- 単層または多層の層構造を有する硬質膜被覆された物体であり、前記層構造はプラズマ励起を行わずにCVDにより作成されたTi1-xAlxN硬質皮膜を少なくとも1つ有し、
前記Ti1-xAlxN硬質皮膜は、x>0.75〜x=0.93の化学量論係数および0.412nm〜0.405nmの格子定数afccを有する立方晶NaCl構造の単相の層として存在し、かつTi 1-x Al x N硬質皮膜の塩素含有率が、0.05〜0.9原子%の範囲であるか、または、
前記Ti1-xAlxN硬質皮膜は、その主要な相がx>0.75〜x=0.93の化学量論係数および0.412nm〜0.405nmの格子定数afccを有する立方晶NaCl構造を有するTi1-xAlxNからなり、かつ別の相としてTi1-xAlxNがウルツ鉱構造として、および/またはNaCl構造のTiNxとして含有されている多相の層であり、かつTi1-xAlxN硬質皮膜の塩素含有率が、0.05〜0.9原子%の範囲である、
硬質膜被覆された物体。 - 前記Ti1-xAlxN硬質皮膜の塩素含有率が、0.1〜0.5原子%の範囲であることを特徴とする、請求項1記載の硬質膜被覆された物体。
- 前記Ti1-xAlxN硬質皮膜の酸素含有率が、0.1〜5原子%の範囲であることを特徴とする、請求項1記載の硬質膜被覆された物体。
- 前記Ti1-xAlxN硬質皮膜の硬度の値が、2500HV〜3800HVの範囲であることを特徴とする、請求項1記載の硬質膜被覆された物体。
- 前記Ti1-xAlxN硬質皮膜が、アモルファスの層成分を0〜30質量%含有することを特徴とする、請求項1記載の硬質膜被覆された物体。
- x>0.75〜x=0.93の化学量論係数を有する少なくとも1のTi1-xAlxN硬質皮膜を有する、単層または多層の層構造を有する硬質膜被覆された物体の製造方法であって、反応器中、前駆体としてチタンハロゲン化物、アルミニウムハロゲン化物および反応性の窒素化合物を使用し、これらを高温で混合して、プラズマ励起を行わずにCVDにより700℃〜900℃の範囲の温度で物体を被覆することを特徴とする、少なくとも1のTi1-xAlxN硬質皮膜を有する、単層または多層の層構造を有する硬質膜被覆された物体の製造方法。
- 前記反応性窒素化合物として、NH3および/またはN2H4を使用することを特徴とする、請求項6記載の方法。
- 前記前駆体を反応器中、堆積帯域の前で直接に混合することを特徴とする、請求項6記載の方法。
- 前記前駆体混合物を、150℃〜900℃の範囲の温度で実施することを特徴とする、請求項6記載の方法。
- 前記被覆を、102Pa〜105Paの範囲の圧力で実施することを特徴とする、請求項6記載の方法。
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JP6394898B2 (ja) * | 2014-01-31 | 2018-09-26 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
DE102014103220A1 (de) | 2014-03-11 | 2015-09-17 | Walter Ag | TiAIN-Schichten mit Lamellenstruktur |
JP6296298B2 (ja) * | 2014-08-28 | 2018-03-20 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
EP3000913B1 (en) | 2014-09-26 | 2020-07-29 | Walter Ag | Coated cutting tool insert with MT-CVD TiCN on TiAI(C,N) |
JP6120229B2 (ja) | 2015-01-14 | 2017-04-26 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 硬質被膜、切削工具および硬質被膜の製造方法 |
AT516062B1 (de) | 2015-01-15 | 2016-02-15 | Boehlerit Gmbh & Co Kg | Verfahren zum Beschichten eines Gegenstandes und damit hergestellte Beschichtung |
WO2016148056A1 (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
JP6590255B2 (ja) * | 2015-03-13 | 2019-10-16 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
JP7160677B2 (ja) * | 2015-07-27 | 2022-10-25 | ヴァルター アーゲー | TiAlNコーティングを有する工具とその工具の製造方法 |
CN108291300B (zh) | 2015-11-25 | 2020-09-08 | 三菱日立工具株式会社 | 氮化钛铝硬质皮膜、硬质皮膜包覆工具及它们的制造方法 |
EP3387164B1 (en) * | 2015-12-07 | 2024-01-17 | IHI Bernex AG | Coated extrusion tool |
JP6638936B2 (ja) | 2016-01-13 | 2020-02-05 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具およびその製造方法 |
US9994958B2 (en) * | 2016-01-20 | 2018-06-12 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Coating, cutting tool, and method of manufacturing coating |
US10737331B2 (en) * | 2016-03-31 | 2020-08-11 | Tungaloy Corporation | Coated cutting tool |
US10737332B2 (en) * | 2016-04-07 | 2020-08-11 | Tungaloy Corporation | Coated cutting tool |
US11015242B2 (en) | 2016-07-07 | 2021-05-25 | Moldino Tool Engineering, Ltd. | Hard coating, hard-coated tool, and their production methods |
JPWO2018047734A1 (ja) * | 2016-09-06 | 2019-06-24 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具およびその製造方法 |
EP3511097A4 (en) * | 2016-09-06 | 2020-05-13 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | CUTTING TOOL AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME |
JPWO2018047735A1 (ja) * | 2016-09-06 | 2019-06-24 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具およびその製造方法 |
US11286570B2 (en) * | 2017-01-26 | 2022-03-29 | Walter Ag | Coated cutting tool |
CN110382145B (zh) * | 2017-02-28 | 2021-09-21 | 住友电工硬质合金株式会社 | 表面被覆切削工具及其制造方法 |
KR20190112036A (ko) | 2017-02-28 | 2019-10-02 | 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 | 표면 피복 절삭 공구 및 그 제조 방법 |
US11123802B2 (en) | 2017-02-28 | 2021-09-21 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Surface-coated cutting tool and method for manufacturing the same |
JP7393946B2 (ja) * | 2017-04-07 | 2023-12-07 | サンドビック インテレクチュアル プロパティー アクティエボラーグ | コーティングされた切削工具 |
CN109112500B (zh) | 2017-06-22 | 2022-01-28 | 肯纳金属公司 | Cvd复合材料耐火涂层及其应用 |
JP6931458B2 (ja) * | 2017-07-18 | 2021-09-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性と耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
JP6844704B2 (ja) * | 2017-08-15 | 2021-03-17 | 株式会社Moldino | 被覆切削工具 |
EP3670042A4 (en) * | 2017-08-15 | 2021-03-24 | Mitsubishi Hitachi Tool Engineering, Ltd. | COATED CUTTING TOOL |
KR102064172B1 (ko) * | 2017-09-01 | 2020-01-09 | 한국야금 주식회사 | 내마모성과 인성이 우수한 경질피막 |
JP6565092B1 (ja) * | 2018-03-22 | 2019-08-28 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具およびその製造方法 |
JP6583762B1 (ja) * | 2018-03-22 | 2019-10-02 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具及びその製造方法 |
EP3769870A4 (en) * | 2018-03-22 | 2021-08-18 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | COATED SURFACE CUTTING TOOL AND ITS MANUFACTURING PROCESS |
KR20200119334A (ko) * | 2018-03-22 | 2020-10-19 | 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 | 표면 피복 절삭 공구 및 그 제조 방법 |
KR102350219B1 (ko) * | 2018-03-22 | 2022-01-17 | 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 | 표면 피복 절삭 공구 및 그 제조 방법 |
KR102350221B1 (ko) | 2018-03-22 | 2022-01-14 | 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 | 표면 피복 절삭 공구 및 그 제조 방법 |
CN111886093B (zh) | 2018-03-22 | 2023-01-31 | 住友电工硬质合金株式会社 | 表面被覆切削工具及其制造方法 |
CN112996945B (zh) * | 2018-07-10 | 2024-04-05 | 耐科思特生物识别集团股份公司 | 用于电子设备的热传导及保护涂覆件 |
US20210105888A1 (en) * | 2019-10-04 | 2021-04-08 | Kennametal Inc. | Coated nozzles for arc torches |
JP7043714B1 (ja) * | 2020-06-02 | 2022-03-30 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具 |
WO2021245784A1 (ja) * | 2020-06-02 | 2021-12-09 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具 |
WO2021245782A1 (ja) * | 2020-06-02 | 2021-12-09 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具 |
JPWO2022239139A1 (ja) * | 2021-05-12 | 2022-11-17 | ||
US20240051033A1 (en) | 2022-08-10 | 2024-02-15 | Iscar, Ltd. | CUTTING TOOL WITH A TiAlN COATING HAVING RAKE AND RELIEF SURFACES WITH DIFFERENT RESIDUAL STRESSES |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4115616C2 (de) * | 1991-03-16 | 1994-11-24 | Leybold Ag | Hartstoff-Mehrlagenschichtsystem für Werkzeuge |
US5330853A (en) | 1991-03-16 | 1994-07-19 | Leybold Ag | Multilayer Ti-Al-N coating for tools |
JPH0533795A (ja) | 1991-07-24 | 1993-02-09 | Sanyo Electric Co Ltd | 扇風機 |
JP2999346B2 (ja) * | 1993-07-12 | 2000-01-17 | オリエンタルエンヂニアリング株式会社 | 基体表面被覆方法及び被覆部材 |
FR2745299B1 (fr) * | 1996-02-27 | 1998-06-19 | Centre Nat Rech Scient | Procede de formation de revetements de ti1-xalxn |
FR2767841B1 (fr) | 1997-08-29 | 1999-10-01 | Commissariat Energie Atomique | PROCEDE DE PREPARATION PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR (CVD) D'UN REVETEMENT MULTICOUCHE A BASE DE Ti-Al-N |
SE519005C2 (sv) * | 1999-03-26 | 2002-12-17 | Sandvik Ab | Belagt hårdmetallskär |
SE9903089D0 (sv) * | 1999-09-01 | 1999-09-01 | Sandvik Ab | Coated grooving or parting insert |
SE9903122D0 (sv) * | 1999-09-06 | 1999-09-06 | Sandvik Ab | Coated cemented carbide insert |
JP2001341008A (ja) * | 2000-06-02 | 2001-12-11 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 窒化チタンアルミニウム膜被覆工具及びその製造方法 |
CN1190516C (zh) * | 2000-12-29 | 2005-02-23 | 中国科学院金属研究所 | 用于海军航空发动机压气机叶片的离子镀TiAlN涂层 |
CN100408237C (zh) * | 2002-01-21 | 2008-08-06 | 三菱麻铁里亚尔株式会社 | 表面被覆切削工具部件和在切削工具表面形成硬质被覆层的方法 |
AU2003227598A1 (en) * | 2002-04-11 | 2003-10-20 | Cemecon Ag | Coated bodies and a method for coating a body |
SE526336C2 (sv) * | 2002-07-01 | 2005-08-23 | Seco Tools Ab | Skär med slitstark refraktär beläggning av MAX-fas |
DE102005032860B4 (de) | 2005-07-04 | 2007-08-09 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Hartstoffbeschichtete Körper und Verfahren zu deren Herstellung |
DE102009046667B4 (de) | 2009-11-12 | 2016-01-28 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Beschichtete Körper aus Metall, Hartmetal, Cermet oder Keramik sowie Verfahren zur Beschichtung derartiger Körper |
-
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